CN219002426U - 一种区熔炉真空气路反油机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供的一种区熔炉真空气路反油机构，涉及区熔炉真空气路反油机构技术领域，包括过滤桶下，过滤桶下的一侧连通设置有油位观察区，过滤桶下的内部设置有监测装置，过滤桶上的密封安装在过滤桶下的上部，过滤桶上的中心顶部连通设置有出气连接管，过滤桶上的顶部还连通设置有注油连接管和进气管一。本实用新型实施例提供的区熔炉真空气路反油机构，通过进气管一通入到过滤桶上内形成一定压力后气体通过进气管二压入过滤介质，过滤介质把工艺气体中带的细小颗粒物及粉尘吸附这样尾气中不再细小携带颗粒物及粉尘吸附，进而避免了造成空气污染。

Description

一种区熔炉真空气路反油机构

技术领域

本实用新型涉及区熔炉真空气路反油机构技术领域，尤其是涉及一种区熔炉真空气路反油机构。

背景技术

区熔法是利用热能在棒料的一端产生一熔区，再熔接单晶籽晶。调节温度使熔区缓慢地向棒的另一端移动，通过整根棒料，生长成一根单晶，晶向与籽晶的相同，区熔法分为两种：水平区熔法和立式悬浮区熔法。前者主要用于锗、GaAs等材料的提纯和单晶生长。后者主要用于硅，这是由于硅的熔点高，化学性能活泼，容易受到异物的玷污，难以找到适合的舟皿，不能采用水平区熔法。

现在区熔炉法用的真空反油机构在处理尾气时，尾气过滤的不彻底，处理的尾气中还存在微小颗粒及粉尘，当携带微小颗粒及粉尘的尾气排放出去后会造成一定的污染，因此存在不足。

实用新型内容

本实用新型提供一种区熔炉真空气路反油机构，包括：

过滤桶下，所述过滤桶下的一侧连通设置有油位观察区，所述过滤桶下的内部设置有监测装置，所述过滤桶下的底部连通有排放管；

过滤桶上，所述过滤桶上的密封安装在所述过滤桶下的上部，且所述过滤桶上的内底部设置有弧形隔板，所述弧形隔板的底部连通有进气管二，所述过滤桶上的中心顶部连通设置有出气连接管，所述出气连接管的底口部延伸至所述弧形隔板的底部且与所述过滤桶下内连通设置，所述过滤桶上的顶部还连通设置有注油连接管和进气管一。

在具体的实施方案中，所述过滤桶下的底部固定连接有固定支撑腿。

在具体的实施方案中，所述过滤桶下的内底部设置有弧形底。

在具体的实施方案中，所述排放管靠近所述过滤桶下底部的连接处连通设置有控制阀门。

在具体的实施方案中，所述油位观察区的面部内设置有单片机，所述单片机外侧电性连接有警示灯，所述油位观察区的面部密封安装有密封玻璃层。

在具体的实施方案中，所述警示灯设置在所述油位观察区的面部上。

在具体的实施方案中，所述油位观察区的内侧壁设置有斜面结构。

在具体的实施方案中，所述监测装置包括浮漂、密封套杆和接近感应器，所述浮漂设置在所述过滤桶下的内部，所述浮漂的顶部固定连接有连接杆，所述连接杆的顶部固定连接有导向滑块，所述密封套杆通过固定杆与所述过滤桶下的内侧不固定连接，所述密封套杆的底部开设有用于所述连接杆密封滑动的密封滑孔，所述密封套杆的内侧开设有用于所述导向滑块滑动的滑槽，所述密封套杆的顶部设置在所述出气连接管的中心，所述密封套杆的一侧连通设置有侧连接腔室，所述接近感应器设置在所述侧连接腔室的顶部，所述接近感应器与所述单片机电性连接。

在具体的实施方案中，所述导向滑块的一侧固定连接有接近块，所述接近块滑动设置在所述侧连接腔室内，且所述接近块与所述接近感应器配合设置。

在具体的实施方案中，所述固定杆内部为空心结构，所述固定杆的一端与所述油位观察区的一侧抵触。

本实用新型实施例提供的一种区熔炉真空气路反油机构，通过注油连接管注入可吸附颖粒物及粉尘的具有相对粘度的介质，将注油连接管的连接口部密封堵住，将设备抽真空后通入如工艺特气，在关闭真空的瞬间，工作设备管道及腔室与该装置相连，由于过滤桶下处于大气压状态，设备端较低的压力会把过滤桶下的介质通过进气管二反吸上去，当通入特气压力均衡后过滤介质又顺进气管二流入过滤桶下内，当工艺尾气排放时，通过进气管一通入到过滤桶上内形成一定压力后气体通过进气管二压入过滤介质(丙三醇或其他)，过滤介质把工艺气体中带的细小颗粒物及粉尘吸附，处理完的尾气从出气连接管排出，这样尾气中不再细小携带颗粒物及粉尘吸附，进而避免了造成空气污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例过滤桶下和过滤桶上叠合的结构示意图。

