CN116110825A - 取放料装置和加工设备 - Google Patents

Abstract

本发明的实施例提供了一种取放料装置和加工设备。取放料装置包括取放料主体；旋转驱动机构，其设置在取放料主体上；支撑轴，其第一端与旋转驱动机构传动连接；第一取放料组件和第二取放料组件，第一取放料组件和第二取放料组件通过连接组件连接至支撑轴的第二端，支撑轴在旋转驱动机构的驱动下带动第一取放料组件和第二取放料组件沿弧形轨迹可移动，以使第一取放料组件和第二取放料组件可交换位置；轴向力支撑件，其连接在支撑轴和取放料主体之间，相对于第二端更靠近第一端，轴向力支撑件用于分担支撑轴承受的轴向力。第一取放料组件和第二取放料组件可以交换位置，以实现交替取放物料。取放料装置不需要设置专门的取料机构和放料机构。

Description

取放料装置和加工设备

技术领域

本发明涉及物料加工技术领域，具体地，涉及一种取放料装置和具有其的加工设备。

背景技术

在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。通常的切割方式有两种，一种是刀轮切割，一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，主要是将激光光束聚集在待加工物料内部形成炸点，通过精确控制聚焦物镜与物料表面之间的距离，在物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片分离彼此相邻的晶粒。

传统的激光加工设备主要包括上料装置、搬运装置、取料装置、放料装置、加工装置和下料装置。具体地，搬运装置将上料装置的料盒内的待加工物料搬运到指定位置，取料装置从指定位置将待加工物料搬运到加工装置的载台上，然后通过加工装置的加工机构对载台上的待加工物料进行切割，以形成已加工物料。放料装置将已加工物料放至指定位置上。然后搬运装置将指定位置上的已加工物料搬运到下料装置。然后搬运装置继续搬运，加工装置继续加工，如此往复。

然而传统的取料装置通过专门的取料机构将指定位置上的待加工物料放至载台上，放料装置通过专门的放料机构将已加工物料放至指定位置。并且，取料机构和放料机构通常沿直线移动，以分别完成取料和放料。因此取放料装置的结构较为复杂，整机占用空间较大。而且即使有些激光加工设备，将取料装置和放料装置集成到一起，但是由于存在轴向力过大的问题，导致使用寿命较低。

发明内容

为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本发明的一个方面，提供了一种取放料装置。取放料装置包括：取放料主体；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构设置在所述取放料主体上；支撑轴，所述支撑轴的第一端与所述旋转驱动机构传动连接；第一取放料组件和第二取放料组件，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件通过连接组件连接至所述支撑轴的第二端，所述支撑轴在所述旋转驱动机构的驱动下带动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿弧形轨迹可移动，以使所述第一取放料组件和所述第二取放料组件可交换位置；以及轴向力支撑件，所述轴向力支撑件连接在所述支撑轴和所述取放料主体之间，且相对于所述第二端更靠近所述第一端，所述轴向力支撑件用于分担所述支撑轴承受的轴向力。

示例性地，所述连接组件包括横梁，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件分别连接至所述横梁的两端，所述支撑轴的所述第二端连接至所述横梁的两端之间的中部。

示例性地，所述横梁的中部为所述横梁的中心，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件相对于所述支撑轴对称设置。

示例性地，所述连接组件还包括：分别设置在所述横梁的两端的第一气缸安装板和第二气缸安装板；以及分别连接至所述第一气缸安装板和所述第二气缸安装板的第一气缸和第二气缸，其中，所述第一取放料组件连接至所述第一气缸的活塞杆，所述第二取放料组件连接至所述第二气缸的活塞杆，所述第一气缸和所述第二气缸分别用于驱动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。

示例性地，所述取放料装置还包括第一拉伸弹性件和第二拉伸弹性件，所述第一拉伸弹性件的一端连接至所述第一气缸的主体和/或所述第一气缸安装板和/或所述横梁，所述第一拉伸弹性件的另一端连接至所述第一取放料组件；所述第二拉伸弹性件的一端连接至所述第二气缸的主体和/或所述第二气缸安装板和/或所述横梁，所述第二拉伸弹性件的另一端连接至所述第二取放料组件。

示例性地，所述第一拉伸弹性件构造为在所述第一气缸的气路结构发生故障时将所述第一取放料组件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述第一取放料组件保持在所述缩回位置，所述第二拉伸弹性件构造为在所述第二气缸的气路结构发生故障时将所述第二取放料组件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述第二取放料组件保持在所述缩回位置。

