CN219295053U - 平台清洁装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种平台清洁装置，根据一实施例的平台清洁装置包括：主体部，位于包括多个孔的平台上方；清洁液供应部，位于所述主体部的一侧面；超声波发生部，位于所述主体部的另一侧面；空气供应部，位于所述主体部的上侧面；第一阀，与连接于所述多个孔中的一部分的吸气管线的端部连接；以及第二阀，与连接于所述多个孔中的另一部分的供气管线的端部连接。

Description

平台清洁装置

技术领域

本公开涉及平台清洁装置。

背景技术

显示装置作为显示画面的装置，有液晶显示装置(LCD：Liquid CrystalDisplay)、有机发光显示装置(OLED：Organic Light Emitting Display)等。这种显示装置正使用于诸如便携式电话、导航仪、数码相机、电子书、便携式游戏机或各种终端等各种电子设备中。

在制造这种显示装置的过程中，可以利用喷墨印刷工艺以形成有机发光层、量子点滤色器等的层。喷墨印刷工艺以在平台上放置基板，并在基板上滴加有机化合物来形成预定的层的方式实现。喷墨印刷工艺在工艺简单、能够缩短工艺时间、能够增大材料使用效率、因制造费用低廉而能够节减成本的方面有用。

在平台上移动基板的过程中，可以使用通过在基板与平台之间供应空气而使基板在从平台浮起的状态下移动的方式。此时，由于基板不与平台接触，因此可以减小基板与平台之间的摩擦力，从而可以使基板的移动变得容易。

在进行喷墨印刷工艺的过程中，可能产生墨雾，墨雾可能流入位于基板与平台之间的用于调节空气量的孔内部。当墨雾积聚在孔内部时，孔的直径将会减小，空气的移动可能变得困难。据此，可能无法恒定地维持基板与平台之间的距离，导致在喷墨印刷工艺中发生墨的误着陆(即，发生墨没有喷射到原来所意图的地点而喷射到其他位置的问题)，从而发生产品的不良。

实用新型内容

实施例旨在提供一种能够在喷墨印刷工艺中清洁被墨雾污染的平台的平台清洁装置。

根据一实施例的平台清洁装置包括：主体部，位于包括多个孔的平台上方；清洁液供应部，位于所述主体部的一侧面；超声波发生部，位于所述主体部的另一侧面；空气供应部，位于所述主体部的上侧面；第一阀，与连接于所述多个孔中的一部分的吸气管线的端部连接；以及第二阀，与连接于所述多个孔中的另一部分的供气管线的端部连接。

所述多个孔包括：吸气孔，连接于所述吸气管线；以及供气孔，连接于所述供气管线，其中，通过所述吸气孔和所述吸气管线能够吸入位于所述平台上方的空气，并且通过所述供气孔和所述供气管线能够向所述平台上方供应空气。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：吸气连接管线，连接于所述第一阀，其中，可以通过所述吸气连接管线吸入位于所述平台上方的所述空气。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：供气连接管线，连接于所述第二阀，其中，可以通过所述供气连接管线向所述平台上方供应所述空气。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：废液储存部，储存所排出的清洁液；第一废液管线，连接于所述第一阀与所述废液储存部之间；以及第二废液管线，连接于所述第二阀与所述废液储存部之间。

所述第一阀和所述第二阀可以利用三通阀实现。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：机架，固定有所述主体部，其中，所述机架能够使所述主体部在所述平台上方移动。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：移送部件，位于所述机架与所述主体部之间，其中，所述移送部件能够调节所述主体部与所述平台之间的距离。

所述平台可以包括多个区域，所述主体部的在平面上的尺寸可以与所述多个区域中的任意一个的尺寸相同。

所述主体部的在平面上的尺寸可以与所述平台的尺寸相同。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：密封部件，位于所述主体部的下部面，其中，在进行清洁工艺期间，所述主体部的内部可以被所述密封部件密封。

