CN217191530U - 一种防止粉尘倒灌的装置及太阳能电池加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种防止粉尘倒灌的装置及太阳能电池加工设备。该防止粉尘倒灌的装置能够防止粉尘倒灌进入至工艺腔室中。主要包括粉尘收纳装置、抽真空装置、工艺腔室以及粉尘处理装置。其中，粉尘收纳装置一端连接于抽真空装置，另一端连接于工艺腔室，抽真空装置远离粉尘收纳装置的一端连接于粉尘处理装置。粉尘收纳装置包括多个粉尘腔室，相邻两个粉尘腔室被隔板隔开，且隔板上设置有气流口，气流口被配置为使气流能够带动粉尘经粉尘收纳装置进入至粉尘处理装置中。该防止粉尘倒灌的装置结构简单，能够避免粉尘倒灌回流至工艺腔室内，从而提高硅片的发电效率，提高太阳能电池加工设备的作业效率。

Description

一种防止粉尘倒灌的装置及太阳能电池加工设备

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种防止粉尘倒灌的装置及太阳能电池加工设备。

背景技术

PE-CVD等离子体增强化学气相沉积镀膜设备是太阳能电池行业中使用最多的技术设备，石墨舟、石英管、镀膜设备中的真空泵和连接管道是重要组成部分。石墨舟作为硅片的载体，可以把需要进行镀膜工艺的硅片放在石墨舟中并送入镀膜设备进行各种工艺。随着光伏的技术发展，人们开始追求更低的成本、更高的设备产能，为了达到以上目的，需要作业人员不断修改工艺和优化工艺。但是，在修改工艺和优化工艺时，会产生大量的制程物，即工艺粉尘。因此在这过程中需要使用真空泵将该工艺粉尘抽取到外围设备处理，避免工艺粉尘进入石英管。但随着制程物的增多，真空泵也会卡死，卡死期间粉尘会倒灌回石英管内部，导致粉尘回附着在石英管的内壁，持续对石墨舟和硅片进行污染、从而直接影响硅片的发电效率和产品的良率。

因此，亟需设计一种防止粉尘倒灌的装置及太阳能电池加工设备来解决现有技术中的技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种防止粉尘倒灌的装置，该防止粉尘倒灌的装置结构简单，能够避免粉尘倒灌回流至工艺腔室内，从而提高硅片的发电效率，提升产品良率。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种防止粉尘倒灌的装置，包括：

粉尘收纳装置，所述粉尘收纳装置一端连接于抽真空装置，另一端连接于工艺腔室；所述抽真空装置远离所述粉尘收纳装置的一端连接于粉尘处理装置；

所述粉尘收纳装置包括多个粉尘腔室，相邻两个所述粉尘腔室被隔板隔开，且所述隔板上设置有气流口；所述气流口被配置为使气流能够带动粉尘经所述粉尘收纳装置进入至所述粉尘处理装置中。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述隔板设置为多个，且每个所述隔板上均设置有气流口，所述气流口相对于所述粉尘收纳装置的轴线偏轴设置。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述隔板呈折线形。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述粉尘收纳装置包括盒体和盖板，所述粉尘腔室设置在所述盒体内，所述盖板密封于所述盒体。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述盖板上设置有密封条，所述密封条密封连接所述盒体。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述粉尘收纳装置包括进气口和出气口，所述进气口与所述工艺腔室连接，所述出气口与所述抽真空装置连接。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述出气口通过第一管道与所述抽真空装置连接。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述抽真空装置通过第二管道与所述粉尘处理装置连接。

作为一种所述的防止粉尘倒灌的装置的可选技术方案，所述抽真空装置为真空泵。

本实用新型还提供一种太阳能电池加工设备，所述太阳能电池加工设备包括以上所述的防止粉尘倒灌的装置。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供的防止粉尘倒灌的装置结构简单，通过在抽真空装置和工艺腔室之间增设粉尘收纳装置，进而使得当抽真空装置发生故障时，粉尘能够优先进入粉尘收纳装置，而不会直接进入工艺腔室，进而避免了粉尘倒灌至工艺腔室造成硅片污染的问题。同时，粉尘收纳装置中的隔板的设置有利于增加粉尘在粉尘收纳装置流动的阻力，进而使得在粉尘回流的过程更多的粉尘能够滞留在粉尘收纳装置中，从而提高硅片的发电效率，提升产品良率。

