CN219099290U - 一种旋转靶材烘干装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及靶材烘干技术领域，公开了一种旋转靶材烘干装置，包括箱体、温度调节机构、工件固定机构和驱动件；所述箱体具有容纳腔；所述温度调节机构包括加热件，所述加热件设于所述容纳腔内；所述工件固定机构设于所述容纳腔内，用于固定旋转靶材；所述驱动件与所述工件固定机构连接，并能够驱动所述工件固定机构带动所述旋转靶材绕所述旋转靶材的中心轴线转动，本实用新型能够使得旋转靶材在加热烘干时进行转动，以使得旋转靶材受热均匀，提升旋转靶材的烘干速率，烘干效果好。

Description

一种旋转靶材烘干装置

技术领域

本实用新型涉及靶材烘干技术领域，特别是涉及旋转靶材烘干装置。

背景技术

磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材；溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材；旋转靶材是磁控的靶材，旋转靶材做成圆筒型。

由于旋转靶材在生产过程中难免有内部缺陷或绑定不良情况，因此通常会经过水浸超声C扫描系统检测旋转靶材的内部缺陷，水浸超声C扫描系统会使得某些热压密度较低的旋转靶材处于一个湿润状态，而湿润状态的旋转靶材在打包或运输过程中，会使得包装袋内出现水汽氧化或污染旋转靶材，对旋转靶材的质量和外观产生不良影响，间接导致降低溅射成膜的质量；所以在旋转靶材的生产过程中，需要用到烘干装置对旋转靶材进行加热烘干，降低旋转靶材的水含量，避免旋转靶材的质量和外观出现问题。而现有技术的旋转靶材烘干装置存在旋转靶材受热不均，旋转靶材的烘干速率慢，烘干效果差等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种旋转靶材烘干装置，其能够使得旋转靶材受热均匀，提升旋转靶材的烘干速率，烘干效果好。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种旋转靶材烘干装置，包括箱体、温度调节机构、工件固定机构和驱动件；

所述箱体具有容纳腔；所述温度调节机构包括加热件，所述加热件设于所述容纳腔内；所述工件固定机构设于所述容纳腔内，用于固定旋转靶材；所述驱动件与所述工件固定机构连接，并能够驱动所述工件固定机构带动所述旋转靶材绕所述旋转靶材的中心轴线转动。

在一些实施方式中，所述加热件的数量为多个，多个所述加热件沿所述容纳腔的长度方向间隔分布。

在一些实施方式中，所述温度调节机构还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述容纳腔内。

进一步地，所述温度调节机构还包括风机和通风口，所述风机安装于所述容纳腔内，所述通风口设于所述箱体上；其中，所述风机能够将所述容纳腔内的空气沿所述通风口排出至所述箱体的外部，或将所述箱体的外部空气沿所述通风口抽吸至所述容纳腔内。

在一些实施方式中，所述工件固定机构包括第一固定件、第二固定件和调节件，所述第一固定件设于所述容纳腔内并与所述驱动件固定连接，所述第二固定件设于所述容纳腔内并与所述第一固定件相对布置，所述调节件与所述第二固定件连接；其中，所述调节件能够驱动所述第二固定件靠近所述第一固定件以固定所述旋转靶材，或远离所述第一固定件以放开所述旋转靶材。

进一步地，所述调节件包括第一部分和第二部分，所述第一部分设于所述容纳腔内，所述第二固定件连接于所述第一部分朝向所述第一固定件的一面上，所述第二部分的一端与所述第一部分背离所述第一固定件的一面固定连接、另一端延伸至所述箱体的外部；所述箱体开设有与所述容纳腔连通的通孔，所述通孔供所述第二部分穿过。

进一步地，所述第一固定件的材质为软质橡胶材质，所述第二固定件的材质为软质橡胶材质。

进一步地，所述第一固定件具有第一圆锥部，所述第二固定件具有第二圆锥部；其中，沿所述第一固定件至第二固定件的方向，所述第一圆锥部的直径由大变小，所述第二圆锥部的直径由小变大。

在一些实施方式中，所述箱体包括箱体主体、及与所述箱体主体活动连接的箱门。

在一些实施方式中，所述箱体的底部安装有万向轮。

本实用新型实施例一种旋转靶材烘干装置与现有技术相比，其有益效果在于：通过所述工件固定机构和所述驱动件能够使旋转靶材的加热烘干过程中进行转动，以使得所述旋转靶材受热均匀，提升所述旋转靶材的烘干效率，烘干效果好。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的一种旋转靶材烘干装置的正视图；