根据实施例，在喷墨印刷工艺中，通过清洁被墨雾污染的平台，从而能够使基板的从平台的上浮高度保持恒定。

据此，可以防止喷墨印刷工艺中的墨的误着陆，从而可以提高产品的品质。

附图说明

图1是示出根据一实施例的平台清洁装置的立体图。

图2是示出根据一实施例的平台清洁装置的剖面图。

图3至图7是示出根据一实施例的按照平台清洁工艺的顺序的剖面图。

图8是示出根据一实施例的平台清洁方法的工艺顺序图。

图9是示出根据另一实施例的平台清洁装置的立体图。

附图标记说明

1100、2100：平台 1110：吸气孔

1120：供气孔 1200、2200：机架

1210、2210：移送部件 1300、2300：主体部

1310：清洁液供应部 1320：空气供应部

1330：超声波发生部 1340：密封部件

1510、2510：吸气管线 1512、2512：第一阀

1514、2514：吸气连接管线 1520、2520：供气管线

1522、2522：第二阀 1524、2524：供气连接管线

1600、2600：废液储存部 1610、2610：第一废液管线

1620、2620：第二废液管线

具体实施方式

以下，参考附图对本实用新型的各种实施例进行详细说明，以使本实用新型所属技术领域的具有普通知识的人员能够容易地实施。本实用新型能够以多种不同的形态实现，并不限定于在此说明的实施例。

为了明确说明本实用新型，省略了与说明无关的部分，贯穿说明书全文，对相同或相似的构成要素赋予相同的附图标记。

并且，为了便于说明，任意地示出了附图中所示的各个构成的尺寸及厚度，因此本实用新型并不一定限于所示出的内容。在附图中，为了明确表示多个层及区域，放大示出了厚度。并且，在附图中，为了便于说明，夸张地示出了一部分层及区域的厚度。

并且，当提及层、膜、区域、板等部分位于另一部分的“上方”或“之上”时，其不仅包括位于另一部分的“紧邻的上方”的情况，还包括在两者之间存在其他部分的情况。相反，当提及某一部分位于另一部分的“紧邻的上方”时，意味着在两者之间没有其他部分。并且，位于成为基准的部分的“上方”或“之上”是指位于成为基准的部分的上方或下方，并不一定意味着位于重力相反方向侧的“上方”或“之上”。

此外，贯穿说明书全文，当提及某一部分“包括”某构成要素时，除非有特别相反的记载，否则意味着还可以包括其他构成要素，而不是排除其他构成要素。

此外，贯穿说明书全文，当提及“平面上”时，这是指从上方观察目标部分的情况，当提及“剖面上”时，这是指从侧面观察被垂直切割的目标部分的剖面的情况。

首先，将参照图1和图2对根据一实施例的平台清洁装置进行说明如下。

图1是示出根据一实施例的平台清洁装置的立体图，图2是示出根据一实施例的平台清洁装置的剖面图。

如图1和图2所示，根据一实施例的平台清洁装置包括：主体部1300，位于包括多个孔1110、1120的平台1100上方；清洁液供应部1310，位于主体部1300的一侧面；超声波发生部1330，位于主体部1300的另一侧面；以及空气供应部1320，位于主体部1300的上侧面。

作为借由平台清洁装置来实现清洁的对象的平台1100可以具有大致矩形的平面形状。平台1100可以包括在平面上沿第一方向X延伸的两条边和沿垂直于第一方向X的第二方向Y延伸的两条边。此时，沿第一方向X延伸的边的长度可以大于沿第二方向Y延伸的边的长度。即，平台1100可以呈沿第一方向X长长地延伸的形态。在进行喷墨印刷工艺的过程中，基板可以安置于平台1100上，并且可以沿第一方向X移动。平台1100可以沿垂直于第一方向X和第二方向Y的第三方向Z具有预定的厚度。

平台1100可以包括自平台1100的上部面至下部面沿着第三方向Z贯通的孔1110、1120。孔1110、1120可以包括用于从平台1100的上部面吸入空气的吸气孔1110和用于向平台1100的上表面供应空气的供气孔1120。平台1100可以包括多个吸气孔1110和多个供气孔1120。多个吸气孔1110和多个供气孔1120可以规则地排列。多个吸气孔1110和多个供气孔1120可以在平面上沿第一方向X和第二方向Y以矩阵形态布置。吸气孔1110和供气孔1120可以交替布置。多个吸气孔1110和多个供气孔1120的布置形态不限于此，可以进行各种变更。吸气孔1110的数量和供气孔1120的数量可以相同，也可以不同。

平台1100的多个孔1110、1120中的一部分可以连接于吸气管线1510，另一部分可以连接于供气管线1520。吸气管线1510与吸气孔1110连接，并且可以通过吸气孔1110从平台1100的上部面吸入空气。供气管线1520与供气孔1120连接，并且可以通过供气孔1120向平台1100的上部面供应空气。