示例性地，所述轴向力支撑件包括角接触球轴承，所述角接触球轴承连接在所述支撑轴的外周侧和所述取放料主体之间。

示例性地，所述旋转驱动机构包括旋转驱动件和旋转传动件，所述旋转传动件在所述旋转驱动件的驱动下带动所述支撑轴旋转，所述取放料主体上设置有第一安装孔和第二安装孔，所述旋转驱动件和所述支撑轴分别穿设并连接至所述第一安装孔和所述第二安装孔，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件位于所述取放料主体的一侧，所述旋转传动件位于所述取放料主体的另一侧。

示例性地，所述第一取放料组件包括第一支架和连接至所述第一支架的端部的至少一个第一吸嘴，所述第二取放料组件包括第二支架和连接至所述第二支架的端部的至少一个第二吸嘴，所述第一支架和所述第二支架均连接至所述连接组件。

示例性地，所述第一支架和所述第二支架均呈X形，所述连接组件连接至所述第一支架的中部和所述第二支架的中部，所述第一支架的每个端部上都设置有所述第一吸嘴，所述第二支架的每个端部上都设置有所述第二吸嘴。

示例性地，所述支撑轴内设置有沿其轴向贯通的通道，所述第一端设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈连接至所述通道的侧壁，所述第二端设置有第二轴承，所述第二轴承的外圈连接至所述通道的侧壁，所述轴向力支撑件位于所述第一轴承和所述第二轴承之间，所述第一轴承的内圈和所述第二轴承的内圈分别用于固定穿设所述通道的部件。

根据本发明的一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括如上任一种所述的取放料装置。

示例性地，所述加工设备还包括载台和定位装置，所述载台用于承载物料，所述定位装置包括用于调整物料的姿态的定位机构，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件用于在所述载台的上方和所述定位机构的上方交替移动。

示例性地，所述定位装置还包括行程弥补机构，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构沿水平方向移动，以使所述定位机构的行程与所述弧形轨迹具有交叉点。

示例性地，所述行程弥补机构包括行程驱动件和行程导轨，所述行程驱动件用于驱动所述定位机构沿所述行程导轨移动，所述行程导轨沿所述弧形轨迹的径向方向延伸。

本发明实施例提供的取放料装置，第一取放料组件和第二取放料组件可以沿弧形轨迹移动，从而可以交换位置，以实现交替取放物料。因此，取放料装置不需要设置专门的取料机构和放料机构。并且，相较于现有技术中采用直线移动方式的取料机构和放料机构，第一取放料组件和第二取放料组件可以沿同一弧形轨迹移动。因此，取放料装置的结构更加简洁，布局更加合理，空间利用率更高，整机占用空间更小。并且，第一取放料组件和第二取放料组件交替移动的方式还可以提高取放料装置的工作效率，取放料装置的市场竞争力较好。以及，取放料装置可以通过一个旋转驱动机构同时驱动第一取放料组件和第二取放料组件，因此制造成本较低。同时，由于连接组件、第一取放料组件和第二取放料组件等部件的重量较大，且第一取放料组件和第二取放料组件需要拾取物料，因此支撑轴需要承受较大的轴向力。轴向力支撑件可以分担支撑轴承受的轴向力，从而可以提高取放料装置运行的稳定性，延长使用寿命。

在发明内容中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

以下结合附图，详细说明本发明的优点和特征。

附图说明

本发明的下列附图在此作为本发明的一部分用于理解本发明。附图中示出了本发明的实施方式及其描述，用来解释本发明的原理。在附图中，

图1为根据发明的一个示例性实施例的加工设备的立体图；

图2为图1中示出的定位装置、取放料装置和加工装置的立体图；以及

图3为图2中示出的取放料装置的立体图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

100、取放料装置；200、取放料主体；210、第一安装孔；220、第二安装孔；300、旋转驱动机构；310、旋转驱动件；320、旋转传动件；410、支撑轴；420、连接组件；421、横梁；422、第一气缸安装板；423、第二气缸安装板；424、第一气缸；425、第二气缸；500、第一取放料组件；510、第一支架；520、第一吸嘴；600、第二取放料组件；610、第二支架；620、第二吸嘴；710、第一拉伸弹性件；720、第二拉伸弹性件；800、轴向力支撑件安装座；900、加工设备；910、上下料装置；920、搬运装置；930、防掉落装置；940、定位装置；941、定位机构；942、行程弥补机构；943、行程驱动件；944、行程导轨；950、加工装置；951、载台。

具体实施方式

在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本发明。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本发明的优选实施例，本发明可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本发明发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。

