CN219278840U - 导轨固定装置和半导体加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种导轨固定装置和半导体加工设备，该导轨固定装置包括固定部；沿竖直方向设置的竖板；导轨，固定于竖板，导轨沿水平方向延伸；调节机构，调节机构沿水平方向间隔设置，固定部与竖板通过调节机构连接，调节机构包括机构本体以及调节螺杆，机构本体的一端与竖板固定连接，调节螺杆沿竖直设置并与机构本体的另一端螺纹连接，调节螺杆的端部由机构本体伸出并抵触于固定部。通过这样的方式，通过旋转调节螺栓，从而对固定有导轨的竖板进行水平度调节，以使得导轨具有水平度。

Description

导轨固定装置和半导体加工设备

技术领域

本实用新型涉及半导体材料加工技术领域，具体地，涉及一种导轨固定装置和半导体加工设备。

背景技术

随着硅半导体产业的迅猛发展，对硅晶片(晶圆)等工件的加工具有更高的要求。在晶圆加工的过程中，需要将硅晶柱切割为片状的晶圆，再通过设置导轨以及和导轨滑动连接的搬运装置，将晶圆夹持或吸附后并运输至设定的加工位置。

在晶圆的运输移动的过程中，需要保持导轨的水平度，从而保证搬运装置在运输晶圆的过程中的水平度。导轨水平度的细微差异，会造成在运输过程中晶圆的损坏或是晶圆无法与加工装置对准的问题。

有鉴于此，如何保证搬运装置在运输晶圆过程中的水平度，是目前亟需解决的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种导轨固定装置和半导体加工设备，通过结构优化，可调整导轨的水平度，从而为半导体结构设备的搬运装置移动的水平度提供保证。

本实用新型的一个方面，提供了一种导轨固定装置，包括固定部；沿竖直方向设置的竖板；导轨，固定于竖板，导轨沿水平方向延伸；调节机构，调节机构沿水平方向间隔设置，固定部与竖板通过调节机构连接，调节机构包括机构本体以及调节螺杆，机构本体的一端与竖板固定连接，调节螺杆沿竖直设置并与机构本体的另一端螺纹连接，调节螺杆的端部由机构本体伸出并抵触于固定部。

通过调节所述调节机构，对竖板的轴向高度进行调节，从而通过竖板改变导轨在水平方向的角度，以使得固定于竖板的导轨具有水平度。从而保证搬运装置在运输过程中的水平度。

可选地，调节螺杆内置于限位螺母，限位螺母压抵于机构本体以构成双螺母锁紧结构。

可选地，机构本体包括第一本体和第二本体，第一本体垂直于第二本体，第一本体沿竖直方向延伸，并通过第一固定组件固定于竖板，第二本体通过第二固定组件与固定部连接。

可选地，第一本体与第二本体为一体结构。

可选地，在固定部与竖板相贴合的表面开设第一凹槽，第一固定组件包括第一螺杆与第一T形螺母，第一T形螺母嵌入第一凹槽内，并在竖板厚度方向与第一凹槽形成限位配合，第一螺杆与竖板、第一本体以及第一T形螺母螺纹连接。

可选地，在固定部与第二本体相贴合的表面开设第二凹槽，第二固定组件包括第二螺杆以及第二T形螺母，第二T形螺母嵌入第二凹槽内，并在竖直方向与第二凹槽形成限位配合，第二螺杆与第二本体以及第二T形螺母螺纹连接。

可选地，每个调节机构包括多个第一固定组件。

可选地，导轨固定装置包括三个调节机构。

可选地，每个调节机构包括多个调节螺杆。

可选地，机构本体在竖直方向通过第二固定组件与固定部连接，调节螺杆沿水平方向间隔设置，第二固定组件位于相邻的两个调节螺杆之间。

在本实用新型的另一个方面，提供一种半导体加工设备，半导体加工设备包括机架和搬运装置，机架上安装有上述的导轨固定装置，搬运装置与导轨滑动连接。

通过以下参照附图对本说明书的示例性实施例的详细描述，本说明书的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本说明书的实施例，并且连同其说明一起用于解释本说明书的原理。