图2为本实用新型实施例过滤桶下和过滤桶上叠合的结构示意图。

图3为本实用新型实施例过滤桶下和过滤桶上的内部剖面结构意图。

图4为本实用新型实施例图3中A部的放大图结构意图。

图5为本实用新型实施例过滤桶下的剖面结构意图。

图6为本实用新型实施例过滤桶下的剖面结构意图。

图标：1、过滤桶下；2、过滤桶上；3、油位观察区；4、出气连接管；5、注油连接管；6、进气管一；7、密封玻璃层；8、警示灯；9、固定支撑腿；10、排放管；11、控制阀门；12、弧形底；13、浮漂；14、连接杆；15、进气管二；16、弧形隔板；17、固定杆；18、密封套杆；19、密封滑孔；20、滑槽；21、侧连接腔室；22、接近块；23、接近感应器；24、单片机；25、斜面结构；26、导向滑块。

具体实施方式

现在区熔炉法用的真空反油机构在处理尾气时，尾气过滤的不彻底，处理的尾气中还存在微小颗粒及粉尘，当携带微小颗粒及粉尘的尾气排放出去后会造成一定的污染，因此存在不足的情况，从而解决上述缺陷。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

请参考图1-图6，本实用新型实施例提供了一种区熔炉真空气路反油机构，包括：

过滤桶下1，过滤桶下1的一侧连通设置有油位观察区3，油位观察区3能够便于直观观察过滤桶下1内的油位的情况，过滤桶下1的内部设置有监测装置，能够智能的监测过滤桶下1内的油位情况，过滤桶下1的底部连通有排放管10，便于污染介质的排放和过滤桶下1内的清洗；

过滤桶上2，过滤桶上2的密封安装在过滤桶下1的上部，且过滤桶上2的内底部设置有弧形隔板16，有利于倒吸入的介质回流，弧形隔板16的底部连通有进气管二15，从注油连接管5注入的介质流入到过滤桶下1内，过滤桶上2的中心顶部连通设置有出气连接管4，便于将处理后的尾气排出，出气连接管4的底口部延伸至弧形隔板16的底部且与过滤桶下1内连通设置，进入到过滤桶下1内的废气经过过滤桶下1内的介质进行净化，过滤桶上2的顶部还连通设置有注油连接管5和进气管一6，进气管一6能够与设备及系统尾气管道连通。

工作流程：通过注油连接管5注入可吸附颖粒物及粉尘的具有相对粘度的介质(如:丙三醇，介质位置不高于油位观察窗1/2，即密封玻璃层7的位置)，然后将注油连接管5的连接口部密封堵住，之后将设备抽真空后通入如工艺特气，由于关闭真空的瞬间，工作设备管道及腔室与该装置相连，由于该装置过滤桶下1处于大气压状态，设备端较低的压力会把过滤桶下1的介质通过进气管二15反吸上去，当通入特气压力均衡后过滤介质又顺进气管二15流入过滤桶下1内，当工艺尾气排放时，通过进气管一6通入到过滤桶上2内形成一定压力后气体通过进气管二15压入过滤介质(丙三醇或其他)，过滤介质把工艺气体中带的颗粒物及粉尘吸附，之后处理完的尾气从出气连接管4排出。

请参考图1-图3，过滤桶下1的底部固定连接有固定支撑腿9便于将本设备稳定的固定在地面上。

进一步的，过滤桶下1的内底部设置有弧形底12，便于过滤桶下1内的废弃介质排出。

进一步的，排放管10靠近过滤桶下1底部的连接处连通设置有控制阀门11，便于对过滤桶下1内介质的排放进行控制。

请参考图1-图2和图5-图6，油位观察区3的面部内设置有单片机24，单片机24起到控制和接收监测装置的作用，单片机24外侧电性连接有警示灯8，能够将监测装置的情况通过警示灯8的亮度反馈出来，油位观察区3的面部密封安装有密封玻璃层7，便于观察过滤桶下1内部介质的情况。