平台1100可以被划分为多个区域R11、R12、...、R1n。多个区域R11、R12、...、R1n可以沿第一方向X布置。平台1100可以与多个吸气管线1510和多个供气管线1520连接。多个区域R11、R12、…、R1n可以分别连接有彼此不同的吸气管线1510。例如，多个区域R11、R12、…、R1n中的第一个区域R11可以连接有一个吸气管线1510，第二个区域R12可以连接有另一个吸气管线1510。吸气管线1510的一侧端部可以被分为多个分支而连接于位于多个区域R11、R12、…、R1n中的任一个区域的多个吸气孔1110。多个区域R11、R12、...、R1n可以分别连接有彼此不同的供气管线1520。例如，在多个区域R11、R12、...、R1n中的第一个区域R11可以连接有一个供气管线1520，第二个区域R12可以连接有另一个供气管线1520。供气管线1520的一侧端部可以被分为多个分支而连接于位于多个区域R11、R12、...、R1n中的任一个区域的多个供气孔1120。

根据一实施例的平台清洁装置的主体部1300可以具有大致矩形的平面形状。主体部1300可以包括在平面上沿第一方向X延伸的两条边和沿第二方向Y延伸的两条边。此时，沿第二方向Y延伸的边的长度可以长于沿第一方向X延伸的边的长度。即，主体部1300可以呈沿第二方向Y长长地延伸的形态。主体部1300可以沿第三方向Z具有预定的厚度。主体部1300在平面上的尺寸可以对应于平台1100的多个区域R11、R12、...、R1n中的任意一个区域的尺寸。根据一实施例，主体部1300在平面上的尺寸与多个区域中R11、R12、...、R1n的任意一个的尺寸相同。在进行清洁工艺的过程中，主体部1300可以位于与多个区域R11、R12、...、R1n中的任意一个区域对应的位置，并且在完成相应区域的清洁后，可以移动至下个区域而进行清洁工艺。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：机架1200，固定有主体部1300；以及移送部件1210，位于主体部1300与机架1200之间。机架1200可以沿第一方向X移动。尽管省略示出，但是在平台1100的两侧可以布置有沿第一方向X延伸的轨道，并且机架1200可以沿轨道移动。根据机架1200的移动，固定于机架1200的主体部1300也可以沿第一方向X移动。机架1200可以使主体部1300从平台1100的第一个区域R11移动至第n个区域R1n。移送部件1210的一侧端部可以固定于机架1200，另一侧端部可以固定于主体部1300。移送部件1210使主体部1300在第三方向Z上移动，从而可以调节主体部1300的位置。即，移送部件1210可以调整主体部1300与平台1100之间的距离。例如，在进行清洁工艺之前，移送部件1210可以降低主体部1300的高度，以使主体部1300位于平台1100的紧邻的上方。此外，在沿第一方向X移动主体部1300之前，移送部件1210可以提高主体部1300的高度，以使主体部1300与平台1100隔开预定间距。

在本实施例中，主体部1300可以沿第一方向X和第三方向Z移动，并且可以不沿第二方向Y移动。主体部1300的在第二方向Y上的长度可以与平台1100的在第二方向Y上的长度实质相同。因此，即使主体部1300不沿第二方向Y移动，也能够清洁平台1100的整个区域。然而，不限于此，主体部1300也可以沿第二方向Y移动。此时，平台清洁装置还可以包括用于使主体部1300沿第二方向Y移动的部件，并且主体部1300的在第二方向Y上的长度可以小于平台1100的在第二方向Y上的长度。

清洁液供应部1310可以结合于主体部1300的一侧面。主体部1300的内部可以是空的，清洁液供应部1310可以与主体部1300的内部连接。清洁液供应部1310可以向主体部1300的内部供应清洁液。当借由清洁液供应部1310而被供应清洁液时，主体部1300的内部可以被清洁液填充。由于主体部1300位于平台1100上方，因而当主体部1300的内部被清洁液填充时，平台1100的上部面可以被清洁液覆盖。此时，清洁液可以通过平台1100的吸气孔1110注入至吸气管线1510内部。此外，清洁液可以通过平台1100的供气孔1120注入至供气管线1520内部。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括位于主体部1300下方的密封部件1340。密封部件1340可以结合于主体部1300的下部面。在主体部1300位于平台1100上方的状态下，密封部件1340可以位于平台1100与主体部1300之间。在用清洁液填充主体部1300的内部之前，可以使主体部1300充分地向下移动，以使密封部件1340能够与平台1100接触。密封部件1340可以形成为沿主体部1300的边缘整体包围主体部1300。因此，可以借由密封部件1340防止主体部1300的下部面从平台1100浮起，并且可以密封主体部1300的内部空间。由于清洁液在主体部1300的内部空间被密封的状态下被供应至主体部1300的内部，因而可以防止清洁液从主体部1300与平台1100之间泄漏。