图2是本实用新型实施例提供的一种旋转靶材烘干装置的俯视图；

图3是本实用新型实施例提供的一种旋转靶材烘干装置的剖视图；

图4是本实用新型实施例提供的一种旋转靶材烘干装置未固定有旋转靶材时的状态图；

图5是本实用新型实施例提供的箱门的结构图；

图6是本实用新型实施例提供的第一固定件的结构图。

图中，1、箱体；11、箱体主体；12、箱门；13、万向轮；111、容纳腔；112、通孔；

2、温度调节机构；21、加热件；22、温度传感器；23、风机；24、通风口；

3、工件固定机构；31、第一固定件；32、第二固定件；33、调节件；311、第一圆锥部；321、第二圆锥部；331、第一部分；332、第二部分；

4、驱动件。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

如图1-图3所示，本实用新型实施例优选的一种旋转靶材烘干装置，包括箱体1、温度调节机构2、工件固定机构3和驱动件4；

箱体1具有容纳腔111；温度调节机构2包括加热件21，加热件21设于容纳腔111内；工件固定机构3设于容纳腔111内，用于固定旋转靶材100；驱动件4与工件固定机构3连接，并能够驱动工件固定机构3带动旋转靶材100绕旋转靶材100的中心轴线转动。

基于此技术方案，通过加热件21、工件固定机构3和驱动件4能够使旋转靶材100的加热烘干过程中进行转动，以使得旋转靶材100受热均匀，提升旋转靶材100的烘干效率，烘干效果好。

箱体1包括箱体主体11、及与箱体主体11活动连接的箱门12。箱门12能够打开或关闭容纳腔111。

在实施例中，箱门12通过合页121活动连接于箱体主体11上。

加热件21的数量为多个，多个加热件21沿容纳腔111的长度方向间隔分布。

在本实施例中，加热件21为加热管。

参阅图1、图3、图4和图5，本实用新型实施例所提供的温度调节机构2还包括温度传感器22，温度传感器22安装于容纳腔111内。采用温度传感器22可以检测容纳腔111的内部温度，以便于操作人员将容纳腔111内的温度调节至适合加热烘干旋转靶材100的温度区间。

温度调节机构2还包括风机23和通风口24，风机23安装于容纳腔111内，通风口24设于箱体1上；其中，风机23能够将容纳腔111内的空气沿通风口24排出至箱体1的外部，或将箱体1的外部空气沿通风口24抽吸至容纳腔111内。采用风机23和通风口24，既便于操作人员将容纳腔111内的温度调节至适合加热烘干旋转靶材100的温度区间，也便于将容纳腔111内的湿气抽出至箱体1的外界，有利于提升旋转靶材100的烘干效果。

在本实施例中，通风口24设于箱门12上。

参阅图1、图3、图4和图6，本实用新型实施例所提供的工件固定机构3包括第一固定件31、第二固定件32和调节件33，第一固定件31设于容纳腔111内并与驱动件4固定连接，第二固定件32设于容纳腔111内并与第一固定件31相对布置，调节件33与第二固定件32连接；其中，调节件33能够驱动第二固定件32靠近第一固定件31以固定旋转靶材100，或远离第一固定件31以放开旋转靶材100。

调节件33包括第一部分331和第二部分332，第一部分331设于容纳腔111内，第二固定件32连接于第一部分331朝向第一固定件31的一面上，第二部分332的一端与第一部分331背离第一固定件31的一面固定连接、另一端延伸至箱体1的外部；箱体1开设有与容纳腔111连通的通孔112，通孔112供第二部分332穿过。采用第一部分331、第二部分332和通孔112，使得操作人员能够通过调节件33驱动第二固定件32靠近或远离第一固定件31，以实现旋转靶材100的固定或放开。

在其他一些实施方式中，还可以采用电动、气动或液动等方式实现“调节件33能够驱动第二固定件32靠近或远离第一固定件31”的功能，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，采用其他方式的实现该功能的调节件33也应视为本实用新型的保护范围。

在本实施例中，第一固定件31的材质为软质橡胶材质，第二固定件32的材质为软质橡胶材质。采用软质橡胶材质制成第一固定件31和第二固定件32，能够避免旋转靶材100在旋转过程中出现磨损。

在本实施例中，第一固定件31具有第一圆锥部311，第二固定件32具有第二圆锥部321；其中，沿第一固定件31至第二固定件32的方向，第一圆锥部的直径由大变小，第二圆锥部的直径由小变大。采用第一圆锥部311和第二圆锥部321，能够分别嵌入旋转靶材100两端的背管中，驱动件4驱动第一固定件31转动时，第一固定件31能够通过第一固定件31的外壁与旋转靶材100管壁之间的作用力带动旋转靶材100同步转动；

