CN219392214U - 推压装置及半导体检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种推压装置及半导体检测设备，涉及检测设备技术领域，该推压装置包括底板；旋转驱动机构，连接于底板上；直线传动组件，包括连接于底板上的固定部件、连接于固定部件上的丝杆以及与丝杆螺纹配合的平动螺母，丝杆能够相对固定部件绕自身轴线自转；固定部件和丝杆位于旋转驱动机构的一侧，丝杆与旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件；浮动组件，连接于平动螺母上，浮动组件能够沿丝杆轴向相对底板移动。通过该推压装置，缓解了相关机构在滚珠螺杆的轴向上占用空间较大的技术问题，优化了整个机构的布局。

Description

推压装置及半导体检测设备

技术领域

本实用新型涉及检测设备技术领域，尤其是涉及一种推压装置及半导体检测设备。

背景技术

随着科技的不断发展，通讯设备、消费类电子等产品越来越多。半导体芯片是该类电子产品的主要元件之一，半导体芯片的性能直接影响电子产品的质量。待半导体芯片生产完成后，需要对半导体芯片进行测试，确保半导体芯片达到标准。

在测试过程中，需要外力将浮动推板推动到半导体芯片上，使半导体芯片与测试机上的测试接头接触，并且半导体芯片要给测试接头一定的压力，如此才能实现对半导体芯片的检测。在对多个半导体芯片同时检测时，需要推动浮动推板的动力较大。

对此，目前的方案是通过电机施加动力。具体的，如附图1所示，电机的输出轴与滚珠螺杆固定连接，滚珠螺杆上套设有与其相啮合的螺母，电机启动时，螺母沿滚珠螺杆的轴向移动，从而带动浮动推板运动，实现浮动推板对半导体芯片的推压。采用该传动方式，在滚珠螺杆的轴向上，整个机构需要占用的空间较大，从而不利于机构的布局。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种推压装置及半导体检测设备，以缓解相关机构在滚珠螺杆的轴向上占用空间较大的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型采取的技术手段为：

第一方面，本实用新型提供的推压装置包括：底板；

旋转驱动机构，连接于所述底板上；

直线传动组件，包括连接于所述底板上的固定部件、连接于所述固定部件上的丝杆以及与所述丝杆螺纹配合的平动螺母，所述丝杆能够相对所述固定部件绕自身轴线自转；所述固定部件和所述丝杆位于所述旋转驱动机构的一侧，所述丝杆与所述旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件；

浮动组件，连接于所述平动螺母上，所述浮动组件能够沿所述丝杆轴向相对所述底板移动。

可选地，所述固定部件包括支撑块和支撑导柱，所述支撑块与所述底板相对间隔设置；

所述支撑导柱和所述丝杆均位于所述底板与所述支撑块之间，所述支撑导柱的两端分别与所述底板和所述支撑块连接，所述丝杆远离所述底板的一端与所述支撑块转动连接，所述浮动组件与所述支撑导柱滑动配合。

可选地，所述固定部件还包括安装于所述底板的轴承基座，所述丝杆靠近于所述底板的端部与所述轴承基座转动连接，所述旋转传动组件与所述丝杆的连接点位于所述轴承基座背离所述平动螺母的一侧。