根据本发明的一个方面，提供了一种取放料装置。该取放料装置可以应用至任意合适的设备中，包括但不限于加工设备或者移载设备。因此，根据本发明的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。加工设备可以对物料进行上料、加工、下料以及其他处理。所述物料包括但不限于晶圆。下面结合具体实施例对本发明实施例的取放料装置和加工设备进行详细描述。

如图2-3所示，取放料装置100可以包括取放料主体200、旋转驱动机构300、支撑轴410、第一取放料组件500、第二取放料组件600、连接组件420和轴向力支撑件(因角度问题未示出)。

取放料主体200可以为支架、板体或者杆体等任意合适的结构。

旋转驱动机构300可以通过焊接、连接件连接或者卡接等任意合适的方式设置在取放料主体200上。支撑轴410的第一端可以与旋转驱动机构300传动连接。这样，旋转驱动机构300可以驱动支撑轴410旋转。旋转驱动机构300包括但不限于电机驱动机构或者旋转气缸驱动机构。

第一取放料组件500包括但不限于夹爪、铲子、钩子和/或图中示出的吸盘，只要可以拾取和放置物料即可。第二取放料组件600包括但不限于夹爪、铲子、钩子和/或图中示出的吸盘，只要可以拾取和放置物料即可。第一取放料组件500和第二取放料组件600可以相同或者不同。第一取放料组件500可以拾取和放置物料。第二取放料组件600可以拾取和放置物料。第一取放料组件500和第二取放料组件600可以通过连接组件420连接至支撑轴410的第二端。连接组件420可以为连接杆、连接板或者连接支架等任意合适的结构。第一端和第二端可以相对设置。在支撑轴410沿竖直方向设置的实施例中，第一端可以为上端，第二端可以为下端。

在旋转驱动机构300的驱动下，支撑轴410可以通过连接组件420带动第一取放料组件500和第二取放料组件600沿弧形轨迹移动。如此，第一取放料组件500和第二取放料组件600可以交换位置。第一取放料组件500和第二取放料组件600分别可以拾取物料，并将物料的位置互换。这样，第一取放料组件500和第二取放料组件600在移动的过程中，分别可以执行上料的操作和下料的操作。

轴向力支撑件可以通过任意合适的方式连接在支撑轴410和取放料主体200之间。在图中示出的实施例中，取放料装置100还可以包括轴向力支撑件安装座800。轴向力支撑件安装座800可以位于支撑轴410的外周侧，且连接至取放料主体200。轴向力支撑件安装座800内可以具有承托槽，以承托轴向力支撑件。

相对于支撑轴410的第二端，轴向力支撑件可以更加靠近第一端。由于连接组件420、第一取放料组件500和第二取放料组件600等部件的重量较大，因此支撑轴410需要承受较大的轴向力。轴向力支撑件可以分担支撑轴410承受的轴向力，从而可以提高取放料装置100运行的稳定性，延长使用寿命。尤其是对于第一取放料组件500和第二取放料组件600分别拾取物料的情况下，支撑轴410承受的轴向力更大。这样，轴向力支撑件尤其重要。

轴向力支撑件包括但不限于支撑环或者轴承。优选地，轴承可以为角接触球轴承。角接触球轴承可以连接在支撑轴410的外周侧和取放料主体200之间。角接触球轴承可以承受较大的轴向力，并且使用寿命较长。这样，采用角接触球轴承的取放料装置100的机械强度较高，使用寿命较长。

本发明实施例提供的取放料装置100，第一取放料组件500和第二取放料组件600可以沿弧形轨迹移动，从而可以交换位置，以实现交替取放物料。因此，取放料装置100不需要设置专门的取料机构和放料机构。并且，相较于现有技术中采用直线移动方式的取料机构和放料机构，第一取放料组件500和第二取放料组件600可以沿弧形轨迹移动。因此，取放料装置的结构更加简洁，布局更加合理，空间利用率更高，整机占用空间更小。并且，第一取放料组件500和第二取放料组件600交替移动的方式还可以提高取放料装置100的工作效率，取放料装置100的市场竞争力较好。以及，取放料装置100可以通过一个旋转驱动机构300同时驱动第一取放料组件500和第二取放料组件600，因此制造成本较低。同时，由于连接组件420、第一取放料组件500和第二取放料组件600等部件的重量较大，且第一取放料组件500和第二取放料组件600需要拾取物料，因此支撑轴需要承受较大的轴向力。轴向力支撑件可以分担支撑轴承受的轴向力，从而可以提高取放料装置100运行的稳定性，延长使用寿命。