本实施例还提供一种太阳能电池加工设备，该太阳能电池加工设备包括上述防止粉尘倒灌的装置。该太阳能电池加工设备能够提高硅片的发电效率，提高加工太阳能电池的作业效率，进而节约成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对本实用新型实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本实用新型实施例的内容和这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的防止粉尘倒灌的装置的工艺流程示意图；

图2为本实用新型实施例提供的防止粉尘倒灌的装置的主视图；

图3为本实用新型实施例提供的防止粉尘倒灌的装置的结构示意图。

附图标记

100、粉尘收纳装置；110、隔板；120、气流口；130、进气口；140、出气口；150、盖板；1510、密封条；160、盒体；1610、粉尘腔室；

200、抽真空装置；300、工艺腔室；310、工艺炉管；320、石英管；

400、粉尘处理装置；500、第一管道；600、第二管道。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。

如图1-图3所示，本实施例提供一种防止粉尘倒灌的装置，该防止粉尘倒灌的装置能够防止粉尘倒灌进入至工艺腔室300中。主要包括粉尘收纳装置100、抽真空装置200、工艺腔室300以及粉尘处理装置400。其中，粉尘收纳装置100一端连接于抽真空装置200，另一端连接于工艺腔室300，抽真空装置200远离粉尘收纳装置100的一端连接于粉尘处理装置400。粉尘收纳装置100包括多个粉尘腔室1610，相邻两个粉尘腔室1610被隔板110隔开，且隔板110上设置有气流口120，气流口120被配置为使气流能够带动粉尘经粉尘收纳装置100进入至粉尘处理装置400中。

基于以上设计，在本实施例中，工艺腔室300内设置有工艺炉管310，在工艺炉管310内设置有石英管320。在生产工艺过程中当抽真空装置200发生异常时，导致粉尘不能顺畅的排到粉尘处理装置400中，石英管320内部处于负压状态，此时从抽真空装置200到工艺腔室300之间的粉尘会在负压的作用下而倒流入粉尘收纳装置100中，进而避免粉尘直接流入工艺腔室300而污染工艺腔室300内的硅片，从而提高硅片的发电效率，提高产品良率。

与现有技术相比，本实施例提供的防止粉尘倒灌的装置结构简单，通过在抽真空装置200和工艺腔室300之间增设粉尘收纳装置100，进而使得当抽真空装置200发生故障时，粉尘能够优先进入粉尘收纳装置100，而不会直接进入工艺腔室300，进而避免了粉尘倒灌至工艺腔室300造成硅片污染的问题。同时，粉尘收纳装置100中的隔板110的设置有利于增加粉尘在粉尘收纳装置100流动的阻力，进而使得在粉尘回流的过程更多的粉尘能够滞留在粉尘收纳装置100中，从而提高硅片的发电效率，提升产品良率。

如图2-图3所示，在本实施例中，隔板110设置为多个，多个隔板110的设置能够有利于在粉尘倒流时，增加粉尘的阻力，进而避免粉尘流入工艺腔室300内。每个隔板110上均设置有气流口120，气流口120相对于粉尘收纳装置100的轴线偏轴设置，这样增加气流带动粉尘流动的距离，进而能够增加粉尘在粉尘收纳装置100中的滞留时间，使得在发生粉尘回流的现象时更多的粉尘能够被粉尘收纳装置100所收纳，从而避免粉尘进入工艺腔室300中。

如图2-图3所示，在本实施例中，隔板110呈折线形，这样能够增加粉尘与隔板110的接触面积，进而有利于粉尘滞留在粉尘收纳装置100。当然，作业人员能够根据实际工艺需求，任意更改隔板110的形状和数量，只要能够保证粉尘在回流的过程中不进入工艺腔室300即可，本实施例对此不作进一步地限定。

