CN219053273U - 加工设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型的实施例提供了一种加工设备。加工设备包括具有用于承载物料的承载位的载台；包括定位机构和行程弥补机构的定位装置，定位机构用于调整物料的姿态，行程弥补机构用于驱动定位机构将物料移动至等待位置；包括旋转驱动机构、支撑机构、第一取放料组件和第二取放料组件的取放料装置，第一取放料组件和第二取放料组件设置在支撑机构上，支撑机构在旋转驱动机构的驱动下带动第一取放料组件和第二取放料组件沿弧形轨迹在承载位和等待位置之间可交替搬运物料，行程弥补机构用于驱动定位机构沿靠近和远离旋转驱动机构的方向移动，定位机构的行程与弧形轨迹具有交叉点。加工设备的布局更加合理，空间利用率更高，整机占用空间更小。

Description

加工设备

技术领域

本实用新型涉及物料加工技术领域，具体地，涉及一种加工设备。

背景技术

在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。通常的切割方式有两种，一种是刀轮切割，一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，主要是将激光光束聚集在待加工物料内部形成炸点，通过精确控制聚焦物镜与待加工物料表面之间的距离，在待加工物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片分离彼此相邻的晶粒。

传统的激光加工设备主要包括上料装置、搬运装置、取料装置、放料装置、加工装置和下料装置。具体地，搬运装置将上料装置的料盒内的待加工物料搬运到指定位置，取料装置从指定位置将待加工物料搬运到加工装置的载台上，然后通过加工装置的加工机构对载台上的待加工物料进行切割，以形成已加工物料。放料装置将已加工物料放至指定位置上。然后搬运装置将指定位置上的已物料搬运到下料装置。然后搬运装置继续搬运，加工装置继续加工，如此往复。

然而传统的激光加工设备，取料装置通过专门的取料机构将调整姿态后的待加工物料放至载台上，放料装置通过专门的放料机构将加工完成的物料放至定位装置。并且，取料机构和放料机构通常沿直线移动，以分别完成取料和放料。因此加工设备的结构较为复杂，整机占用空间较大，这有悖于小型化的发展趋势。

实用新型内容

为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，本实用新型的实施例提供了一种加工设备。加工设备包括：载台，所述载台具有用于承载物料的承载位；定位装置，所述定位装置包括定位机构和行程弥补机构，所述定位机构用于调整物料的姿态，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构将物料移动至等待位置；以及取放料装置，所述取放料装置包括旋转驱动机构、支撑机构、第一取放料组件和第二取放料组件，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件设置在所述支撑机构上，所述支撑机构在所述旋转驱动机构的驱动下带动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿弧形轨迹在所述承载位和所述等待位置之间可交替搬运物料，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构沿靠近和远离所述旋转驱动机构的方向移动，所述定位机构的行程与所述弧形轨迹具有交叉点。

示例性地，所述行程弥补机构包括行程驱动件和行程导轨，所述行程驱动件用于驱动所述定位机构沿所述行程导轨移动，所述行程导轨沿所述弧形轨迹的径向方向延伸。

示例性地，所述定位机构包括定位底座、定位驱动组件和定位组件，所述行程弥补机构连接至所述定位底座，所述定位驱动组件安装在所述定位底座上，所述定位驱动组件与定位组件连接并用于驱动所述定位组件移动以调整物料的姿态。

示例性地，所述定位组件包括第一定位挡块和第二定位挡块，所述第一定位挡块和所述第二定位挡块至少一者与所述定位驱动组件连接，所述定位驱动组件用于驱动所述第一定位挡块和所述第二定位挡块相互靠近和远离，以调整物料的姿态。

示例性地，所述定位驱动组件包括电机、第一传动带、第一主动轮和第一从动轮，所述第一主动轮连接至所述电机的驱动轴，所述第一从动轮可转动地设置在所述定位底座上，所述第一传动带套设在所述第一主动轮和所述第一从动轮上，所述第一定位挡块在所述第一主动轮和所述第一从动轮的一侧固定至所述第一传动带，所述第二定位挡块在所述第一主动轮和所述第一从动轮的另一侧固定至所述第一传动带，所述第一定位挡块和所述第二定位挡块在所述电机的驱动下相互靠近或者远离。