在一些实施例中，如图1所示，取放料装置100可以应用至加工设备900。加工设备900还可以包括上下料装置910、搬运装置920、防掉落装置930、定位装置940和加工装置950。上下料装置910可以用于存放物料(包括待加工物料和已加工物料)。搬运装置920可以将物料在上下料装置910和目标位置之间搬运。防掉落装置930可以设置在上下料装置910和目标位置之间。搬运装置920在搬运物料的过程中，防掉落装置930可以用于承托物料，从而防止物料掉落。当搬运装置920将待加工物料搬运至目标位置后，定位装置940可以调整待加工物料的姿态，并将待加工物料搬运至等待位置。第一取放料组件500可以拾取等待位置上的待加工物料，然后搬运至加工装置950上。加工装置950可以对待加工物料进行加工，以形成已加工物料。加工完成后，第一取放料组件500可以拾取加工装置950上的已加工物料并搬运至等待位置。然后定位装置940可以调整已加工物料的姿态，并将等待位置的已加工物料搬运至目标位置。搬运装置920可以将目标位置的已加工物料搬运至上下料装置910。加工设备900可以循环执行上述操作，以处理更多的物料。

在旋转驱动机构300的驱动下，第一取放料组件500和第二取放料组件600可以在等待位置处和加工装置950处交替移动。示例性地，第一取放料组件500将当前待加工物料搬运至加工装置950上后，第二取放料组件600可以同时移动至等待位置处。这样，第二取放料组件600可以拾取下一待加工物料。第一取放料组件500将当前已加工物料搬运至等待位置后，第二取放料组件600可以同时移动至加工装置950处。这样，第二取放料组件600可以将下一待加工物料放置在加工装置950上，以准备加工。

示例性地，如图1-2所示，加工装置950可以包括载台951。载台951可以用于承载物料。第一取放料组件500或者第二取放料组件600可以将待加工物料可以放置在载台951上，以进行加工。定位装置940可以包括定位机构941。定位机构941可以用于调整物料(包括待加工物料和已加工物料)的姿态。第一取放料组件500和第二取放料组件600可以用于在载台951的上方和定位机构941的上方交替移动。等待位置的物料可以位于定位机构941上。这样，第一取放料组件500和第二取放料组件600分别可以将物料在载台951和定位机构941之间搬运。经过调整姿态的物料的位置更加符合预期的要求，从而可以便于第一取放料组件500和第二取放料组件600拾取，进而可以提高加工设备900的可靠性。

示例性地，如图2-3所示，定位装置940还可以包括行程弥补机构942。行程弥补机构942可以驱动定位机构941沿水平方向移动。行程弥补机构942包括但不限于电机行程弥补机构、气缸行程弥补机构或者电缸行程弥补机构。定位机构941的行程与弧形轨迹可以具有交叉点。这样，定位机构941可以靠近和远离弧形轨迹。定位机构941可以搬运物料。并且，通过可移动的定位机构941，可以使弧形轨迹相对较小，从而可以使取放料装置100的尺寸更加小巧。以及，相对较小的弧线轨迹可以使第一取放料组件500和第二取放料组件600移动时的离心力较小，从而可以避免受损。

示例性地，如图2-3所示，行程弥补机构942可以包括行程驱动件943和行程导轨944。行程导轨944可以沿弧形轨迹的径向方向延伸。行程驱动件943可以驱动定位机构941沿行程导轨944移动。行程驱动件943包括但不限于电机、气缸或者电缸。相较于沿其他方向移动，沿弧形轨迹的径向方向移动的定位机构941可以更加快速将物料靠近和远离取放料装置100。这样，加工设备的工作效率较高，能耗较小。

示例性地，如图3所示，连接组件420可以包括横梁421。第一取放料组件500和第二取放料组件600分别可以连接至横梁421的两端。支撑轴410的第二端可以连接至横梁421的中部。横梁421的中部可以位于横梁421的两端之间。这样，取放料装置100的结构较为对称，从而可以使其受力较为均匀。

进一步地，横梁421的中部可以为横梁421的中心。第一取放料组件500和第二取放料组件600可以相对于支撑轴410对称设置。这样，取放料装置100的结构更加对称，从而可以使其受力更加均匀。

