CN219131729U - 一种硅料打磨装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种硅料打磨装置，属于硅料打磨技术领域，包括工作台，所述工作台的顶部设置有放置台，所述放置台的顶部设置有龙门架，所述龙门架的底部与工作台的顶部固定连接。本实用新型中，通过电机带动转轴、磨盘和扇叶转动，磨盘会对块状硅料上的碳层进行打磨，扇叶产生的风通过散热槽喷出，对磨盘进行辅助散热，防止长时间使用后磨盘上产生大量热量，进而防止对磨盘的使用寿命造成影响，从而有效的提高了装置的使用寿命，同时空气的流动会带走磨盘上粘附的灰尘，防止在打磨过程中，磨盘上粘附的粉尘杂质与块状硅料的表面产生摩擦，导致块状硅料表面产生擦伤，进而防止对块状硅料的表面打磨精度造成影响。

Description

一种硅料打磨装置

技术领域

本实用新型属于硅料打磨技术领域，尤其涉及一种硅料打磨装置。

背景技术

硅材料是重要的半导体材料，其具有高纯度和优良的电学和机械等性能，在对块状硅料进行加工过程中，其块状硅料边缘表面会附着有碳层，进而直接对后续工序造成一定的影响，为了保证硅材料的整体表面机械强度和成品率，需要对其进行打磨处理。

现有的硅料打磨装置在对块状硅料表面进行打磨时，磨盘在长时间使用后其表面易产生大量热量，长时间对其使用寿命造成影响，且磨盘上因打磨粘附的灰尘，会与块状硅料表面进行接触，易对其周围打磨表面产生擦伤，进而对装置的打磨精度造成影响，需要进行一定的改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有的硅料打磨装置在对块状硅料表面进行打磨时，磨盘在长时间使用后其表面易产生大量热量，长时间对其使用寿命造成影响，且磨盘上因打磨粘附的灰尘，会与块状硅料表面进行接触，易对其周围打磨表面产生擦伤，进而对装置打磨精度造成影响的问题，而提出的一种硅料打磨装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅料打磨装置，包括工作台，所述工作台的顶部设置有放置台，所述放置台的顶部设置有龙门架，所述龙门架的底部与工作台的顶部固定连接，所述龙门架的底部设置有移动模组，所述移动模组的底部设置有气缸，所述气缸的底部固定连接有安装箱，所述安装箱的内部设置有辅助散热组件，所述安装箱的内部顶部固定连接有电机，所述电机的输出轴固定连接有转轴，所述转轴的底端延伸至安装箱的底部后固定连接有磨盘，所述磨盘的底部设置有多个散热槽，所述磨盘的上方设置有清洁组件；

所述辅助散热组件包括隔板，所述隔板固定连接在安装箱的内部，且隔板设置在电机的下方，所述隔板的上方设置有扇叶，所述扇叶固定连接在转轴的外周侧，所述隔板的两侧均连通有输风管，所述输风管的另一侧连通有固定套。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装箱的一侧固定连接有收集箱，所述安装箱和收集箱相接处开设有第一通孔，所述收集箱的内部固定连接有平板，所述平板的顶部一侧固定连接有滤网，所述平板的内部设置有单向通孔，单向通孔设置在滤网的一侧，所述平板的下方设置有收集框，所述收集箱的一侧通过合页转动连接有门板。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述转轴的内部开设有中空腔，中空腔的底部与散热槽相连通，中空腔的顶部两侧均连通有第二通孔，第二通孔的另一侧连通有第二内腔，第二内腔位于固定套的内部，所述固定套转动设置在转轴的外周侧，且固定套的底部与安装箱的内侧壁固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述放置台的底部固定连接有螺纹套，所述螺纹套的内部螺纹连接有丝杠，所述丝杠转动设置在工作台的内部，所述丝杠的一端固定连接有驱动电机，驱动电机设置在工作台的内部，所述丝杠的内部两侧均设置有限位杆，限位杆滑动设置在螺纹套的内部，限位杆固定连接在工作台的内部。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述清洁组件包括安装罩，所述安装罩设置在磨盘的外侧，所述安装罩的顶部与安装箱固定连接，所述安装罩的内部开设有第一内腔，第一内腔的底部连通有多个进风口，第一内腔的一侧连通有连接管，所述连接管的另一端与收集箱相连通。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述气缸的两侧均设置有导套导柱，导套导柱的两侧分别与移动模组和安装箱固定连接。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过电机带动转轴、扇叶和磨盘转动，使磨盘对块状硅料上的碳层进行打磨，同时扇叶产生的风会通过散热槽喷出，对磨盘进行辅助散热，防止长时间使用后磨盘上产生大量热量，进而防止对磨盘的使用寿命造成影响，从而有效的提高了装置的使用寿命，同时空气的流动会带走磨盘上粘附的灰尘，防止在打磨过程中，磨盘上粘附的粉尘杂质与块状硅料的表面产生摩擦，可能会导致块状硅料表面产生擦伤，进而防止对块状硅料的表面打磨精度造成影响，进一步提高了装置的打磨精度。

