CN107699857B - 一种方便散热的靶材安装装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种方便散热的靶材安装装置，包括底座，所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱，所述水箱的上侧壁固定安装有水泵，所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管，所述立板的右侧壁固定安装有固定块，所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块，所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板，所述固定块的前侧壁中部开设有通孔，所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板，所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块，所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管，本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构，可以固定锁紧靶材，且方便更换，通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构，可以将工作时产生的热导出散掉。

Description

一种方便散热的靶材安装装置
技术领域
本发明涉及靶材安装技术领域，具体为一种方便散热的靶材安装装置。
背景技术
在大规模集成电路制造中，一般通过物理气相沉积溅射靶材方法在硅片上形成一层金属薄膜，靶材在溅射过程中通常和背板通过焊料焊接起来形成溅射靶材组件，所述背板在所述靶材组件组装及溅射过程中起到支撑及传导热量的作用，但是将靶材焊接在背板上，在更换靶材时会很麻烦，而且仅仅通过背板传热散热效率很低，如果能够设计一种不使用焊接可以方便更换靶材，且散热效果好的靶材安装装置，就可以解决此类问题，为此，我们提出一种方便散热的靶材安装装置。
发明内容
本发明的目的在于提供一种方便散热的靶材安装装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种方便散热的靶材安装装置，包括底座，所述底座的内腔下侧壁固定安装有水箱，所述水箱的上侧壁固定安装有水泵，所述水泵通过导线连接外部电源，所述水泵的上下侧壁均固定安装有吸水管，所述水箱的上侧壁中间固定安装有入水口，所述入水口的上侧壁固定安装有进水管，所述底座的上侧壁左右两侧均固定安装有立板，所述立板的右侧壁固定安装有固定块，所述固定块的前侧壁开设有滑道，所述滑道的内侧壁插入有滑块，所述滑块的前侧壁固定安装有锁紧块，所述锁紧块的上侧壁固定安装有固定板，所述固定块的前侧壁中部开设有通孔，所述通孔的内侧壁前侧固定安装有金属板，所述金属板的后侧壁固定安装有圆柱块，所述圆柱块的外侧壁缠绕有冷却管，所述吸水管的上侧壁固定安装有冷却管，所述固定块的下侧壁开设有圆柱槽，所述冷却管的底端固定安装有排水管，所述排水管穿过圆柱槽，所述圆柱块的后侧壁固定安装有散热板。
优选的，所述滑道共有两道，且两道滑道分别开设在固定块的前侧壁左右两侧，滑道的形状为凸字形滑道。
优选的，所述滑块共有两块，且两块滑块分别置于两道滑道内，滑块的前侧壁开设有矩形凸起，且滑块矩形凸起穿过滑道的凸字形滑道与锁紧块固定安装。
优选的，所述锁紧块的右侧壁开设有三角形凹槽，且锁紧块共有两个，以整个装置的中心线对称分布，在两块锁紧块的三角形凹槽中夹紧有靶材。
优选的，所述固定板共有四个，且四个固定板分别固定安装在两个锁紧块的上下侧壁上，两个同一水平面的固定板之间通过螺栓螺母连接。
优选的，所述散热板共有七块。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过滑道、滑块、锁紧块和固定板的结构，可以固定锁紧靶材，且方便更换，通过金属板、圆柱块、冷却管和散热板的结构，可以将工作时产生的热导出散掉。
附图说明
图1为本发明的主视图；
图2为本发明的左视图；
图3为本发明的后视图。
图中：1、底座，2、水箱，3、水泵、4、吸水管，5、入水口，6、进水管，7、立板，8、固定块，9、滑道，10、滑块，11、锁紧块，12、固定板，13、通孔，14、金属板，15、圆柱块，16、冷却管，17、圆柱槽，18、排水管，19、散热板，20、靶材。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1、图2和图3，本发明提供一种技术方案：一种方便散热的靶材安装装置，包括底座1，所述底座1的内腔下侧壁固定安装有水箱2，所述水箱2的上侧壁固定安装有水泵3，水泵3可以将水箱2中的水吸上来，所述水泵3通过导线连接外部电源，所述水泵3的上下侧壁均固定安装有吸水管4，水箱2中的水通过吸水管4进入到固定块8中进行冷却，所述水箱2的上侧壁中间固定安装有入水口5，所述入水口5的上侧壁固定安装有进水管6，通过进水管6将冷却水输入进水箱2，所述底座1的上侧壁左右两侧均固定安装有立板7，所述立板7的右侧壁固定安装有固定块8，所述固定块8的前侧壁开设有滑道9，所述滑道9共有两道，且两道滑道9分别开设在固定块8的前侧壁左右两侧，滑道9的形状为凸字形滑道，两道滑道9可以令两个锁紧块11移动，所述滑道9的内侧壁插入有滑块10，滑块10在滑道9中移动，所述滑块10共有两块，且两块滑块10分别置于两道滑道9内，滑块10的前侧