示例性地，如图3所示，连接组件420还可以包括第一气缸安装板422、第二气缸安装板423、第一气缸424和第二气缸425。第一气缸安装板422和第二气缸安装板423分别可以设置在横梁421的两端。第一气缸424的主体可以连接至第一气缸安装板422。第一取放料组件500可以连接至第一气缸424的活塞杆。第一气缸424的活塞杆相对于第一气缸424的主体沿竖直方向可伸缩。第一气缸424可以驱动第一取放料组件500沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。第二气缸425的主体可以连接至第二气缸安装板423。第二取放料组件600可以连接至第二气缸425的活塞杆。第二气缸425的活塞杆相对于第二气缸425的主体沿竖直方向可伸缩。第二气缸425可以驱动第二取放料组件600沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。

需要说明的是，第一取放料组件500和第二取放料组件600可以单独移动，因此，第一取放料组件500的伸出位置和第二取放料组件600的伸出位置不同，第一取放料组件500的缩回位置和第二取放料组件600的缩回位置不同。第一取放料组件500的伸出位置可以低于其的缩回位置。第二取放料组件600的伸出位置可以低于其的缩回位置。

如此设置，第一气缸424可以驱动第一取放料组件500向下移动至伸出位置，以使第一取放料组件500可以拾取或者放置物料。当拾取或者放置物料结束后，第一气缸424可以驱动第一取放料组件500向上移动至缩回位置，以准备搬运物料。这样，第一取放料组件500在搬运物料的过程中，可以避免其和其上拾取的物料与其他部件碰撞。同理，第二气缸425可以驱动第二取放料组件600向下移动至伸出位置，以使第二取放料组件600可以拾取或者放置物料。当拾取或者放置物料结束后，第二气缸425可以驱动第二取放料组件600向上移动至缩回位置，以准备搬运物料。这样，第二取放料组件600在搬运物料的过程中，可以避免其和其上拾取的物料与其他部件碰撞。

示例性地，如图3所示，取放料装置100还可以包括第一拉伸弹性件710和第二拉伸弹性件720。第一拉伸弹性件710的一端可以连接至第一气缸424的主体和/或第一气缸安装板422和/或横梁421。第一气缸424的主体可以包括第一气缸424的缸筒和/或端盖等部位。第一拉伸弹性件710的另一端可以连接至第一取放料组件500。第一拉伸弹性件710沿竖直方向可以处于拉伸状态。第一拉伸弹性件710包括但不限于拉伸弹簧或者由例如橡胶等弹性材料制成的拉伸件。

在实际应用中，当出现断电、断气或者其他故障时，第一气缸424会失去对第一取放料组件500的保持力。这样，第一取放料组件500会在重力的作用下下落。如此，可能会造成第一取放料组件500、第一取放料组件500上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)和/或第一取放料组件500下方的其他部件损坏。这样，第一拉伸弹性件710可以处于拉伸状态，从而对第一取放料组件500施加向上的拉伸力，以起到缓冲的作用，进而可以抑制第一取放料组件500下落。这样，第一取放料组件500会慢慢下落，甚至不下落。因此，第一取放料组件500、第一取放料组件500上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)和/或第一取放料组件500下方的其他部件不会因下落速度过快造成损坏。而且在取放料装置100应用至的设备重新启动时，第一取放料组件500以及第一取放料组件500上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)不会和其他部件发生碰撞。如此，第一取放料组件500以及第一取放料组件500上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)可以处于安全位置，从而可以避开其他部件，进而可以避免出现设备重新启动时可能造成的碰撞现象。因此，取放料装置100的安全性较好。

示例性地，第一拉伸弹性件710可以构造为在第一气缸424的气路结构发生故障时将第一取放料组件500拉回或靠近缩回位置或者使第一取放料组件500保持在缩回位置。所述气路结构发生故障包括但不限于压缩空气中断或者供气的气管漏气。也就是说，当气路结构发生故障时，第一气缸424的性能会失效。此时，第一气缸424会失去对第一取放料组件500的保持力。这样，第一拉伸弹性件710可以对第一取放料组件500施加向上的力，从而将第一取放料组件500拉回或靠近缩回位置或者使第一取放料组件500保持在缩回位置。如此设置，第一拉伸弹性件710可以使第一气缸424因气路结构发生故障时，使第一取放料组件500以及第一取放料组件500上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)可以处于安全位置。

第二拉伸弹性件720的一端可以连接至第二气缸425的主体和/或第二气缸安装板423和/或横梁421。第二气缸425的主体可以包括第二气缸425的缸筒和/或端盖等部位。第二拉伸弹性件720的另一端可以连接至第二取放料组件600。第二拉伸弹性件720沿竖直方向可以处于拉伸状态。第二拉伸弹性件720包括但不限于拉伸弹簧或者由例如橡胶等弹性材料制成的拉伸件。第二拉伸弹性件720和第一拉伸弹性件710可以相同或者不同。