示例性地，所述旋转驱动机构包括旋转驱动件，所述支撑机构包括支撑轴和横梁，所述支撑轴的上端连接至所述旋转驱动件，所述支撑轴的下端连接至所述横梁的中部，所述支撑轴在所述旋转驱动件的驱动下带动所述横梁绕所述支撑轴的竖直轴线旋转，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件分别连接至所述横梁的两端。

示例性地，所述旋转驱动机构还包括第二传动带、第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮连接至所述旋转驱动件的驱动轴，所述第二从动轮连接至所述支撑轴的上端，所述第二传动带套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上。

示例性地，所述第一取放料组件包括第一吸盘，所述第二取放料组件包括第二吸盘，所述支撑机构包括第一气缸和第二气缸，所述第一气缸和所述第二气缸分别用于驱动所述第一吸盘和所述第二吸盘沿竖直方向移动。

示例性地，所述加工设备还包括：第一拉伸弹性件，所述第一拉伸弹性件的上端连接至所述支撑机构，所述第一拉伸弹性件的下端连接至所述第一吸盘；和/或第二拉伸弹性件，所述第二拉伸弹性件的上端连接至所述支撑机构，所述第二拉伸弹性件的下端连接至所述第二吸盘。

示例性地，所述取放料装置还包括取放料主体，所述旋转驱动件设置在所述取放料主体上，所述支撑轴和所述取放料主体之间通过轴向力支撑件连接。

第一取放料组件和第二取放料组件可以沿弧形轨迹移动，从而可以交换位置，以实现交替取放物料。因此，本实用新型实施例提供的加工设备不需要设置专门的取料机构和放料机构。相较于现有技术中采用直线移动方式的取料机构和放料机构，第一取放料组件和第二取放料组件可以沿弧形轨迹移动。因此，加工设备的结构更加简洁，布局更加合理，空间利用率更高，整机占用空间更小。并且，第一取放料组件和第二取放料组件交替移动的方式还可以提高加工设备的效率，加工设备的市场竞争力较好。以及，一个旋转驱动机构即可同时驱动第一取放料组件和第二取放料组件，因此加工设备的制造成本较低。

在实用新型内容中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本实用新型内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

以下结合附图，详细说明本实用新型的优点和特征。

附图说明

本实用新型的下列附图在此作为本实用新型的一部分用于理解本实用新型。附图中示出了本实用新型的实施方式及其描述，用来解释本实用新型的原理。在附图中，

图1为根据实用新型的一个示例性实施例的加工设备的立体图；

图2为图1中示出的定位装置、取放料装置和加工装置的立体图；

图3为图2中示出的定位装置的立体图；

图4为图2中示出的取放料装置的立体图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

100、载台；200、定位装置；210、定位机构；211、定位底座；212、定位驱动组件；213、定位组件；220、行程弥补机构；221、行程驱动件；222、行程导轨；230、第一定位件；231、第一定位挡块；232、第一连接件；240、第二定位件；241、第二定位挡块；242、第二连接件；250、导向导轨；251、第一导向导轨；252、第二导向导轨；261、电机；262、第一传动带；263、第一主动轮；300、取放料装置；310、旋转驱动机构；311、旋转驱动件；312、第二传动带；313、第二主动轮；314、第二从动轮；320、支撑机构；321、支撑轴；322、横梁；323、第一气缸；324、第二气缸；330、第一取放料组件；340、第二取放料组件；350、取放料主体；360、轴向力支撑件安装座；371、第一拉伸弹性件；372、第二拉伸弹性件；910、上下料装置；920、搬运装置；930、防掉落装置。

具体实施方式

在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本实用新型。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本实用新型的优选实施例，本实用新型可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本实用新型发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。

本实用新型的实施例提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。加工设备可以对物料进行上料、加工、下料以及其他处理。所述物料包括但不限于晶圆。下面结合具体实施例对本实用新型实施例的加工设备进行详细描述。

