CN219050819U - 一种综合废气的净化设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种综合废气的净化设备，包括底座，所述底座的上端面上设置有沸石过滤机构，所述沸石过滤机构上设置有驱动机构，所述沸石过滤机构的一侧设置有加热组件，所述底座上端面的一侧设置有三级过滤组件；本实用新型结构简单，设计合理，通过沸石过滤机构，使得沸石过滤模块的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底排放进大气的情况，同时由于安装板增加了工作箱上下两端的密封性，不会出现未经过滤的气体渗透进工作箱下端通过第二排风管排进大气的情况，更加环保、安全和高效，同时通过驱动机构，实现了快速更换两个沸石过滤模块位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构的过滤效率。

Description

一种综合废气的净化设备

技术领域

本实用新型涉及半导体生产排放设备技术领域，具体为一种综合废气的净化设备。

背景技术

半导体工业在加工的过程中会使用到光刻胶、蚀刻液、清洗剂、显影剂等溶剂，而这些溶剂含有大量的有机物成分，这也导致排放出来的废气含有大量的挥发性有机物，在挥发性有机物浓度较高且有火花或静电情况下，极易发生闪爆现象，因此针对半导体生产的净化设备都会侧重于挥发性有机物的处理。

现有技术的不足：

目前生产企业常用沸石转轮设备来处理废气中的有机物，将沸石转轮划分为处理区，脱附区和冷却区，通过转轮的不断转动，使得整个转轮处在处理、脱附、冷却和再处理的循环中，但是这种处理方式中为了保证废气处理的效率，处理区的面积往往较大，脱附区和冷却区的面积较小，这会导致脱附区的沸石往往没有得到彻底的脱附再生就要进入下一个循环进行废气处理，从而导致废气处理的效率较低，在排放量大的情况下，部分废弃还未彻底处理就会被排放出去，破坏环境，并且这种转轮结构的内部为了保证转轮的转动无法完全密封，脱附区的含有高浓度挥发性有机物的气体容易渗透进过滤好的空气随之一起排出，净化的效率不高，因此现有的半导体生产用的废气净化设备已无法适应当前的使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种综合废气的净化设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种综合废气的净化设备，包括底座，所述底座的上端面上设置有沸石过滤机构，所述沸石过滤机构上设置有驱动机构，所述沸石过滤机构的一侧设置有加热组件，所述底座上端面的一侧设置有三级过滤组件；

所述沸石过滤机构包括有：

工作箱，所述工作箱设置在底座上端面的一侧；

沸石过滤模块，所述沸石过滤模块活动设置在工作箱的两侧；

安装板，所述安装板设置在沸石过滤模块的上下两端；

第一排风管，所述第一排风管与工作箱的上端出风口相连接，所述工作箱下端的出风口连接有第二排风管。

优选的，所述驱动机构包括有：

电机，所述电机设置在工作箱上端面的两侧，所述电机的一侧连接有主动齿轮，所述工作箱的上端面上远离主动齿轮的一侧设置有从动齿轮；

链条，所述链条与主动齿轮和从动齿轮啮合连接，所述链条的两端分别与工作箱内部两侧的安装板连接。

优选的，所述加热组件包括有：

加热箱，所述加热箱设置在三级过滤组件的上端，所述加热箱的出风端与工作箱上端的进风口相连；

高温隔热棉，所述高温隔热棉设置在加热箱内部的上下两端，所述高温隔热棉之间设置有加热块。

优选的，所述三级过滤组件包括有：

初效过滤器，所述初效过滤器设置在底座的上端面上远离工作箱的一侧，所述初效过滤器的一端连接有中效过滤器，所述中效过滤器的一端连接有高效过滤器；

连接管，所述连接管连接在高效过滤器和工作箱下端的进风口之间，所述连接管的上端通过分支管与加热箱的进风口相连接。

优选的，所述工作箱的两侧均设置有滑槽，所述安装板的两侧通过设置滑块与滑槽滑动连接。

优选的，所述工作箱的上端面上位于链条的进出口处设置有和链条相匹配的密封块。

优选的，所述加热块由蜂窝陶瓷蓄热体制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该一种综合废气的净化设备，通过设置有沸石过滤机构，沸石过滤机构包括有工作箱、沸石过滤模块、安装板、第一排风管和第二排风管，使得沸石过滤模块的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底就排放进大气的情况，同时由于安装板增加了工作箱上下两端的密封性，不会出现未经过滤的含有高浓度挥发性有机物的气体渗透进工作箱下端通过第二排风管排进大气的情况，更加环保、安全和高效；

2、该一种综合废气的净化设备，通过设置有驱动机构，驱动机构包括有电机、主动齿轮、从动齿轮和链条，实现了快速更换两个沸石过滤模块位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构的过滤效率。

