CN219144150U - 一种晶圆取放装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆取放装置，包括支撑柱，所述支撑柱上端固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端连接有移动机构，所述移动机构上连接有第一连接板，所述第一连接板上固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定焊接有第二连接板，所述第二连接板通过若干锁紧螺栓连接有安装架，所述安装架上固定安装有微型抽气泵，所述微型抽气泵连接有吸盘，本实用新型通过第一伺服电机的设置，可带动移动机构进行旋转，便于进行多角度调节取放，通过移动机构的设置，便于将晶圆进行移动调节，通过伺服电缸的设置，便于将晶圆进行竖直调节，微型抽气泵通过吸盘，可将晶圆进行吸取，便于将晶圆进行取放，且减少对晶圆的损坏。

Description

一种晶圆取放装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆取放装置。

背景技术

硅晶圆和硅太阳能电池分别是半导体材料和半导体器件的典型代表，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆，在晶圆加工过程中，其中一个加工环节需要将晶圆进行取放，现有的取放装置，直接将晶圆夹取，容易将晶圆造成损坏，且大多都是将晶圆平行取放，不便进行多角度调节取放。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆取放装置，便于将晶圆进行取放，且便于多角度调节取放，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种晶圆取放装置，包括支撑柱，所述支撑柱上端固定安装有第一伺服电机，所述第一伺服电机输出端连接有移动机构，所述移动机构上连接有第一连接板，所述第一连接板上固定安装有伺服电缸，所述伺服电缸输出端固定焊接有第二连接板，所述第二连接板通过若干锁紧螺栓连接有安装架，所述安装架上固定安装有微型抽气泵，所述微型抽气泵连接有吸盘。

优选的，所述移动机构包括移动板，所述移动板上开设有移动槽，所述移动槽内转动连接有螺纹杆，所述移动板一侧固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机输出端与所述螺纹杆连接，所述螺纹杆上螺纹连接有移动块，所述移动块与所述第一连接板固定连接。

优选的，所述安装架包括第三连接板，所述第二连接板和所述第三连接板连接，所述第二连接板上开设有两限位槽，所述第三连接板上固定设有两限位块，所述限位块卡合在所述限位槽内。

优选的，所述第三连接板下端焊接有支撑杆，所述支撑杆另一端焊接有第四连接板，所述微型抽气泵固定安装在所述第四连接板上。

优选的，所述第四连接板上固定设有四限位杆，所述限位杆为橡胶块。

优选的，所述支撑柱下端固定焊接有安装板，所述安装板上开设有若干安装螺纹孔。

优选的，所述安装板上固定安装有两固定块，两所述固定块与所述支撑柱固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过第一伺服电机的设置，可带动移动机构进行旋转，便于进行多角度调节取放，通过移动机构的设置，便于将晶圆进行移动调节，通过伺服电缸的设置，便于将晶圆进行竖直调节；

2、本实用新型微型抽气泵通过吸盘，可将晶圆进行吸取，便于将晶圆进行取放，且减少对晶圆的损坏。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的剖视结构示意图；

图3为本实用新型的图2中A处放大图。

图中：1、支撑柱；2、第一伺服电机；3、移动机构；301、移动板；302、移动槽；303、螺纹杆；304、第二伺服电机；305、移动块；4、第一连接板；5、伺服电缸；6、第二连接板；7、锁紧螺栓；8、安装架；801、第三连接板；802、限位槽；803、限位块；804、支撑杆；805、第四连接板；806、限位杆；9、微型抽气泵；10、吸盘；11、安装板；12、安装螺纹孔；13、固定块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种晶圆取放装置，包括支撑柱1，支撑柱1上端固定安装有第一伺服电机2，第一伺服电机2输出端连接有移动机构3，移动机构3上连接有第一连接板4，第一连接板4上固定安装有伺服电缸5，伺服电缸5输出端固定焊接有第二连接板6，第二连接板6通过若干锁紧螺栓7连接有安装架8，安装架8上固定安装有微型抽气泵9，微型抽气泵9连接有吸盘10。