图1是本实用新型实施例中半导体加工设备的正视图；

图2是图1的局部放大图；

图3是图1的局部侧剖图。

附图标记说明：

1、固定部；11、第一凹槽；12、第二凹槽；

2、竖板；

3、导轨

4、搬运装置；

5、调节机构

6、机构本体；61、第一本体；62、第二本体；

7、调节螺杆；71、限位螺母；

8、第一固定组件；81、第一螺杆；

9、第二固定组件；91、第二螺杆；92、第二T形螺母。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。

如图1-图3中所示，X轴方向为水平方向，Y轴方向为竖直方向，Z轴方向为竖板2的厚度方向。

根据本实用新型的一个实施例，提供了一种用于半导体加工设备的导轨固定装置。参见图1-图3，该导轨固定装置包括固定部1，以及沿竖直方向设置的竖板2。固定部1可以为支架，支架作为支承部件可以固定于墙体，或是放置于地面。竖板2固定有导轨3，导轨3大致沿水平方向延伸。导轨固定装置可以包括一条导轨3，也可以为多条导轨3。在导轨3上滑动连接有搬运装置4，搬运装置4用以抓取晶圆。搬运装置4能够带动晶圆沿导轨的延伸方向移动。

参见图1，该导轨固定装置包括调节机构5。固定部1与竖板2通过调节机构5连接。调节机构5包括机构本体6以及调节螺杆7。机构本体6的一端与竖板2固定连接。调节螺杆7沿竖直设置并与机构本体6的另一端螺纹连接。调节螺杆7的端部抵触于固定部1。

例如，机构本体6开设与调节螺杆7相适配的螺纹孔。螺纹孔的孔壁具有内螺纹结构，调节螺杆7的杆壁具有与内螺纹结构相适配的外螺纹结构。调节螺杆7与机构本体6通过内螺纹结构和外螺纹结构之间的配合形成连接。

参见图3，调节螺杆7在竖直方向具有两个端部，位于机构本体6靠近固定部1的支撑端(图中未示出)抵触于固定部1。位于机构本体6与固定部1相背一侧的端部为操作端，可以通过作用于操作端的外力以转动调节螺杆7。固定部1对调节螺杆7形成竖直方向的支承。调节螺杆7能够相对于固定部1在水平方向上沿其中轴线转动。当调节螺杆7转动时，机构本体6能够带动竖板2沿调节螺杆7的轴向一同移动。

具体地，通过旋转调节螺杆7，从而控制调节螺杆7相对于机构本体6的伸缩尺寸，也即能够调节调节螺杆7的支撑端伸出机构本体6的长度。当调节螺杆7在旋入机构本体6的方向转动时，调节螺杆7的支承端伸出机构本体6的长度越长。由于调节螺杆7在固定部1的支撑下，其轴向位置不发生变化。在外螺纹结构和内螺纹结构的配合下，机构本体6带动竖板相对于固定部1沿轴向向上移动。反之，则机构本体6向下移动。当竖板2设置有调节螺杆7的部分发生轴向高度变化时，竖板2在水平方向上能够发生角度的变化。位于竖板2的导轨3也发生角度的变化，通过这样的方式，调节导轨3在水平方向的角度直至导轨3与水平面相平行。

例如，多个调节机构5在竖板2的水平方向间隔设置。通过调节不同位置的调节机构5，对竖板2不同位置的轴向高度进行调节，从而通过竖板2改变导轨3在水平方向的角度，以使得固定于竖板2的导轨3具有水平度。从而保证搬运装置在运输过程中的水平度。在实际调节的过程中，可以先调节一个调节机构5再调节另一个调节机构5，也可以是同时对多个调节机构5进行调节。