可选地，所述浮动组件包括螺母固定板、浮动推板和导向轴；

所述平动螺母固定于所述螺母固定板，所述螺母固定板与所述支撑导柱滑动配合；

所述螺母固定板和所述浮动推板二者间隔分布，所述底板位于所述螺母固定板和所述浮动推板之间；

所述导向轴穿设于所述底板，且所述导向轴的两端分别与所述螺母固定板和所述浮动推板固定连接。

可选地，所述底板用于穿设所述导向轴的通孔处固定有直线轴承，所述直线轴承套设于所述导向轴。

可选地，所述底板上固定有吹气保护套，所述吹气保护套套设于所述直线轴承和所述导向轴，并与所述直线轴承和所述导向轴之间均具有间隙。

可选地，所述旋转驱动机构包括旋转驱动器和减速机；

所述减速机安装于所述底板，并与所述旋转驱动器传动连接，所述减速机的输出轴与所述旋转传动组件连接；

所述旋转传动组件与所述丝杆传动连接。

可选地，所述旋转传动组件包括主动轮、从动轮和同步带；

所述减速机与所述主动轮传动连接，所述同步带套设并张紧于所述主动轮和所述从动轮，所述从动轮与所述丝杆同轴连接。

可选地，所述底板上设置有固定座，所述减速机安装于所述固定座。

与现有技术相比，本实用新型提供的推压装置的有益效果为：

在本申请中，丝杆与旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件，浮动组件连接于平动螺母上，旋转驱动机构启动时，通过旋转传动组件带动丝杆转动，从而使套设于丝杆上的平动螺母带动浮动组件沿丝杆的轴向运动，完成半导体测试推压动作，实现对半导体芯片的检测。此外，固定部件和丝杆位于旋转驱动机构的一侧，缩小了整个装置在丝杆轴向上的空间占用，优化了结构布局。

第二方面，本实用新型提供的半导体检测设备包括所述的推压装置。

本实用新型提供的半导体检测设备的有益效果为：

本实用新型提供的半导体检测设备包括推压装置，由此，该半导体检测设备所达到的技术优势及效果同样包括上述推压装置所达到的技术优势及效果，此处不再赘述。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有相关技术的剖视图；

图2为本实用新型实施例提供的推压装置的装配图；

图3为本实用新型实施例提供的推压装置的剖视图；

图4为本实用新型实施例提供的推压装置的局部剖视图。

图标：

100－底板；110－直线轴承；120－吹气保护套；130－气管接头；140－固定座；

200－旋转驱动机构；210－旋转驱动器；220－减速机；

300－直线传动组件；310－固定部件；311－支撑块；312－支撑导柱；313－轴承基座；314－深沟球轴承；315－推力球轴承；320－丝杆；330－平动螺母；

400－浮动组件；410－螺母固定板；420－浮动推板；430－导向轴；500－旋转传动组件；510－主动轮；520－从动轮；530－同步带。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参考图2和图3，本实施例提供的推压装置包括底板100、旋转驱动机构200、直线传动组件300和浮动组件400；旋转驱动机构200连接于底板100上；直线传动组件300包括连接于底板100上的固定部件310、连接于固定部件310上的丝杆320以及与丝杆320螺纹配合的平动螺母330，丝杆320能够相对固定部件310绕自身轴线自转；固定部件310和丝杆320位于旋转驱动机构200的一侧，丝杆320与旋转驱动机构200之间设置有用于传动的旋转传动组件500；浮动组件400，连接于平动螺母330上，浮动组件400能够沿丝杆320轴向相对底板100移动。

具体地，底板100呈平板状，固定部件310安装于底板100，丝杆320与固定部件310位于底板100的同一侧，并与固定部件310转动连接，丝杆320的长度方向与底板100垂直。旋转驱动机构200安装于底板100，并位于丝杆320的一侧。

丝杆320与旋转驱动机构200之间设置有用于传动的旋转传动组件500，浮动组件400连接于平动螺母330上，旋转驱动机构200启动时，通过旋转传动组件500带动丝杆320转动，从而使套设于丝杆320上的平动螺母330带动浮动组件400沿丝杆320的轴向运动，完成半导体测试推压动作，实现对半导体芯片的检测。此外，与现有技术相比，本实用新型提供的推压装置中，固定部件310和丝杆320位于旋转驱动机构200的一侧，缩小了整个装置在丝杆320轴向上的空间占用，优化了结构布局。

如图2所示，固定部件310包括支撑块311和支撑导柱312，支撑块311与底板100相对间隔设置；支撑导柱312和丝杆320均位于底板100与支撑块311之间，支撑导柱312的两端分别与底板100和支撑块311连接，丝杆320远离底板100的一端与支撑块311转动连接，浮动组件400与支撑导柱312滑动配合。

具体地，固定部件310还包括深沟球轴承314，深沟球轴承314固定于支撑块311，丝杆320远离底板100的一端通过深沟球轴承314与支撑块311转动连接。支撑导柱312设置有两根，两根支撑导柱312关于丝杆320的轴线对称分布，浮动组件400中的部分结构套设于两杆支撑导柱312上，并与两根支撑导柱312滑动配合。支撑块311对丝杆320起到支撑作用，两个支撑导柱312配合对浮动组件400起到导向和限位的作用，防止丝杆320转动的过程中，平动螺母330和浮动组件400跟随丝杆320一起转动。

