CN218987356U - 一种晶圆表面除尘结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆表面除尘结构，涉及晶圆的生产技术领域，包括箱体和固定在箱体内壁的支撑板，箱体的内部设置有除尘机构，除尘机构包括滑动连接在箱体内壁的一号板和固定在支撑板顶部的真空吸盘；一号板的底部滑动连接有矩形板，矩形板的底部设置有清洁刷；一号板的顶部固接有第一弹簧，且第一弹簧的另一端固接在箱体的顶部内壁；一号板的底部转动连接有螺纹杆，螺纹杆通过电机驱动；本实用新型设置了除尘机构，先利用真空吸盘实现对晶圆的固定，再通过一号板带动矩形板向下运动，配合矩形板带动清洁刷左右运动，实现对晶圆表面灰尘的清理，进而避免晶圆表面产生磨损，也保证了对晶圆的除尘效果。

Description

一种晶圆表面除尘结构

技术领域

本实用新型涉及晶圆的生产技术领域，具体为一种晶圆表面除尘结构。

背景技术

晶圆是一种半导体材料，晶圆通过研磨和抛光等工序生产出来后，其表面会有灰尘，因此在对晶圆进行质量检测之前需要将晶圆表面的灰尘清理干净；目前一般通过对晶圆吹气的方式进行除尘，但是吹气设备长期使用后会老化，比如管道的内壁会脱皮产生异物，导致吹气设备吹出的气体中混有异物，这些有异物的气体吹向晶圆表面，会影响对晶圆的除尘。

现有技术也出现了关于对晶圆除尘的技术方案，根据中国专利申请号为CN2020106625952的一项发明专利，其公开了一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构，检测箱的正面设置有箱门，且检测箱内设置有除尘机构，第一电机安装在检测箱的内部顶面上，且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接，安装板通过伸缩组件与刷板连接，刷板位于安装板的正下方，且刷板的底部设置有刷毛，检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台，承载台为圆形结构，且承载台的半径与刷板的长度相等，承载台上均匀设置有多组的除尘孔；该发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘，同时，通过伸缩组件对刷板进行收缩，从而减小除尘装置在检测箱内的占用的空间。

但是，上述装置在使用过程中，需要先将晶圆放在承载台的顶部，通过刷板带动刷毛移动来实现对晶圆的除尘，但是由于晶圆的位置不固定，导致刷板在对晶圆除尘时，晶圆会在承载台上滑动，导致对晶圆表面造成磨损，同时也影响对晶圆的除尘效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供了一种晶圆表面除尘结构。

本实用新型所解决的技术问题为：现有的晶圆除尘装置在使用过程中，由于晶圆的位置不固定，导致刷板在对晶圆除尘时，晶圆会在承载台上滑动，导致对晶圆表面造成磨损，同时也影响对晶圆的除尘效果。

本实用新型可以通过以下技术方案实现：一种晶圆表面除尘结构，包括箱体和固定在箱体内壁的支撑板，箱体的内部设置有除尘机构，除尘机构包括滑动连接在箱体内壁的一号板和固定在支撑板顶部的真空吸盘；一号板的底部滑动连接有矩形板，矩形板的底部设置有清洁刷。

本实用新型的进一步技术改进在于：一号板的顶部固接有第一弹簧，且第一弹簧的另一端固接在箱体的顶部内壁；一号板的底部转动连接有螺纹杆，螺纹杆通过电机驱动；一号板的底部还固接有导杆，导杆和螺纹杆均贯穿于矩形板。

本实用新型的进一步技术改进在于：清洁刷由刷柄和刷毛组成；刷柄的顶部固接有定位块，矩形板的底部开设有定位槽，且定位块与定位槽呈滑动配合状态。

本实用新型的进一步技术改进在于：矩形板的左右两侧均开设有凹槽，凹槽内滑动连接有L形板；矩形板的外侧壁固接有第二弹簧，第二弹簧的另一端固接在L形板位于凹槽外的一侧。

本实用新型的进一步技术改进在于：刷柄的左右两侧均开设有卡槽，L形板的底部固接有卡块，且卡块与卡槽呈滑动配合状态。

本实用新型的进一步技术改进在于：真空吸盘的顶部设置有灰尘过滤网。

与现有技术相比，本实用新型具备以下有益效果：

1、本实用新型设置了除尘机构，先利用真空吸盘实现对晶圆的固定，再通过一号板带动矩形板向下运动，使得清洁刷与晶圆表面接触，再通过矩形板带动清洁刷左右运动，实现对晶圆表面灰尘的清理，不会出现晶圆在支撑板上随意滑动的现象，进而避免晶圆表面产生磨损，也保证了对晶圆的除尘效果。

2、本实用新型设置了两个L形板和卡块，配合清洁刷顶部定位块的使用，方便实现对清洁刷的安装和拆卸，进而使得清洁刷在使用一段时间后，能够快速更换，操作方便。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型的外部结构示意图；

图2为本实用新型的另一视角的外部示意图；

图3为本实用新型中清洁刷与矩形板连接处的局部剖面示意图；

图4为本实用新型中真空吸盘处的灰尘过滤网的示意图；

图5为本实用新型图2中A处的局部放大图。

图中：1、箱体；2、支撑板；3、真空吸盘；4、一号板；5、矩形板；6、清洁刷；7、第一弹簧；8、安装板；9、螺纹杆；10、导杆；11、刷柄；12、刷毛；13、定位块；14、L形板；15、第二弹簧；16、卡块；17、灰尘过滤网。

具体实施方式

为更进一步阐述本实用新型为实现预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型的具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如下。