超声波发生部1330可以结合于主体部1300的另一侧面。超声波发生部1330可以产生超声波并向主体部1300的内部传递超声波。当在主体部1300的内部被清洁液填充的状态下产生超声波时，清洁液能够借由超声波而振动。在进行喷墨印刷工艺的过程中产生的墨雾可能暂位于平台1100上方之后通过吸气孔1110进入吸气管线1510内。根据情况，墨雾也可以通过供气孔1120进入供气管线1520内。当进入吸气管线1510或供气管线1520内的墨雾积聚在吸气管线1510或供气管线1520的内壁时，有可能阻止空气的流动。在根据一实施例的显示装置中，当在清洁液填充吸气管线1510和供气管线1520的内部的状态下清洁液借由超声波而振动时，可以分离附着在吸气管线1510和供气管线1520的内壁的墨雾。从吸气管线1510和供气管线1520分离的墨雾可以在排出清洁液时一起被排出。据此，吸气管线1510和供气管线1520的内壁可以得到清洁。

空气供应部1320可以结合于主体部1300的上侧面。空气供应部1320可以向主体部1300的内部注入空气。借由空气供应部1320注入的空气可以从主体部1300的内部的上侧部朝向下侧部移动。此外，所注入的空气可以通过吸气孔1110注入至吸气管线1510，并且可以通过供气孔1120注入至供气管线1520。在排出清洁液的过程中，从空气供应部1320供应的空气能够有助于清洁液的顺利排出。并且，可以对残留在吸气管线1510及供气管线1520的内部的清洁液进行干燥。

根据一实施例的平台清洁装置还可以包括：第一阀1512，连接于吸气管线1510的端部；第二阀1522，连接于供气管线1520的端部；以及废液储存部1600，与第一阀1512和第二阀1522连接。第一阀1512和第二阀1522可以利用三通阀(3way valve)实现。三通阀可以与三个管连接，可以分别调节三个管的开闭与否。

吸气管线1510的一侧端部可以连接于吸气孔1110，另一侧端部可以连接于第一阀1512。第一阀1512可以与吸气连接管线1514连接，吸气连接管线1514可以与用于吸入空气的部件连接。第一阀1512和废液储存部1600可以借由第一废液管线1610连接。因此，第一阀1512可以与吸气管线1510、吸气连接管线1514以及第一废液管线1610连接。

当在关闭第一阀1512的与第一废液管线1610之间的连接部，且开放与吸气管线1510之间的连接部以及与吸气连接管线1514之间的连接部的状态下驱动空气吸入部件时，位于平台1100上部的空气可以通过吸气孔1110、吸气管线1510以及吸气连接管线1514被吸入。此外，当在关闭第一阀1512的与吸气连接管线1514之间的连接部和与第一废液管线1610之间的连接部的状态下通过清洁液供应部1310供应清洁液时，吸气管线1510可以被清洁液填充。此时，所填充的清洁液不被注入至吸气连接管线1514和第一废液管线1610。此外，当在吸气管线1510被清洁液填充的状态下关闭第一阀1512的与吸气连接管线1514之间的连接部，并且开放与吸气管线1510之间的连接部和与第一废液管线1610之间的连接部时，清洁液可以通过第一废液管线1610排出至废液储存部1600。

供气管线1520的一侧端部可以连接于供气孔1120，另一侧端部可以连接于第二阀1522。第二阀1522可以与供气连接管线1524连接，供气连接管线1524可以与用于供应空气的部件连接。第二阀1522和废液储存部1600可以借由第二废液管线1620连接。因此，第二阀1522可以与供气管线1520、供气连接管线1524以及第二废液管线1620连接。