如图1-4所示，加工设备可以包括载台100、定位装置200以及取放料装置300。

载台100可以具有用于承载物料的承载位。待加工物料可以放置在载台100上，以通过加工形成已加工物料。

定位装置200可以包括定位机构210和行程弥补机构220。物料可以放置在定位机构210上。定位机构210可以用于调整物料的姿态。这样，定位装置200可以防止物料偏移，确保物料处于预期的位置。行程弥补机构220可以用于驱动定位机构210将物料移动至等待位置。行程弥补机构220包括但不限于电机行程弥补机构、气缸行程弥补机构或者电缸行程弥补机构。

取放料装置300可以包括旋转驱动机构310、支撑机构320、第一取放料组件330和第二取放料组件340。第一取放料组件330和第二取放料组件340分别可以通过焊接、粘合或者连接件连接等任意合适的方式设置在支撑机构320上。支撑机构320可以包括支撑杆、支撑架或者支撑板等任意合适的结构。在旋转驱动机构310的驱动下，支撑机构320可以带动第一取放料组件330和第二取放料组件340沿弧形轨迹在承载位和等待位置之间交替搬运物料。旋转驱动机构310包括但不限于电机驱动机构或者旋转气缸驱动机构。

第一取放料组件330包括但不限于夹爪、铲子、钩子和/或图中示出的吸盘，只要可以拾取和放置物料即可。第二取放料组件340包括但不限于夹爪、铲子、钩子和/或图中示出的吸盘，只要可以拾取和放置物料即可。第一取放料组件330和第二取放料组件340可以相同或者不同。第一取放料组件330和第二取放料组件340可以单独拾取和放置物料。第一取放料组件330和第二取放料组件340分别拾取物料后，旋转驱动机构310可以驱动第一取放料组件330和第二取放料组件340交换位置，从而使二者上拾取的物料在承载位和等待位置之间交换。需要说明的是，即便第一取放料组件330和/或第二取放料组件340上未拾取物料，在旋转驱动机构310的驱动下，二者也可以交换位置。

行程弥补机构220可以用于驱动定位机构210沿靠近和远离旋转驱动机构310的方向移动。定位机构210的行程与弧形轨迹具有交叉点。

在实际应用中，当前待加工物料可以上料至定位机构210。定位机构210可以调整当前待加工物料的姿态。并且，行程弥补机构220可以驱动定位机构210移动至交叉点处，从而可以将当前待加工物料搬运至等待位置。然后，第一取放料组件330可以拾取当前待加工物料。在旋转驱动机构310的驱动下，第一取放料组件330可以将当前待加工物料搬运至承载位。如此，当前待加工物料可以位于载台100上，以准备加工。同时，第二取放料组件340可以移动至等待位置处。在此过程中，行程弥补机构220可以驱动定位机构210返回。然后，下一待加工物料可以上料至定位机构210。定位机构210可以调整下一待加工物料的姿态。并且，行程弥补机构220可以驱动定位机构210移动至交叉点处，从而可以将下一待加工物料搬运至等待位置。然后，第二取放料组件340可以拾取下一待加工物料。在旋转驱动机构310的驱动下，第二取放料组件340可以将下一待加工物料搬运至承载位。如此，下一待加工物料可以位于载台100上，以准备加工。同时，第一取放料组件330可以将加工完成的当前已加工物料搬运至等待位置。定位机构210可以调整当前已加工物料的姿态。并且，行程弥补机构220可以驱动定位机构210返回，以将当前已加工物料下料。加工设备可以反复执行上述操作，以加工更多的物料。

需要说明的是，定位机构210调整物料的姿态的操作也可以在行程驱动件221驱动定位机构210移动的过程中进行，或者在行程驱动件221驱动定位机构210移动后进行。总之，定位机构210调整工物料的姿态的操作和行程驱动件221驱动定位机构210的操作是两个独立的操作，二者的先后顺序并不固定。

第一取放料组件330和第二取放料组件340可以沿弧形轨迹移动，从而可以交换位置，以实现交替取放物料。因此，本实用新型实施例提供的加工设备不需要设置专门的取料机构和放料机构。相较于现有技术中采用直线移动方式的取料机构和放料机构，第一取放料组件330和第二取放料组件340可以沿弧形轨迹移动。因此，加工设备的结构更加简洁，布局更加合理，空间利用率更高，整机占用空间更小。并且，第一取放料组件330和第二取放料组件340交替移动的方式还可以提高加工设备的效率，加工设备的市场竞争力较好。以及，一个旋转驱动机构310即可同时驱动第一取放料组件330和第二取放料组件340，因此加工设备的制造成本较低。