在一个例子中，导轨固定装置包括三个调节机构5，调节机构5分别位于竖板2在水平方向的两端以及竖板2在水平方向中部的位置。

如图1所示，三个调节机构5中位于竖板2在水平方向的两端的两个调节机构5相对于竖板2在水平方向的中线对称设置。在中线位置设置第三个调节机构5。这样，能够增加固定部1和竖板2之间的连接强度，且能够更加精准地通过调节竖板2在竖直方向的高度以调节导轨3的水平度。

可以理解的是，调节机构5的数量并不限定三个，对调节机构5的数量不做具体的限定。

在一个例子中，参见图2以及图3，机构本体6包括第一本体61和第二本体62，第一本体61垂直于第二本体62。例如，第一本体61和第二本体62为一体结构。第一本体61沿竖直方向延伸，并通过第一固定组件8固定于竖板2，第二本体62通过第二固定组件9与固定部1连接。第一本体61和第二本体62成L形结构。其中，第二本体62压持在固定部1的上表面。在第二本体62与固定部1之间设置第二固定组件9，第二固定组件9将第二本体62与固定部1之间形成固定连接。

参见图3，第一本体61沿竖直方向延伸，竖板2的远离固定部1的角部嵌入于第一本体61与第二本体62相连接位置。第一本体61位于竖板2远离固定部1的一侧。如图1和图2所示，在第一本体61与竖板2之间设置第一固定组件8，以将竖板2与第一本体61相固定。

进一步地，如图2所示，调节螺杆7内置于限位螺母71，限位螺母71与第二本体62相配合以构成双螺母锁紧结构。双螺母锁紧结构是指调节螺杆7能够与第二本体62的螺纹结构和限位螺母71的螺纹结构同时形成连接。当限位螺母71压抵于第二本体62时，形成双螺母锁紧结构。

例如，限位螺母71位于机构本体6远离固定部1的一侧。如图2所示，限位螺母71位于调节螺杆7的第二本体62远离固定部1的一侧。在实际使用的过程中，通过旋转调节螺杆7将竖板2在水平方向的角度进行调整，将锁紧螺母移动至与第二本体62远离固定部1的表面相接触的位置，以与第二本体62形成锁紧，以防止在工作过程中，竖板2与调节螺杆7之间发生松动。

在实际使用的过程中，使用第一固定组件8将竖板2和第一本体61固定连接后，使用第二固定组件9通过第二本体62将竖板2挂装于固定部1上。旋转调节螺杆7以调节竖板2的高度，从而调节竖板2上的导轨3相对于水平面的角度。当位于竖板2的导轨3处于水平的位置时，锁紧限位螺母71，并将第二固定组件9锁紧，以能够将竖板2保持在设定的位置。

在一个例子中，例如图1-图3所示，在固定部1与竖板2贴合的表面开设第一凹槽11。第一固定组件8包括第一螺杆81与第一T形螺母。第一T形螺母嵌入第一凹槽11内，并在竖板2的厚度方向与第一凹槽11形成限位配合，第一螺杆81与竖板2、第一本体61以及第一T形螺母螺纹连接。

通过这样的方式，使得第一螺杆81能够将竖板2、固定部1进行锁紧。提高竖板2与固定部1的连接强度，避免竖板2相对于固定部1发生偏移。

例如，参见图2，为了进一步提高每一个调节机构5与竖板2和固定部1之间的连接强度，每个调节机构5包括多个第一固定组件8。例如，包括两个第一固定组件8，两个第一固定组件8沿水平方向x轴所示方向间隔设置。

例如，每个调节机构5包括多个调节螺杆7。例如，在每个调节机构5包括两个调节螺杆7，两个调节螺杆7沿水平方向x轴所示方向间隔设置。

例如，参见图3，在固定部1与第二本体62相接触的表面开设第二凹槽12，第二固定组件9包括第二螺杆91以及第二T形螺母92。第二T形螺母92嵌入第二凹槽12内，并在竖直方向y轴所示方向与第二凹槽12形成限位配合。第二螺杆91与第二本体62以及第二T形螺母92螺纹连接。通过这样的方式，能够提高第二本体62与固定部1之间的连接强度。