进一步的，警示灯8设置在油位观察区3的面部上，便于观察。

进一步的，油位观察区3的内侧壁设置有斜面结构25，便于完好的观察过滤桶下1内的介质。

请参考图3-图6，监测装置包括浮漂13、密封套杆18和接近感应器23，浮漂13设置在过滤桶下1的内部，浮漂13的顶部固定连接有连接杆14，连接杆14的顶部固定连接有导向滑块26，密封套杆18通过固定杆17与过滤桶下1的内侧不固定连接，密封套杆18的底部开设有用于连接杆14密封滑动的密封滑孔19，密封套杆18的内侧开设有用于导向滑块26滑动的滑槽20，密封套杆18的顶部设置在出气连接管4的中心，密封套杆18的一侧连通设置有侧连接腔室21，接近感应器23设置在侧连接腔室21的顶部，接近感应器23与单片机24电性连接。

进一步的，导向滑块26的一侧固定连接有接近块22，接近块22滑动设置在侧连接腔室21内，且接近块22与接近感应器23配合设置，过滤桶下1内的介质会将浮漂13升起，浮漂13升起会带动导向滑块26和接近块22同时上移，在接近块22接近接近感应器23后，接近感应器23接近信号传递给单片机24，单片机24会控制警示灯8的亮度，在警示灯8的亮度较暗淡时，代表过滤桶下1内部的介质油位低，在警示灯8的亮度较明亮时，代表过滤桶下1内部的介质油位高。

进一步的，固定杆17内部为空心结构，固定杆17的一端与油位观察区3的一侧抵触，便于单片机24与接近感应器23的电性连接。

以上仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，包括：

过滤桶下(1)，所述过滤桶下(1)的一侧连通设置有油位观察区(3)，所述过滤桶下(1)的内部设置有监测装置，所述过滤桶下(1)的底部连通有排放管(10)；

过滤桶上(2)，所述过滤桶上(2)的密封安装在所述过滤桶下(1)的上部，且所述过滤桶上(2)的内底部设置有弧形隔板(16)，所述弧形隔板(16)的底部连通有进气管二(15)，所述过滤桶上(2)的中心顶部连通设置有出气连接管(4)，所述出气连接管(4)的底口部延伸至所述弧形隔板(16)的底部且与所述过滤桶下(1)内连通设置，所述过滤桶上(2)的顶部还连通设置有注油连接管(5)和进气管一(6)。

2.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述过滤桶下(1)的底部固定连接有固定支撑腿(9)。

3.根据权利要求2所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述过滤桶下(1)的内底部设置有弧形底(12)。

4.根据权利要求3所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述排放管(10)靠近所述过滤桶下(1)底部的连接处连通设置有控制阀门(11)。

5.根据权利要求1所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述油位观察区(3)的面部内设置有单片机(24)，所述单片机(24)外侧电性连接有警示灯(8)，所述油位观察区(3)的面部密封安装有密封玻璃层(7)。

6.根据权利要求5所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述警示灯(8)设置在所述油位观察区(3)的面部上。

7.根据权利要求6所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述油位观察区(3)的内侧壁设置有斜面结构(25)。

8.根据权利要求7所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述监测装置包括浮漂(13)、密封套杆(18)和接近感应器(23)，所述浮漂(13)设置在所述过滤桶下(1)的内部，所述浮漂(13)的顶部固定连接有连接杆(14)，所述连接杆(14)的顶部固定连接有导向滑块(26)，所述密封套杆(18)通过固定杆(17)与所述过滤桶下(1)的内侧不固定连接，所述密封套杆(18)的底部开设有用于所述连接杆(14)密封滑动的密封滑孔(19)，所述密封套杆(18)的内侧开设有用于所述导向滑块(26)滑动的滑槽(20)，所述密封套杆(18)的顶部设置在所述出气连接管(4)的中心，所述密封套杆(18)的一侧连通设置有侧连接腔室(21)，所述接近感应器(23)设置在所述侧连接腔室(21)的顶部，所述接近感应器(23)与所述单片机(24)电性连接。

9.根据权利要求8所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述导向滑块(26)的一侧固定连接有接近块(22)，所述接近块(22)滑动设置在所述侧连接腔室(21)内，且所述接近块(22)与所述接近感应器(23)配合设置。

10.根据权利要求9所述的一种区熔炉真空气路反油机构，其特征在于，所述固定杆(17)内部为空心结构，所述固定杆(17)的一端与所述油位观察区(3)的一侧抵触。

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