示例性地，如图1所示，加工设备还可以包括上下料装置910、搬运装置920和防掉落装置930。上下料装置910可以用于存放物料(包括待加工物料和已加工物料)。搬运装置920可以将物料在上下料装置910和目标位置之间搬运。防掉落装置930可以设置在上下料装置910和目标位置之间。搬运装置920在搬运物料的过程中，防掉落装置930可以用于承托物料，从而防止物料掉落。当搬运装置920将待加工物料搬运至目标位置后，定位装置200可以调整待加工物料的姿态，并将待加工物料搬运至等待位置。第一取放料组件330可以拾取等待位置上的待加工物料，然后搬运至载台100上。待加工物料在载台100上加工后，可以形成已加工物料。加工完成后，第一取放料组件330可以拾取载台100上的已加工物料并搬运至等待位置。然后定位装置200可以调整等待位置的已加工物料的姿态，并将已加工物料搬运至目标位置。搬运装置920可以将目标位置的已加工物料搬运至上下料装置910。加工设备可以循环执行上述操作，以处理更多的物料。

示例性地，如图3所示，行程弥补机构220可以包括行程驱动件221和行程导轨222。行程驱动件221可以驱动定位机构210沿行程导轨222移动。行程驱动件221可以采用本领域已知的或者未来可能出现的各种类型的驱动件，包括但不限于电机、气缸或者电缸。如此设置，行程弥补机构220的结构简洁，制造成本低廉。并且，行程导轨222可以对定位机构210起到较好的导向作用，从而可以防止定位机构210脱离位置。

示例性地，如图3所示，定位机构210可以包括定位底座211、定位驱动组件212和定位组件213。行程弥补机构220可以连接至定位底座211。定位驱动组件212可以安装在定位底座211上。定位底座211可以包括板体、柱体或者支架等任意合适的结构。在一些实施例中，定位底座211可以包括四个支柱、底板和顶板。四个支柱分别可以连接在顶板和底板之间。行程弥补机构220可以连接至底板。定位驱动组件212可以安装在顶板上。定位驱动组件212可以与定位组件213连接。定位驱动组件212可以用于驱动定位组件213移动以调整物料的姿态。定位驱动组件212可以采用本领域已知的或者未来可能出现的各种类型的驱动件，包括但不限于电机、气缸或者电缸。定位组件213的结构可以任意，包括但不限于夹爪或者挡板。定位组件213调整物料的姿态的方式可以任意，例如可以通过调整物料的整个周侧实现调整姿态，或者通过调整物料的上下表面实现调整姿态，或者通过调整物料的至少一个点实现调整姿态。如此设置，定位机构210的结构简洁，制造成本低廉。

示例性地，如图3所示，定位组件213可以包括第一定位件230和第二定位件240。第一定位件230和第二定位件240的至少一者可以与定位驱动组件212连接。较为理想地，第一定位件230和第二定位件240均可以与定位驱动组件212连接。定位驱动组件212可以驱动第一定位件230和第二定位件240相互靠近和远离，以调整物料的姿态。如此，定位组件213可以实现双边调整，从而可以适应大尺寸的物料。

在实际应用中，物料可以放置在第一定位件230和第二定位件240之间。定位驱动组件212可以驱动第一定位件230和/或第二定位件240移动，从而使得第一定位件230和第二定位件240可以相互靠近，进而可以夹持物料，以调整物料的姿态。反之，定位驱动组件212可以驱动第一定位件230和第二定位件240相互远离，从而可以将物料取出或者放置物料。因此，定位组件213可以调整不同尺寸的物料，从而提升了定位装置200的适用性。

在一些实施例中，为了使得第一定位件230和第二定位件240相互靠近和相互远离时更加平稳，避免移动中发生偏移或者倾斜，定位机构210还可以包括导向导轨250。定位驱动组件212可以驱动第一定位件230和/或第二定位件240沿导向导轨250移动。

