CN219233372U - 可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及石墨舟清洗设备技术领域，且公开了可延长使用寿命的PE‑poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机壳，所述等离子清洗机壳的顶部设置有辅助处理箱，所述辅助处理箱的背面设置有加热装置，所述辅助处理箱的内部设置有清洗装置，所述等离子清洗机壳的内部设置有真空吸泵，所述加热装置包括进风槽、加热箱、分隔架板、耐腐蚀放置壳、连通孔、风机、顶端放置板、加热棒、密封门体和放置十字型架，所述进风槽开设于辅助处理箱的背面。该可延长使用寿命的PE‑poly石墨舟硝酸清洗设备，通过设置有加热装置，使得内部温度升高且处于真空状态，能够确保等离子清洗装置能够正常使用，使得清洗效果上佳，在使用时的效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及石墨舟清洗设备技术领域，具体为可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备。
背景技术
在太阳能光伏领域中PECVD设备所需的工装石墨舟，使用一定批次需对其清洗，常规手动石墨舟一直维持在手动搬运上下料阶段，产量低下(极大部分为4槽/台，即2舟/8小时/台)，需清洗完成后人工再搬运至另外配备的烘干设备。
但是现有的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备在进行等离子操作清洗时没有设置加热设备，而等离子清洗的方式需要一定的温度，这就导致清洗效果不佳，在使用时的效果不好，需要对此进行改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机壳，所述等离子清洗机壳的顶部设置有辅助处理箱，所述辅助处理箱的背面设置有加热装置，所述辅助处理箱的内部设置有清洗装置，所述等离子清洗机壳的内部设置有真空吸泵。
所述加热装置包括进风槽、加热箱、分隔架板、耐腐蚀放置壳、连通孔、风机、顶端放置板、加热棒、密封门体和放置十字型架，所述进风槽开设于辅助处理箱的背面，所述加热箱固定连接于辅助处理箱的背面，所述分隔架板固定连接于辅助处理箱的内壁，所述耐腐蚀放置壳固定连接于辅助处理箱的内底部，所述连通孔开设于分隔架板的内部，所述放置十字型架固定连接于加热箱的内壁，所述风机固定连接于放置十字型架的正面，所述密封门体铰接于加热箱的背面。
优选的，所述清洗装置包括射频电源和发射器，所述射频电源固定连接于辅助处理箱的内壁，所述发射器固定连接于射频电源的侧面。
优选的，所述分隔架板的数量为三个，三个所述分隔架板等间距分布在辅助处理箱的内底部，通过设置有三个分隔架板，能够分隔出多个加工区域，便于对多个设备进行清洗，使用效果好。
优选的，所述加热箱的背面开设有开口，所述密封门体的面积大于开口的面积，通过设置有密封门体，在通入空气并加热后能够保证内部密闭环境，使用效果好。
优选的，所述顶端放置板固定连接于加热箱的顶部，所述加热棒固定连接于顶端放置板的底部。
优选的，所述辅助处理箱的顶部设置有密封顶盖，通过设置有密封顶盖，能够保证辅助处理箱内部的密封状态，为内部清洗的环境做出保证。
优选的，所述射频电源的数量为两个，两个所述射频电源对称分布在辅助处理箱内壁的左右两侧，通过设置有射频电源，且射频电源分别位于辅助处理箱内部左右两侧，清洗效率更高，使用效果好。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
1、该可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，通过设置有加热装置，使得内部温度升高且处于真空状态，能够确保等离子清洗装置能够正常使用，使得清洗效果上佳，在使用时的效果好。
2、该可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，通过设置有清洗装置，将内部环境处理好后，可以启动射频电源，然后利用发射器进行等离子清洗，完成清洗的过程，且等离子装置的设置使得装置具备的清洗效果好。
附图说明
图1为本实用新型整体立体正视结构示意图；
图2为本实用新型等离子清洗机壳、辅助处理箱和加热装置立体正视结构示意图；
图3为本实用新型图2中A处放大结构示意图；
图4为本实用新型等离子清洗机壳、辅助处理箱和加热装置立体俯视结构示意图。
图中：1、等离子清洗机壳；2、辅助处理箱；3、清洗装置；301、射频电源；302、发射器；4、加热装置；401、进风槽；402、加热箱；403、分隔架板；404、耐腐蚀放置壳；405、连通孔；406、风机；407、顶端放置板；408、加热棒；409、密封门体；410、放置十字型架；5、密封顶盖。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：
可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机壳1，等离子清洗机壳1的顶部设置有辅助处理箱2，辅助处理箱2的背面设置有加热装置4，辅助处理箱2的内部设置有清洗装置3，等离子清洗机壳1的内部设置有真空吸泵，辅助处理箱2的顶部设置有密封顶盖5，通过设置有密封顶盖5，能够保证辅助处理箱2内部的密封状态，为内部清洗的环境做出保证。
