CN219040452U - 一种晶片垂直放置固定结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶片垂直放置固定结构，属于半导体元件测试领域，包括晶片固定组件，所述晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，其底部设置有用于插至样品载台上固定的圆杆。本实用新型在晶片与样品载台之间设置晶片固定组件，晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，将晶片安装在所述晶片安装区域，再将圆杆插至样品载台上，实现晶片在样品载台上的固定。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体元件测试领域，具体而言，涉及一种晶片垂直放置固定结构。
背景技术
在半导体元件的制程中，离子布植是一道相当重要的步骤，此过程对会决定MOSFET是否能正常运作；目前可对离子布植的特性进行检测的分析工具主要有2项，分別为扫描式电容显微镜(SCM)及电子束感应电流(EBIC)。这些皆须在SEM或特定机台内，利用微探针进行点针或感应，对晶片截面的离子布植区域进行检测。
欲使用EBIC来分析试片截面，必须将试片垂直摆放，固定在SEM的样品载台上，再进行探针点测观察。目前常见的样品制作法，都是将试片垂直粘贴在任意载片上，再将载片放置于SEM样品载台进行检测，不仅做法十分麻烦，也经常因导电品质不佳而影响分析结果。
若使用原厂的固定结构，由于机台基座部分规格化，加上在样品制备有一定的样品大小(高度/宽度)极限，原厂的固定结构已不适用，需进行改良。
基于以上问题及本发明人对上述问题进行深入的研究，遂有本案产生。
实用新型内容
为克服现有技术中分析试片截面时，晶片固定存在做法十分麻烦，也经常因导电品质不佳而影响分析结果的问题，本实用新型提供了一种晶片垂直放置固定结构，包括晶片固定组件，所述晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，其底部设置有用于插至样品载台上固定的圆杆。
在晶片与样品载台之间设置晶片固定组件，晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，将晶片安装在所述晶片安装区域，再将圆杆插至样品载台上，实现晶片在样品载台上的固定。
优选地，所述晶片通过粘胶固定在所述晶片固定组件侧面上，且所述晶片侧面与所述晶片固定组件侧面贴合。
优选地，所述晶片固定组件为三菱柱载台，所述三菱柱载台横截面为直角三角形且其中一条直角边所在侧面固定安装有所述圆杆，所述晶片下部通过粘胶固定在所述三菱柱载台另一直角边所在侧面上，且所述晶片侧面与所述三菱柱载台另一直角边所在侧面贴合。
优选地，所述晶片固定组件包括载片组件，所述载片组件包括两片叠合的第一载片和第二载片，所述第一载片和第二载片均为方形且底端和两侧端对齐，第一载片高度高于第二载片，所述第二载片厚度大于或等于所述晶片厚度，所述第一载片与所述第二载片的高度差小于所述晶片长度，所述第一载片和所述第二载片宽度大于所述晶片宽度；
所述晶片放置在所述第二载片上表面且所述晶片侧面与所述第一载片贴合，所述晶片远离所述第一载片一侧下部与所述第二载片上部之间、所述晶片靠近所述第一载片一侧与所述第一载片上部之间通过粘胶固定。
优选地，所述晶片固定组件还包括载片固定组件，所述载片固定组件包括载片座和紧固螺丝，所述载片座上表面开设有载片安装槽，所述载片组件垂直安装在所述载片安装槽内，所述紧固螺丝通过所述载片安装槽内壁顶底在所述第一载片或第二载片上。
优选地，所述圆杆顶端固定安装在所述载片座底部，或通过旋转轴安装在所述载片座底部。
优选地，所述晶片固定组件包括弹簧片锁固组件，所述弹簧片锁固组件包括弹簧片和弹簧载片座，所述弹簧片一端固定安装在所述弹簧载片座侧面，所述弹簧载片座侧面与所述弹簧片等高位置处形成有螺丝安装孔，所述弹簧片另一端通过弹簧片螺丝安装在所述弹簧载片座上的螺丝安装孔内；所述弹簧载片座底部向所述弹簧片所在一侧延伸有底部固定块；所述圆杆顶端固定安装在所述弹簧载片座底面上；
所述晶片或所述载片组件通过所述弹簧片固定安装在所述弹簧载片座上，且所述晶片或所述载片组件侧面与所述弹簧载片座侧面贴合，底面与所述底部固定块上表面贴合。
优选地，晶片固定组件还包括夹具固定组件，所述夹具固定组件包括夹具座和螺丝夹具块，所述夹具座上靠近所述螺丝夹具块一侧形成有螺丝安装孔，所述螺丝夹具块上靠近所述夹具座一侧形成有与所述螺丝安装孔相匹配的夹具螺丝，所述螺丝夹具块靠近所述夹具座一侧所述夹具螺丝上方为与所述夹具螺丝中心轴垂直的平面；所述夹具座上靠近所述螺丝夹具块一侧所述螺丝安装孔上方为与所述螺丝安装孔垂直的平面；
