CN219155591U - 薄板材料加载装置 - Google Patents

Abstract

本申请属于材料加工技术领域，具体公开了一种薄板材料加载装置，包括顶板、底板和运载板，运载板用于承载薄板材料，底板上设有供运载板移动的运送轨道，运载板可沿着运送轨道移动到特定工位，在顶板上设置定位压块，定位压块可运动至运载板表面以压持运载板，还可离开运载板表面以释放运载板，在底板上设有用于驱动定位压块朝向运载板运动以压持运载板的驱动机构。本申请实施例的薄板材料加载装置中，运载板通过设置在底板上的运送轨道运送至特定工位，操作者操作时会直接与底板接触，将驱动机构设置在底板上，可以方便操作者将承载有生长基底的运载板运送至特定工位后，通过驱动结构使运载板固定，操作十分方便。

Description

薄板材料加载装置

技术领域

本申请涉及一种薄板材料加载装置，更具体地，本申请涉及一种可用于加载二维材料基底的薄板材料加载装置。

背景技术

二维材料是指电子仅可在两个维度的纳米尺度上自由运动(平面运动)的材料，如纳米薄膜、超晶格、量子阱。二维材料因自身优异的理化特性，使其在电子、光电及传感领域都具备巨大的应用潜力，如今，二维材料已然成为了产业与学术的“宠儿”。

在对二维材料进行光刻、刻蚀等工艺前需将其从生长基底转移至目标衬底上。在二维材料转移装置的原理样机研发过程中，目标衬底与生长基底通常手动装载。手动装载面临如下问题：

(1)空间较小，目标衬底可通过工件台移动至空间较大的地方手动放置，生长基底则较难放置，易摔碎。

(2)手动装载无定位精度，即每次更换时放置位置不同。

(3)若采用可装卸生长基底吸盘，生长基底装载后吸盘的固定较为麻烦。

实用新型内容

本申请实施例提供一种薄板材料加载装置，旨在解决现有技术中手动加载生长基底不方便的技术问题。

本申请实施例提供的薄板材料加载装置，包括顶板、底板和运载板，

运载板用于承载薄板材料，

底板上设有供运载板移动的运送轨道，运载板可沿着运送轨道移动到特定工位，

在顶板上设置定位压块，定位压块可运动至运载板表面以压持运载板，还可离开运载板表面以释放运载板，

在底板上设有用于驱动定位压块朝向运载板运动以压持运载板的驱动机构。

根据本申请的实施方式，在底板上设有一对与运载板配合的运送轨道，在运载板的两侧设有与运送轨道配合的侧翼，侧翼可搭载在运送轨道上并可沿着运送轨道移动。

根据本申请前述任一实施方式，在顶板上设置有槽口朝向运送轨道的限位槽，限位槽的槽侧壁用于对定位压块进行顶板板面或者运载板板面或者底板板面方向的限位，定位压块可沿着槽侧壁朝向运送轨道的方向或者远离运送轨道的方向移动。

根据本申请前述任一实施方式，定位压块通过第一弹性件与限位槽的槽底壁连接，第一弹性件始终处于拉伸状态以给定位压块施加朝向顶板方向的拉力。

根据本申请前述任一实施方式，驱动机构包括第一驱动块和与第一驱动块配合的第一通道，第一驱动块可沿着第一通道朝向定位压块运动以与定位压块贴合，第一驱动块的与定位压块相互贴合的面为向定位压块所在方向倾斜的第一斜面。

根据本申请前述任一实施方式，驱动机构还包括第二驱动块和与第二驱动块配合的第二通道，第二驱动块可以沿着第二通道朝向第一驱动块运动以与第一驱动块贴合，第一驱动块的与第二驱动块相互贴合的面为向第二驱动块所在方向倾斜的第二斜面。

根据本申请前述任一实施方式，驱动机构还包括驱动杆和与驱动杆连接的旋钮，在驱动杆上设置有外螺纹，在底板上设有与驱动杆的外螺纹配合的螺纹孔，通过转动旋钮可驱动该驱动杆带动第二驱动块朝向第一驱动块所在的方向移动。

根据本申请前述任一实施方式，在第二通道的与驱动杆相对的端部设置有第二弹性件，第二弹性件的一端与第二通道的端部抵接，另一端与第二驱动块抵接，第二弹性件始终处于压缩状态。

