CN218995122U - 一种蓝宝石晶片检测设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蓝宝石晶片检测设备，包括光源底座、载物台和检偏镜，所述光源底座的上表面固定安装有载物台，所述光源底座的上表面靠近后方固定安装有套筒，所述套筒的内部活动嵌设有连接架，所述连接架的前端侧表面活动安装有检偏镜，所述连接架的前端上表面固定安装有挡板，所述连接架的表面活动套设有定位件，所述光源底座的上表面且位于套筒的前方固定安装有收纳罩。本实用新型所述的一种蓝宝石晶片检测设备，通过套筒、连接架、检偏镜、收纳罩和定位件相互配合的方式，当不使用检偏镜的时候，可以将检偏镜放置在收纳罩的内部，并且利用收纳罩的清洁盘，可以对便利的对检偏镜表面的进行灰尘的清理。

Description

一种蓝宝石晶片检测设备

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，特别涉及一种蓝宝石晶片检测设备。

背景技术

蓝宝石晶片由于其晶格失配率低、物理化学稳定性好等优点，成为制备超导体和磁性外延薄膜的常用衬底，广泛应用于非极性和半级性外延生长、各种半导体薄膜外延生长、光学窗口等，为了确保蓝宝石晶片制备后的使用性，便会对蓝宝石晶片进行检测。

然而现阶段的蓝宝石晶片检测设备存在一些不足，在对蓝宝石晶片进行应力检测后，检偏镜不能收纳起来，这样容易使得检偏镜的表面受到污染，并且检偏镜的表面在粘附灰尘的时候，也不能进行便利的清理。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种蓝宝石晶片检测设备，可以有效解决背景技术中的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种蓝宝石晶片检测设备，包括光源底座、载物台和检偏镜，所述光源底座的上表面固定安装有载物台，所述光源底座的上表面靠近后方固定安装有套筒，所述套筒的内部活动嵌设有连接架，所述连接架的前端侧表面活动安装有检偏镜，所述连接架的前端上表面固定安装有挡板，所述连接架的表面活动套设有定位件，所述光源底座的上表面且位于套筒的前方固定安装有收纳罩。

优选的，所述检偏镜的后端面且靠近两侧固定安装有翻转板，所述翻转板相对的一侧表面且靠近后方固定安装有定位柱，所述翻转板的一侧表面且位于定位柱的上方和下方横向开设有嵌设槽。

优选的，所述连接架由导杆和延伸板组成，所述延伸板的后端下表面固定安装有导杆，所述导杆的底部固定安装有止挡块，所述导杆的表面套设有弹簧，所述延伸板的两侧表面横向开设有滑槽。

优选的，所述定位件由套框和插条组成，所述套框的前表面且靠近两侧固定安装有插条，所述套框的内部两侧表面固定安装有滑块。

优选的，所述收纳罩的前端面活动嵌设有清洁盘，所述清洁盘的前表面固定安装有把手，所述清洁盘的两侧表面靠近前方固定安装有卡块，所述收纳罩的内部两侧表面且靠近前端开设有卡槽，所述收纳罩的上表面开设有插入口。

优选的，所述卡块活动嵌设在卡槽中，所述清洁盘通过卡块与收纳罩活动连接，所述滑块活动嵌设在滑槽中，所述插条嵌设在嵌设槽中，所述导杆嵌设在套筒的内部。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，通过设置套筒、连接架、检偏镜、收纳罩和定位件相互配合的方式，当不使用检偏镜的时候，移动定位件，使得定位件的插条从检偏镜的嵌设槽中退出，然后向上拉动连接架，连接架在上拉的过程会利用止挡块挤压弹簧，当连接架上拉一定的高度后，便可以翻转检偏镜，然后缓慢减小对连接架的拉力，弹簧便会推动连接架下降，直到检偏镜插入收纳罩的内部，收纳罩可以保护检偏镜在不使用的时候受到污染，当检偏镜在使用的过程上表面粘附灰尘时，在检偏镜插入收纳罩中后，推动清洁盘，使得清洁盘的后端面与检偏镜接触，然后旋转清洁盘，便可以将检偏镜表面的灰尘便利的清洁掉。

附图说明

图1为本实用新型一种蓝宝石晶片检测设备的整体结构图；

图2为本实用新型一种蓝宝石晶片检测设备的检偏镜结构图；

图3为本实用新型一种蓝宝石晶片检测设备的连接架结构图；

图4为本实用新型一种蓝宝石晶片检测设备的定位件结构图；

图5为本实用新型一种蓝宝石晶片检测设备的收纳罩拆分结构图。

图中：1、光源底座；2、载物台；3、套筒；4、连接架；401、导杆；402、延伸板；403、弹簧；404、止挡块；405、滑槽；5、检偏镜；501、翻转板；502、定位柱；503、嵌设槽；6、挡板；7、收纳罩；701、清洁盘；702、卡块；703、把手；704、卡槽；705、插入口；8、定位件；801、套框；802、滑块；803、插条。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