如图3所示，在本实施例中，粉尘收纳装置100包括盒体160和盖板150，粉尘腔室1610设置在盒体160内，盖板150密封于盒体160。这样使得在后期作业人员能便捷地将盖板150取下，进而清理盒体160中的粉尘，提高作业效率和设备的产能。

进一步地，盖板150上设置有密封条1510，密封条1510密封连接盒体160，密封条1510的设置能够提高粉尘收纳装置100的密封性能，避免粉尘收纳装置100中的粉尘外溢出外界，同时也能够确保粉尘收纳装置100的真空度保持在一定的范围内。

如图2-图3所示，在本实施例中，粉尘收纳装置100包括进气口130和出气口140，进气口130与工艺腔室300连接，出气口140与抽真空装置200连接。出气口140通过第一管道500与抽真空装置200连接，抽真空装置200通过第二管道600与粉尘处理装置400连接。第一管道500和第二管道600的设置有利于提高粉尘的容置空间，使得当抽真空装置200发生故障时，粉尘能够滞留在第一管道500和第二管道600中，进而避免粉尘进入工艺腔室300而污染硅片。

可选地，本实施例中的抽真空装置200为真空泵。当然，作业人员也可以选取其他类型的泵或者其他设备作为抽真空装置200，本实施例对此不作限定。

本实施例还提供一种太阳能电池加工设备，该太阳能电池加工设备包括上述防止粉尘倒灌的装置。该太阳能电池加工设备能够提高硅片的发电效率，提高加工太阳能电池的作业效率，进而节约成本。

显然，上述仅为本实用新型的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本实用新型不限于这里的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本实用新型进行了较为详细的说明，但是本实用新型不仅仅限于以上实施例，在不脱离本实用新型构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本实用新型的范围由所附的权利要求范围决定。

注意，在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”等的描述意指接合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式接合。

Claims (10)

1.一种防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，包括：

粉尘收纳装置(100)，所述粉尘收纳装置(100)一端连接于抽真空装置(200)，另一端连接于工艺腔室(300)；所述抽真空装置(200)远离所述粉尘收纳装置(100)的一端连接于粉尘处理装置(400)；

所述粉尘收纳装置(100)包括多个粉尘腔室(1610)，相邻两个所述粉尘腔室(1610)被隔板(110)隔开，且所述隔板(110)上设置有气流口(120)；所述气流口(120)被配置为使气流能够带动粉尘经所述粉尘收纳装置(100)进入至所述粉尘处理装置(400)中。

2.根据权利要求1所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述隔板(110)设置为多个，且每个所述隔板(110)上均设置有气流口(120)，所述气流口(120)相对于所述粉尘收纳装置(100)的轴线偏轴设置。

3.根据权利要求2所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述隔板(110)呈折线形。

4.根据权利要求1所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述粉尘收纳装置(100)包括盒体(160)和盖板(150)，所述粉尘腔室(1610)设置在所述盒体(160)内，所述盖板(150)密封于所述盒体(160)。

5.根据权利要求4所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述盖板(150)上设置有密封条(1510)，所述密封条(1510)密封连接所述盒体(160)。

6.根据权利要求1所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述粉尘收纳装置(100)包括进气口(130)和出气口(140)，所述进气口(130)与所述工艺腔室(300)连接，所述出气口(140)与所述抽真空装置(200)连接。

7.根据权利要求6所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述出气口(140)通过第一管道(500)与所述抽真空装置(200)连接。

8.根据权利要求7所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述抽真空装置(200)通过第二管道(600)与所述粉尘处理装置(400)连接。

9.根据权利要求1-8中任一项所述的防止粉尘倒灌的装置，其特征在于，所述抽真空装置(200)为真空泵。

10.一种太阳能电池加工设备，其特征在于，所述太阳能电池加工设备包括权利要求1-9中任一项所述的防止粉尘倒灌的装置。

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