在实际应用中，当出现断电、断气或者其他故障时，第二气缸425会失去对第二取放料组件600的保持力。这样，第二取放料组件600会在重力的作用下下落。如此，可能会造成第二取放料组件600、第二取放料组件600上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)和/或第二取放料组件600下方的其他部件损坏。这样，第二拉伸弹性件720可以处于拉伸状态，从而对第二取放料组件600施加向上的拉伸力，以起到缓冲的作用，进而可以抑制第二取放料组件600下落。这样，第二取放料组件600会慢慢下落，甚至不下落。因此，第二取放料组件600、第二取放料组件600上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)和/或第二取放料组件600下方的其他部件不会因下落速度过快造成损坏。而且在取放料装置100应用至的设备重新启动时，第二取放料组件600以及第二取放料组件600上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)不会和其他部件发生碰撞。如此，第二取放料组件600以及第二取放料组件600上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)可以处于安全位置，从而可以避开其他部件，进而可以避免出现设备重新启动时可能造成的碰撞现象。因此，取放料装置100的安全性较好。

示例性地，第二拉伸弹性件720可以构造为在第二气缸425的气路结构发生故障时将第二取放料组件600拉回或靠近缩回位置或者使第二取放料组件600保持在缩回位置。所述气路结构发生故障包括但不限于压缩空气中断或者供气的气管漏气。也就是说，当气路结构发生故障时，第二气缸425的性能会失效。此时，第二气缸425会失去对第二取放料组件600的保持力。这样，第二拉伸弹性件720可以对第二取放料组件600施加向上的力，从而将第二取放料组件600拉回或靠近缩回位置或者使第二取放料组件600保持在缩回位置。如此设置，第二拉伸弹性件720可以避免第二气缸425因气路结构发生故障时，使第二取放料组件600以及第二取放料组件600上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)可以处于安全位置。

示例性地，如图3所示，旋转驱动机构300可以包括旋转驱动件310和旋转传动件320。旋转驱动件310可以通过旋转传动件320连接至支撑轴410。这样，旋转传动件320在旋转驱动件310的驱动下可以带动支撑轴410旋转。如此，支撑轴410可以带动第一取放料组件500和第二取放料组件600沿弧形轨迹移动。旋转驱动件310包括但不限于电机或者旋转气缸。旋转传动件320包括但不限于滚珠丝杠、齿轮传动件或者皮带传动件。在一些实施例中，取放料主体200上可以设置有第一安装孔210和第二安装孔220。旋转驱动件310可以穿设并连接至第一安装孔210。支撑轴410可以穿设并连接至第二安装孔220。第一取放料组件500和第二取放料组件600可以位于取放料主体200的一侧。旋转传动件320可以位于取放料主体200的另一侧。如此设置，旋转驱动机构300的结构简洁，制造成本低廉。。并且，取放料主体200可以起到分隔的作用，防止第一取放料组件500和第二取放料组件600与旋转驱动件310因意外导致干涉。

示例性地，如图3所示，第一取放料组件500可以包括第一支架510和第一吸嘴520。第一支架510可以连接至连接组件420。第一吸嘴520至少可以为一个，例如可以为一个、两个或者更多。第一吸嘴520可以连接至第一支架510的端部。第一吸嘴520可以设置在第一支架510的一个或者多个端部上。并且，第一支架510的任一个端部上可以设置一个或者多个第一吸嘴520。在图中示出的实施例中，第一支架510可以呈X形。X形的第一支架510可以具有四个端部。每个端部均可以设置有第一吸嘴520。X形的第一支架510包括但不限于十字形支架。

在实际应用中，当需要拾取物料时，抽真空器可以抽真空，以使第一吸嘴520处可以处于负压环境，从而可以吸附物料。当需要放置物料时，气源可以向第一吸嘴520供气，以消除第一吸嘴520处的负压环境，从而可以使物料与第一吸嘴520分离。如此设置，第一吸嘴520可以牢牢地吸附在物料的表面，并且不会伤害或者磨损物料。并且，物料上无需设置有相应的工装部件，且第一取放料组件500对物料的外形的要求较低。因此，取放料装置100可以适用于更多类型的物料，适用性较强。