请参阅图1-图5所示，一种晶圆表面除尘结构，包括箱体1，箱体1的内壁固接有支撑板2，支撑板2的顶部中心位置处固接有真空吸盘3，通过真空吸盘3实现对晶圆的吸附，达到固定晶圆的效果；箱体1内壁在竖直方向还滑动连接有一号板4，一号板4的底部在水平方向滑动连接有矩形板5，矩形板5的底部可拆卸式连接有清洁刷6；当晶圆通过真空吸盘3固定在支撑板2顶部后，一号板4带动矩形板5向下运动，进而使得清洁刷6与晶圆表面接触，通过矩形板5的左右运动，进而实现对晶圆表面灰尘的清理，不会出现晶圆在支撑板2顶部随意滑动的现象，同时保证了对晶圆表面灰尘的清理效果。

箱体1的顶部外侧壁固定安装有气缸，气缸的输出杆贯穿箱体1的顶部，且与一号板4的顶部接触；一号板4的顶部固接有四个第一弹簧7，第一弹簧7的顶端在箱体1的顶部内壁；通过气缸的工作，使得气缸的输出杆带动一号板4向下运动，进而使得清洁刷6能够与晶圆表面接触；第一弹簧7用于实现对一号板4的支撑，同时使得一号板4在不受到气缸推力时，能够使得一号板4回到初始位置。

一号板4的底部左右两侧分别固接有安装板8，安装板8上固定安装有电机，电机的输出轴固接有螺纹杆9，螺纹杆9的另一端通过轴承连接在另一个安装板8侧壁；螺纹杆9贯穿于矩形板5，两个安装板8之间还固接有导杆10，导杆10贯穿且滑动连接于矩形板5；当清洁刷6与晶圆表面接触后，通过电机带动螺纹杆9转动，使得矩形板5沿着导杆10滑动，进而实现对晶圆表面的全面除尘。

其中清洁刷6由刷柄11和刷毛12组成，刷柄11的顶部固接有定位块13，矩形板5的底部在定位块13的对应位置处开设有定位槽，通过定位块13插在定位槽中，实现对刷柄11水平方向运动的限定；矩形板5的左右两侧均开设有凹槽，凹槽内滑动连接有L形板14；矩形板5的外侧壁固接有第二弹簧15，第二弹簧15的另一端固接在L形板14位于凹槽外的一侧，刷柄11的左右两侧均开设有卡槽，L形板14的底部固接有卡块16，且卡块16可插入卡槽中，实现对刷柄11竖直方向的限定；安装清洁刷6时，先拉动两个L形板14，使得两个L形板14相互远离，使得第二弹簧15受到拉伸，再将刷柄11顶部的定位块13插入矩形板5底部的定位槽中，然后松开L形板14，由于第二弹簧15的弹力，使得卡块16插入卡槽中，实现对清洁刷6的安装，这样的结构方便实现对清洁刷6的安装和拆卸。

真空吸盘3的顶部设置有灰尘过滤网17，用于实现对灰尘的过滤，避免灰尘落到真空吸盘3内部。

本实用新型在使用时，将晶圆通过真空吸盘3固定在支撑板2顶部，通过气缸的运作，使得气缸的输出杆带动一号板4和矩形板5向下运动，进而使得清洁刷6能够与晶圆表面接触，通过电机带动螺纹杆9转动，使得矩形板5沿着导杆10滑动，使得清洁刷6擦拭晶圆的表面，进而实现对晶圆表面灰尘的清理；

清洁刷6在使用一段时间需要更换，在安装清洁刷6时，先拉动两个L形板14，使得两个L形板14相互远离，使得第二弹簧15受到拉伸，再将刷柄11顶部的定位块13插入矩形板5底部的定位槽中，然后松开L形板14，由于第二弹簧15的弹力，使得卡块16插入卡槽中，实现对清洁刷6的安装，这样的结构方便实现对清洁刷6的安装和拆卸。

本申请中，真空吸盘的型号为XP60。

以上所述，仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭示如上，然而并非用以限定本实用新型，任何本领域技术人员，在不脱离本实用新型技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种晶圆表面除尘结构，包括箱体(1)和固定在箱体(1)内壁的支撑板(2)，其特征在于：所述箱体(1)的内部设置有除尘机构，所述除尘机构包括滑动连接在箱体(1)内壁的一号板(4)和固定在支撑板(2)顶部的真空吸盘(3)；所述一号板(4)的底部滑动连接有矩形板(5)，所述矩形板(5)的底部设置有清洁刷(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆表面除尘结构，其特征在于，所述一号板(4)的顶部固接有第一弹簧(7)，且第一弹簧(7)的另一端固接在箱体(1)的顶部内壁；所述一号板(4)的底部转动连接有螺纹杆(9)，螺纹杆(9)通过电机驱动；所述一号板(4)的底部还固接有导杆(10)，所述导杆(10)和螺纹杆(9)均贯穿于矩形板(5)。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆表面除尘结构，其特征在于，所述清洁刷(6)由刷柄(11)和刷毛(12)组成；所述刷柄(11)的顶部固接有定位块(13)，所述矩形板(5)的底部开设有定位槽，且定位块(13)与定位槽呈滑动配合状态。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆表面除尘结构，其特征在于，所述矩形板(5)的左右两侧均开设有凹槽，所述凹槽内滑动连接有L形板(14)；所述矩形板(5)的外侧壁固接有第二弹簧(15)，第二弹簧(15)的另一端固接在L形板(14)位于凹槽外的一侧。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆表面除尘结构，其特征在于，所述刷柄(11)的左右两侧均开设有卡槽，所述L形板(14)的底部固接有卡块(16)，且卡块(16)与卡槽呈滑动配合状态。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆表面除尘结构，其特征在于，所述真空吸盘(3)的顶部设置有灰尘过滤网(17)。

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