CN219010446U - 一种立式数控真空镀膜机 - Google Patents

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王伟平
王金泉
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Abstract

本实用新型公开了一种立式数控真空镀膜机,涉及真空镀膜机结构技术领域,为解决现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候,需要对物体进行翻转,从而对物体表面进行镀膜,这样使镀膜的效率不高的问题。所述镀膜机上端安装有冷却装置,所述冷却装置的下端安装有电加热装置,所述电加热装置的下方安装有靶材,所述镀膜机的一端设置有连接座,所述连接座的一侧安装有抽真空管,所述抽真空管的一端安装有真空泵,所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机,所述直线电机的一端安装有移动座,所述移动座的一侧安装有电机,所述电机的一侧安装有安装箱,所述安装箱的内部安装有电动气缸,所述电动气缸的一侧安装有夹持板。

Description

一种立式数控真空镀膜机
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机结构技术领域,具体为一种立式数控真空镀膜机。
背景技术
立式真空镀膜机主要是指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,一般是加热靶材使靶材表面组分以原子或离子的形式被蒸发出现,并沉降在需要镀膜的物体的表面,从而形成薄膜,这样能够很好对物体的表面进行防护。
中国专利授权公告号CN208917295U,授权公告日2019年05月31日,一种立式数控真空镀膜机,属于真空镀膜机领域,一种立式数控真空镀膜机包括立式镀膜室和工件架,工件架位于立式镀膜室的内部,工件架包括转盘、至少一个的螺纹轴、以及若干可调工件放置件,螺纹轴的一端插在转盘上,且螺纹轴与转盘可转动连接,螺纹轴上具有多段外螺纹,每段外螺纹均螺接有一个可调工件放置件。立式数控真空镀膜机的工件架能根据放置的不同规格工件进行调整。
但是现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候,需要对物体进行翻转,从而对物体表面进行镀膜,这样使镀膜的效率不高,因此市场上急需一种立式数控真空镀膜机来解决这些问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种立式数控真空镀膜机,以解决上述背景技术中提出现有的立式数控真空镀膜机在对物体进行镀膜的时候,需要对物体进行翻转,从而对物体表面进行镀膜,这样使镀膜的效率不高的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种立式数控真空镀膜机,包括镀膜台,所述镀膜台的上方安装有镀膜机,所述镀膜机的一端安装有密封箱门,所述镀膜机上端安装有冷却装置,所述冷却装置的下端安装有电加热装置,所述电加热装置的下方安装有靶材,所述冷却装置的一端设置有进水座,所述进水座的下端设置有出水座,所述镀膜机的一端设置有连接座,所述连接座的一侧安装有抽真空管,所述抽真空管的一端安装有真空泵,所述镀膜机内壁的两侧均安装有直线电机,所述直线电机的一端安装有移动座,所述移动座的一侧安装有电机,所述电机的一侧安装有安装箱,所述安装箱的内部安装有电动气缸,所述电动气缸的一侧安装有夹持板,所述夹持板的一端安装有防护垫,所述镀膜机的内部安装有放置座。
优选的,所述镀膜台的一侧设置有控制装置,所述镀膜台的下方安装有支撑脚,所述支撑脚设置有四个,四个所述支撑脚关于镀膜台的垂直中心线相对称。
优选的,所述冷却装置的上端设置有固定脚,所述固定脚与镀膜机之间通过固定螺钉固定连接。
优选的,所述进水座的一侧安装有进水管一,所述进水管一的一侧安装有进水管二,所述进水管二的一侧安装有冷却水箱,所述出水座的一侧安装有回流管一,所述回流管一的一侧安装有回流管二,所述回流管二的一端位于冷却水箱的内部。
优选的,所述直线电机设置有两个,两个所述直线电机关于镀膜机的垂直中心线相对称。
优选的,所述电机的一端设置有安装脚,所述安装脚与移动座之间通过紧固螺钉固定连接,所述电机的一端设置有连接板,所述连接板与安装箱之间通过安装螺钉固定连接。