第二取放料组件600可以包括第二支架610和第二吸嘴620。第二支架610可以连接至连接组件420。第二吸嘴620至少可以为一个，例如可以为一个、两个或者更多。第二吸嘴620可以连接至第二支架610的端部。第二吸嘴620可以设置在第二支架610的一个或者多个端部上。并且，第二支架610的任一个端部上可以设置一个或者多个第二吸嘴620。在图中示出的实施例中，第二支架610可以呈X形。X形的第二支架610可以具有四个端部。每个端部均可以设置有第二吸嘴620。X形的第二支架610包括但不限于十字形支架。

在实际应用中，当需要拾取物料时，抽真空器可以抽真空，以使第二吸嘴620处可以处于负压环境，从而可以吸附物料。当需要放置物料时，气源可以向第二吸嘴620供气，以消除第二吸嘴620处的负压环境，从而可以使物料与第二吸嘴620分离。如此设置，第二吸嘴620可以牢牢地吸附在物料的表面，并且不会伤害或者磨损物料。并且，物料上无需设置有相应的工装部件，且第二取放料组件600对物料的外形的要求较低。因此，取放料装置100可以适用于更多类型的物料，适用性较强。

示例性地，如图3所述，第一支架510和第二支架610均可以呈X形。连接组件420分别可以连接至第一支架510的中部和第二支架610的中部。第一支架510的每个端部上都可以设置有第一吸嘴520。第二支架610的每个端部上都可以设置有第二吸嘴620。如此设置，第一取放料组件500上具有多个第一吸嘴520，且多个第一吸嘴520可以较为均匀地分布。这样，第一取放料组件500对物料的吸附力较强，且吸附力较为均匀。第二取放料组件600上具有多个第二吸嘴620，且多个第二吸嘴620可以较为均匀地分布。这样，第二取放料组件600对物料的吸附力较强，且吸附力较为均匀。

示例性地，支撑轴410内可以设置有沿其轴向贯通的通道。这样，缆线(例如电源线和信号线)和气管等部件可以穿设支撑轴410的通道。如此，支撑轴410可以对缆线和气管等部件等起到保护作用，防止它们被外力破坏。并且，取放料装置100的空间利用率更高，结构更加小巧。以及，支撑轴410的通道内还可以设置角度传感器。角度传感器包括但不限于激光位移传感器。角度传感器可以检测支撑轴410的旋转角度，从而避免支

撑轴410旋转出现偏差，导致第一取放料组件500和第二取放料组件6005无法准确取放物料。

具体地，支撑轴410的第一端可以设置有第一轴承。第一轴承的外圈可以连接至通道的侧壁。支撑轴410的第二端可以设置有第二轴承。第二轴承的外圈可以连接至通道的侧壁。第一轴承和第二轴承可以相同或者不

同。轴向力支撑件可以位于第一轴承和第二轴承之间。第一轴承的内圈和0第二轴承的内圈分别可以用于固定穿设通道的缆线和气管等部件。这样，

当支撑轴410旋转时，第一轴承的内圈和第二轴承的内圈可以相对静止。因此，固定至第一轴承的内圈和第二轴承的内圈的缆线和气管等部件不会发生缠绕等问题，从而可以提高安全性。

为了便于描述，在这里可以使用区域相对术语，如“在……之上”、5“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述图中所示的一个或多个部件或特征与其他部件或特征的区域位置关系。应当理解的是，区域相对术语不但包含部件在图中所描述的方位，还包括使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的部件被整体倒置，则部件“在其他部

件或特征上方”或“在其他部件或特征之上”的将包括部件“在其他部件0或构造下方”或“在其他部件或构造之下”的情况。因而，示例性术语“在……

上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。此外，这些部件或特征也可以其他不同角度来定位(例如旋转90度或其他角度)，本文意在包含所有这些情况。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非5意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文

另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、部件、组件和/或它们的组合。

需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语0“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺

序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。

本发明已经通过上述实施例进行了说明，但应当理解的是，上述实施例只是用于举例和说明的目的，而非意在将本发明限制于所描述的实施例范围内。此外本领域技术人员可以理解的是，本发明并不局限于上述实施例，根据本发明的教导还可以做出更多种的变型和修改，这些变型和修改均落在本发明所要求保护的范围以内。本发明的保护范围由附属的权利要求书及其等效范围所界定。

Claims (15)

1.一种取放料装置，其特征在于，包括：

取放料主体；

旋转驱动机构，所述旋转驱动机构设置在所述取放料主体上；

支撑轴，所述支撑轴的第一端与所述旋转驱动机构传动连接；

第一取放料组件和第二取放料组件，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件通过连接组件连接至所述支撑轴的第二端，所述支撑轴在所述旋转驱动机构的驱动下带动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿弧形轨迹可移动，以使所述第一取放料组件和所述第二取放料组件可交换位置；以及