附图说明

图1为本实用新型的整体主视图；

图2为本实用新型的沸石过滤机构工作示意图；

图3为本实用新型的沸石过滤机构内部结构侧视示意图；

图4为本实用新型的加热组件内部结构示意图；

图5为本实用新型的图1中在A处的放大示意图；

图6为本实用新型的图3中在B处的放大示意图。

图中：1、底座；2、沸石过滤机构；201、工作箱；202、沸石过滤模块；203、安装板；204、第一排风管；205、第二排风管；206、滑槽；3、驱动机构；301、电机；302、主动齿轮；303、从动齿轮；304、链条；4、加热组件；401、加热箱；402、高温隔热棉；403、加热块；5、三级过滤组件；501、初效过滤器；502、中效过滤器；503、高效过滤器；504、连接管；6、密封块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“ 顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体的连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

此外，术语“第一”、 “第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

实施例

请参阅图1-6所示，本实用新型提供的一种综合废气的净化设备技术方案：一种综合废气的净化设备，包括底座1，底座1的上端面上安装有沸石过滤机构2，沸石过滤机构2上安装有驱动机构3，沸石过滤机构2的一侧安装有加热组件4，底座1上端面的一侧安装有三级过滤组件5；沸石过滤机构2包括有工作箱201、沸石过滤模块202、安装板203和第一排风管204，工作箱201通过支架安装在底座1上端面的一侧，沸石过滤模块202活动安装在工作箱201的两侧，安装板203安装在沸石过滤模块202的上下两端，第一排风管204与工作箱201的上端出风口相连接，工作箱201下端的出风口连接有第二排风管205，当沸石过滤机构2工作时，待处理的含有挥发性有机物的气体从工作箱201下端的进风口进入，随后被工作箱201下端的沸石过滤模块202过滤后通过第二排风管205排放进入大气中，同时一部分未过滤的含有挥发性有机物的气体通过加热组件4加热后从工作箱201的上端进气口进入，对处于工作箱201上端的沸石过滤模块202进行再生脱附，脱附过程中产生的高浓度的含有挥发性有机物的气体通过第一排风管204进入RCO设备中催化燃烧处理，当工作箱201下端的沸石过滤模块202吸附达到饱和状态时，启动驱动机构3更换两个沸石过滤模块202的位置，将脱附再生完成的沸石过滤模块202移动到工作箱201的下方继续过滤，吸附达到饱和的沸石过滤模块202送至工作箱201的上方进行脱附再生，位于工作箱201中部的两块安装板203在就位后将工作箱201的上下空间分隔开，防止未经过滤的气体进入到工作箱201下端，通过沸石过滤机构2，使得沸石过滤模块202的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底排放进大气的情况，同时由于安装板203增加了工作箱201上下两端的密封性，不会出现未经过滤的气体渗透进工作箱201下端通过第二排风管205排进大气的情况，更加环保，安全，高效。

驱动机构3包括有电机301和链条304，电机301通过支架安装在工作箱201上端面的两侧，电机301的一侧连接有主动齿轮302，两个电机301和主动齿轮302均位于一侧沸石过滤模块202的正上方，工作箱201的上端面上远离主动齿轮302的一侧通过支架转动安装有从动齿轮303，两个从动齿轮303位于另一侧的沸石过滤模块202的正上方，链条304与主动齿轮302和从动齿轮303啮合连接，链条304的两端分别与工作箱201内部两侧的安装板203连接，当需要更换沸石过滤模块202的位置时，启动电机301，电机301通过主动齿轮302和从动齿轮303带动链条304移动，从而实现两个沸石过滤模块202上下移动换位的效果，通过驱动机构3，实现了快速更换两个沸石过滤模块202位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构2的过滤效率。

加热组件4包括有加热箱401和高温隔热棉402，加热箱401通过支架安装在三级过滤组件5的上端，加热箱401的出风端与工作箱201上端的进风口相连，高温隔热棉402安装在加热箱401内部的上下两端，高温隔热棉402之间安装有加热块403，当需要加热待处理的含有挥发性有机物的气体时，给加热块403通电加热，气体从加热箱401的进风口进入后穿过加热块403，最后通过出风口进入到工作箱201的上端为沸石过滤模块202脱附再生，当需要冷风进行冷却时，关闭加热块403电源即可，通过加热组件4，为沸石过滤机构2的脱附再生区提供了热风和冷风，满足了脱附和冷却所需要的条件。

三级过滤组件5包括有初效过滤器501和连接管504，初效过滤器501通过支架安装在底座1的上端面上远离工作箱201的一侧，初效过滤器501的一端连接有中效过滤器502，中效过滤器502的一端连接有高效过滤器503，连接管504连接在高效过滤器503和工作箱201下端的进风口之间，连接管504的上端通过分支管与加热箱401的进风口相连接，待处理的含有挥发性有机物的气体从初效过滤器501进入，最后从高效过滤器503离开通过连接管504进入到工作箱201中，通过初效过滤器501、中效过滤器502和高效过滤器503将待处理的含有挥发性有机物的气体中的大中小颗粒预先过滤了出来，防止沸石过滤模块202出现堵塞，提高了过滤的时间和使用寿命。