根据本申请前述任一实施方式，定位压块与第一驱动块的运动方向相互垂直；和/或

第一驱动块与第二驱动块的运动方向相互垂直。

根据本申请前述任一实施方式，在底板上设有缺口，缺口具有相对设置的第一侧壁和第二侧壁，还包括连接第一侧壁和第二侧壁的第三侧壁，

一对运送轨道分别设置在第一侧壁和第二侧壁上。

根据本申请前述任一实施方式，在运载板的与第三侧壁相对的侧壁上设有磁性件，在第三侧壁的对应位置处设有可被磁性件吸附的金属件；或

在运载板的与第三侧壁相对的侧壁上设有金属件，在第三侧壁的对应位置处设有可吸附金属件的磁性件。

根据本申请前述任一实施方式，运载板插入运送轨道后背对顶板的表面设置有吸附薄板材料的吸附面，在吸附面所在区域设置有可产生负压的吸附槽。

根据本申请前述任一实施方式，在运载板的吸附面所在的表面设置有至少两个限位销，至少两个限位销用于对薄板材料进行限位，限位销为锥体形。

根据本申请前述任一实施方式，在运载板上设置有用于推拉运载板的把手。

根据本申请前述任一实施方式，在顶板上设有第一通光孔，在运载板上设有第二通光孔，第一通光孔和第二通光孔用于通过光线从而使光线到达位于特定工位的薄板材料的表面。

本申请实施例的薄板材料加载装置中，运载板通过设置在底板上的运送轨道运送至特定工位，操作者操作时会直接与底板接触，将驱动机构设置在底板上，可以方便操作者将承载有生长基底的运载板运送至特定工位后，通过驱动结构使运载板固定。而顶板上不设置驱动机构，则可以为在顶板上设置其他部件预留空间。该薄板材料加载装置具有布局合理，操作方便的优点。

附图说明

图1是本申请实施例提供的薄板材料加载装置的结构示意图；

图2a是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中的底板的结构示意图；

图2b是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中驱动定位压块朝向运载板运动的运动示意图；

图2c是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中驱动定位压块朝向运载板运动的运动示意图；

图2d是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中驱动定位压块离开运载板运动的运动示意图；

图2e是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中驱动定位压块离开运载板运动的运动示意图；

图3a是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中顶板的结构示意图；

图3b是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中定位压块的固定示意图；

图4a是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中承载板的结构示意图；

图4b是本申请实施例提供的薄板材料加载装置中限位销与生长基底相互作用的示意图。

具体实施方式

下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请，而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解。

待转移的二维材料一般生长在基底上，需要将二维材料从生长基底S上转移至目标衬底上进行进一步的加工。本申请实施例公开的薄板材料加载装置100可用于加载前述生长基底S，也可以用于加载其他比较薄的材料；本申请实施例以加载前述生长基底S为例进行说明。

请参阅图1、图2a、图3a、图4a，本申请实施例公开的薄板材料加载装置100，包括顶板1、底板2和运载板3。

其中，运载板3用于承载薄板材料；将需要进行进一步处理的薄板材料放置在运载板3上，由运载板3进行运送；其中，薄板材料可以是生长有二维材料的生长基底S；运载板3整体可以为板状结构，表面积较大的面用于承载生长基底S；

底板2上设有供运载板3移动的运送轨道21，运载板3可以在运送轨道21上来回移动；运载板3可沿着运送轨道21移动到特定工位，在特定工位完成特定的工序，例如，完成二维材料转移的工序；运载板3也可以沿着运送轨道21向相反的方向移动到装载或者卸载薄板材料的初始工位；

在顶板1上设置定位压块11，定位压块11可运动至运载板3表面以压持运载板3，还可离开运载板3表面以释放运载板3；需要压持运载板3时，定位压块11朝向运载板3运动直至压紧运载板3，从而实现运载板3的稳定固定；需要释放运载板3时，定位压块11远离运载板3运动直至释放运载板3，此时运载板3可以自由移动；

在底板2上设有用于驱动定位压块11朝向运载板3运动以压持运载板3的驱动机构；运载板3沿着运送轨道21移动至特定工位后，驱动机构驱动定位压块11朝向运载板3运动直至与运载板3的表面紧密贴合，给运载板3施加压力，从而将运载板3稳定固定在特定工位完成特定的工序；