示例性地，如图3所示，导向导轨250可以包括第一导向导轨251和第二导向导轨252。第一导向导轨251和第二导向导轨252可以相互平行。第一导向导轨251和第二导向导轨252可以设置在定位底座211上。第一定位件230可滑动地连接至第一导向导轨251。第二定位件240可滑动地连接至第二导向导轨252。

示例性地，如图3所示，第一定位件230可以包括第一定位挡块231。第二定位件240可以包括第二定位挡块241。第一定位挡块231和第二定位挡块241的至少一者可以与定位驱动组件212连接。定位驱动组件212可以驱动第一定位挡块231和第二定位挡块241相互靠近和远离，以调整物料的姿态。

示例性地，如图3所示，第一定位件230还可以包括第一连接件232。第一连接件232可以连接在第一定位挡块231和第一导向导轨251之间。第一连接件232可滑动地连接至第一导向导轨251。第二定位件240还可以包括第二连接件242。第二连接件242可以连接在第二定位挡块241和第二导向导轨252之间。第二连接件242可滑动地连接至第二导向导轨252。

示例性地，如图3所示，定位驱动组件212可以包括电机261、第一传动带262、第一主动轮263和第一从动轮(因角度问题未示出)。第一主动轮263可以连接至电机261的驱动轴。第一从动轮可转动地设置在定位底座211上。第一传动带262可以套设在第一主动轮263和第一从动轮上。第一定位挡块231可以在第一主动轮263和第一从动轮的一侧固定至第一传动带262。第二定位挡块241可以在第一主动轮263和第一从动轮的另一侧固定至第一传动带262。示例性地，可以在第一主动轮263的转动轴线和第一从动轮的转动轴线之间构造出一条中心线。中心线可以垂直于第一主动轮263的转动轴线和第一从动轮的转动轴线。第一定位挡块231可以位于该中心线的一侧，例如左侧。第二定位挡块241可以位于该中心线的另一侧，例如右侧。

当电机261运行时，电机261的驱动轴可以驱动第一主动轮263转动。第一主动轮263可以带动套设在其上的第一传动带262转动，从而带动第一从动轮同步转动。在第一传动带262转动的过程中，固定在第一传动带262上的第一定位挡块231和第二定位挡块241可以一起移动。因为第一定位挡块231和第二定位挡块241位于中心线的不同侧，当第一传动带262沿一个方向(例如顺时针)转动时，第一定位挡块231和第二定位挡块241沿该中心线的方向可以相互靠近。如此，第一定位挡块231和第二定位挡块241可以夹持物料，从而可以调整物料的姿态。反之，当第一传动带262沿另一个方向(例如逆时针)转动时，第一定位挡块231和第二定位挡块241沿该中心线的方向可以相互远离。如此，第一定位挡块231和第二定位挡块241可以取消夹持物料。

采用带传动的传动方式的定位驱动组件212可以很好地缓和冲击和振动，从而可以使得传动更加平稳，降低了传动噪音。基于此，第一定位挡块231和第二定位挡块241夹持物料时可以降低对物料的的冲击，从而可以避免对物料造成破坏。

示例性地，如图4所示，旋转驱动机构310可以包括旋转驱动件311。旋转驱动件311可以采用本领域已知的或者未来可能出现的各种类型的驱动件，包括但不限于电机或者旋转气缸。支撑机构320可以包括支撑轴321和横梁322。支撑轴321的上端可以连接至旋转驱动机构310。支撑轴321的下端可以连接至横梁322的中部。支撑轴321在旋转驱动件311的驱动下，可以带动横梁322绕支撑轴321的竖直轴线旋转。第一取放料组件330和第二取放料组件340分别可以连接至横梁322的两端。横梁322的中部位于两端之间。这样，所述弧形轨迹可以为以支撑轴321的竖直轴线为圆心的圆形轨迹。并且，支撑机构320的结构简洁，制造成本低廉。以及，旋转驱动机构310的结构较为对称，从而可以使其受力较为均匀。