优选的,所述电动气缸设置有两个,所述电动气缸的一端设置有伸缩杆,所述伸缩杆的一端设置有安装板,所述安装板与夹持板之间通过连接螺钉固定连接,所述防护垫与夹持板之间通过胶粘连接。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
1.该种立式数控真空镀膜机,通过将需要镀膜的物品放置在放置座的上方,然后通过关闭密封箱门,再通过打开真空泵,使抽真空管对镀膜机进行抽真空处理,然后通过打开电动气缸使伸缩杆推动夹持板进行移动,从而能够方便的对需要镀膜的物品进行夹持,再通过打开直线电机,使移动座带动需要镀膜的物品移动到合适的位置处,然后通过打开电加热装置,使电加热装置对靶材进行加热蒸发,从而使靶材表面组分以原子或离子的形式被蒸发出现,并沉降在需要镀膜的物体的表面,当一侧镀膜完成后,通过打开电机使被夹持物品进行转动,通过该种方式能够方便的对需要镀膜的物品的另一面进行镀膜,从而能够有效的提高镀膜的效率。
2.该种立式数控真空镀膜机,当镀膜完成后,通过控制冷却水箱,使冷却水箱内部的水能够进入到冷却装置的内部,从而能够方便的对电加热装置进行冷却,避免长时间高温状态下容易导致电加热装置出现故障。
附图说明
图1为本实用新型的整体主视图;
图2为本实用新型的图1的A区局部放大图;
图3为本实用新型的图1的B区局部放大图;
图4为本实用新型的图1的C区局部放大图。
图中:1、镀膜台;2、控制装置;3、支撑脚;4、镀膜机;5、密封箱门;6、冷却装置;601、固定脚;602、进水座;603、出水座;7、固定螺钉;8、电加热装置;9、靶材;10、进水管一;11、回流管一;12、进水管二;13、回流管二;14、冷却水箱;15、真空泵;16、抽真空管;17、连接座;18、直线电机;19、移动座;20、电机;2001、安装脚;21、紧固螺钉;22、连接板;23、安装箱;24、电动气缸;2401、伸缩杆;2402、安装板;25、安装螺钉;26、夹持板;27、连接螺钉;28、防护垫;29、放置座。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
请参阅图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种立式数控真空镀膜机,包括镀膜台1,镀膜台1的上方安装有镀膜机4,镀膜机4的一端安装有密封箱门5,镀膜机4上端安装有冷却装置6,冷却装置6的下端安装有电加热装置8,电加热装置8的下方安装有靶材9,冷却装置6的一端设置有进水座602,进水座602的下端设置有出水座603,镀膜机4的一端设置有连接座17,连接座17的一侧安装有抽真空管16,抽真空管16的一端安装有真空泵15,镀膜机4内壁的两侧均安装有直线电机18,直线电机18的一端安装有移动座19,移动座19的一侧安装有电机20,电机20的一侧安装有安装箱23,安装箱23的内部安装有电动气缸24,电动气缸24的一侧安装有夹持板26,夹持板26的一端安装有防护垫28,镀膜机4的内部安装有放置座29。
请参阅图1,镀膜台1的一侧设置有控制装置2,镀膜台1的下方安装有支撑脚3,支撑脚3设置有四个,四个支撑脚3关于镀膜台1的垂直中心线相对称,通过安装的支撑脚3可以方便的对镀膜台1进行支撑。
请参阅图1和图2,冷却装置6的上端设置有固定脚601,固定脚601与镀膜机4之间通过固定螺钉7固定连接,可以方便的对冷却装置6与镀膜机4之间进行安装固定,这样能够方便的对冷却装置6进行安装。
请参阅图1和图2,进水座602的一侧安装有进水管一10,进水管一10的一侧安装有进水管二12,进水管二12的一侧安装有冷却水箱14,出水座603的一侧安装有回流管一11,回流管一11的一侧安装有回流管二13,回流管二13的一端位于冷却水箱14的内部,通过该种设置能够使冷却水箱14内部的水能够进入到冷却装置6的内部,从而能够方便的对电加热装置8进行冷却,避免长时间高温状态下容易导致电加热装置8出现故障。
请参阅图1和图4,直线电机18设置有两个,两个直线电机18关于镀膜机4的垂直中心线相对称,通过安装的直线电机18能够使移动座19带动夹持的物体进行竖直方向移动,从而能够方便的对物体进行镀膜处理。
请参阅图1和图3,电机20的一端设置有安装脚2001,安装脚2001与移动座19之间通过连紧固螺钉21固定连接,电机20的一端设置有连接板22,连接板22与安装箱23之间通过安装螺钉25固定连接,可以方便的对电机20与移动座19之间进行安装固定,可以方便的对电机20与安装箱23之间进行安装固定。