如图1-5所示一种蓝宝石晶片检测设备，包括光源底座1、载物台2和检偏镜5，光源底座1的上表面固定安装有载物台2，光源底座1的上表面靠近后方固定安装有套筒3，套筒3的内部活动嵌设有连接架4，连接架4的前端侧表面活动安装有检偏镜5，连接架4的前端上表面固定安装有挡板6，连接架4的表面活动套设有定位件8，光源底座1的上表面且位于套筒3的前方固定安装有收纳罩7。

检偏镜5的后端面且靠近两侧固定安装有翻转板501，翻转板501相对的一侧表面且靠近后方固定安装有定位柱502，翻转板501的一侧表面且位于定位柱502的上方和下方横向开设有嵌设槽503，嵌设槽503与定位件8的插条803配合下，可以使得检偏镜5保持水平使用的状态；连接架4由导杆401和延伸板402组成，延伸板402的后端下表面固定安装有导杆401，导杆401的底部固定安装有止挡块404，导杆401的表面套设有弹簧403，延伸板402的两侧表面横向开设有滑槽405，止挡块404可以防止导杆401在上拉的时候从套筒3中抽出；定位件8由套框801和插条803组成，套框801的前表面且靠近两侧固定安装有插条803，套框801的内部两侧表面固定安装有滑块802，滑块802可以辅助定位件8平稳的在延伸板402的表面移动；收纳罩7的前端面活动嵌设有清洁盘701，清洁盘701的前表面固定安装有把手703，清洁盘701的两侧表面靠近前方固定安装有卡块702，收纳罩7的内部两侧表面且靠近前端开设有卡槽704，收纳罩7的上表面开设有插入口705，收纳罩7可以收纳不使用的检偏镜5，这样可以避免检偏镜5在不使用的时候受到污染；卡块702活动嵌设在卡槽704中，清洁盘701通过卡块702与收纳罩7活动连接，滑块802活动嵌设在滑槽405中，插条803嵌设在嵌设槽503中，导杆401嵌设在套筒3的内部，旋转清洁盘701可以对检偏镜5的上表面进行清扫。

需要说明的是，本实用新型为一种蓝宝石晶片检测设备，在使用时，将待检测的蓝宝石晶片放置在载物台2上，然后利用检偏镜5进行检测，当不使用检偏镜5的时候，移动定位件8，使得定位件8的插条803从检偏镜5的嵌设槽503中退出，然后向上拉动连接架4，连接架4在上拉的过程会利用止挡块404挤压弹簧403，当连接架4上拉一定的高度后，便可以翻转检偏镜5，然后缓慢减小对连接架4的拉力，弹簧403便会推动连接架4下降，直到检偏镜5插入收纳罩7的内部，收纳罩7可以保护检偏镜5在不使用的时候受到污染，当检偏镜5在使用的过程上表面粘附灰尘时，在检偏镜5插入收纳罩7中后，推动清洁盘701，使得清洁盘701的后端面与检偏镜5接触，然后旋转清洁盘701，便可以将检偏镜5表面的灰尘便利的清洁掉。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：包括光源底座(1)、载物台(2)和检偏镜(5)，所述光源底座(1)的上表面固定安装有载物台(2)，所述光源底座(1)的上表面靠近后方固定安装有套筒(3)，所述套筒(3)的内部活动嵌设有连接架(4)，所述连接架(4)的前端侧表面活动安装有检偏镜(5)，所述连接架(4)的前端上表面固定安装有挡板(6)，所述连接架(4)的表面活动套设有定位件(8)，所述光源底座(1)的上表面且位于套筒(3)的前方固定安装有收纳罩(7)。

2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述检偏镜(5)的后端面且靠近两侧固定安装有翻转板(501)，所述翻转板(501)相对的一侧表面且靠近后方固定安装有定位柱(502)，所述翻转板(501)的一侧表面且位于定位柱(502)的上方和下方横向开设有嵌设槽(503)。

3.根据权利要求2所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述连接架(4)由导杆(401)和延伸板(402)组成，所述延伸板(402)的后端下表面固定安装有导杆(401)，所述导杆(401)的底部固定安装有止挡块(404)，所述导杆(401)的表面套设有弹簧(403)，所述延伸板(402)的两侧表面横向开设有滑槽(405)。

4.根据权利要求3所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述定位件(8)由套框(801)和插条(803)组成，所述套框(801)的前表面且靠近两侧固定安装有插条(803)，所述套框(801)的内部两侧表面固定安装有滑块(802)。

5.根据权利要求4所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述收纳罩(7)的前端面活动嵌设有清洁盘(701)，所述清洁盘(701)的前表面固定安装有把手(703)，所述清洁盘(701)的两侧表面靠近前方固定安装有卡块(702)，所述收纳罩(7)的内部两侧表面且靠近前端开设有卡槽(704)，所述收纳罩(7)的上表面开设有插入口(705)。

6.根据权利要求5所述的一种蓝宝石晶片检测设备，其特征在于：所述卡块(702)活动嵌设在卡槽(704)中，所述清洁盘(701)通过卡块(702)与收纳罩(7)活动连接，所述滑块(802)活动嵌设在滑槽(405)中，所述插条(803)嵌设在嵌设槽(503)中，所述导杆(401)嵌设在套筒(3)的内部。

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