示例性地，如图4所示，旋转驱动机构310还可以包括第二传动带312、第二主动轮313和第二从动轮314。第二主动轮313可以连接至旋转驱动件311的驱动轴。第二从动轮314可以连接至支撑轴321的上端。第二传动带312可以套设在第二主动轮313和第二从动轮上314。当旋转驱动件311运行时，旋转驱动件311的驱动轴可以驱动第二主动轮313转动。第二主动轮313可以带动套设在其上的第二传动带312转动，从而带动第二从动轮314同步转动。这样，第二从动轮314可以带动支撑轴321旋转。如此设置，旋转驱动机构310可以很好地缓和冲击和振动，从而可以使得传动更加平稳，降低了传动噪音。而且，第二传动带312、第二主动轮313和第二从动轮314可以改变传动的参数，包括但不限于传动比，从而使第一取放料组件330和第二取放料组件340移动的效果更加符合使用需求。

示例性地，如图4所示，取放料装置300还可以包括取放料主体350和轴向力支撑件(因角度问题未示出)。旋转驱动件311可以设置在取放料主体350上。取放料主体350可以为支架、板体或者杆体等任意合适的结构。支撑轴321和取放料主体350之间可以通过轴向力支撑件连接。轴向力支撑件可以通过任意合适的方式连接在支撑轴321和取放料主体350之间。在图中示出的实施例中，取放料装置300还可以包括轴向力支撑件安装座360。轴向力支撑件安装座360可以位于支撑轴321的外周侧，且连接至取放料主体350。取放料主体350内可以具有承托槽，以承托轴向力支撑件。

轴向力支撑件可以用于分担支撑轴321承受的轴向力。由于横梁322

第一取放料组件330和第二取放料组件340等部件的重量较大，因此支撑轴321需要承受较大的轴向力。轴向力支撑件可以分担支撑轴321承受的轴向力，从而可以提高取放料装置300运行的稳定性，延长使用寿命。尤其是在第一取放料组件330和第二取放料组件340均拾取物料的情况下，支撑轴321承受的轴向力更大。这样，轴向力支撑件尤其重要。

轴向力支撑件包括但不限于支撑环或者轴承。优选地，轴承可以为角接触球轴承。角接触球轴承可以连接在支撑轴321的外周侧和取放料主体350之间。角接触球轴承可以承受较大的轴向力，并且使用寿命较长。这样，采用角接触球轴承的取放料装置300的机械强度较高，使用寿命较长。

示例性地，如图4所示，第一取放料组件330可以包括第一吸盘。第一吸盘可以用于吸附物料。在实际应用中，当需要拾取物料时，抽真空器可以抽真空，以使第一吸盘处可以处于负压环境，从而可以吸附物料。当需要放置物料时，气源可以向第一吸盘供气，以使第一吸盘处的负压环境取消，从而可以使物料与第一吸盘分离。如此设置，第一吸盘可以牢牢地吸附在物料的表面，并且不会伤害或者磨损物料。并且，物料上无需设置有相应的工装部件，且第一吸盘对物料的外形的要求较低。因此，取放料装置300可以适用于更多类型的物料，适用性较强。

第二取放料组件340可以包括第二吸盘。第二吸盘可以用于吸附物料。在实际应用中，当需要拾取物料时，抽真空器可以抽真空，以使第二吸盘处可以处于负压环境，从而可以吸附物料。当需要放置物料时，气源可以向第二吸盘供气，以使第二吸盘处的负压环境取消，从而可以使物料与第二吸盘分离。如此设置，第二吸盘可以牢牢地吸附在物料的表面，并且不会伤害或者磨损物料。并且，物料上无需设置有相应的工装部件，且第二吸盘对物料的外形的要求较低。因此，取放料装置300可以适用于更多类型的物料，适用性较强。

支撑机构320还可以包括第一气缸323和第二气缸324。在支撑机构320包括横梁322的实施例中，第一气缸323的主体和第二气缸324的主体分别可以连接至横梁322的两端。第一气缸323的活塞杆可以连接至第一吸盘。第一气缸323的活塞杆可以相对于其主体可伸缩。这样，第一气缸323可以驱动第一吸盘沿竖直方向移动。第二气缸324的活塞杆可以连接至第二吸盘。第二气缸324的活塞杆可以相对于其主体可伸缩。这样，第二气缸324可以驱动第二吸盘沿竖直方向移动。

