CN219366411U - 一种复合分子泵冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体，所述复合分子泵本体的下表面固定有四个支撑底脚，所述复合分子泵本体的外侧套装有壳体，所述壳体的右侧设有水冷机构，所述壳体的左侧设有风冷机构。该复合分子泵冷却装置，在该复合分子泵冷却装置中设置了水冷机构，经水冷机构中各结构之间的相互配合，通过设置工业温度计和温度传感器，实现了对壳体内部的感应目的，当壳体内部的温度过高时，温度传感器向控制器发出信号，使控制阀打开，冷却水经进水管流入换热盘管，通过换热盘管对复合分子泵本体进行换热，对复合分子泵本体进行快速降温，防止复合分子泵本体的温度过高，保证了该复合分子泵的正常运行。

Description

一种复合分子泵冷却装置

技术领域

本实用新型涉及复合分子泵技术领域，具体为一种复合分子泵冷却装置。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵，分子泵具体可分为牵引分子泵、涡轮分子泵和复合分子泵，复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体，泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

中国专利CN205779783U中，公开了一种高压比复合分子泵，所述复合分子泵的压比量级为1010～1011，包括涡轮段和牵引段，涡轮段由动叶轮和静叶片组成，实现大抽速，牵引段由牵引鼓筒和牵引槽筒组成，实现高压比，本实用新型的高压比复合分子泵还在涡轮段和牵引段之间增加了盘式牵引功能，即在动叶轮组件上装配了牵引盘，在外槽筒上安装了双面加工有圆弧或直线槽的牵引槽盘，增加的两级牵引功能，可以有效提高分子泵的压比，降低真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求。

上述专利虽然盘，增加了两级盘式牵引功能，提高了分子泵的压比，降低了真空腔内部的真空压力，提高复合分子泵的抽气性能，满足仪器对超低真空的要求，但是该专利并未考虑到复合分子泵运行时会产生热量的问题，由于其需要长时间的工作，这就使得其动力电机会产生大量的热，虽然电机都自带散热结构，当仍然会有部分的热量传导给分子泵壳体部分，由于分子泵本身是高精度设备，壳体的温度上升后，会发生热涨，对其精密度造成影响，从而影响其工作的效果，为此提出一种复合分子泵冷却装置来解决上述问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种复合分子泵冷却装置，具备散热效果性能好的优点，解决了壳体的温度上升后，会发生热涨，对其精密度造成影响，从而影响复合分子泵工作的效果的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体，所述复合分子泵本体的下表面固定有四个支撑底脚，所述复合分子泵本体的外侧套装有壳体，所述壳体的右侧设有水冷机构，所述壳体的左侧设有风冷机构；

所述水冷机构包括降温组件和感应组件，所述降温组件包括连通在壳体右侧的进水管，所述进水管的左端连通有换热盘管，所述换热盘管远离进水管的一端连通有出水管，所述壳体的上表面设置有数量不少于两个的散热翅片。

进一步，所述换热盘管设置在复合分子泵本体的外侧，所述进水管的外侧固定有控制阀。

进一步，所述壳体的右侧开设有供进水管贯穿的第一连通孔，所述第一连通孔与进水管间隙配合。

进一步，所述壳体内腔的右侧壁开设有供出水管贯穿的第二连通孔，所述第二连通孔与出水管间隙配合。

进一步，所述感应组件包括设置在壳体上表面的工业温度计，所述壳体的内顶壁安装有温度传感器。

进一步，所述风冷机构包括开设在壳体左侧的散热孔，所述散热孔的内部设置有第一挡尘网，所述壳体的右侧开设有风口，所述风口的内部设置有第二挡尘网，所述壳体内腔的右侧壁固定有两个风扇座，上下两侧所述风扇座相对的一侧之间设置有风扇。

进一步，所述散热孔的数量不少于两个，数量不少于两个的所述散热孔均匀分布在壳体的左侧面。

与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：

1、该复合分子泵冷却装置，在该复合分子泵冷却装置中设置了水冷机构，经水冷机构中各结构之间的相互配合，通过设置工业温度计和温度传感器，实现了对壳体内部的感应目的，当壳体内部的温度过高时，温度传感器向控制器发出信号，使控制阀打开，冷却水经进水管流入换热盘管，通过换热盘管对复合分子泵本体进行换热，对复合分子泵本体进行快速降温，防止复合分子泵本体的温度过高，保证了该复合分子泵的正常运行。

2、该复合分子泵冷却装置，在该复合分子泵冷却装置中设置了风冷机构，通过设置散热孔、风口和风扇，实现了对复合分子泵本体的风冷降温，加快了壳体内部的空气流速，将壳体内的热量带出壳体外，对该复合分子泵起到辅助冷却的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型水冷机构示意图；

图3为本实用新型风冷机构示意图。

图中：1复合分子泵本体、2支撑底脚、3壳体、4水冷机构、401进水管、402换热盘管、403出水管、404散热翅片、405工业温度计、406温度传感器、5风冷机构、501散热孔、502第一挡尘网、503风口、504第二挡尘网、505风扇座、506风扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1，本实施例中的一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体1，复合分子泵本体1的下表面固定有四个支撑底脚2，复合分子泵本体1的外侧套装有壳体3，壳体3的右侧设有水冷机构4，壳体3的左侧设有风冷机构5。

需要说明的是，本实用新型的部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图2，为了对该复合分子泵实现水冷冷却的目的，本实施例中的水冷机构4包括降温组件和感应组件，降温组件包括连通在壳体3右侧的进水管401，进水管401与外界冷却水箱连通，进水管401的左端连通有换热盘管402，换热盘管402内部的介质为冷却水，换热盘管402远离进水管401的一端连通有出水管403，壳体3的上表面设置有数量不少于两个的散热翅片404。