当在关闭第二阀1522的与第二废液管线1620之间的连接部，且开放与供气管线1520之间的连接部和与供气连接管线1524之间的连接部的状态下驱动空气供应部件时，从空气供应部件供应的空气可以通过供气连接管线1524、供气管线1520以及供气孔1120输送到平台1100的上部。此外，当在关闭第二阀1522的与供气连接管线1524之间的连接部和与第二废液管线1620之间的连接部的状态下通过清洁液供应部1310供应清洁液时，供气管线1520可以被清洁液填充。此时，所填充的清洁液不被注入至供气连接管线1524和第二废液管线1620。此外，当在供气管线1520被清洁液填充的状态下，关闭第二阀1522的与供气连接管线1524之间的连接部，并且开放与供气管线1520之间的连接部和与第二废液管线1620之间的连接部时，清洁液可以通过第二废液管线1620排出至废液储存部1600。

如前所述，当进行喷墨印刷工艺时，平台1100与基板之间的距离可以通过调节通过供气孔1120供应的空气和通过吸气孔1110排出的空气的量来保持恒定。在因喷墨印刷工艺的进行过程中产生的墨雾通过吸气孔1110流入至吸气管线1510而无法通过吸气管线1510正常地吸入空气的情况下，位于与该吸气管线1510连接的吸气孔1110上方的基板的高度会相对变高。据此，平台1100与基板之间的距离可能发生变化，并且可能因墨的误着陆而导致产品的不良。根据一实施例的平台清洁装置可以通过清洁吸气管线1510和供气管线1520的内部来去除墨雾，从而可以使吸气管线1510和供气管线1520内部的空气顺利地流动。据此，可以防止墨的误着陆，并可以提高产品的品质。

接着，将参照图3至图8对根据一实施例的平台清洁方法进行说明如下。一同参照在前观察的图1和图2而进行说明。

图3至图7是示出根据一实施例的平台清洁工艺的顺序的剖面图，图8是示出根据一实施例的平台清洁方法的工艺顺序图。

首先，如图3所示，将根据一实施例的平台清洁装置的主体部1300放置在平台1100上方(S1010)。平台1100可以被划分为多个区域R11、R12、...、R1n。利用固定有主体部1300的机架1200沿第一方向X移动主体部1300，使得主体部1300与多个区域R11、R12、...、R1n中的任意一个区域对应。利用移送部件1210沿第三方向Z移动主体部1300，使得主体部1300位于平台1100的紧邻的上方。此时，可以借由密封部件1340防止主体部1300的下部面从平台1100浮起。即，主体部1300的内部可以被密封。

关闭第一阀1512的与吸气连接管线1514之间的连接部和与第一废液管线1610之间的连接部。此外，关闭第二阀1522的与供气连接管线1524之间的连接部和与第二废液管线1620之间的连接部。此时，可以关闭第一阀1512的与吸气管线1510之间的连接部，关闭第二阀1522的与供气管线1520之间的连接部。然而，不限于此，也可以开放第一阀1512的与吸气管线1510之间的连接部，并开放第二阀1522的与供气管线1520之间的连接部。

如图4所示，通过清洁液供应部1310向主体部1300的内部注入清洁液(S1020)。向主体部1300的内部供应的清洁液可以通过平台1100的吸气孔1110注入至吸气管线1510的内部。此外，清洁液可以通过平台1100的供气孔1120注入至供气管线1520的内部。即，吸气管线1510和供气管线1520可以被清洁液填充。此外，吸气孔1110和供气孔1120也可以被清洁液填充。并且，主体部1300的内部也可以被清洁液填充。清洁液可以填充主体部1300的整个内部，也可以填充一部分。

由于关闭了第一阀1512的与吸气连接管线1514之间的连接部和与第一废液管线1610之间的连接部，因此清洁液不能被输送至吸气连接管线1514和第一废液管线1610的内部。此外，由于关闭了第二阀1522的与供气连接管线1524之间的连接部和与第二废液管线1620之间的连接部，因此清洁液不能被输送至供气连接管线1524和第二废液管线1620的内部。

如图5所示，驱动超声波发生部1330向清洁液供应超声波(S1030)。超声波发生部1330可以产生超声波，在主体部1300的内部被清洁液填充的状态下产生的超声波可以被传递至清洁液。清洁液可以借由超声波振动，并且积聚于吸气管线1510或供气管线1520的内壁的墨雾700可以与内壁分离。被分离的墨雾700可以与清洁液混合。