加热装置4包括进风槽401、加热箱402、分隔架板403、耐腐蚀放置壳404、连通孔405、风机406、顶端放置板407、加热棒408、密封门体409和放置十字型架410，进风槽401开设于辅助处理箱2的背面，加热箱402固定连接于辅助处理箱2的背面，分隔架板403固定连接于辅助处理箱2的内壁，耐腐蚀放置壳404固定连接于辅助处理箱2的内底部，连通孔405开设于分隔架板403的内部，放置十字型架410固定连接于加热箱402的内壁，风机406固定连接于放置十字型架410的正面，密封门体409铰接于加热箱402的背面，加热箱402的背面开设有开口，密封门体409的面积大于开口的面积，通过设置有密封门体409，在通入空气并加热后能够保证内部密闭环境，使用效果好，顶端放置板407固定连接于加热箱402的顶部，加热棒408固定连接于顶端放置板407的底部。
清洗装置3包括射频电源301和发射器302，射频电源301固定连接于辅助处理箱2的内壁，发射器302固定连接于射频电源301的侧面，射频电源301的数量为两个，两个射频电源301对称分布在辅助处理箱2内壁的左右两侧，通过设置有射频电源301，且射频电源301分别位于辅助处理箱2内部左右两侧，清洗效率更高，使用效果好。
分隔架板403的数量为三个，三个分隔架板403等间距分布在辅助处理箱2的内底部，通过设置有三个分隔架板403，能够分隔出多个加工区域，便于对多个设备进行清洗，使用效果好。
在使用时，通过打开密封顶盖5，可以将需要清洗的PE-poly石墨舟放入到辅助处理箱2的内部，且在放置时放置在耐腐蚀放置壳404内避免直至损坏，且在清洗前需要对内部进行升温，在升温时，先将密封门体409打开，可以进入气体，然后通过启动加热棒408，同时启动风机406，风机406产生风力，而在风机406的正面方向会产生负压吸力，从而将气体吸入加热箱402中，然后通过加热棒408加热后在输送进辅助处理箱2中，气体逐渐进入辅助处理箱2后，由于耐腐蚀放置壳404是导热材料，所以逐渐升温，然后将密封门体409关闭，然后启动真空吸泵将内部空气吸出，使得内部温度升高且处于真空状态，能够确保等离子清洗装置能够正常使用，使得清洗效果上佳，在使用时的效果好，将内部环境处理好后，可以启动射频电源301，然后利用发射器302进行等离子清洗，完成清洗的过程，且等离子装置的设置使得装置具备的清洗效果好。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，包括等离子清洗机壳(1)，其特征在于：所述等离子清洗机壳(1)的顶部设置有辅助处理箱(2)，所述辅助处理箱(2)的背面设置有加热装置(4)，所述辅助处理箱(2)的内部设置有清洗装置(3)，所述等离子清洗机壳(1)的内部设置有真空吸泵；
所述加热装置(4)包括进风槽(401)、加热箱(402)、分隔架板(403)、耐腐蚀放置壳(404)、连通孔(405)、风机(406)、顶端放置板(407)、加热棒(408)、密封门体(409)和放置十字型架(410)，所述进风槽(401)开设于辅助处理箱(2)的背面，所述加热箱(402)固定连接于辅助处理箱(2)的背面，所述分隔架板(403)固定连接于辅助处理箱(2)的内壁，所述耐腐蚀放置壳(404)固定连接于辅助处理箱(2)的内底部，所述连通孔(405)开设于分隔架板(403)的内部，所述放置十字型架(410)固定连接于加热箱(402)的内壁，所述风机(406)固定连接于放置十字型架(410)的正面，所述密封门体(409)铰接于加热箱(402)的背面。
2.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述清洗装置(3)包括射频电源(301)和发射器(302)，所述射频电源(301)固定连接于辅助处理箱(2)的内壁，所述发射器(302)固定连接于射频电源(301)的侧面。
3.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述分隔架板(403)的数量为三个，三个所述分隔架板(403)等间距分布在辅助处理箱(2)的内底部。
4.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述加热箱(402)的背面开设有开口，所述密封门体(409)的面积大于开口的面积。
5.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述顶端放置板(407)固定连接于加热箱(402)的顶部，所述加热棒(408)固定连接于顶端放置板(407)的底部。
6.根据权利要求1所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述辅助处理箱(2)的顶部设置有密封顶盖(5)。
7.根据权利要求2所述的可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备，其特征在于：所述射频电源(301)的数量为两个，两个所述射频电源(301)对称分布在辅助处理箱(2)内壁的左右两侧。
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| CN202223229088.3U CN219233372U (zh) | 2022-12-02 | 2022-12-02 | 可延长使用寿命的PE-poly石墨舟硝酸清洗设备 |
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Publications (1)
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2022
- 2022-12-02 CN CN202223229088.3U patent/CN219233372U/zh active Active
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