2、本实用新型中，转轴带动扇叶转动的同时，扇叶通过第一通孔、连接管和进风口对磨盘底部的空气进行抽取，此时会将磨盘工作时产生的粉尘进行抽取，有效的改善了装置的周围环境，且便于对打磨后的粉尘进行收集、处理和加工。

附图说明

图1为本实用新型的整体立体结构示意图；

图2为本实用新型中安装箱的立体结构示意图；

图3为本实用新型中安装箱的剖视立体结构示意图；

图4为本实用新型中清洁组件的立体结构示意图。

图例说明：

1、工作台；2、龙门架；3、放置台；4、移动模组；5、气缸；6、安装箱；7、辅助散热组件；701、隔板；702、扇叶；703、输风管；704、固定套；8、清洁组件；801、安装罩；802、进风口；803、连接管；9、电机；10、转轴；11、磨盘；12、散热槽；13、收集箱；14、平板；15、收集框；16、螺纹套；17、丝杠。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种硅料打磨装置，包括工作台1，工作台1的顶部设置有放置台3，放置台3的顶部设置有龙门架2，龙门架2的底部与工作台1的顶部固定连接，龙门架2的底部设置有移动模组4，移动模组4的底部设置有气缸5，气缸5的底部固定连接有安装箱6，安装箱6的内部设置有辅助散热组件7，安装箱6的内部顶部固定连接有电机9，电机9的输出轴固定连接有转轴10，转轴10的底端延伸至安装箱6的底部后固定连接有磨盘11，磨盘11的底部设置有多个散热槽12，磨盘11的上方设置有清洁组件8；

辅助散热组件7包括隔板701，隔板701固定连接在安装箱6的内部，且隔板701设置在电机9的下方，隔板701的上方设置有扇叶702，扇叶702固定连接在转轴10的外周侧，隔板701的两侧均连通有输风管703，输风管703的另一侧连通有固定套704。

具体实施方式：先将外部夹具安装在放置台3的顶部，然后将待研磨的块状硅料放置到外部夹具内，通过外部夹具对其进行固定，防止在打磨过程中块状硅料产生移动，对其打磨工作造成影响，通过移动模组4和气缸5对磨盘11的使用位置进行调节，启动电机9，通过电机9带动转轴10进行转动，利用转轴10和磨盘11之间的联动效应，将动力传递到磨盘11上，使磨盘11对块状硅料上的碳层进行打磨，扇叶702产生的风会通过第一通孔输送至安装箱6的内部，然后通过输风管703输送至固定套704开设的第二内腔内，此时气体会通过第二通孔输送至转轴10开设的中空腔内，然后通过磨盘11上的散热槽12进行喷出，对磨盘11进行辅助散热，防止长时间使用后磨盘11上产生大量热量，进而防止对磨盘11的使用寿命造成影响，从而有效的提高了装置的使用寿命，同时空气的流动会带走磨盘11上粘附的灰尘，防止在打磨过程中，磨盘11上粘附的粉尘杂质与块状硅料的表面产生摩擦，可能会导致块状硅料表面产生擦伤，进而防止对块状硅料的表面打磨精度造成影响，进一步提高了装置的打磨精度。

安装箱6的一侧固定连接有收集箱13，安装箱6和收集箱13相接处开设有第一通孔，收集箱13的内部固定连接有平板14，平板14的顶部一侧固定连接有滤网，平板14的内部设置有单向通孔，单向通孔设置在滤网的一侧，平板14的下方设置有收集框15，收集箱13的一侧通过合页转动连接有门板，转轴10的内部开设有中空腔，中空腔的底部与散热槽12相连通，中空腔的顶部两侧均连通有第二通孔，第二通孔的另一侧连通有第二内腔，第二内腔位于固定套704的内部，固定套704转动设置在转轴10的外周侧，且固定套704的底部与安装箱6的内侧壁固定连接，放置台3的底部固定连接有螺纹套16，螺纹套16的内部螺纹连接有丝杠17，丝杠17转动设置在工作台1的内部，丝杠17的一端固定连接有驱动电机，驱动电机设置在工作台1的内部，丝杠17的内部两侧均设置有限位杆，限位杆滑动设置在螺纹套16的内部，限位杆固定连接在工作台1的内部。

具体实施方式：启动驱动电机，通过驱动电机带动丝杠17进行转动，利用丝杠17和螺纹套16之间的联动效应，将动力传递到螺纹套16上，在限位杆的限制作用下，使螺纹套16带动放置台3进行移动，将块状硅料移动到打磨位置，保证了装置在使用时的安全性。

清洁组件8包括安装罩801，安装罩801设置在磨盘11的外侧，安装罩801的顶部与安装箱6固定连接，安装罩801的内部开设有第一内腔，第一内腔的底部连通有多个进风口802，第一内腔的一侧连通有连接管803，连接管803的另一端与收集箱13相连通，气缸5的两侧均设置有导套导柱，导套导柱的两侧分别与移动模组4和安装箱6固定连接。