进一步地，固定部件310还包括安装于底板100的轴承基座313，丝杆320靠近于底板100的端部与轴承基座313转动连接，旋转传动组件500与丝杆320的连接点位于轴承基座313背离平动螺母330的一侧。

如图3所示，轴承基座313安装于底板100上，轴承基座313与底板100之间形成容纳空间，丝杆320靠近于底板100的一端穿过轴承基座313并位于容纳空间内，旋转传动组件500与丝杆320在容纳空间内连接。

固定组件还包括推力球轴承315，推力球轴承315安装于轴承基座313，丝杆320通过推力球轴承315与轴承基座313转动连接。

在丝杆320与旋转传动组件500连接的端部设置轴承基座313，轴承基座313位于支撑旋转传动组件500与丝杆320的连接点和平动螺母330之间，从而减小丝杆320传动时所受的弯矩，减少丝杆320弯曲的概率。

进一步地，参考图2和图3，浮动组件400包括螺母固定板410、浮动推板420和导向轴430；平动螺母330固定于螺母固定板410，螺母固定板410与支撑导柱312滑动配合；螺母固定板410和浮动推板420二者间隔分布，底板100位于螺母固定板410和浮动推板420之间；导向轴430穿设于底板100，且导向轴430的两端分别与螺母固定板410和浮动推板420固定连接。

继续参考图2和图3，螺母固定板410、底板100、浮动推板420三者依次分布，且相互平行间隔设置。导向轴430分别与三者垂直设置，且导向轴430与底板100滑动配合，导向轴430的两端分别与螺母固定板410和浮动推板420固定连接。具体地，导向轴430设置有多根，具体可设置为两根、三根或四根等，在本实施例中，如图2所示，导向轴430设置有四根，四根导向轴430呈阵列分布，螺母固定板410与四根导向轴430滑动配合。平动螺母330沿丝杆320的轴向运动时，带动螺母固定板410同步运动，并通过导向轴430推动浮动推板420，从而实现半导体测试推压动作，底板100与导向轴430配合，提高浮动推板420运动的稳定性。

进一步地，参考图3和图4，底板100用于穿设导向轴430的通孔处固定有直线轴承110，直线轴承110套设于导向轴430。

继续参考图3和图4，直线轴承110的数量与导向轴430的数量相等，并均安装于底板100，直线轴承110的轴线的延伸方向与底板100垂直。导向轴430与直线轴承110一一对应配合，导向轴430移动时，与直线轴承110滑动配合，使得直线运动灵敏度高和精度高。

如图3和图4所示，底板100上固定有吹气保护套120，吹气保护套120套设于直线轴承110和导向轴430，并与直线轴承110和导向轴430之间均具有间隙。

吹气保护套120固定于底板100表面，与底板100之间形成气室，吹气保护套120上设有用于与气源连通的气管接头130，气源用于提供压缩热气。压缩热气通过气管接头130进入气室时，首先通过直线轴承110与吹气保护套120之间的间隙喷到运动的导向轴430上，从而实现对导向轴430和直线轴承110的防结霜保护，再通过吹气保护套120与导向轴430之间的间隙排出。

旋转驱动机构200包括旋转驱动器210和减速机220；减速机220安装于底板100，并与旋转驱动器210传动连接，减速机220的输出轴与旋转传动组件500连接；旋转传动组件500与丝杆320传动连接。

底板100上设置有固定座140，旋转驱动器210可采用电机，减速机220的输出端通过固定座140安装于底板100，并与旋转传动组件500连接，旋转驱动器210与减速机220的输入端连接。电机工作时，减速机220进行减速，然后通过旋转传动组件500将动力传递至丝杆320，使丝杆320旋转，从而使平动螺母330沿丝杆320的轴向运动，进而带动浮动组件400同步移动，实现半导体测试推压动作。另外在这个过程中，固定部件310对丝杆320起到限制作用，即限制丝杆320在其自身径向上发生摆动，以及进一步限制丝杆320在其自身轴向上发生移动，如此，保证了浮动组件400运动的稳定性以及推压半导体芯片的准确性。

如图3所示，旋转传动组件500包括主动轮510、从动轮520和同步带530；旋转驱动器210与主动轮510传动连接，同步带530套设并张紧于主动轮510和从动轮520，从动轮520与丝杆320同轴连接。

