CN219136922U - Pecvd净化台及太阳能电池生产线 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种PECVD净化台及太阳能电池生产线，其中，PECVD净化台包括：机架，机架的两侧分别设置有第一出料口和第二出料口；上料机构，设置在机架内，并适于转运石墨舟；推舟机构，可移动地设置在机架内，推舟机构适于从上料机构拾取石墨舟后，转运至第一出料口和第二出料口处，推舟机构包括相对设置的第一托舟部和第二托舟部；驱动机构，设置在机架和推舟机构之间并适于驱动推舟机构在机架内移动，驱动机构包括第一驱动机构，第一驱动机构适于驱动第一托舟部和第二托舟部沿第一方向相向移动或者反向移动。驱动机构一次能够将两组石墨舟送入至炉管内进行反应，提高了设备的生产效率。

Description

PECVD净化台及太阳能电池生产线

技术领域

本实用新型涉及太阳能光伏技术领域，具体涉及一种PECVD净化台及太阳能电池生产线。

背景技术

伴随全球不可再生能源的消耗，人类对太阳能、风能等可再生能源的利用需求迅速提升。光伏发电作为主要的可再生能源，近几年发展迅猛，管式PECVD是制作太阳能电池重要的设备之一，其主要包括净化台、炉体柜、气源柜三大结构。净化台是实现石墨舟进出炉管、冷却、运输的装置，净化台包括推舟、缓存台、滑台、上下料机构等。通过推舟实现石墨舟进出炉管；缓存架实现石墨舟的缓存和冷却；滑台实现石墨舟上料运输；上下料机构实现石墨舟在滑台、缓存架、推舟之间流转。

传统的PECVD净化台结构如专利号为CN210974869U的中国专利所示，框架内设置有上下料系统、输送台和缓存架，通过三轴移动模块驱动托舟机构，实现将石墨舟输送至反应炉内。但是该净化台中，上下料系统一次只能够输送一组石墨舟，导致净化台的效率和产能较低。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中的PECVD净化台的效率和产能较低缺陷，从而提供一种PECVD净化台及太阳能电池生产线。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种PECVD净化台，包括：机架，机架的两侧分别设置有第一出料口和第二出料口；上料机构，设置在机架内，并适于转运石墨舟；推舟机构，可移动地设置在机架内，推舟机构适于从上料机构拾取石墨舟后，转运至第一出料口和第二出料口处，推舟机构包括相对设置的第一托舟部和第二托舟部；驱动机构，设置在机架和推舟机构之间并适于驱动推舟机构在机架内移动，驱动机构包括第一驱动机构，第一驱动机构适于驱动第一托舟部和第二托舟部沿第一方向相向移动或者反向移动，以使第一托舟部靠近或者远离第一出料口，第二托舟部靠近或者远离第二出料口。

可选地，第一驱动机构包括第一导轨，第一导轨水平设置，并且沿第一方向延伸，第一导轨上设置有第一滑块和第二滑块，第一托舟部连接在第一滑块上，第二托舟部设置在第二滑块上。

可选地，驱动机构还包括第二驱动机构，第二驱动机构包括第二导轨和设置在第二导轨上的第三滑块，第二导轨水平设置，并且沿与第一方向垂直的第二方向延伸，第一导轨与第三滑块连接。

可选地，驱动机构还包括第三驱动机构，第三驱动机构包括第三导轨和设置在第三导轨上的第四滑块，第三导轨竖直设置，并沿与第一方向和第二方向垂直的第三方向延伸，第三导轨固定设置在机架上，第二导轨与第四滑块连接。