所述载片组件安装在所述夹具座和螺丝夹具块中间的所述夹具螺丝上方位置处且所述第一载片和第二载片分别与所述夹具座、所述螺丝夹具块上所述夹具螺丝上方的侧面贴合。
优选地，所述圆杆顶端固定安装在所述夹具座或所述螺丝夹具块底部。
有益效果：
采用本实用新型技术方案产生的有益效果如下：在晶片与样品载台之间设置晶片固定组件，晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，将晶片安装在所述晶片安装区域，再将圆杆插至样品载台上，实现晶片在样品载台上的固定。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型较佳之三菱柱载台结构示意图；
图2是本实用新型较佳之载片组件结构侧视示意图；
图3是本实用新型较佳之载片组件结构主视示意图；
图4是本实用新型较佳之载片固定组件及载片组件组合结构示意图一；
图5是本实用新型较佳之载片固定组件及载片组件组合结构示意图二；
图6是本实用新型较佳之载片固定组件及载片组件组合结构示意图三；
图7是本实用新型较佳之弹簧片锁固组件主视结构示意图；
图8是本实用新型较佳之弹簧片锁固组件侧视结构示意图；
图9是本实用新型较佳之夹具固定组件结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-9所示，晶片垂直放置固定结构包括晶片固定组件1，所述晶片固定组件2顶部或侧面上设置有用于安装晶片100的晶片安装区域，其底部设置有用于插至样品载台上固定的圆杆2。
在晶片与样品载台之间设置晶片固定组件，晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，将晶片安装在所述晶片安装区域，再将圆杆插至样品载台上，实现晶片在样品载台上的固定。
晶片100通过粘胶200固定在所述晶片固定组件1侧面上，且所述晶片100侧面与所述晶片固定组件1侧面贴合。
如图1所示，晶片固定组件1为三菱柱载台，所述三菱柱载台横截面为直角三角形且其中一条直角边所在侧面固定安装有所述圆杆2，所述晶片1下部通过粘胶200固定在所述三菱柱载台另一直角边所在侧面上，且所述晶片侧面与所述三菱柱载台另一直角边所在侧面贴合。
如图2和3所示，晶片固定组件1包括载片组件3，所述载片组件3包括两片叠合的第一载片31和第二载片32，所述第一载片31和第二载片32均为方形且底端和两侧端对齐，第一载片31高度高于第二载片32，所述第二载片32厚度大于或等于所述晶片100厚度，所述第一载片31与所述第二载片32的高度差小于所述晶片100长度，所述第一载片31和所述第二载片32宽度大于所述晶片100宽度；
晶片100放置在所述第二载片32上表面且所述晶片100侧面与所述第一载片31贴合，所述晶片100远离所述第一载片31一侧下部与所述第二载片32上部之间、所述晶片100靠近所述第一载片31一侧与所述第一载片31上部之间通过粘胶200固定。
晶片固定组件1还包括载片固定组件4，所述载片固定组件4包括载片座41和紧固螺丝42，所述载片座41上表面开设有载片安装槽43，所述载片组件3垂直安装在所述载片安装槽43内，所述紧固螺丝42通过所述载片安装槽43内壁顶底在所述第一载片31或第二载片32上。
圆杆2顶端固定安装在所述载片座41底部，或通过旋转轴21安装在所述载片座41底部，如图4和6所示。
如图7和8所示，晶片固定组件1包括弹簧片锁固组件5，所述弹簧片锁固组件5包括弹簧片51和弹簧载片座52，所述弹簧片51一端固定安装在所述弹簧载片座52侧面，所述弹簧载片座52侧面与所述弹簧片51等高位置处形成有螺丝安装孔53，所述弹簧片51另一端通过弹簧片螺丝54安装在所述弹簧载片座52上的螺丝安装孔53内；所述弹簧载片座52底部向所述弹簧片51所在一侧延伸有底部固定块55；所述圆杆2顶端固定安装在所述弹簧载片座52底面上；
晶片100或所述载片组件3通过所述弹簧片51固定安装在所述弹簧载片座52上，且所述晶片100或所述载片组件3侧面与所述弹簧载片座52侧面贴合，底面与所述底部固定块55上表面贴合。
如图9所示，晶片固定组件1还包括夹具固定组件6，所述夹具固定组件6包括夹具座61和螺丝夹具块62，所述夹具座61上靠近所述螺丝夹具块62一侧形成有螺丝安装孔63，所述螺丝夹具块62上靠近所述夹具座61一侧形成有与所述螺丝安装孔63相匹配的夹具螺丝64，所述螺丝夹具块62靠近所述夹具座61一侧所述夹具螺丝64上方为与所述夹具螺丝64中心轴垂直的平面；所述夹具座61上靠近所述螺丝夹具块62一侧所述螺丝安装孔63上方为与所述螺丝安装孔63垂直的平面；
载片组件3安装在所述夹具座61和螺丝夹具块62中间的所述夹具螺丝64上方位置处且所述第一载片31和第二载片32分别与所述夹具座61、所述螺丝夹具块62上所述夹具螺丝64上方的侧面贴合。