特定工序完成后，定位压块11朝向远离运载板3的方向运动，释放运载板3，控制运载板3朝向初始工位移动，以更换新的生长基底S。

可以理解的是，运载板3通过设置在底板2上的运送轨道21运送至特定工位，操作者操作时会直接与底板2接触，将驱动机构设置在底板2上，可以方便操作者将承载有生长基底S的运载板3运送至特定工位后，通过驱动结构使运载板3固定。而顶板1上不设置驱动机构，则可以为在顶板1上设置其他部件预留空间。该薄板材料加载装置100具有布局合理，操作方便的优点。

请继续参阅图2a，在一些实施例中，在底板2上设有一对与运载板3配合的运送轨道21，两条运送轨道21相对设置，相互平行；在运载板3的两侧设有与运送轨道21配合的侧翼31，侧翼31可搭载在运送轨道21上并可沿着运送轨道21移动。可以理解的是，在顶板1与运送轨道21之间形成可以插入侧翼31的轨道空间，因此，当装上新的生长基底S后，将运载板3插入该轨道空间，使两侧翼31分别搭载在对应的运送轨道21上，手动推动或者借助电极等驱动器件驱动运载板3沿着运送轨道21移动。这种结构的运送轨道21和运载板3相配合，方便操作者向轨道空间插入运载板3。

进一步的，为了使运载板3在运送轨道21上的移动更加顺畅，在运载板3的用于插入轨道空间的端部两侧设有倒角32，导角有导向作用，在向轨道空间插入运载板3时不易被卡住，运载板3在轨道空间内移动时也更加顺畅。

请继续参阅图3a，在一些实施例中，为了对定位压块11的运动方向进行限位，使之只能在限定的方向移动，在顶板1上设置有槽口121朝向运送轨道21的限位槽12，限位槽12的槽侧壁用于对定位压块11进行顶板1板面或者运载板3板面或者底板2板面方向的限位，定位压块11可沿着槽侧壁朝向运送轨道21的方向或者远离运送轨道21的方向移动。定位压块11的一部分位于限位槽12内，一部分伸出槽口121暴露于限位槽12外；通过限位槽12的限位，使定位压块11不能沿着顶板1的板面移动，同理，也可以是不能沿着运载板3的板面移动，同理，也可以是不能沿着底板2的板面方向移动，因为通常顶板1板面、薄板材料板面和底板2板面相互平行；定位压块11只能沿着限位槽12的槽侧壁朝向运送轨道21运动，或者朝向限位槽12的槽底壁运动。

请参阅图3b，在一些实施例中，为了在不需要压持运载板3时使定位压块11能够自动松开运载板3，定位压块11通过第一弹性件14与限位槽12的槽底壁连接，第一弹性件14始终处于拉伸状态以给定位压块11施加朝向顶板1方向的拉力；通过第一弹性件14的弹性恢复力可以使定位压块11朝向限位槽12的槽底壁运动，从而松开运载板3。

具体的，请继续参阅图3b，可以在限位槽12内和定位压块11上设置销钉15，第一弹性件14的一端挂在限位槽12内的销钉15上，另一端挂在定位压块11上的销钉15上。

请参阅图2a至图2e，在一些实施例中，驱动机构包括第一驱动块221，还包括与第一驱动块221配合的第一通道222，第一驱动块221可沿着第一通道222朝向定位压块11运动以与定位压块11贴合，第一驱动块221的与定位压块11相互贴合的面为向定位压块11所在方向倾斜的第一斜面2211，该第一斜面2211还与第一驱动块221的运动方向相交。可以理解的是，在定位压块11上同样具有斜面，该斜面可与第一斜面2211贴合。通过第一斜面2211的作用，可以将第一驱动块221对定位压块11的作用力分解为朝向运送轨道21的第一分力和朝向限位槽12限位的槽侧壁的第二分力，由于限位槽12的限位作用，第二分力不会使定位压块11运动，第一分力才会使定位压块11朝向运送轨道21的方向移动。

如图2a所示，第一通道222和第一驱动块221可以位于运送轨道21的外侧，优选的，第一通道222可以使第一驱动块221的运动方向与定位压块11的运动方向垂直；通过第一通道222的限位作用，使第一驱动块221只能沿着与定位压块11的运动方向相垂直的方向运动。在本实施例中，第一驱动块221在第一通道222的限位作用下，只能沿着与底板2表面平行的方向往复移动；在需要压持运载板3时，第一驱动块221朝向定位压块11所在的方向移动，待第一驱动块221的第一斜面2211与定位压块11的斜面贴合后，第一驱动块221产生对定位压块11的作用力，使定位压块11朝向运载轨道上的运载板3的侧翼31运动，以压持侧翼31；需要释放运载板3时，第一驱动块221朝向相反的方向移动，对定位压块11的作用力消失，定位压块11在第一弹性件14的弹性恢复力作用下，朝向限位槽12的槽底壁运动，松开运载板3。