可选地，PECVD净化台还包括缓存架，缓存架设置在机架内，并与推舟机构相对设置。

可选地，缓存架包括间隔设置的第一缓存架和第二缓存架，第一缓存架与第一托舟部间隔设置，第二缓存架与第二托舟部间隔设置。

可选地，上料机构设置在缓存架的下方，上料机构包括滑台，以及设置在滑台上的第一托盘和第二托盘，第一托盘与第一缓存架对应设置，第二托盘与第二缓存架对应设置。

可选地，第一缓存架和第二缓存架均包括多个沿竖直方向间隔设置的放置位，放置位具有朝向下方的开口。

本发明还提供了一种太阳能电池生产线，包括上述的PECVD净化台。

可选地，太阳能电池生产线还包括第一炉管和第二炉管，第一炉管设置在机架的第一侧并与第一出料口对应设置，第二炉管设置在机架的第二侧并与第二出料口对应设置。

本实用新型具有以下优点：

利用本实用新型的技术方案，第一托舟部和第二托舟部能够从上料机构上取两组石墨舟，第一驱动机构驱动第一托舟部和第二托舟部反向移动，并将两组石墨舟分别送至第一出料口和第二出料口，也即送至两组炉管内。上述净化台中，驱动机构一次能够将两组石墨舟送入至炉管内进行反应，提高了设备的生产效率。因此本实用新型的技术方案解决了现有技术中的PECVD净化台的效率和产能较低缺陷。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示出了本实用新型的PECVD净化台的结构示意图；

图2示出了图1中A处放大示意图；

图3示出了图1中PECVD净化台的俯视示意图；

图4示出了图1中PECVD净化台的驱动机构的侧视示意图；

图5示出了图4中B处放大示意图；

图6示出了图4中驱动机构的主视示意图；以及

图7示出了图4中驱动机构的俯视示意图。

附图标记说明：

10、机架；11、第一出料口；12、第二出料口；20、上料机构；21、滑台；22、第一托盘；23、第二托盘；30、推舟机构；31、第一托舟部；32、第二托舟部；40、驱动机构；41、第一驱动机构；411、第一导轨；412、第一滑块；413、第二滑块；42、第二驱动机构；421、第二导轨；422、第三滑块；43、第三驱动机构；431、第三导轨；432、第四滑块；50、缓存架；51、第一缓存架；52、第二缓存架；53、放置位；54、开口。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1至图3所示，一种PECVD净化台(以下简称净化台)，包括机架10、上料机构20、推舟机构30和驱动机构。其中，机架10的两侧分别设置有第一出料口11和第二出料口12。上料机构20设置在机架10内，并适于转运石墨舟。推舟机构30可移动地设置在机架10内，推舟机构30适于从上料机构20拾取石墨舟后，转运至第一出料口11和第二出料口12处。并且推舟机构30包括相对设置的第一托舟部31和第二托舟部32。驱动机构40设置在机架10和推舟机构30之间并适于驱动推舟机构30在机架10内移动，驱动机构40包括第一驱动机构41。第一驱动机构41适于驱动第一托舟部31和第二托舟部32沿第一方向相向移动或者反向移动，以使第一托舟部31靠近或者远离第一出料口11，第二托舟部32靠近或者远离第二出料口12。

利用本实施例的技术方案，第一托舟部31和第二托舟部32能够从上料机构20上取两组石墨舟，第一驱动机构41驱动第一托舟部31和第二托舟部32反向移动，并将两组石墨舟分别送至第一出料口11和第二出料口12，也即送至两组炉管内。上述净化台中，驱动机构40一次能够将两组石墨舟送入至炉管内进行反应，提高了设备的生产效率。因此实施例的技术方案解决了现有技术中的PECVD净化台的效率和产能较低缺陷。

结合图1可以看到，本实施例的中的机架10为框架结构。为了便于说明，以下以机架10的长度方向作为X方向，宽度方向为Y方向，高度方向为Z方向。

从图1可以看到，第一出料口11和第二出料口12分别设置在机架10的沿X方向的两侧，也即设置在机架10的左右两侧上。进一步地，第一出料口11和第二出料口12处均设置有炉管(图中未示出)，也即在机架10的左右两侧均设置有一个炉管。

进一步地，推舟机构30包括第一托舟部31和第二托舟部32。其中，第一托舟部31和第二托舟部32均用于承载并流转石墨舟，也即推舟机构30可以承载两组石墨舟。

进一步地，第一托舟部31和第二托舟部32的结构相同，并且二者沿着机架10的中心呈镜像设置。结合图3可以看到，第一托舟部31和第二托舟部32均包括两个相对设置的支撑杆，两个支撑杆之间通过连杆连接以进行固定。两个支撑杆对石墨舟提供承载面，并在石墨舟的下方进行支撑。两个连杆的端部设置有连接块，用于与第一驱动机构41进行连接。