具体地，减速机220的输出轴与主动轮510连接，通过设置该减速机220，增大了旋转传动组件500的传动扭矩；再由同步带530传递动力，使丝杆320旋转，而丝杆320只有绕其自身轴线的转动自由度，从而使平动螺母330带动浮动组件400沿丝杆320的轴向运动，实现半导体测试推压动作。另外，采用带传动，提高了传动效率，且传动的平稳性较好。

本实施例还提供一种半导体检测设备，该半导体检测设备包括推压装置，则该半导体检测设备所达到的技术优势及效果同样包括上述推压装置所达到的技术优势及效果，此处不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种推压装置，其特征在于，包括：

底板(100)；

旋转驱动机构(200)，连接于所述底板(100)上；

直线传动组件(300)，包括连接于所述底板(100)上的固定部件(310)、连接于所述固定部件(310)上的丝杆(320)以及与所述丝杆(320)螺纹配合的平动螺母(330)，所述丝杆(320)能够相对所述固定部件(310)绕自身轴线自转；所述固定部件(310)和所述丝杆(320)位于所述旋转驱动机构(200)的一侧，所述丝杆(320)与所述旋转驱动机构(200)之间设置有用于传动的旋转传动组件(500)；

浮动组件(400)，连接于所述平动螺母(330)上，所述浮动组件(400)能够沿所述丝杆(320)轴向相对所述底板(100)移动。

2.根据权利要求1所述的推压装置，其特征在于，所述固定部件(310)包括支撑块(311)和支撑导柱(312)，所述支撑块(311)与所述底板(100)相对间隔设置；

所述支撑导柱(312)和所述丝杆(320)均位于所述底板(100)与所述支撑块(311)之间，所述支撑导柱(312)的两端分别与所述底板(100)和所述支撑块(311)连接，所述丝杆(320)远离所述底板(100)的一端与所述支撑块(311)转动连接，所述浮动组件(400)与所述支撑导柱(312)滑动配合。

3.根据权利要求2所述的推压装置，其特征在于，所述固定部件(310)还包括安装于所述底板(100)的轴承基座(313)，所述丝杆(320)靠近于所述底板(100)的端部与所述轴承基座(313)转动连接，所述旋转传动组件(500)与所述丝杆(320)的连接点位于所述轴承基座(313)背离所述平动螺母(330)的一侧。

4.根据权利要求2所述的推压装置，其特征在于，所述浮动组件(400)包括螺母固定板(410)、浮动推板(420)和导向轴(430)；

所述平动螺母(330)固定于所述螺母固定板(410)，所述螺母固定板(410)与所述支撑导柱(312)滑动配合；

所述螺母固定板(410)和所述浮动推板(420)二者间隔分布，所述底板(100)位于所述螺母固定板(410)和所述浮动推板(420)之间；

所述导向轴(430)穿设于所述底板(100)，且所述导向轴(430)的两端分别与所述螺母固定板(410)和所述浮动推板(420)固定连接。

5.根据权利要求4所述的推压装置，其特征在于，所述底板(100)用于穿设所述导向轴(430)的通孔处固定有直线轴承(110)，所述直线轴承(110)套设于所述导向轴(430)。

6.根据权利要求5所述的推压装置，其特征在于，所述底板(100)上固定有吹气保护套(120)，所述吹气保护套(120)套设于所述直线轴承(110)和所述导向轴(430)，并与所述直线轴承(110)和所述导向轴(430)之间均具有间隙。

7.根据权利要求1至6任一项所述的推压装置，其特征在于，所述旋转驱动机构(200)包括旋转驱动器(210)和减速机(220)；

所述减速机(220)安装于所述底板(100)，并与所述旋转驱动器(210)传动连接，所述减速机(220)的输出轴与所述旋转传动组件(500)连接；

所述旋转传动组件(500)与所述丝杆(320)传动连接。

8.根据权利要求7所述的推压装置，其特征在于，所述旋转传动组件(500)包括主动轮(510)、从动轮(520)和同步带(530)；

所述减速机(220)与所述主动轮(510)传动连接，所述同步带(530)套设并张紧于所述主动轮(510)和所述从动轮(520)，所述从动轮(520)与所述丝杆(320)同轴连接。

9.根据权利要求7所述的推压装置，其特征在于，所述底板(100)上设置有固定座(140)，所述减速机(220)安装于所述固定座(140)。

10.一种半导体检测设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的推压装置。