请继续参阅图2a至图2e，在一些实施例中，为了便于操作者操作，驱动机构还包括第二驱动块223，和与第二驱动块223配合的第二通道224，第二驱动块223可以沿着第二通道224朝向第一驱动块221运动以与第一驱动块221贴合，第一驱动块221的与第二驱动块223相互贴合的面为向第二驱动块223所在方向倾斜的第二斜面2212，该第二斜面2212与第二驱动块223的运动方向相交。可以理解的是，第二驱动块223上同样具有斜面，该斜面可与第二斜面2212贴合。通过该斜面与第二斜面2212的作用，可以将第二驱动块223对第一驱动块221的作用力分解为朝向定位压块11的第一分力，和朝向第一通道222的通道侧壁的第二分力，由于通道侧壁的限位作用，第二分力不会是第一驱动块221运动，第一分力才会使第一驱动块221朝向定位压块11的方向运动。

可以理解的是，通过第二通道224限定第二驱动块223只能沿着预设的方向往复运动；优选的，该预设的方向与第一驱动块221的运动方向相互垂直；通过第二通道224的限位作用，使第二驱动块223只能沿着与第一驱动块221的运动方向相垂直的方向运动。在本实施例中，第二驱动块223在第二通道224的限位作用下，只能沿着与底板2表面平行的方向移动；在需要压持运载板3时，第二驱动块223朝向第一驱动块221所在的方向移动，待与第一驱动块221上的第二斜面2212贴合后，第二驱动块223产生对第一驱动块221的作用力，使第一驱动块221朝向运载板3所在的方向运动，待第一驱动块221的第一斜面2211与定位压块11的斜面贴合后，第一驱动块221产生对定位压块11的作用力，使定位压块11朝向运载轨道上的运载板3的侧翼31运动，以压持侧翼31；需要释放运载板3时，第二驱动块223朝向相反的方向移动，对第一驱动块221的作用力消失，第一驱动块221对定位压块11的作用力也消失，定位压块11在第一弹性件14的弹性恢复力作用下，朝向限位槽12的槽底壁运动，松开运载板3。在定位压块11朝向槽底壁运动的过程中，会给第一驱动块221施加作用力，使第一驱动块221沿着第一通道222朝向远离定位压块11的方向运动。

请继续参阅图2a至图2e，在一些实施例中，为了进一步便于操作者操作，驱动机构还包括驱动杆225和与驱动杆225连接的旋钮226，在驱动杆225上设置有外螺纹，在底板2上设有与驱动杆225的外螺纹配合的螺纹孔，驱动杆225的轴向与第二驱动块223的运动方向相同；通过转动旋钮226可以使驱动杆225转动，并沿着其轴向移动，从而带动第二驱动块223朝向第一驱动块221所在的方向移动。

驱动杆225可以与第二驱动块223固定连接，也可以与第二驱动块223抵接；当驱动杆225与第二驱动块223固定连接时，通过转动驱动杆225就可以使第二驱动块223沿着第二通道224往复运动；当驱动杆225与第二驱动块223抵接时，请参阅图2a，在第二通道224的与驱动杆225相对的端部设置有第二弹性件227，第二弹性件227的一端与第二通道224的端部抵接，另一端与第二驱动块223抵接，第二弹性件227始终处于压缩状态。当驱动杆225对第二驱动块223的作用力消失后，第二驱动块223就会在第二弹性件227的弹性恢复力作用下朝向远离第一驱动块221的方向运动，这种结构进一步地方便了操作者操作。

当然也可以通过其他结构实现带旋钮226的驱动杆225的功能，例如，可以是推杆和螺钉的组合；推杆位于第二驱动块223与螺钉之间，螺钉通过设于底板2上的螺纹孔设置在底板2上，螺钉的轴线与推杆的轴线筒轴，并且与第二驱动块223的运动方向相同。通过转动螺钉，就可以对推动推杆朝向第二驱动块223运动，从而驱动第二驱动块223运动。

