CN219326867U - 芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板，所述底板顶部的一侧固定连接有安装架，所述安装架的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨，两个所述滑轨的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座，所述安装架的一侧且位于两个滑轨之间固定连接有固定块，利用螺纹孔与转动丝杆的配合关系能够带动支撑架在两个滑轨上进行移动，并且此时的包裹槽在滚珠槽与滚动珠之间进行滑动，即使滑动座与滑轨的配合具有一定的误差，滚珠槽对滚动珠的限位，此时的连接块并不能发生转动，因此滑动座能够进行平稳的滑动，并且通过贯穿槽与连接块之间的配合关系，能够提升其结构的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及坩埚升降技术领域，具体为芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构。
背景技术
坩埚升降机构是单晶炉中重要的部件之一，其升降的稳定性直接影响拉晶工艺及晶棒的质量。工作时坩埚升降机构中间的转轴上面安装有一个石英坩埚，内装有几十公斤或一百多公斤的一千几百度高温熔化状态的硅溶液，因此，只要工作时中间的坩埚转轴有一点微小的晃动都会在硅溶液的液面上反映出来，对坩埚升降机构旋转及上升过程中的稳定性要求非常苛刻。
中国专利公开了一种用于晶体生长设备的坩埚升降旋转机构(公开号：CN215757725U)，该专利升降机构包括丝杠，所述丝杠与所述驱动器相连以由所述驱动器驱动转动，所述丝杠沿上下方向延伸且和所述滑座组件螺纹配合，但是滑座在丝杆的带动下，很容易在丝杆刚开始转动时带动滑座进行转动，从而使得坩埚的位置发生偏移，因此可能存在一定的精度误差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，利用螺纹孔与转动丝杆的配合关系能够带动支撑架在两个滑轨上进行移动，并且此时的包裹槽在滚珠槽与滚动珠之间进行滑动，即使滑动座与滑轨的配合具有一定的误差，滚珠槽对滚动珠的限位，此时的连接块并不能发生转动，因此滑动座能够进行平稳的滑动。
本实用新型的目的可以通过以下技术方案实现：
芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板，所述底板顶部的一侧固定连接有安装架，所述安装架的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨，两个所述滑轨的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座，所述安装架的一侧且位于两个滑轨之间固定连接有固定块，所述固定块的底部转动连接有驱动滑动座在滑轨上平稳滑动的转动丝杆；
所述滑动座的内表面固定连接有连接块，所述连接块的表面与底板的表面滑动连接，所述连接块的上开设有与转动丝杆相适配的螺纹孔，所述底板的表面贯穿开设有贯穿槽，所述贯穿槽的内表面与连接块的表面滑动连接。
作为本实用新型进一步的方案：所述连接块的正面与背面均开设若干个包裹槽，所述包裹槽的内表面滚动连接有滚动珠，所述贯穿槽内壁的两侧均开设有滚珠槽，所述滚珠槽的内表面与滚动珠的表面滚动连接。
作为本实用新型进一步的方案：所述滑动座的一侧连接有支撑架，所述支撑架的顶部贯穿设置有波纹管装置。
作为本实用新型进一步的方案：所述支撑架的一侧固定连接有伺服电机，所述波纹管装置的内部设置有旋转轴，所述伺服电机的输出端与旋转轴的表面之间设置有用于传送动力的传动机构。
作为本实用新型进一步的方案：所述传动机构包括位于伺服电机输出端的主动轮以及位于旋转轴上的从动轮，所述主动轮和从动轮的表面之间设置有传动带。
作为本实用新型进一步的方案：所述底板顶部的一侧通过电机架安装有驱动电机，所述底板的顶部固定连接有将驱动电机的动力传动给转动丝杆的齿轮箱，所述转动丝杆的底端贯穿齿轮箱并延伸至齿轮箱的内部，所述底板的输出端贯穿并延伸至底板的内部。
本实用新型的有益效果：通过在底板的一侧设置能够转动的转动丝杆，并通过连接块将支撑架进行连接，当转动丝杆进行转动时，利用螺纹孔与转动丝杆的配合关系能够带动支撑架在两个滑轨上进行移动，并且此时的包裹槽在滚珠槽与滚动珠之间进行滑动，即使滑动座与滑轨的配合具有一定的误差，滚珠槽对滚动珠的限位，此时的连接块并不能发生转动，因此滑动座能够进行平稳的滑动，并且通过贯穿槽与连接块之间的配合关系，能够提升其结构的稳定性。
附图说明
下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。
图1是本实用新型中升降机构的外部结构示意图；
图2是本实用新型中安装架的剖视图；
图3是本实用新型中连接块的连接剖视图。
图中：1、底板；2、安装架；3、滑轨；4、滑动座；5、支撑架；6、波纹管装置；7、齿轮箱；8、伺服电机；9、驱动电机；10、转动丝杆；11、固定块；12、贯穿槽；13、连接块；14、滚珠槽；15、包裹槽；16、滚动珠；17、传动机构。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-3所示，本实用新型为芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板1，所述底板1顶部的一侧固定连接有安装架2，所述安装架2的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨3，两个所述滑轨3的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座4，所述安装架2的一侧且位于两个滑轨3之间固定连接有固定块11，所述固定块11的底部转动连接有驱动滑动座4在滑轨3上平稳滑动的转动丝杆10；