通过在预定时间内向清洁液供应超声波，能够完全分离积聚于吸气管线1510或供气管线1520的内壁的墨雾700。超声波发生部1330的驱动时间可以考虑吸气管线1510和供气管线1520的尺寸、污染的程度等来决定。

如图6所示，从吸气管线1510和供气管线1520的内壁分离墨雾700之后，排出混合有墨雾700的清洁液(S1040)。当使第一阀1512的与吸气连接管线1514之间的连接部保持关闭的状态，并且开放与第一废液管线1610之间的连接部时，填充于吸气管线1510的清洁液可以通过第一废液管线1610排出至废液储存部1600。如果是第一阀1512的与吸气管线1510之间的连接部处于关闭的状态，则应将其开放，如果是处于开放的状态，则保持开放的状态即可。与此相同地，当使第二阀1522的与供气连接管线1524之间的连接部保持关闭的状态，并且开放与第二废液管线1620之间的连接部时，填充于供气管线1520的清洁液可以通过第二废液管线1620排出至废液储存部1600。如果是第二阀1522的与供气管线1520之间的连接部处于关闭的状态，则应将其开放，如果是处于开放的状态，则保持开放的状态即可。填充于主体部1300内的清洁液可以通过吸气管线1510或供气管线1520排出，并且可以经过第一废液管线1610或第二废液管线1620输送至废液储存部1600。废液储存部1600可以被混合有墨雾700的清洁液填充。

如图7所示，可以向主体部1300的内部注入空气来干燥主体部1300的内部(S1050)。空气供应部1320可以向主体部1300的内部注入空气，所注入的空气可以从主体部1300的内部的上侧部朝向下侧部移动。在排出清洁液的步骤中，清洁液朝向重力作用的方向移动，因此能够实现顺利的排出。然而，清洁液的一部分可能残留在吸气管线1510或供气管线1520的内壁或平台1100的上部面。借由空气供应部1320注入的空气可以朝向平台1100的上部面移动，可以通过吸气孔1110注入至吸气管线1510，并且可以通过供气孔1120注入至供气管线1520。据此，能够将残留的清洁液更加顺利地排出，也能够使其得到干燥。即，吸气管线1510和供气管线1520的内部可以被干燥。

然后，使主体部1300移动而使其对应到下个区域之后，可以反复进行在先说明的清洁工艺。如果反复进行相当于构成平台1100的区域R11、R12、...、R1n的数量的清洁工艺，则可以完成对整个平台1100的清洁。

当完成清洁整个平台1100的工艺时，关闭第一阀1512的与第一废液管线1610之间的连接部，并关闭第二阀1522的与第二废液管线1620之间的连接部。接着，当开放与吸气管线1510之间的连接部和与吸气连接管线1514之间的连接部并驱动空气吸入部件时，位于平台1100上部的空气可以通过吸气孔1110、吸气管线1510以及吸气连接管线1514被吸入。此外，当开放与供气管线1520之间的连接部和与供气连接管线1524之间的连接部并驱动空气供应部件时，从空气供应部件供应的空气可以通过供气连接管线1524、供气管线1520以及供气孔1120输送至平台1100的上部。接着，可以将基板放置于平台1100上方并使其移动，并且可以进行喷墨印刷工艺。通过利用根据一实施例的平台清洁装置进行清洁工艺之后进行喷墨印刷工艺，从而可以借由墨雾被去除的吸气管线1510和供气管线1520来使空气的流动变得顺利，并且可以恒定地保持平台1100与基板之间的距离。据此，可以防止在喷墨印刷工艺中墨发生误着陆，提高产品的品质。

然后，将参照图9对根据另一实施例的平台清洁装置进行说明如下。

如图9所示的实施例的平台清洁装置与根据如图1和图2所示的实施例的平台清洁装置具有相同的部分，因此省略对相同的部分的说明。在本实施例中，主体部的尺寸与平台的尺寸对应，这一点与在先的实施例不同，以下进行说明。

图9是示出根据另一实施例的平台清洁装置的立体图。

如图9所示，根据另一实施例的平台清洁装置包括位于平台2100上方的主体部2300。与在先的实施例相似地，平台2100包括多个孔，多个孔中的一部分可以与吸气管线2510连接，多个孔中的另一部分可以与供气管线2520连接。主体部2300结合有清洁液供应部、超声波发生部以及空气供应部。吸气管线2510通过第一阀2512连接于吸气连接管线2514和第一废液管线2610。供气管线2520通过第二阀2522连接于供气连接管线2524以及第二废液管线2620。第一废液管线2610和第二废液管线2620连接于废液储存部2600。