具体实施方式：转轴10在转动的同时会带动扇叶702进行转动，利用扇叶702会通过第一通孔和连接管803使安装罩801内部开设的第一内腔呈负压状态，然后通过进风口802对磨盘11底部的空气进行抽取，此时会将磨盘11工作时产生的粉尘进行抽取，有效的改善了装置的周围环境，且粉尘会通过连接管803输送至收集箱13的内部，滤网会对其进行过滤，当需要对块状硅料进行更换时，扇叶702和转轴10也会随着停止工作，此时收集箱13内部的粉尘会通过单向通孔输送至收集框15的内部，对打磨后的粉尘进行收集，便于后续对其进行处理和加工。

工作原理：使用时，先将外部夹具安装在放置台3的顶部，然后将待研磨的块状硅料放置到外部夹具内，通过外部夹具对其进行固定，启动驱动电机，通过驱动电机带动丝杠17进行转动，利用丝杠17和螺纹套16之间的联动效应，将动力传递到螺纹套16上，在限位杆的限制作用下，使螺纹套16带动放置台3进行移动，将块状硅料移动到打磨位置，通过移动模组4和气缸5对磨盘11的使用位置进行调节，启动电机9，通过电机9带动转轴10进行转动，利用转轴10和磨盘11之间的联动效应，将动力传递到磨盘11上，使磨盘11对块状硅料上的碳层进行打磨，转轴10在转动的同时会带动扇叶702进行转动，利用扇叶702会通过第一通孔和连接管803使安装罩801内部开设的第一内腔呈负压状态，然后通过进风口802对磨盘11底部的空气进行抽取，且粉尘会通过连接管803输送至收集箱13的内部，滤网会对其进行过滤，扇叶702产生的风会通过第一通孔输送至安装箱6的内部，然后通过输风管703输送至固定套704开设的第二内腔内，此时气体会通过第二通孔输送至转轴10开设的中空腔内，然后通过磨盘11上的散热槽12进行喷出，对磨盘11进行辅助散热。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种硅料打磨装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的顶部设置有放置台(3)，所述放置台(3)的顶部设置有龙门架(2)，所述龙门架(2)的底部与工作台(1)的顶部固定连接，所述龙门架(2)的底部设置有移动模组(4)，所述移动模组(4)的底部设置有气缸(5)，所述气缸(5)的底部固定连接有安装箱(6)，所述安装箱(6)的内部设置有辅助散热组件(7)，所述安装箱(6)的内部顶部固定连接有电机(9)，所述电机(9)的输出轴固定连接有转轴(10)，所述转轴(10)的底端延伸至安装箱(6)的底部后固定连接有磨盘(11)，所述磨盘(11)的底部设置有多个散热槽(12)，所述磨盘(11)的上方设置有清洁组件(8)；

所述辅助散热组件(7)包括隔板(701)，所述隔板(701)固定连接在安装箱(6)的内部，且隔板(701)设置在电机(9)的下方，所述隔板(701)的上方设置有扇叶(702)，所述扇叶(702)固定连接在转轴(10)的外周侧，所述隔板(701)的两侧均连通有输风管(703)，所述输风管(703)的另一侧连通有固定套(704)。

2.根据权利要求1所述的一种硅料打磨装置，其特征在于：所述安装箱(6)的一侧固定连接有收集箱(13)，所述安装箱(6)和收集箱(13)相接处开设有第一通孔，所述收集箱(13)的内部固定连接有平板(14)，所述平板(14)的顶部一侧固定连接有滤网，所述平板(14)的内部设置有单向通孔，所述平板(14)的下方设置有收集框(15)。

3.根据权利要求1所述的一种硅料打磨装置，其特征在于：所述转轴(10)的内部开设有中空腔，中空腔的底部与散热槽(12)相连通，中空腔的顶部两侧均连通有第二通孔，第二通孔的另一侧连通有第二内腔，第二内腔位于固定套(704)的内部，所述固定套(704)转动设置在转轴(10)的外周侧，且固定套(704)的底部与安装箱(6)的内侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅料打磨装置，其特征在于：所述放置台(3)的底部固定连接有螺纹套(16)，所述螺纹套(16)的内部螺纹连接有丝杠(17)，所述丝杠(17)转动设置在工作台(1)的内部，所述丝杠(17)的一端固定连接有驱动电机，驱动电机设置在工作台(1)的内部，所述丝杠(17)的内部两侧均设置有限位杆，限位杆滑动设置在螺纹套(16)的内部。

5.根据权利要求1所述的一种硅料打磨装置，其特征在于：所述清洁组件(8)包括安装罩(801)，所述安装罩(801)设置在磨盘(11)的外侧，所述安装罩(801)的顶部与安装箱(6)固定连接，所述安装罩(801)的内部开设有第一内腔，第一内腔的底部连通有多个进风口(802)，第一内腔的一侧连通有连接管(803)，所述连接管(803)的另一端与收集箱(13)相连通。

6.根据权利要求1所述的一种硅料打磨装置，其特征在于：所述气缸(5)的两侧均设置有导套导柱，导套导柱的两侧分别与移动模组(4)和安装箱(6)固定连接。

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