工作箱201的两侧均开设有滑槽206，安装板203的两侧通过开设滑块与滑槽206滑动连接，滑槽206保证了安装板203可以带动沸石过滤模块202在工作箱201内做垂直运动，不会发生偏移。

工作箱201的上端面上位于链条304的进出口处安装有和链条304相匹配的密封块6，密封块6可以保证未经过滤的气体不会泄露出来。

加热块403由蜂窝陶瓷蓄热体制成，蜂窝陶瓷蓄热体具有耐高温、抗腐蚀、热稳定性和导热性能俱佳等优点，更加符合使用需求。

本实用新型的工作原理如下：

本实施例的一种综合废气的净化设备在使用时，待处理的含有挥发性有机物的气体从初效过滤器501进入，经过中效过滤器502最后从高效过滤器503离开通过连接管504进入到工作箱201中被工作箱201下端的沸石过滤模块202过滤，最后通过第二排风管205排放进入大气中，同时给加热块403通电加热，一部分未过滤的含有挥发性有机物的气体从加热箱401的进风口进入后穿过加热块403，最后通过出风口进入到工作箱201的上端，对处于工作箱201上端的沸石过滤模块202进行再生脱附，脱附过程中产生的高浓度的含有挥发性有机物的气体通过第一排风管204进入RCO设备中催化燃烧处理，脱附再生完成后给加热箱401断电，使冷风通过加热箱401进入工作箱201上端为沸石过滤模块 202冷却，当工作箱201下端的沸石过滤模块202吸附达到饱和状态时，暂停含有挥发性有机物的气体输入，启动电机301，电机301通过主动齿轮302和从动齿轮303带动链条304移动，从而更换两个沸石过滤模块202的位置，将脱附再生完成的沸石过滤模块202移动到工作箱201的下方继续过滤，吸附达到饱和的沸石过滤模块202送至工作箱201的上方进行脱附再生，此时可以继续输入含有挥发性有机物的气体进行过滤；本实用新型结构简单，设计合理，通过沸石过滤机构2，使得沸石过滤模块202的脱附再生时间更久，相较于传统的沸石转轮脱附再生更加彻底，有效避免了部分废气过滤不彻底就排放进大气的情况，同时由于安装板203增加了工作箱201上下两端的密封性，不会出现含有高浓度挥发性有机物的气体渗透进工作箱201下端通过第二排风管205排进大气的情况，更加环保，安全，高效，同时通过驱动机构3，实现了快速更换两个沸石过滤模块202位置的效果，进一步提高了沸石过滤机构2的过滤效率。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的仅为本实用新型的优选例，并不用来限制本实用新型，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种综合废气的净化设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上端面上设置有沸石过滤机构（2），所述沸石过滤机构（2）上设置有驱动机构（3），所述沸石过滤机构（2）的一侧设置有加热组件（4），所述底座（1）上端面的一侧设置有三级过滤组件（5）；

所述沸石过滤机构（2）包括有：

工作箱（201），所述工作箱（201）设置在底座（1）上端面的一侧；

沸石过滤模块（202），所述沸石过滤模块（202）活动设置在工作箱（201）的两侧；

安装板（203），所述安装板（203）设置在沸石过滤模块（202）的上下两端；

第一排风管（204），所述第一排风管（204）与工作箱（201）的上端出风口相连接，所述工作箱（201）下端的出风口连接有第二排风管（205）。

2.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述驱动机构（3）包括有：

电机（301），所述电机（301）设置在工作箱（201）上端面的两侧，所述电机（301）的一侧连接有主动齿轮（302），所述工作箱（201）的上端面上远离主动齿轮（302）的一侧设置有从动齿轮（303）；

链条（304），所述链条（304）与主动齿轮（302）和从动齿轮（303）啮合连接，所述链条（304）的两端分别与工作箱（201）内部两侧的安装板（203）连接。

3.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述加热组件（4）包括有：

加热箱（401），所述加热箱（401）设置在三级过滤组件（5）的上端，所述加热箱（401）的出风端与工作箱（201）上端的进风口相连；

高温隔热棉（402），所述高温隔热棉（402）设置在加热箱（401）内部的上下两端，所述高温隔热棉（402）之间设置有加热块（403）。

4.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述三级过滤组件（5）包括有：

初效过滤器（501），所述初效过滤器（501）设置在底座（1）的上端面上远离工作箱（201）的一侧，所述初效过滤器（501）的一端连接有中效过滤器（502），所述中效过滤器（502）的一端连接有高效过滤器（503）；

连接管（504），所述连接管（504）连接在高效过滤器（503）和工作箱（201）下端的进风口之间，所述连接管（504）的上端通过分支管与加热箱（401）的进风口相连接。

5.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述工作箱（201）的两侧均设置有滑槽（206），所述安装板（203）的两侧通过设置滑块与滑槽（206）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述工作箱（201）的上端面上位于链条（304）的进出口处设置有和链条（304）相匹配的密封块（6）。

7.根据权利要求3所述的综合废气的净化设备，其特征在于：所述加热块（403）由蜂窝陶瓷蓄热体制成。

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