轴向力支撑件，所述轴向力支撑件连接在所述支撑轴和所述取放料主体之间，且相对于所述第二端更靠近所述第一端，所述轴向力支撑件用于分担所述支撑轴承受的轴向力。

2.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述连接组件包括横梁，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件分别连接至所述横梁的两端，所述支撑轴的所述第二端连接至所述横梁的两端之间的中部。

3.如权利要求2所述的取放料装置，其特征在于，所述横梁的中部为所述横梁的中心，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件相对于所述支撑轴对称设置。

4.如权利要求2所述的取放料装置，其特征在于，所述连接组件还包括：

分别设置在所述横梁的两端的第一气缸安装板和第二气缸安装板；以及

分别连接至所述第一气缸安装板和所述第二气缸安装板的第一气缸和第二气缸，

其中，所述第一取放料组件连接至所述第一气缸的活塞杆，所述第二取放料组件连接至所述第二气缸的活塞杆，所述第一气缸和所述第二气缸分别用于驱动所述第一取放料组件和所述第二取放料组件沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。

5.如权利要求4所述的取放料装置，其特征在于，所述取放料装置还包括第一拉伸弹性件和第二拉伸弹性件，所述第一拉伸弹性件的一端连接至所述第一气缸的主体和/或所述第一气缸安装板和/或所述横梁，所述第一拉伸弹性件的另一端连接至所述第一取放料组件；所述第二拉伸弹性件的一端连接至所述第二气缸的主体和/或所述第二气缸安装板和/或所述横梁，所述第二拉伸弹性件的另一端连接至所述第二取放料组件。

6.如权利要求5所述的取放料装置，其特征在于，所述第一拉伸弹性件构造为在所述第一气缸的气路结构发生故障时将所述第一取放料组件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述第一取放料组件保持在所述缩回位置，所述第二拉伸弹性件构造为在所述第二气缸的气路结构发生故障时将所述第二取放料组件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述第二取放料组件保持在所述缩回位置。

7.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述轴向力支撑件包括角接触球轴承，所述角接触球轴承连接在所述支撑轴的外周侧和所述取放料主体之间。

8.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述旋转驱动机构包括旋转驱动件和旋转传动件，所述旋转传动件在所述旋转驱动件的驱动下带动所述支撑轴旋转，所述取放料主体上设置有第一安装孔和第二安装孔，所述旋转驱动件和所述支撑轴分别穿设并连接至所述第一安装孔和所述第二安装孔，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件位于所述取放料主体的一侧，所述旋转传动件位于所述取放料主体的另一侧。

9.如权利要求1-8中任一项所述的取放料装置，其特征在于，所述第一取放料组件包括第一支架和连接至所述第一支架的端部的至少一个第一吸嘴，所述第二取放料组件包括第二支架和连接至所述第二支架的端部的至少一个第二吸嘴，所述第一支架和所述第二支架均连接至所述连接组件。

10.如权利要求9所述的取放料装置，其特征在于，所述第一支架和所述第二支架均呈X形，所述连接组件连接至所述第一支架的中部和所述第二支架的中部，所述第一支架的每个端部上都设置有所述第一吸嘴，所述第二支架的每个端部上都设置有所述第二吸嘴。

11.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述支撑轴内设置有沿其轴向贯通的通道，所述第一端设置有第一轴承，所述第一轴承的外圈连接至所述通道的侧壁，所述第二端设置有第二轴承，所述第二轴承的外圈连接至所述通道的侧壁，所述轴向力支撑件位于所述第一轴承和所述第二轴承之间，所述第一轴承的内圈和所述第二轴承的内圈分别用于固定穿设所述通道的部件。

12.一种加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-11中任一项所述的取放料装置。

13.如权利要求12所述的加工设备，其特征在于，所述加工设备还包括载台和定位装置，所述载台用于承载物料，所述定位装置包括用于调整物料的姿态的定位机构，所述第一取放料组件和所述第二取放料组件用于在所述载台的上方和所述定位机构的上方交替移动。

14.如权利要求13所述的加工设备，其特征在于，所述定位装置还包括行程弥补机构，所述行程弥补机构用于驱动所述定位机构沿水平方向移动，以使所述定位机构的行程与所述弧形轨迹具有交叉点。

15.如权利要求14所述的加工设备，其特征在于，所述行程弥补机构包括行程驱动件和行程导轨，所述行程驱动件用于驱动所述定位机构沿所述行程导轨移动，所述行程导轨沿所述弧形轨迹的径向方向延伸。

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