CN219242746U - 一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀 - Google Patents

Abstract

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀。本实用新型提供的用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。本实用新型中的用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，能够将密封圈可靠地安装在通气阀上，并且保证过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。

Description

一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀。

背景技术

随着半导体技术的不断发展，晶圆制程和存储过程中对环境洁净度的要求越来越高，如果遭到微粒、金属的污染或者氧气的氧化，很容易造成晶圆内电路功能的损坏，晶圆良率下降。

在对存储半导体晶圆的收纳容器进行清洗后，需要去除收纳容器内空气中残留的水分以及微粒等杂质，并且在去除水分杂质后需要在收纳容器上设置通气阀以及过滤网，保持收纳容器正常换气的同时，防止外部空气中的微粒杂质进入收纳容器。

现有通气阀以及过滤网在安装时，为了满足气密性要求，在过滤网的安装部位设置有密封圈，在密封圈的安装过程中，非常容易被通气阀的内部结构挤压划伤，一方面无法保证密封圈的可靠安装，另一方面使过滤网与通气阀间隙部位的密封性大打折扣。

基于此，特提出本实用新型。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，能够将密封圈可靠地安装在通气阀上，并且保证过滤网与通气阀之间具有良好的密闭性。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。

在可选的实施方式中，所述导向筒可活动地安装在阀盖上，且位于所述推动座的径向里侧，所述密封圈抵接在所述推动座的端面上。

在可选的实施方式中，所述阀盖上设置有环形插槽，所述导向筒包括插接段，所述插接段安装在所述环形插槽中。

在可选的实施方式中，所述导向筒还包括用于对所述密封圈挤压安装的挤压段，所述挤压段的外径大于所述插接段的外径，所述导向锥面设置在所述插接段及所述挤压段之间。

在可选的实施方式中，所述阀盖内部设置有气路接口，所述气路接口设置在所述推动座的径向里侧，所述环形插槽设置在所述气路接口与所述推动座之间。

在可选的实施方式中，所述阀座与所述气路接口上均设置有通气孔，所述通气孔的位置相对，所述过滤网设置在所述气路接口与所述阀座之间。

在可选的实施方式中，所述气路接口突出于所述推动座，所述导向筒的端面与所述过滤网紧贴设置。

在可选的实施方式中，所述阀盖与所述阀座分体设置，所述阀座安装在收纳容器的里侧，所述阀盖上设置有连接套筒，所述阀座上设置有突出于所述收纳容器的安装接口，所述连接套筒与所述安装接口配合连接。

在可选的实施方式中，所述连接套筒的里侧壁上设置有内螺纹，所述安装接口的外侧壁上设置有外螺纹，所述连接套筒与所述安装接口配合螺接。

在可选的实施方式中，所述连接套筒的里侧壁上设置有卡接块，所述安装接口的外侧壁上设置有卡接槽，所述卡接块与所述卡接槽一一对应，所述连接套筒与所述安装接口配合卡接。

通过在阀座与阀盖之间设置导向筒及密封圈，能够使密封圈对过滤网的外缘部位进行密封，并能够将导向筒及密封圈同时挤压在阀座与阀盖之间，保证对阀座与阀盖间隙的密封效果。

通过将密封圈活动套接在导向筒上，并在阀盖上设置推动座，能够在阀盖阀座配合连接时，将密封圈推动至过滤网的外缘部位，有效保证了密封圈的可靠安装。

结合在导向筒上设置的导向锥面，方便了对密封圈的推动安装，同时减少了对密封圈的挤压损伤，有效保证了密封效果。

同时，通过推动座以及导向筒的相互配合，实现了密封圈定位安装的功能，防止密封圈在过滤网部位的挤压偏斜，有效保证了安装精准度。

本申请的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本申请中用于半导体晶圆收纳容器的通气阀的结构示意图；

图2为本申请中阀座与阀盖配合连接后的结构示意图。

图标：

1-阀盖；11-连接套筒；12-推动座；13-气路接口；14-环形插槽；15-卡接块；

2-阀座；21-安装接口；

3-通气孔；

4-过滤网；

5-导向筒；51-插接段；52-导向段；53-挤压段；54-导向锥面；

6-密封圈。

具体实施方式

为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请中用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，主要用于半导体晶圆的存储中，具体安装在半导体晶圆的收纳容器上，通过设置过滤网4保证收纳容器在换气的同时，防止外部空气中的微粒杂质进入收纳容器。