圆杆2顶端固定安装在所述夹具座61或所述螺丝夹具块62底部。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，包括晶片固定组件，所述晶片固定组件顶部或侧面上设置有用于安装晶片的晶片安装区域，其底部设置有用于插至样品载台上固定的圆杆。
2.根据权利要求1所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片通过粘胶固定在所述晶片固定组件侧面上，且所述晶片侧面与所述晶片固定组件侧面贴合。
3.根据权利要求2所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片固定组件为三菱柱载台，所述三菱柱载台横截面为直角三角形且其中一条直角边所在侧面固定安装有所述圆杆，所述晶片下部通过粘胶固定在所述三菱柱载台另一直角边所在侧面上，且所述晶片侧面与所述三菱柱载台另一直角边所在侧面贴合。
4.根据权利要求2所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片固定组件包括载片组件，所述载片组件包括两片叠合的第一载片和第二载片，所述第一载片和第二载片均为方形且底端和两侧端对齐，第一载片高度高于第二载片，所述第二载片厚度大于或等于所述晶片厚度，所述第一载片与所述第二载片的高度差小于所述晶片长度，所述第一载片和所述第二载片宽度大于所述晶片宽度；
所述晶片放置在所述第二载片上表面且所述晶片侧面与所述第一载片贴合，所述晶片远离所述第一载片一侧下部与所述第二载片上部之间、所述晶片靠近所述第一载片一侧与所述第一载片上部之间通过粘胶固定。
5.根据权利要求4所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片固定组件还包括载片固定组件，所述载片固定组件包括载片座和紧固螺丝，所述载片座上表面开设有载片安装槽，所述载片组件垂直安装在所述载片安装槽内，所述紧固螺丝通过所述载片安装槽内壁顶底在所述第一载片或第二载片上。
6.根据权利要求5所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述圆杆顶端固定安装在所述载片座底部，或通过旋转轴安装在所述载片座底部。
7.根据权利要求2所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片固定组件包括弹簧片锁固组件，所述弹簧片锁固组件包括弹簧片和弹簧载片座，所述弹簧片一端固定安装在所述弹簧载片座侧面，所述弹簧载片座侧面与所述弹簧片等高位置处形成有螺丝安装孔，所述弹簧片另一端通过弹簧片螺丝安装在所述弹簧载片座上的螺丝安装孔内；所述弹簧载片座底部向所述弹簧片所在一侧延伸有底部固定块；所述圆杆顶端固定安装在所述弹簧载片座底面上；
所述晶片通过所述弹簧片固定安装在所述弹簧载片座上，且所述晶片侧面与所述弹簧载片座侧面贴合，底面与所述底部固定块上表面贴合。
8.根据权利要求4所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，晶片固定组件还包括夹具固定组件，所述夹具固定组件包括夹具座和螺丝夹具块，所述夹具座上靠近所述螺丝夹具块一侧形成有螺丝安装孔，所述螺丝夹具块上靠近所述夹具座一侧形成有与所述螺丝安装孔相匹配的夹具螺丝，所述螺丝夹具块靠近所述夹具座一侧所述夹具螺丝上方为与所述夹具螺丝中心轴垂直的平面；所述夹具座上靠近所述螺丝夹具块一侧所述螺丝安装孔上方为与所述螺丝安装孔垂直的平面；
所述载片组件安装在所述夹具座和螺丝夹具块中间的所述夹具螺丝上方位置处且所述第一载片和第二载片分别与所述夹具座、所述螺丝夹具块上所述夹具螺丝上方的侧面贴合。
9.根据权利要求8所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述圆杆顶端固定安装在所述夹具座或所述螺丝夹具块底部。
10.根据权利要求4所述的一种晶片垂直放置固定结构，其特征在于，所述晶片固定组件包括弹簧片锁固组件，所述弹簧片锁固组件包括弹簧片和弹簧载片座，所述弹簧片一端固定安装在所述弹簧载片座侧面，所述弹簧载片座侧面与所述弹簧片等高位置处形成有螺丝安装孔，所述弹簧片另一端通过弹簧片螺丝安装在所述弹簧载片座上的螺丝安装孔内；所述弹簧载片座底部向所述弹簧片所在一侧延伸有底部固定块；所述圆杆顶端固定安装在所述弹簧载片座底面上；
所述载片组件通过所述弹簧片固定安装在所述弹簧载片座上，且所述载片组件侧面与所述弹簧载片座侧面贴合，底面与所述底部固定块上表面贴合。
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