其中，当第二固定件32与调节件33转动连接时；第一固定件31带动旋转靶材100转动时，旋转靶材100会带动第二固定件32转动；

当第二固定件32与调节件33固定连接时，在保证第一固定件31的外壁与旋转靶材100管壁之间的作用力大于第二固定件32的外壁与旋转靶材100管壁之间的作用力的前提下，第一固定件31带动旋转靶材100转动时，旋转靶材100的管壁与第二固定件32外壁之间发生相对转动。

本实用新型的工作过程为：将旋转靶材100吊入容纳腔111中，通过调节件33驱动第二固定件32靠近第一固定件31，以将第一圆锥部311和第二圆锥部321分别嵌入旋转靶材100两端的背管中，实现旋转靶材100的固定；打开驱动件4，并将驱动件4的旋转速率调至5r/mi n-15r/mi n，打开加热件21、温度传感器22和风机23，以使得容纳腔111处于一个恒温状态，并将容纳腔111的温度控制在预设温度区间；加热烘干至预设时间后，对旋转靶材进行取样，测试旋转靶材中的水含量，当旋转靶材100的水含量合格后将旋转靶材100从容纳腔111中取出并打包装箱。

综上，本实用新型实施例提供的一种旋转靶材烘干装置，其具有如下有益效果：

1、采用工件固定机构3和驱动件4，能够使旋转靶材100在加热烘干过程中进行转动，以使得旋转靶材100受热均匀，提升旋转靶材100的烘干效率，烘干效果好。

2、采用多个沿容纳腔111的长度方向间隔分布的加热件21，能够使得旋转靶材100在容纳腔111的长度方向上的受热均匀。

3、采用温度传感器22可以检测容纳腔111的内部温度，以便于操作人员将容纳腔111内的温度调节至适合加热烘干旋转靶材100的温度区间。

4、采用风机23和通风口24，既便于操作人员将容纳腔111内的温度调节至适合加热烘干旋转靶材100的温度区间，也便于将容纳腔111内的湿气抽出至箱体1的外界，有利于提升旋转靶材100的烘干效果。

5、采用第一部分331、第二部分332和通孔112，使得操作人员能够手持调节件33驱动第二固定件32靠近或远离第一固定件31，以实现旋转靶材100的固定或放开。

6、采用软质橡胶材质制成第一固定件31和第二固定件32，能够避免旋转靶材100在旋转过程中出现磨损。

7、采用第一圆锥部311和第二圆锥部321，能够分别嵌入旋转靶材100两端的背管中。

8、采用万向轮5，便于人工转移箱体1。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种旋转靶材烘干装置，其特征在于，包括：

箱体，所述箱体具有容纳腔；

温度调节机构，所述温度调节机构包括加热件，所述加热件设于所述容纳腔内；

工件固定机构，所述工件固定机构设于所述容纳腔内，用于固定旋转靶材；

驱动件，所述驱动件与所述工件固定机构连接，并能够驱动所述工件固定机构带动所述旋转靶材绕所述旋转靶材的中心轴线转动。

2.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述加热件的数量为多个，多个所述加热件沿所述容纳腔的长度方向间隔分布。

3.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述温度调节机构还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述容纳腔内。

4.根据权利要求3所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述温度调节机构还包括风机和通风口，所述风机安装于所述容纳腔内，所述通风口设于所述箱体上。

5.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述工件固定机构包括第一固定件、第二固定件和调节件，所述第一固定件设于所述容纳腔内并与所述驱动件固定连接，所述第二固定件设于所述容纳腔内并与所述第一固定件相对布置，所述调节件与所述第二固定件连接；

其中，所述调节件能够驱动所述第二固定件靠近所述第一固定件以固定所述旋转靶材，或远离所述第一固定件以放开所述旋转靶材。

6.根据权利要求5所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述调节件包括第一部分和第二部分，所述第一部分设于所述容纳腔内，所述第二固定件连接于所述第一部分朝向所述第一固定件的一面上，所述第二部分的一端与所述第一部分背离所述第一固定件的一面固定连接、另一端延伸至所述箱体的外部；所述箱体开设有与所述容纳腔连通的通孔，所述通孔供所述第二部分穿过。

7.根据权利要求5所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述第一固定件的材质为软质橡胶材质，所述第二固定件的材质为软质橡胶材质。

8.根据权利要求6所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述第一固定件具有第一圆锥部，所述第二固定件具有第二圆锥部；

其中，沿所述第一固定件至第二固定件的方向，所述第一圆锥部的直径由大变小，所述第二圆锥部的直径由小变大。

9.根据权利要求1-8任一项所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述箱体包括箱体主体、及与所述箱体主体活动连接的箱门。

10.根据权利要求1-8任一项所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述箱体的底部安装有万向轮。

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