如此设置，第一气缸323可以驱动第一吸盘向下移动，以使第一吸盘可以拾取或者放置物料。当拾取或者放置物料结束后，第一气缸323可以驱动第一吸盘向上移动，以准备搬运物料。这样，第一吸盘在搬运物料的过程中，可以避免其和其上拾取的物料与其他部件碰撞。同理，第二气缸324可以驱动第二吸盘向下移动，以使第二吸盘可以拾取或者放置物料。当拾取或者放置物料结束后，第二气缸324可以驱动第二吸盘向上移动，以准备搬运物料。这样，第二吸盘在搬运物料的过程中，可以避免其和其上拾取的物料与其他部件碰撞。

示例性地，如图4所示，加工设备还可以包括第一拉伸弹性件371和/或第二拉伸弹性件372。

第一拉伸弹性件371的上端可以连接至支撑机构320。示例性地，第一拉伸弹性件371的上端可以连接至第一气缸323的主体和/或横梁322。第一气缸323的主体可以包括第一气缸323的缸筒和/或端盖等部位。第一拉伸弹性件371的下端可以连接至第一吸盘。第一拉伸弹性件371沿竖直方向可以处于拉伸状态。第一拉伸弹性件371包括但不限于拉伸弹簧或者由例如橡胶等弹性材料制成的拉伸件。

在实际应用中，当出现断电、断气或者其他故障时，第一气缸323会失去对第一吸盘的保持力。这样，第一吸盘会在重力的作用下下落。如此，可能会造成第一吸盘、第一吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)和/或第一吸盘下方的其他部件损坏。这样，第一拉伸弹性件371可以处于拉伸状态，从而对第一吸盘施加向上的拉伸力，以起到缓冲的作用，进而可以抑制第一吸盘下落。这样，第一吸盘会慢慢下落，甚至不下落。因此，第一吸盘、第一吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)和/或第一吸盘下方的其他部件不会因下落速度过快造成损坏。而且在加工设备重新启动时，第一吸盘以及第一吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)不会和其他部件发生碰撞。如此，第一吸盘以及第一吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)可以处于安全位置，从而可以避开其他部件，进而可以避免出现加工设备重新启动时可能造成的碰撞现象。因此，取放料装置300的安全性较好。

第二拉伸弹性件372的上端可以连接至支撑机构320。示例性地，第二拉伸弹性件372的上端可以连接至第二气缸324的主体和/或横梁322。第二气缸324的主体可以包括第二气缸324的缸筒和/或端盖等部位。第二拉伸弹性件372的下端可以连接至第二吸盘。第二拉伸弹性件372沿竖直方向可以处于拉伸状态。第二拉伸弹性件372包括但不限于拉伸弹簧或者由例如橡胶等弹性材料制成的拉伸件。

在实际应用中，当出现断电、断气或者其他故障时，第二气缸324会失去对第二吸盘的保持力。这样，第二吸盘会在重力的作用下下落。如此，可能会造成第二吸盘、第二吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)和/或第二吸盘下方的其他部件损坏。这样，第二拉伸弹性件372可以处于拉伸状态，从而对第二吸盘施加向上的拉伸力，以起到缓冲的作用，进而可以抑制第二吸盘下落。这样，第二吸盘会慢慢下落，甚至不下落。因此，第二吸盘、第二吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)和/或第二吸盘下方的其他部件不会因下落速度过快造成损坏。而且在加工设备重新启动时，第二吸盘以及第二吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)不会和其他部件发生碰撞。如此，第二吸盘以及第二吸盘上吸附的物料(如果已经吸附的情况下)可以处于安全位置，从而可以避开其他部件，进而可以避免出现加工设备重新启动时可能造成的碰撞现象。因此，取放料装置300的安全性较好。