请继续参阅图2a，在一些实施例中，在底板2上设有缺口23，缺口23具有相对设置的第一侧壁231和第二侧壁232，还包括连接第一侧壁231和第二侧壁232的第三侧壁233，一对运送轨道21分别设置在第一侧壁231和第二侧壁232上。通过设置缺口23，可以使运载板3被放置在运送轨道21上后，除了侧翼31外的其他部分可以暴露在外，以便对位于运载板3上的生长基底S施加特定工序。

请参阅图2a和图4a，在一些实施例中，为了使运载板3精确定位在特定工位，在运载板3的与第三侧壁233相对的侧壁上设有磁性件33，磁性件嵌入运载板3内，在第三侧壁233的对应位置处设有可被磁性件吸附的金属件24，金属件嵌入第三侧壁233内；或者，在运载板3的与第三侧壁233相对的侧壁上设有金属件，金属件嵌入运载板3内，在第三侧壁233的对应位置处设有可吸附金属件的磁性件，磁性件嵌入第三侧壁233内。通过金属件和磁性件的配合，在运载板3被推至运送轨道21最里边时，承载被会被牢牢吸附在第三侧壁233上，实现对运载板3的精确定位。

请继续参阅图4a，在一些实施例中，为了便于承载薄板材料，运载板3插入运送轨道21后背对顶板1的表面设置有吸附薄板材料的吸附面34，在吸附面34所在区域设置有可产生负压的吸附槽35。当将薄板材料贴附在吸附面34上后，吸附槽35内产生负压以将薄板材料吸附住。吸附槽35可以通过运载板3内的气路与外部抽气装置连接；抽气装置可以是真空泵。

请继续参阅图4a，在一些实施例中，为了实现对薄板材料的精确定位，在运载板3的吸附面34所在的表面设置有至少两个限位销36，至少两个限位销36用于对薄板材料进行限位，限位销36为锥体形。由于生长基底S较为精密，因此限位时尽量保证与生长基底S的接触最少。理论上锥体形的限位销36与生长基底S的接触为点接触，采用锥体形的限位销36可以保证对生长基底S的损伤达到最小。同样在取下生长基底S时，当生长基底S远离吸附面34时，生长基底S也因接触点不会发生刮蹭磨擦。

请继续参阅图4a，在一些实施例中，为了便于推拉运载板3，在运载板3上设置有用于推拉运载板3的把手37。把手37优选为铝合金材质，可以减轻运载板3的重量。

请参阅图3a和图4a，在一些实施例中，为了使特定工序需要的光线能够到达薄板材料的表面，在顶板1上设有第一通光孔13，在运载板3上设有第二通光孔38，第一通光孔13和第二通光孔38用于通过光线从而使光线到达位于特定工位的薄板材料的表面。其中，第二通光孔38的面积大于薄板材料上特定区域(例如，生长基底S上的特殊图形)的面积，第一通光孔13的面积大于第二通光孔38的面积，保证光可以到达薄板材料表面的特定区域。

本申请实施例的薄板材料加载装置100的工作流程如下：

1、将运载板3取出，将生长基底S放置在吸附面34上，并开启外接真空泵，产生真空吸附固定生长基底S。放置生长基底S的同时，将生长基底S两侧贴紧限位销36，保证每次放置生长基底S基本在同一位置。

2、将运载板3插入轨道空间，运载板3的侧翼31搭载在运送轨道21上；之后推动把手37，将运载板3推至最里面，此时金属件与磁性件相互吸住，一定程度上保持了运载板3位置固定，使其不轻易发生位移。

3、如图2b和图2c所示，拧紧两边的螺钉，推杆推动第二驱动块223向第一驱动块221运动；第二驱动块223向第一驱动块221施加作用力，由于第二斜面2212上的力垂直于第二斜面2212方向，加之第一驱动块221只有一个方向的平移自由度，因此第一驱动块221改变运动横向移动；第一驱动块221对定位压块11施加作用力，同理，定位压块11竖直向下移动，并压紧运载板3，此时运载板3被固定住。

4、如图2d和图2e所示，当需要更换生长基底S时，拧松螺钉，第二弹性件227会对第二驱动块223施加力，第二驱动块223与推杆会随着螺钉往后运动；同样定位压块11与限位槽12之间的第一弹性件14会使定位压块11竖直向上运动；第一驱动块221由于定位压块11的作用会紧贴第二驱动块223向后运动；之后拉动把手37取下运载板3，破除真空取下生长基底S；之后重复上述过程即可。