为了满足气密性要求，通气阀内的密封圈6在安装时容易别通气阀的内部结构挤压划伤，且容易变形跑偏，使过滤网4与通气阀间隙部位的密封性大打折扣。

通过在通气阀内设置导向筒5的形式，便于将密封圈6稳定可靠地安装在过滤网4的外缘部位，并且使通气阀与过滤网4之间得到可靠密封。

参见图1，本实用新型中用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，主体结构包括阀座2以及阀盖1，阀座2以及阀盖1分体连接，其中阀座2固定安装在收纳容器的内部，且至少一部分突出于收纳容器，以供阀盖1配合连接。

本申请中并不对阀座2在收纳容器中的安装位置进行具体限定，阀座2可固定安装在收纳容器的底壁上，也可以安装在收纳容器的侧壁或者盖体上。

在阀座2与阀盖1之间设置有过滤网4、密封圈6以及导向筒5，其中，过滤网4主要对收纳容器外部空气中的颗粒进行拦截，防止微粒进入收纳容器对半导体晶圆造成污染。

密封圈6主要起到密封作用，通过将密封圈6安装在过滤网4的外缘，防止空气从阀座2与阀盖1的间隙中进入收纳容器。

导向筒5在密封圈6的安装过程中主要起到良好的导向以及挤压作用，通过将密封圈6活动套接在导向筒5上，并结合在阀盖1上设置的推动座12，能够在阀座2与阀盖1的配合连接过程中，将密封圈6推动至过滤网4的外缘部位，并进行有效密封，有效阻断外部空气在阀座2与阀盖1间隙中的进入通道。

在阀盖1与阀座2配合连接过程中，密封圈6活动套接在导向筒5上，进一步地，密封圈6可活动地套接在导向筒5的导向锥面54上，推动座12包括设置在阀盖1上的环形座。

密封圈6与推动座12的位置相对，能够使推动座12直接推动密封圈6在导向锥面54上移动，并最终移动至大于密封圈6外径的导向筒5端部。

导向筒5以及导向锥面54有效改善了密封圈6在通气阀内部的安装工况，能够在阀座2与阀盖1完全配合连接后，使密封圈6可靠地挤压在推动座12与过滤网4之间，同时使密封圈6抱箍固定在导向筒5端部，有效保证了通气阀的密封效果。

相较于现有通气阀的内部组件，推动座12以及导向锥面54的设置能够使密封圈6整体在导向筒5的外围周向上移动，以利于密封圈6在导向筒5上的可靠安装，防止在挤压变形中出现偏斜。

在其中一个具体的实施例中，导向筒5可活动地安装在阀盖1上，具体地，导向筒5可活动地插接在阀盖1上，能够在阀盖1与阀座2的配合连接中逐渐受到挤压，并最终挤压安装在阀盖1与阀座2之间。

阀盖1的本身结构包括在径向上由外向内依次设置的连接套筒11、推动座12以及气路接口13，在连接套筒11与推动座12之间，以及推动座12与气路接口13之间分别设置有环槽。连接套筒11具体与阀座2的安装接口21相配合，实现阀盖1与阀座2的配合连接。

导向筒5设置在推动座12的径向里侧，套接在导向筒5上的密封圈6与推动座12的端部位置相对，进一步地，在阀盖1与阀座2的配合连接过程中，密封圈6抵接在推动座12的端面上，能够使其最终挤压密封在过滤网4、导向筒5以及推动块所形成的紧密空间中，满足对过滤网4外缘的密封要求。

本实施例中在阀盖1上设置有环形插槽14，环形插槽14具体设置在推动座12与气路接口13之间，导向筒5包括内侧壁及外侧壁，内侧壁为直筒段，外侧壁按照不同的功能区分为插接段51、导向段52以及挤压段53。

挤压段53的外径大于插接段51的外径，导向锥面54设置在导向段52上，具体沿密封圈6的安装方向逐渐外扩，基于密封圈6的柔性基础，能够使密封圈6在导向锥面54上逐渐外扩变形，从而利于密封圈6在外径大于其直径的导向筒5上的安装。

导向筒5上的挤压段53设置在导向筒5的端部，具体设置在导向筒5靠近过滤网4的一端，挤压段53的外径大于插接段51的外径，导向锥面54设置在插接段51与挤压段53之前，能够在推动座12的推动作用下，使密封圈6可靠地在导向锥面54上逐渐变形外扩，最终在挤压段53部位对通气阀形成良好的密封。

气路接口13设置在推动座12的径向里侧，推动座12具体为环状基座，基于其对密封圈6的推动，环状基座的厚度不小于密封圈6的直径。环形插槽14具体设置在气路接口13与推动座12之间的环状间隙中，能够为导向筒5的插接段51提供有效的插接空间。