可选地，调节螺杆7沿水平方向x轴所示方向间隔设置，第二固定组件9位于相邻的两个调节螺杆7之间。

例如，第二固定螺杆的底部端面与固定部1的上表面相抵触的部分与第二凹槽12间隔设置。第二固定组件9位于两个调节螺杆7的中线上。这样，能够进一步增加调节机构5的结构强度。

根据本实用新型的多个实施例，提供一种半导体加工设备，半导体加工设备包括机架和搬运装置，机架上安装有上述的导轨固定装置，搬运装置与导轨滑动连接。

本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。

Claims (11)

1.一种导轨固定装置，用于半导体加工设备，其特征在于，包括：

固定部(1)；

沿竖直方向设置的竖板(2)；

导轨(3)，固定于所述竖板(2)，所述导轨(3)沿水平方向延伸；

调节机构(5)，所述固定部(1)与所述竖板(2)通过所述调节机构(5)连接，所述调节机构(5)包括机构本体(6)以及调节螺杆(7)，所述机构本体(6)与所述竖板(2)固定连接，所述调节螺杆(7)沿竖直方向设置并与所述机构本体(6)螺纹连接，所述调节螺杆(7)的端部由所述机构本体(6)伸出并抵触于所述固定部(1)。

2.根据权利要求1所述导轨固定装置，其特征在于，所述调节螺杆(7)内置于限位螺母(71)，所述限位螺母(71)压抵于所述机构本体(6)以构成双螺母锁紧结构。

3.根据权利要求1所述导轨固定装置，其特征在于，所述机构本体(6)包括第一本体(61)和第二本体(62)，所述第一本体(61)垂直于所述第二本体(62)，所述第一本体(61)沿竖直方向延伸，并通过第一固定组件(8)固定于所述竖板(2)，所述第二本体(62)通过第二固定组件(9)与所述固定部(1)连接。

4.根据权利要求3所述导轨固定装置，其特征在于，所述第一本体(61)与所述第二本体(62)为一体结构。

5.根据权利要求3所述导轨固定装置，其特征在于，在所述固定部(1)与所述竖板(2)相贴合的表面开设第一凹槽(11)，所述第一固定组件(8)包括第一螺杆(81)与第一T形螺母，所述第一T形螺母嵌入所述第一凹槽(11)内，并在所述竖板厚度方向与第一凹槽(11)形成限位配合，所述第一螺杆(81)与所述竖板(2)、所述第一本体(61)以及所述第一T形螺母螺纹连接。

6.根据权利要求3所述导轨固定装置，其特征在于，在所述固定部(1)与所述第二本体(62)相贴合的表面开设第二凹槽(12)，所述第二固定组件(9)包括第二螺杆(91)以及第二T形螺母(92)，所述第二T形螺母(92)嵌入所述第二凹槽(12)内，并在竖直方向与所述第二凹槽(12)形成限位配合，所述第二螺杆(91)与所述第二本体(62)以及所述第二T形螺母(92)螺纹连接。

7.根据权利要求3所述导轨固定装置，其特征在于，每个所述调节机构(5)包括多个第一固定组件(8)。

8.根据权利要求1-7任一项所述导轨固定装置，其特征在于，所述导轨固定装置包括三个调节机构(5)，三个所述调节机构(5)沿水平方向间隔排布。

9.根据权利要求1-7任一项所述导轨固定装置，其特征在于，每个所述调节机构(5)包括多个调节螺杆(7)。

10.根据权利要求9所述导轨固定装置，其特征在于，所述机构本体(6)在竖直方向通过第二固定组件(9)与固定部(1)连接，所述调节螺杆(7)沿水平方向间隔设置，所述第二固定组件(9)位于相邻的两个调节螺杆(7)之间。

11.一种半导体加工设备，包括机架和搬运装置，其特征在于，所述机架上安装有权利要求1-10任一项所述的导轨固定装置，所述搬运装置与所述导轨滑动连接。

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