请参阅图1和图3,电动气缸24设置有两个,电动气缸24的一端设置有伸缩杆2401,伸缩杆2401的一端设置有安装板2402,安装板2402与夹持板26之间通过连接螺钉27固定连接,防护垫28与夹持板26之间通过胶粘连接,可以方便的对电动气缸24与夹持板26之间进行安装固定,通过打开电动气缸24能够使伸缩杆2401推动夹持板26进行移动,从而能够方便的对需要镀膜的物品进行夹持。
工作原理:使用时,通过将需要镀膜的物品放置在放置座29的上方,然后通过关闭密封箱门5,再通过打开真空泵15,使抽真空管16对镀膜机4进行抽真空处理,然后通过打开电动气缸24使伸缩杆2401推动夹持板26进行移动,从而能够方便的对需要镀膜的物品进行夹持,再通过打开直线电机18,使移动座19带动需要镀膜的物品移动到合适的位置处,然后通过打开电加热装置8,使电加热装置8对靶材9进行加热蒸发,从而使靶材9表面组分以原子或离子的形式被蒸发出现,并沉降在需要镀膜的物体的表面,当一侧镀膜完成后,通过打开电机20使被夹持物品进行转动,通过该种方式能够方便的对需要镀膜的物品的另一面进行镀膜,从而能够有效的提高镀膜的效率,当镀膜完成后,通过控制冷却水箱14,使冷却水箱14内部的水能够进入到冷却装置6的内部,从而能够方便的对电加热装置8进行冷却,避免长时间高温状态下容易导致电加热装置8出现故障。
对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种立式数控真空镀膜机,包括镀膜台(1),其特征在于:所述镀膜台(1)的上方安装有镀膜机(4),所述镀膜机(4)的一端安装有密封箱门(5),所述镀膜机(4)上端安装有冷却装置(6),所述冷却装置(6)的下端安装有电加热装置(8),所述电加热装置(8)的下方安装有靶材(9),所述冷却装置(6)的一端设置有进水座(602),所述进水座(602)的下端设置有出水座(603),所述镀膜机(4)的一端设置有连接座(17),所述连接座(17)的一侧安装有抽真空管(16),所述抽真空管(16)的一端安装有真空泵(15),所述镀膜机(4)内壁的两侧均安装有直线电机(18),所述直线电机(18)的一端安装有移动座(19),所述移动座(19)的一侧安装有电机(20),所述电机(20)的一侧安装有安装箱(23),所述安装箱(23)的内部安装有电动气缸(24),所述电动气缸(24)的一侧安装有夹持板(26),所述夹持板(26)的一端安装有防护垫(28),所述镀膜机(4)的内部安装有放置座(29)。
2.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述镀膜台(1)的一侧设置有控制装置(2),所述镀膜台(1)的下方安装有支撑脚(3),所述支撑脚(3)设置有四个,四个所述支撑脚(3)关于镀膜台(1)的垂直中心线相对称。
3.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述冷却装置(6)的上端设置有固定脚(601),所述固定脚(601)与镀膜机(4)之间通过固定螺钉(7)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述进水座(602)的一侧安装有进水管一(10),所述进水管一(10)的一侧安装有进水管二(12),所述进水管二(12)的一侧安装有冷却水箱(14),所述出水座(603)的一侧安装有回流管一(11),所述回流管一(11)的一侧安装有回流管二(13),所述回流管二(13)的一端位于冷却水箱(14)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述直线电机(18)设置有两个,两个所述直线电机(18)关于镀膜机(4)的垂直中心线相对称。
6.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述电机(20)的一端设置有安装脚(2001),所述安装脚(2001)与移动座(19)之间通过紧固螺钉(21)固定连接,所述电机(20)的一端设置有连接板(22),所述连接板(22)与安装箱(23)之间通过安装螺钉(25)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种立式数控真空镀膜机,其特征在于:所述电动气缸(24)设置有两个,所述电动气缸(24)的一端设置有伸缩杆(2401),所述伸缩杆(2401)的一端设置有安装板(2402),所述安装板(2402)与夹持板(26)之间通过连接螺钉(27)固定连接,所述防护垫(28)与夹持板(26)之间通过胶粘连接。
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