Claims (15)

1.一种薄板材料加载装置，其特征在于：包括顶板、底板和运载板，

所述运载板用于承载薄板材料，

所述底板上设有供所述运载板移动的运送轨道，所述运载板可沿着所述运送轨道移动到特定工位，

在所述顶板上设置定位压块，所述定位压块可运动至所述运载板表面以压持所述运载板，还可离开所述运载板表面以释放所述运载板，

在所述底板上设有用于驱动所述定位压块朝向运载板运动以压持所述运载板的驱动机构。

2.根据权利要求1所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述底板上设有一对与所述运载板配合的运送轨道，在所述运载板的两侧设有与所述运送轨道配合的侧翼，所述侧翼可搭载在所述运送轨道上并可沿着所述运送轨道移动。

3.根据权利要求2所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述顶板上设置有槽口朝向所述运送轨道的限位槽，所述限位槽的槽侧壁用于对所述定位压块进行顶板板面或者运载板板面或者底板板面方向的限位，所述定位压块可沿着所述槽侧壁朝向所述运送轨道的方向或者远离所述运送轨道的方向移动。

4.根据权利要求3所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述定位压块通过第一弹性件与所述限位槽的槽底壁连接，所述第一弹性件始终处于拉伸状态以给所述定位压块施加朝向所述顶板方向的拉力。

5.根据权利要求4所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述驱动机构包括第一驱动块和与所述第一驱动块配合的第一通道，所述第一驱动块可沿着所述第一通道朝向所述定位压块运动以与所述定位压块贴合，所述第一驱动块的与所述定位压块相互贴合的面为向所述定位压块所在方向倾斜的第一斜面。

6.根据权利要求5所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述驱动机构还包括第二驱动块和与所述第二驱动块配合的第二通道，所述第二驱动块可以沿着所述第二通道朝向所述第一驱动块运动以与所述第一驱动块贴合，所述第一驱动块的与所述第二驱动块相互贴合的面为向第二驱动块所在方向倾斜的第二斜面。

7.根据权利要求6所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述驱动机构还包括驱动杆和与所述驱动杆连接的旋钮，在所述驱动杆上设置有外螺纹，在所述底板上设有与所述驱动杆的外螺纹配合的螺纹孔，通过转动所述旋钮可驱动所述驱动杆带动所述第二驱动块朝向所述第一驱动块所在的方向移动。

8.根据权利要求7所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述第二通道的与所述驱动杆相对的端部设置有第二弹性件，所述第二弹性件的一端与所述第二通道的端部抵接，另一端与所述第二驱动块抵接，所述第二弹性件始终处于压缩状态。

9.根据权利要求8所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述定位压块与所述第一驱动块的运动方向相互垂直；和/或

所述第一驱动块与所述第二驱动块的运动方向相互垂直。

10.根据权利要求2所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述底板上设有缺口，所述缺口具有相对设置的第一侧壁和第二侧壁，还包括连接所述第一侧壁和第二侧壁的第三侧壁，

一对所述运送轨道分别设置在所述第一侧壁和第二侧壁上。

11.根据权利要求10所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述运载板的与所述第三侧壁相对的侧壁上设有磁性件，在所述第三侧壁的对应位置处设有可被所述磁性件吸附的金属件；或

在所述运载板的与所述第三侧壁相对的侧壁上设有金属件，在所述第三侧壁的对应位置处设有可吸附所述金属件的磁性件。

12.根据权利要求1所述的薄板材料加载装置，其特征在于：所述运载板插入所述运送轨道后背对所述顶板的表面设置有吸附薄板材料的吸附面，在所述吸附面所在区域设置有可产生负压的吸附槽。

13.根据权利要求12所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述运载板的吸附面所在的表面设置有至少两个限位销，所述至少两个限位销用于对薄板材料进行限位，所述限位销为锥体形。

14.根据权利要求1所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述运载板上设置有用于推拉所述运载板的把手。

15.根据权利要求10所述的薄板材料加载装置，其特征在于：在所述顶板上设有第一通光孔，在所述运载板上设有第二通光孔，所述第一通光孔和第二通光孔用于通过光线从而使光线到达位于特定工位的薄板材料的表面。

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