为了便于描述，在这里可以使用区域相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述图中所示的一个或多个部件或特征与其他部件或特征的区域位置关系。应当理解的是，区域相对术语不但包含部件在图中所描述的方位，还包括使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的部件被整体倒置，则部件“在其他部件或特征上方”或“在其他部件或特征之上”的将包括部件“在其他部件或构造下方”或“在其他部件或构造之下”的情况。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。此外，这些部件或特征也可以其他不同角度来定位(例如旋转90度或其他角度)，本文意在包含所有这些情况。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、部件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本实用新型已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本实用新型限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本实用新型并不局限于上述实施例，根据本实用新型的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本实用新型所要求保护的范围以内。本实用新型的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (10)

1.一种加工设备，其特征在于，包括：

载台，所述载台具有用于承载物料的承载位；

定位装置，所述定位装置包括定位机构和行程弥补机构，所述定位机构用于调整物料的姿态，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构将物料移动至等待位置；以及

取放料装置，所述取放料装置包括旋转驱动机构、支撑机构、第一取放料组件和第二取放料组件，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件设置在所述支撑机构上，所述支撑机构在所述旋转驱动机构的驱动下带动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿弧形轨迹在所述承载位和所述等待位置之间可交替搬运物料，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构沿靠近和远离所述旋转驱动机构的方向移动，所述定位机构的行程与所述弧形轨迹具有交叉点。

2.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述行程弥补机构包括行程驱动件和行程导轨，所述行程驱动件用于驱动所述定位机构沿所述行程导轨移动，所述行程导轨沿所述弧形轨迹的径向方向延伸。

3.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述定位机构包括定位底座、定位驱动组件和定位组件，所述行程弥补机构连接至所述定位底座，所述定位驱动组件安装在所述定位底座上，所述定位驱动组件与所述定位组件连接并用于驱动所述定位组件移动以调整物料的姿态。

4.如权利要求3所述的加工设备，其特征在于，所述定位组件包括第一定位挡块和第二定位挡块，所述第一定位挡块和所述第二定位挡块至少一者与所述定位驱动组件连接，所述定位驱动组件用于驱动所述第一定位挡块和所述第二定位挡块相互靠近和远离，以调整物料的姿态。

5.如权利要求4所述的加工设备，其特征在于，所述定位驱动组件包括电机、第一传动带、第一主动轮和第一从动轮，所述第一主动轮连接至所述电机的驱动轴，所述第一从动轮可转动地设置在所述定位底座上，所述第一传动带套设在所述第一主动轮和所述第一从动轮上，所述第一定位挡块在所述第一主动轮和所述第一从动轮的一侧固定至所述第一传动带，所述第二定位挡块在所述第一主动轮和所述第一从动轮的另一侧固定至所述第一传动带，所述第一定位挡块和所述第二定位挡块在所述电机的驱动下相互靠近或者远离。

6.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述旋转驱动机构包括旋转驱动件，所述支撑机构包括支撑轴和横梁，所述支撑轴的上端连接至所述旋转驱动件，所述支撑轴的下端连接至所述横梁的中部，所述支撑轴在所述旋转驱动件的驱动下带动所述横梁绕所述支撑轴的竖直轴线旋转，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件分别连接至所述横梁的两端。

7.如权利要求6所述的加工设备，其特征在于，所述旋转驱动机构还包括第二传动带、第二主动轮和第二从动轮，所述第二主动轮连接至所述旋转驱动件的驱动轴，所述第二从动轮连接至所述支撑轴的上端，所述第二传动带套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上。

8.如权利要求1所述的加工设备，其特征在于，所述第一取放料组件包括第一吸盘，所述第二取放料组件包括第二吸盘，所述支撑机构包括第一气缸和第二气缸，所述第一气缸和所述第二气缸分别用于驱动所述第一吸盘和所述第二吸盘沿竖直方向移动。

9.如权利要求8所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括：

第一拉伸弹性件，所述第一拉伸弹性件的上端连接至所述支撑机构，所述第一拉伸弹性件的下端连接至所述第一吸盘；和/或

第二拉伸弹性件，所述第二拉伸弹性件的上端连接至所述支撑机构，所述第二拉伸弹性件的下端连接至所述第二吸盘。

10.如权利要求6所述的加工设备，其特征在于，所述取放料装置还包括取放料主体，所述旋转驱动件设置在所述取放料主体上，所述支撑轴和所述取放料主体之间通过轴向力支撑件连接。

Images