进一步地，本实施例中的导向筒5与环形插槽14紧密配合，能够防止导向筒5沿其轴向进行转动，避免了密封圈6在装配时发生扭曲形变，从而确保密封圈6安装的稳定可靠性。

本实用新型中在阀座2与气路接口13上均设置有通气孔3，位于阀座2上的通气孔3与气路接口13端部的通气孔3位置相对，构成了通气阀内部的气路通道，过滤网4设置在气路接口13与阀座2之间，能够对气路通道中通过的气体进行过滤，将微粒杂质拦截在过滤网4的外侧，保证了收纳容器内部空间的洁净度。

进一步地，气路接口13的端面突出于推动座12的端面，能够在阀盖1与阀座2配合连接后使密封圈6正好挤压在气路接口13端面的外围周向，同时导向筒5的端面紧贴设置在过滤网4的外侧面上，保证了密封效果。

结合图2，在另一个优选的实施例中，阀盖1与阀座2分体设置，阀座2固定安装在收纳容器的里侧，包括与阀盖1配合连接的安装接口21，安装接口21由收纳容器内穿出，突出于收纳容器。

阀盖1上的连接套筒11与阀座2上的安装接口21配合连接，具体以对接的形式将通气阀整体安装在收纳容器上，且对导向筒5、密封圈6以及过滤网4对接压紧，完成通气阀的密闭安装。

本实用新型中的阀盖1与阀座2能够通过螺纹配合的关系进行螺纹对接，也可以通过卡接的形式进行组配安装。

当阀盖1与阀座2进行螺纹连接时，在连接套筒11的里侧壁上设置有内螺纹，安装接口21的外侧壁上设置有外螺纹，连接套筒11与安装接口21通过内外螺纹配合螺接。

当阀盖1与阀座2进行卡接时，如图1-图2中阀盖1与阀座2的连接形式，在连接套筒11的里侧壁上设置有多个卡接块15，安装接口21的外侧壁上设置有多个卡接槽，通过卡接块15与卡接槽的配合，使两者配合卡接。

卡接块15与卡接槽分别设置在连接套筒11与安装接口21的轴向上，且卡接块15与卡接槽为一一对应的关系，能够保证卡接安装的受力均匀。

需要重点指出的是，通过导向筒5、推动座12以及过滤网4的相互配合，能够在阀盖1与阀座2配合连接后，将密封圈6可靠地安装在上述结构组成的空间中，有效保证了通气阀的密封效果，同时利于柔性密封圈6在通气阀内的变形挤压安装。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例中的特征可以相互结合。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于半导体晶圆收纳容器的通气阀，其特征在于，包括阀座以及阀盖，所述阀座与所述阀盖之间设置有过滤网、密封圈以及导向筒，所述密封圈活动套接在所述导向筒上，所述阀盖上设置有用于推动所述密封圈以对所述过滤网外缘密封的推动座，所述导向筒上设置有导向锥面。

2.根据权利要求1所述的通气阀，其特征在于，所述导向筒可活动地安装在阀盖上，且位于所述推动座的径向里侧，所述密封圈抵接在所述推动座的端面上。

3.根据权利要求1所述的通气阀，其特征在于，所述阀盖上设置有环形插槽，所述导向筒包括插接段，所述插接段安装在所述环形插槽中。

4.根据权利要求3所述的通气阀，其特征在于，所述导向筒还包括用于对所述密封圈挤压安装的挤压段，所述挤压段的外径大于所述插接段的外径，所述导向锥面设置在所述插接段及所述挤压段之间。

5.根据权利要求3所述的通气阀，其特征在于，所述阀盖内部设置有气路接口，所述气路接口设置在所述推动座的径向里侧，所述环形插槽设置在所述气路接口与所述推动座之间。

6.根据权利要求5所述的通气阀，其特征在于，所述阀座与所述气路接口上均设置有通气孔，所述通气孔的位置相对，所述过滤网设置在所述气路接口与所述阀座之间。

7.根据权利要求5所述的通气阀，其特征在于，所述气路接口突出于所述推动座，所述导向筒的端面与所述过滤网紧贴设置。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的通气阀，其特征在于，所述阀盖与所述阀座分体设置，所述阀座安装在收纳容器的里侧，所述阀盖上设置有连接套筒，所述阀座上设置有突出于所述收纳容器的安装接口，所述连接套筒与所述安装接口配合连接。

9.根据权利要求8所述的通气阀，其特征在于，所述连接套筒的里侧壁上设置有内螺纹，所述安装接口的外侧壁上设置有外螺纹，所述连接套筒与所述安装接口配合螺接。

10.根据权利要求8所述的通气阀，其特征在于，所述连接套筒的里侧壁上设置有卡接块，所述安装接口的外侧壁上设置有卡接槽，所述卡接块与所述卡接槽一一对应，所述连接套筒与所述安装接口配合卡接。

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