在前述实施例中，主体部1300的在平面上的尺寸可以对应于平台1100的多个区域R11、R12、...、R1n中的任意一个区域的尺寸，在本实施例中，主体部2300的在平面上的尺寸可以对应于平台2100的尺寸或者与平台2100的尺寸相同。即，主体部2300的在平面上的尺寸可以对应于平台2100的多个区域R21、R22、...、R2n的整个区域。

在前述实施例中，可以将主体部1300以与多个区域R11、R12、…、R1n中的任意一个区域对应的方式放置后进行清洁工艺，并且在将主体部1300移动至其他区域的同时反复进行清洁工艺。在本实施例中，可以将主体部2300以与整个平台2100对应的方式放置后一次性地进行清洁工艺。据此，可以简化清洁工艺，并且缩短工艺时间。

主体部2300可以沿第二方向Y和第三方向Z移动。主体部2300可以不沿第一方向X移动。主体部2300可以固定于机架2200。机架2200可以沿第二方向Y移动，并且根据机架2200的移动，主体部2300也可以沿第二方向Y移动。在主体部2300与机架2200之间可以放置有移送部件2210。移送部件2210可以通过沿第三方向Z移动主体部2300来调节主体部2300的位置。即，移送部件2210可以调整主体部2300与平台2100之间的距离。例如，在进行清洁工艺之前，机架2200可以沿第二方向Y移动而使主体部2300位于平台2100的上方。接着，移送部件2210可以降低主体部2300的高度以密封主体部2300的内部。当清洁工艺结束时，移送部件2210可以增加主体部2300的高度，使得主体部2300从平台2100隔开预定间距。随后，机架2200可以沿第二方向Y移动，以使主体部2300不与平台2100重叠。

以上对本实用新型的实施例进行了详细说明，但本实用新型的权利范围并不限定于此，本领域技术人员利用权利要求书中定义的本实用新型的基本概念进行的各种变形及改良形态也属于本实用新型的权利范围。

Claims (11)

1.一种平台清洁装置，其特征在于，包括：

主体部，位于包括多个孔的平台上方；

清洁液供应部，位于所述主体部的一侧面；

超声波发生部，位于所述主体部的另一侧面；

空气供应部，位于所述主体部的上侧面；

第一阀，与连接于所述多个孔中的一部分的吸气管线的端部连接；以及

第二阀，与连接于所述多个孔中的另一部分的供气管线的端部连接。

2.根据权利要求1所述的平台清洁装置，其特征在于，

所述多个孔包括：

吸气孔，连接于所述吸气管线；以及

供气孔，连接于所述供气管线，

其中，通过所述吸气孔和所述吸气管线能够吸入位于所述平台上方的空气，

通过所述供气孔和所述供气管线能够向所述平台上方供应空气。

3.根据权利要求2所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

吸气连接管线，连接于所述第一阀，

其中，通过所述吸气连接管线吸入位于所述平台上方的所述空气。

4.根据权利要求2所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

供气连接管线，连接于所述第二阀，

其中，通过所述供气连接管线向所述平台上方供应所述空气。

5.根据权利要求2所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

废液储存部，储存所排出的清洁液；

第一废液管线，连接于所述第一阀与所述废液储存部之间；以及

第二废液管线，连接于所述第二阀与所述废液储存部之间。

6.根据权利要求2所述的平台清洁装置，其特征在于，

所述第一阀和所述第二阀利用三通阀实现。

7.根据权利要求1所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

机架，固定有所述主体部，

其中，所述机架能够使所述主体部在所述平台上方移动。

8.根据权利要求7所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

移送部件，位于所述机架与所述主体部之间，

其中，所述移送部件能够调节所述主体部与所述平台之间的距离。

9.根据权利要求1所述的平台清洁装置，其特征在于，

所述平台包括多个区域，

所述主体部的在平面上的尺寸与所述多个区域中的任意一个的尺寸相同。

10.根据权利要求1所述的平台清洁装置，其特征在于，

所述主体部的在平面上的尺寸与所述平台的尺寸相同。

11.根据权利要求1所述的平台清洁装置，其特征在于，还包括：

密封部件，位于所述主体部的下部面，

其中，在进行清洁工艺期间，所述主体部的内部被所述密封部件密封。

Images