参考图2，由于移动机构3包括移动板301，移动板301上开设有移动槽302，移动槽302内转动连接有螺纹杆303，移动板301一侧固定安装有第二伺服电机304，第二伺服电机304输出端与螺纹杆303连接，螺纹杆303上螺纹连接有移动块305，移动块305与第一连接板4固定连接，故第二伺服电机304通过螺纹杆303可带动移动块305进行移动，移动块305便于带动晶圆进行移动。

参考图3，由于安装架8包括第三连接板801，第二连接板6和第三连接板801连接，第二连接板6上开设有两限位槽802，第三连接板801上固定设有两限位块803，限位块803卡合在限位槽802内，故通过限位块803和限位槽802的设置，可在第三连接板801和第二连接板6连接固定时进行限位连接。

参考图3，由于第三连接板801下端焊接有支撑杆804，支撑杆804另一端焊接有第四连接板805，微型抽气泵9固定安装在第四连接板805上，故支撑杆804可对第四连接板805进行支撑固定，便于将微型抽气泵9进行安装。

参考图2，由于第四连接板805上固定设有四限位杆806，限位杆806为橡胶块，故限位杆806在将晶圆进行吸取时进行限位，避免在将晶圆吸取时发生偏移，避免晶圆偏移掉落。

参考图1，由于支撑柱1下端固定焊接有安装板11，安装板11上开设有若干安装螺纹孔12，故若干安装螺纹孔12便于将安装板11进行安装固定，安装板11便于将支撑柱1进行安装。

参考图1，由于安装板11上固定安装有两固定块13，两固定块13与支撑柱1固定连接，故固定块13可对支撑柱1进行加固，加强支撑柱1的稳定性。

结构原理：使用时，将安装板11进行安装固定，第二伺服电机304通过螺纹杆303可带动移动块305进行移动，移动块305带动晶圆进行移动，伺服电缸5带动安装架8进行移动，移动至合适位置，微型抽气泵9通过吸盘10将晶圆进行吸取，在可减少对晶圆的损坏，且限位杆806可避免在将晶圆进行吸取时发生偏移，避免晶圆偏移掉落，第一伺服电机2可带动移动板301进行旋转，可带动晶圆进行旋转多角度调节拿取。

本实用新型中的微型抽气泵9为现有技术，其可以选择型号为ZR320-03PM的微型抽气泵9，且不涉及对其内部结构和电路的改进。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种晶圆取放装置，包括支撑柱(1)，其特征在于：所述支撑柱(1)上端固定安装有第一伺服电机(2)，所述第一伺服电机(2)输出端连接有移动机构(3)，所述移动机构(3)上连接有第一连接板(4)，所述第一连接板(4)上固定安装有伺服电缸(5)，所述伺服电缸(5)输出端固定焊接有第二连接板(6)，所述第二连接板(6)通过若干锁紧螺栓(7)连接有安装架(8)，所述安装架(8)上固定安装有微型抽气泵(9)，所述微型抽气泵(9)连接有吸盘(10)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述移动机构(3)包括移动板(301)，所述移动板(301)上开设有移动槽(302)，所述移动槽(302)内转动连接有螺纹杆(303)，所述移动板(301)一侧固定安装有第二伺服电机(304)，所述第二伺服电机(304)输出端与所述螺纹杆(303)连接，所述螺纹杆(303)上螺纹连接有移动块(305)，所述移动块(305)与所述第一连接板(4)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述安装架(8)包括第三连接板(801)，所述第二连接板(6)和所述第三连接板(801)连接，所述第二连接板(6)上开设有两限位槽(802)，所述第三连接板(801)上固定设有两限位块(803)，所述限位块(803)卡合在所述限位槽(802)内。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述第三连接板(801)下端焊接有支撑杆(804)，所述支撑杆(804)另一端焊接有第四连接板(805)，所述微型抽气泵(9)固定安装在所述第四连接板(805)上。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述第四连接板(805)上固定设有四限位杆(806)，所述限位杆(806)为橡胶块。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述支撑柱(1)下端固定焊接有安装板(11)，所述安装板(11)上开设有若干安装螺纹孔(12)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆取放装置，其特征在于：所述安装板(11)上固定安装有两固定块(13)，两所述固定块(13)与所述支撑柱(1)固定连接。

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