壁开设有矩形凸起，且滑块10矩形凸起穿过滑道9的凸字形滑道与锁紧块11固定安装，通过滑块10的矩形凸起和滑道9的凸字形状可以防止滑块10从滑道9的前侧落出，所述滑块10的前侧壁固定安装有锁紧块11，锁紧块11会和滑块10一起移动，所述锁紧块11的右侧壁开设有三角形凹槽，且锁紧块11共有两个，以整个装置的中心线对称分布，在两块锁紧块11的三角形凹槽中夹紧有靶材20，通过两个锁紧块11三角形凹槽可以将靶材20固定住并夹紧，所述锁紧块11的上侧壁固定安装有固定板12，所述固定板12共有四个，且四个固定板12分别固定安装在两个锁紧块11的上下侧壁上，两个同一水平面的固定板12之间通过螺栓螺母连接，通过调整螺母可以缩短固定板12之间的距离，带动锁紧块11和滑块10移动，将靶材20固定夹紧，所述固定块8的前侧壁中部开设有通孔13，所述通孔13的内侧壁前侧固定安装有金属板14，金属板14防止靶材20落入通孔中，且可以导热，所述金属板14的后侧壁固定安装有圆柱块15，圆柱块15可以导热，所述圆柱块15的外侧壁缠绕有冷却管16，冷却管16中流过冷却水，对圆柱块15冷却，所述吸水管4的上侧壁固定安装有冷却管16，所述固定块8的下侧壁开设有圆柱槽17，所述冷却管16的底端固定安装有排水管18，所述排水管18穿过圆柱槽17，所述圆柱块15的后侧壁固定安装有散热板19，所述散热板19共有七块，七块散热板19可以更有效的散热。
工作原理：在使用此靶材安装装置时，先旋出螺母使两个锁紧块11距离变远，将靶材20置于锁紧块11的三角形凹槽中，然后旋紧螺母通过固定板12将锁紧块11向中间移动，将靶材20固定并夹紧，需要更换靶材20时，只需要通过旋转螺母即可控制锁紧块11的锁紧和松开，进行更换，在工作时，对水泵3通电将水箱2中的水吸上来通过冷却管16，对导热的圆柱块15进行降温，同时散热板19进一步对圆柱块15进行散热，防止工作时产生的高温对靶材20发生影响。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种方便散热的靶材安装装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内腔下侧壁固定安装有水箱（2），所述水箱（2）的上侧壁固定安装有水泵（3），所述水泵（3）通过导线连接外部电源，所述水泵（3）的上下侧壁均固定安装有吸水管（4），所述水箱（2）的上侧壁中间固定安装有入水口（5），所述入水口（5）的上侧壁固定安装有进水管（6），所述底座（1）的上侧壁左右两侧均固定安装有立板（7），所述立板（7）的右侧壁固定安装有固定块（8），所述固定块（8）的前侧壁开设有滑道（9），所述滑道（9）的内侧壁插入有滑块（10），所述滑块（10）的前侧壁固定安装有锁紧块（11），所述锁紧块（11）的上侧壁固定安装有固定板（12），所述固定块（8）的前侧壁中部开设有通孔（13），所述通孔（13）的内侧壁前侧固定安装有金属板（14），所述金属板（14）的后侧壁固定安装有圆柱块（15），所述圆柱块（15）的外侧壁缠绕有冷却管（16），所述吸水管（4）的上侧壁固定安装有冷却管（16），所述固定块（8）的下侧壁开设有圆柱槽（17），所述冷却管（16）的底端固定安装有排水管（18），所述排水管（18）穿过圆柱槽（17），所述圆柱块（15）的后侧壁固定安装有散热板（19）。
2.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置，其特征在于：所述滑道（9）共有两道，且两道滑道（9）分别开设在固定块（8）的前侧壁左右两侧，滑道（9）的形状为凸字形滑道。
3.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置，其特征在于：所述滑块（10）共有两块，且两块滑块（10）分别置于两道滑道（9）内，滑块（10）的前侧壁开设有矩形凸起，且滑块（10）矩形凸起穿过滑道（9）的凸字形滑道与锁紧块（11）固定安装。
4.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置，其特征在于：所述锁紧块（11）的右侧壁开设有三角形凹槽，且锁紧块（11）共有两个，以整个装置的中心线对称分布，在两块锁紧块（11）的三角形凹槽中夹紧有靶材（20）。
5.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置，其特征在于：所述固定板（12）共有四个，且四个固定板（12）分别固定安装在两个锁紧块（11）的上下侧壁上，两个同一水平面的固定板（12）之间通过螺栓螺母连接。
6.根据权利要求1所述的一种方便散热的靶材安装装置，其特征在于：所述散热板（19）共有七块。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH665057A5 (de) * 1984-07-20 1988-04-15 Balzers Hochvakuum Targetplatte fuer kathodenzerstaeubung.
JPH11323542A (ja) * 1998-05-13 1999-11-26 Sony Corp スパッタリング装置
CN1836307A (zh) * 2003-06-20 2006-09-20 卡伯特公司 溅镀靶安装到垫板上的方法和设计
CN105714255A (zh) * 2016-04-27 2016-06-29 芜湖真空科技有限公司 易冷却的玻璃溅射机构

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