散热翅片404是通过其自身的对流作用，增加其与空其的接触面积，来达到将热量传导给散热翅片404周围空气中的目的，能起到一定的散热作用。

换热盘管402设置在复合分子泵本体1的外侧，进水管401的外侧固定有控制阀，控制阀为市面上常见的阀门，在文中不再过多赘述。

壳体3的右侧开设有供进水管401贯穿的第一连通孔，第一连通孔与进水管401间隙配合，第一连通孔对进水管401起到支撑和导向的作用。

壳体3内腔的右侧壁开设有供出水管403贯穿的第二连通孔，第二连通孔与出水管403间隙配合，第二连通孔对出水管403起到支撑和导向的作用。

感应组件包括设置在壳体3上表面的工业温度计405，壳体3的内顶壁安装有温度传感器406，温度传感器406的型号为WZPK。

请参阅图3，为了对该复合分子泵实现风冷冷却的目的，本实施例中的风冷机构5包括开设在壳体3左侧的散热孔501，散热孔501的内部设置有第一挡尘网502，壳体3的右侧开设有风口503，风口503的内部设置有第二挡尘网504，壳体3内腔的右侧壁固定有两个风扇座505，上下两侧风扇座505相对的一侧之间设置有风扇506，第一挡尘网502和第二挡尘网504起到防止外界灰尘进入壳体3的作用。

散热孔501的数量不少于两个，数量不少于两个的散热孔501均匀分布在壳体3的左侧面。

可以理解的是，当壳体3内部的温度过高时，壳体3内顶壁的温度传感器406感受到壳体3内部的温度异常，然后向控制器发出信号，控制器控制风扇506启动，同时使进水管401外侧的控制阀打开，冷却水从进水管401进入到换热盘管402，通过换热盘管402中的冷却水使换热盘管402的温度较低，通过换热盘管402对复合分子泵本体1进行水冷降温，换热后的冷却水从出水管403离开换热盘管402，同时风扇506启动后产生一个向左的风力，将壳体3中的热量向左吹，最终从散热孔501中离开壳体3。

文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接且文中出现的电器元件均为常规已知设备，本申请不再进行过多赘述，主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，主控器的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，电源的提供也属于本领域的公知常识，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细解释控制方式和电路连接。

本申请使用到的标准零件均可以从市场上购买，异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制，各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓、铆钉和焊等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中，常规的型号，加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式，在此不再详述。

上述实施例的工作原理为：

(1)当复合分子泵本体1正常运行时，由于复合分子泵本体1需要长时间不间断工作，这就使得其动力电机会产生大量的热量，这些热量会传导给壳体3，此时壳体3会将热量传导至壳体3上表面设置的散热翅片404，散热翅片404与其周围的空气接触，与空气进行热量交换，将热量传导至散热翅片404周围的空气中，同时壳体3内部的热量也会从壳体3左侧开设的多个散热孔501离开壳体3，热量还可以从壳体3右侧开设的风口503离开壳体3，这样热量就及时排出壳体3。

(2)当壳体3内部的温度过高时，壳体3内顶壁的温度传感器406感受到壳体3内部的温度异常，然后向控制器发出信号，控制器控制风扇506启动，同时使进水管401外侧的控制阀打开，冷却水从进水管401进入到换热盘管402，通过换热盘管402中的冷却水使换热盘管402的温度较低，通过换热盘管402对复合分子泵本体1进行水冷降温，换热后的冷却水从出水管403离开换热盘管402，同时风扇506启动后产生一个向左的风力，将壳体3中的热量向左吹，最终从散热孔501中离开壳体3，加快了壳体3内部的空气流通，保证复合分子泵本体1的温度不会过高。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体(1)，其特征在于：所述复合分子泵本体(1)的下表面固定有四个支撑底脚(2)，所述复合分子泵本体(1)的外侧套装有壳体(3)，所述壳体(3)的右侧设有水冷机构(4)，所述壳体(3)的左侧设有风冷机构(5)；

所述水冷机构(4)包括降温组件和感应组件，所述降温组件包括连通在壳体(3)右侧的进水管(401)，所述进水管(401)的左端连通有换热盘管(402)，所述换热盘管(402)远离进水管(401)的一端连通有出水管(403)，所述壳体(3)的上表面设置有数量不少于两个的散热翅片(404)。

2.根据权利要求1所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述换热盘管(402)设置在复合分子泵本体(1)的外侧，所述进水管(401)的外侧固定有控制阀。

3.根据权利要求1所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述壳体(3)的右侧开设有供进水管(401)贯穿的第一连通孔，所述第一连通孔与进水管(401)间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述壳体(3)内腔的右侧壁开设有供出水管(403)贯穿的第二连通孔，所述第二连通孔与出水管(403)间隙配合。

5.根据权利要求1所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述感应组件包括设置在壳体(3)上表面的工业温度计(405)，所述壳体(3)的内顶壁安装有温度传感器(406)。

6.根据权利要求1所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述风冷机构(5)包括开设在壳体(3)左侧的散热孔(501)，所述散热孔(501)的内部设置有第一挡尘网(502)，所述壳体(3)的右侧开设有风口(503)，所述风口(503)的内部设置有第二挡尘网(504)，所述壳体(3)内腔的右侧壁固定有两个风扇座(505)，上下两侧所述风扇座(505)相对的一侧之间设置有风扇(506)。

7.根据权利要求6所述的一种复合分子泵冷却装置，其特征在于：所述散热孔(501)的数量不少于两个，数量不少于两个的所述散热孔(501)均匀分布在壳体(3)的左侧面。