需要说明的是，上述的第一方向为图1中的X方向，也即，第一驱动机构41能够驱动第一托舟部31和第二托舟部32沿机架10的长度方向相向或者反向移动，以将两组石墨舟送入至两个炉管内，或者将两组石墨舟从两个炉管内取出。

如图3所示，在本实施例的技术方案中，第一驱动机构41包括第一导轨411，第一导轨411水平设置，并且沿第一方向延伸。第一导轨411上设置有第一滑块412和第二滑块413，第一托舟部31连接在第一滑块412上，第二托舟部32设置在第二滑块413上。

具体而言，第一导轨411沿着机架10的长度方向，也即X方向延伸。第一滑块412和第二滑块413均可滑动地设置在所述第一导轨411上。第一驱动机构41中包括驱动件，驱动件能够驱动第一滑块412和第二滑块413在第一导轨411上相向或者反向滑动，进而带动第一托舟部31和第二托舟部32相向或者反向移动。

进一步地，可以通过多种方式实现第一滑块412和第二滑块413在第一导轨411上相向或者反向移动，例如，可以通过设置两个驱动缸、两套链条结构、两套齿轮齿条机构实现，再例如，还可以通过在丝杠螺母机构实现等等。

如图4和图5所示，在本实施例的技术方案中，驱动机构40还包括第二驱动机构42，第二驱动机构42包括第二导轨421和设置在第二导轨421上的第三滑块422。第二导轨421水平设置，并且沿与第一方向垂直的第二方向延伸，第一导轨411与第三滑块422连接。

需要说明的是，上述的第二方向为图1中机架10的宽度方向，也即Y方向。

从图4和图5可以看到，第二导轨421沿着Y方向延伸，第三滑块422能有在第二导轨421上滑动。第三滑块422滑动时，即能够带动第一导轨411移动，也即带动第一托舟部31和第二托舟部32同步沿Y方向移动。

进一步地，如图7所示，第二导轨421为沿着X方向间隔设置的两个，两个第二导轨421平行设置。每个第二导轨421上均设置有一个第三滑块422，两个第三滑块422均与第一导轨411连接，以对第一导轨411进行稳定的支撑。

如图4至图6所述，驱动机构40还包括第三驱动机构43，第三驱动机构43包括第三导轨431和设置在第三导轨431上的第四滑块432。第三导轨431竖直设置，并沿与第一方向和第二方向垂直的第三方向延伸，第三导轨431固定设置在机架10上，第二导轨421与第四滑块432连接。

需要说明的是，上述的第三方向为图1中机架10的高度方向，也即Z方向。

从图4和图6可以看到，第三导轨431沿着Z方向延伸，第四滑块432能有在第三导轨431上滑动。第四滑块432滑动时，即能够带动第二导轨421移动，并带动第一导轨411移动，也即带动第一托舟部31和第二托舟部32同步沿Z方向移动。

进一步地，如图6所示，第三导轨431为沿着X方向间隔设置的两个，两个第三导轨431平行设置。每个第三导轨431上均设置有一个第四滑块432。上述的两个第二导轨421，分别与两个第四滑块432进行连接。

由此可见，上述的第一驱动机构41、第二驱动机构42和第三驱动机构43能够带动推舟机构30在机架内沿着X、Y和Z三个方向移动。其中，第一托舟部31和第二托舟部32的Y方向和Z方向为同步移动。第一托舟部31和第二托舟部32在X方向进行相向或者反向移动。

如图1和图3所示，在本实施例的技术方案中，PECVD净化台还包括缓存架50，缓存架50设置在机架10内，并与推舟机构30相对设置。具体而言，推舟机构30从炉管内取出石墨舟后，通过上述的驱动机构40将石墨舟放置在缓存架50上，并进行冷却。

优选地，从图3可以看到，缓存架50包括间隔设置的第一缓存架51和第二缓存架52，第一缓存架51与第一托舟部31间隔设置，第二缓存架52与第二托舟部32间隔设置。具体而言，通过第一托舟部31从炉管内取出的石墨舟，放置在第一缓存架51上，通过第二托舟部32从炉管内取出的石墨舟，放置在第二缓存架52上。