为了避免支撑架5和滑轨3的配合精度不高，导致在连接块13进行转动时，支撑架5发生轻微偏转，所述滑动座4的内表面固定连接有连接块13，所述连接块13的表面与底板1的表面滑动连接，所述连接块13的上开设有与转动丝杆10相适配的螺纹孔，所述底板1的表面贯穿开设有贯穿槽12，所述贯穿槽12的内表面与连接块13的表面滑动连接，当连接块13的表面与贯穿槽12的内表面相接触时，能够避免支撑架5进行转动。
为了进一步提高其精准度，连接块13的正面与背面均开设若干个包裹槽15，所述包裹槽15的内表面滚动连接有滚动珠16，所述贯穿槽12内壁的两侧均开设有滚珠槽14，所述滚珠槽14的内表面与滚动珠16的表面滚动连接，由于滚珠槽14和滚动珠16之间为滚动摩擦，因此滚动珠16和滚珠槽14之间采用一定程度的过盈配合也能够发生相对滑动，此时在转动丝杆10进行转动时，此时的连接块13在滚动珠16的限位下无法进行转动，因此即使滑动座4和滑轨3之间存在误差，也能够进行平稳的滑动。
所述滑动座4的一侧连接有支撑架5，所述支撑架5的顶部贯穿设置有波纹管装置6，所述支撑架5的一侧固定连接有伺服电机8，所述波纹管装置6的内部设置有旋转轴，所述伺服电机8的输出端与旋转轴的表面之间设置有用于传送动力的传动机构17，所述传动机构17包括位于伺服电机8输出端的主动轮以及位于旋转轴上的从动轮，所述主动轮和从动轮的表面之间设置有传动带。
所述底板1顶部的一侧通过电机架安装有驱动电机9，所述底板1的顶部固定连接有将驱动电机9的动力传动给转动丝杆10的齿轮箱7，所述转动丝杆10的底端贯穿齿轮箱7并延伸至齿轮箱7的内部，所述底板1的输出端贯穿并延伸至底板1的内部。
本实用新型的工作原理：首先启动驱动电机9进行转动，通过齿轮箱7使得固定块11上的转动丝杆10进行转动，由于转动丝杆10和连接块13上的螺纹孔进行螺纹连接，从而带动连接块13上的支撑架5在两个滑轨3上向上移动，此时的连接块13在贯穿槽12内进行滑动，而滚动珠16在包裹槽15以及滚珠槽14的内表面进行滚动，从而带动支撑架5向上或向下移动，而伺服电机8的转动，通过传动机构17能够带动旋转轴的转动。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，包括底板(1)，所述底板(1)顶部的一侧固定连接有安装架(2)，其特征在于，所述安装架(2)的一侧的前方和后方均固定连接有滑轨(3)，两个所述滑轨(3)的表面之间滑动连接有与坩埚相连接的滑动座(4)，所述安装架(2)的一侧且位于两个滑轨(3)之间固定连接有固定块(11)，所述固定块(11)的底部转动连接有驱动滑动座(4)在滑轨(3)上平稳滑动的转动丝杆(10)；
所述滑动座(4)的内表面固定连接有连接块(13)，所述连接块(13)的表面与底板(1)的表面滑动连接，所述连接块(13)的上开设有与转动丝杆(10)相适配的螺纹孔，所述底板(1)的表面贯穿开设有贯穿槽(12)，所述贯穿槽(12)的内表面与连接块(13)的表面滑动连接。
2.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述连接块(13)的正面与背面均开设若干个包裹槽(15)，所述包裹槽(15)的内表面滚动连接有滚动珠(16)，所述贯穿槽(12)内壁的两侧均开设有滚珠槽(14)，所述滚珠槽(14)的内表面与滚动珠(16)的表面滚动连接。
3.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述滑动座(4)的一侧连接有支撑架(5)，所述支撑架(5)的顶部贯穿设置有波纹管装置(6)。
4.根据权利要求3所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述支撑架(5)的一侧固定连接有伺服电机(8)，所述波纹管装置(6)的内部设置有旋转轴，所述伺服电机(8)的输出端与旋转轴的表面之间设置有用于传送动力的传动机构(17)。
5.根据权利要求4所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述传动机构(17)包括位于伺服电机(8)输出端的主动轮以及位于旋转轴上的从动轮，所述主动轮和从动轮的表面之间设置有传动带。
6.根据权利要求1所述的芯片级硅棒拉晶炉坩埚升降机构，其特征在于，所述底板(1)顶部的一侧通过电机架安装有驱动电机(9)，所述底板(1)的顶部固定连接有将驱动电机(9)的动力传动给转动丝杆(10)的齿轮箱(7)，所述转动丝杆(10)的底端贯穿齿轮箱(7)并延伸至齿轮箱(7)的内部，所述底板(1)的输出端贯穿并延伸至底板(1)的内部。
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|---|---|---|---|---|
| CN117607875A (zh) * | 2024-01-19 | 2024-02-27 | 四川振通检测股份有限公司 | 一种桥梁墩台基础水下病害检测装置 |
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- 2023-02-27 CN CN202320326852.4U patent/CN219326867U/zh active Active
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| CN117607875B (zh) * | 2024-01-19 | 2024-04-05 | 四川振通检测股份有限公司 | 一种桥梁墩台基础水下病害检测装置 |
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