由于第一滑块412和第二滑块413具有一定的体积，因此第一缓存架51和第二缓存架52之间具有一定的间隔。当然，在一些未示出的实施方式中，缓存架50也可以包括一个较大的架体，架体上游两列缓存位，一列缓存位与第一托舟部31位置对应，另一列缓存位一第二托舟部32位置对应。

如图1和图2所示，在本实施例的技术方案中，上料机构20设置在缓存架50的下方，上料机构20包括滑台21，以及设置在滑台21上的第一托盘22和第二托盘23。第一托盘22与第一缓存架51对应设置，第二托盘23与第二缓存架52对应设置。具体而言，第一托盘22和第二托盘23通过外部其他设备装料(石墨舟)后，转运至滑台21上。第一托舟部31从第一托盘22上取料，第二托舟部32从第二托盘23上取料。

如图2所示，在本实施例的技术方案中，第一缓存架51和第二缓存架52均包括多个沿竖直方向间隔设置的放置位53，放置位53具有朝向下方的开口54。进一步地，开口54的两侧底部具有向内延伸至的支撑凸边。同时，放置位53的朝向推舟机构30的侧部具有入料口。

由于第一托舟部31和第二托舟部32是从下方支撑石墨舟，因此再将石墨舟放入至放置位53时，以第一托舟部31为例：第一托舟部31从放置位53的侧部入料口放入石墨舟，然后第一托舟部31向下移动，使得石墨舟被开口54的支撑凸边支撑，然后第一托舟部31撤出，完成放置操作。

基于上述结构，本实施例中的净化台的工作原理如下：

送料：

1、两个石墨舟分别置于滑台21的第一托盘22和第二托盘23上，同时输送至第一缓存架51和第二缓存架52的正下方；

2、第三驱动机构43动作，控制推舟机构30下降至取料高度，第二驱动机构42动作，控制推舟机构30向托盘方向运动，运动至石墨舟下方时，第三驱动机构43向上运动，第一托舟部31支撑第一托盘22上的石墨舟，第二托舟部32支撑第二托盘23上的石墨舟。当石墨舟与第一托盘22和第二托盘23分离、且高度方向无重叠部分时，第二驱动机构42向远离第一托盘22和第二托盘23的方向运动，当石墨舟在水平方向与炉管中心对齐停止运动，完成两组石墨舟的取料；

3、第三驱动机构43动作，当运动到石墨舟在Z方向与炉管中心对齐时，第一驱动机构41运动，第一托舟部31和第二托舟部32同时将两组石墨舟运送至左右两侧的炉体内，当到达炉体中心时停止运动。然后第三驱动机构43向下动作，石墨舟落于炉管内支架上后继续运行一小段行程，再控第一驱动机构41向净化台的中心运动，第一托舟部31和第二托舟部32从炉管退出，继续重复上述步骤向炉管送料。

取料：

1、当炉管反应结束后，炉门打开，通过第二驱动机构42和第三驱动机构43控制推舟机构30到达净化台取料位置。第一驱动机构41动作，控制第一托舟部31和第二托舟部32同时向左右炉体运动，到达炉体中心后，第三驱动机构43动作，控制第一托舟部31和第二托舟部32同时向上运动，将石墨舟与炉管内支架分离，当二者高度方向没有重叠时，第一驱动机构41动作，控制第一托舟部31和第二托舟部32同时从炉体管内退出；

2、当第一托舟部31和第二托舟部32完全退出后，第三驱动机构43动作，控制推舟机构30运行至空置缓存架50放置预定高度。第二驱动机构42动作，控制第一托舟部31和第二托舟部32往缓存架50方向运动，石墨舟到达预定位置时，第一托舟部31的石墨舟从侧部进入至第一缓存架51上的放置位53内，第二托舟部32的石墨舟从侧部进入至第二缓存架52上的放置位53内；

3、第三驱动机构42向下动作，使石墨舟落于放置位53后继续向下行驶一段行程从开口54处撤出，控制第二驱动机构42回复至初始位置。

本实施例还提供了一种太阳能电池生产线，包括上述的PECVD净化台。其中，太阳能电池生产线还包括第一炉管和第二炉管，第一炉管设置在机架10的第一侧并与第一出料口11对应设置，第二炉管设置在机架10的第二侧并与第二出料口12对应设置。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种PECVD净化台，其特征在于，包括：

机架(10)，所述机架(10)的两侧分别设置有第一出料口(11)和第二出料口(12)；

上料机构(20)，设置在所述机架(10)内，并适于转运石墨舟；

推舟机构(30)，可移动地设置在所述机架(10)内，所述推舟机构(30)适于从所述上料机构(20)拾取所述石墨舟后，转运至所述第一出料口(11)和所述第二出料口(12)处，所述推舟机构(30)包括相对设置的第一托舟部(31)和第二托舟部(32)；

驱动机构(40)，设置在所述机架(10)和所述推舟机构(30)之间并适于驱动所述推舟机构(30)在所述机架(10)内移动，所述驱动机构(40)包括第一驱动机构(41)，所述第一驱动机构(41)适于驱动所述第一托舟部(31)和所述第二托舟部(32)沿第一方向相向移动或者反向移动，以使所述第一托舟部(31)靠近或者远离所述第一出料口(11)，所述第二托舟部(32)靠近或者远离所述第二出料口(12)。

2.根据权利要求1所述的PECVD净化台，其特征在于，所述第一驱动机构(41)包括第一导轨(411)，所述第一导轨(411)水平设置，并且沿所述第一方向延伸，所述第一导轨(411)上设置有第一滑块(412)和第二滑块(413)，所述第一托舟部(31)连接在所述第一滑块(412)上，所述第二托舟部(32)设置在所述第二滑块(413)上。

3.根据权利要求2所述的PECVD净化台，其特征在于，所述驱动机构(40)还包括第二驱动机构(42)，所述第二驱动机构(42)包括第二导轨(421)和设置在所述第二导轨(421)上的第三滑块(422)，所述第二导轨(421)水平设置，并且沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸，所述第一导轨(411)与所述第三滑块(422)连接。

4.根据权利要求3所述的PECVD净化台，其特征在于，所述驱动机构(40)还包括第三驱动机构(43)，所述第三驱动机构(43)包括第三导轨(431)和设置在所述第三导轨(431)上的第四滑块(432)，所述第三导轨(431)竖直设置，并沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向延伸，所述第三导轨(431)固定设置在所述机架(10)上，所述第二导轨(421)与所述第四滑块(432)连接。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的PECVD净化台，其特征在于，所述PECVD净化台还包括缓存架(50)，所述缓存架(50)设置在所述机架(10)内，并与所述推舟机构(30)相对设置。

6.根据权利要求5所述的PECVD净化台，其特征在于，所述缓存架(50)包括间隔设置的第一缓存架(51)和第二缓存架(52)，所述第一缓存架(51)与所述第一托舟部(31)间隔设置，所述第二缓存架(52)与所述第二托舟部(32)间隔设置。

7.根据权利要求6所述的PECVD净化台，其特征在于，所述上料机构(20)设置在所述缓存架(50)的下方，所述上料机构(20)包括滑台(21)，以及设置在所述滑台(21)上的第一托盘(22)和第二托盘(23)，所述第一托盘(22)与所述第一缓存架(51)对应设置，所述第二托盘(23)与所述第二缓存架(52)对应设置。

8.根据权利要求6所述的PECVD净化台，其特征在于，所述第一缓存架(51)和所述第二缓存架(52)均包括多个沿竖直方向间隔设置的放置位(53)，所述放置位(53)具有朝向下方的开口(54)。

9.一种太阳能电池生产线，其特征在于，包括如权利要求1至8中任一项所述的PECVD净化台。

10.根据权利要求9所述的太阳能电池生产线，其特征在于，所述太阳能电池生产线还包括第一炉管和第二炉管，所述第一炉管设置在所述机架(10)的第一侧并与所述第一出料口(11)对应设置，所述第二炉管设置在所述机架(10)的第二侧并与所述第二出料口(12)对应设置。

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