CN218975419U - 一种电子芯片加工用真空吸附设备 - Google Patents

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陈利华
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Qichuangli Vacuum Equipment Dongguan Co ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种电子芯片加工用真空吸附设备,包括横板,所述横板底部的左侧固定安装有第二伺服电机,所述第二伺服电机的输出端固定连接有框体,所述框体前后两端的内表面均开设有升降槽,所述升降槽的内腔均转动连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆外表面的下端均固定连接有第一齿轮。本实用新型人们将芯片放置于静电座的上方,通过外置控制器开启第二伺服电机工作,第二伺服电机带动框体转动调节,框体带动滚珠在横板的顶部滚动,通过外置控制器开启双轴电机工作,双轴电机通过转杆带动第二齿轮转动,达到了方便调节的目的,解决了现有的吸附设备不具备方便调节的功能,导致无法针对各个方位的芯片进行吸附作业的问题。

Description

一种电子芯片加工用真空吸附设备
技术领域
本实用新型涉及电子芯片加工技术领域,具体为一种电子芯片加工用真空吸附设备。
背景技术
集成电路或称微电路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备,也包括被动组件等)小型化的方式,并时常制造在半导体晶圆表面上。
如实用新型(公开号:202020337106.1)公开了一种电子芯片加工用真空吸附设备,包括箱体,所述箱体顶端的中部固定安装有工作台,所述箱体顶端的两侧均固定安装有第一电动滑轨,两个所述第一电动滑轨的滑动端均滑动连接有两个第一滑块,两个所述第一滑块的定点光均固定安装有第二电动伸缩杆,两个所述第二电动伸缩杆的伸缩端均固定安装有固定架,两个所述固定架之间通过嵌设的轴承穿插连接有清理辊,所述箱体的一侧固定安装有第二电动滑轨,所述第二电动滑轨的滑动端滑动连接有第二滑块,所述第二滑块的一侧固定安装有竖杆,所述竖杆的顶端固定安装有横杆,所述横杆的底端开设有凹槽,所述凹槽的内部通过嵌设的轴承穿插连接有丝杆,所述横杆的一端固定安装有步进电机,所述步进电机的输出轴与丝杆的一端固定连接,所述丝杆的表面螺纹连接有连接块,所述连接块的底端固定安装有第一电动伸缩杆,所述第一电动伸缩杆的伸缩端固定安装有固定片,所述固定片的等距固定安装有多个吸盘,所述固定片顶端的一侧固定安装有连通管,所述连通管的一端与多个吸盘连通,所述连通管的另一端穿过箱体内壁与箱体的内部连通,所述箱体内部的顶端固定安装有气泵,所述气泵的输出端与连通管的另一端固定连接。优选的,所述箱体的正面铰接有箱门,所述箱门的正面固定安装有把手。发明人在实现本实用新型的过程中发现现有技术存在如下问题:而现有的吸附设备不具备方便调节的功能,导致无法针对各个方位的芯片进行吸附作业,为此,我们提出一种电子芯片加工用真空吸附设备。
实用新型内容
用于解决上述问题的本实用新型的吸附设备的特征在于,具备:方便调节的优点,解决了现有的吸附设备不具备方便调节的功能,导致无法针对各个方位的芯片进行吸附作业的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种电子芯片加工用真空吸附设备,包括横板,所述横板底部的左侧固定安装有第二伺服电机,所述第二伺服电机的输出端固定连接有框体,所述框体前后两端的内表面均开设有升降槽,所述升降槽的内腔均转动连接有第二螺纹杆,所述第二螺纹杆外表面的下端均固定连接有第一齿轮,所述框体内表面底部的中端固定安装有双轴电机,所述双轴电机的前后两端均固定连接有转杆,所述转杆的前后两端均固定连接有第二齿轮,所述第二齿轮与第一齿轮啮合,所述第二螺纹杆外表面的上端均螺纹连接有升降块,所述升降块的内侧固定连接有调节臂,所述调节臂的内表面开设有滑槽,所述滑槽内腔的左侧固定安装有第一伺服电机,所述第一伺服电机的输出端固定连接有第一螺纹杆,所述第一螺纹杆外表面的左侧螺纹连接有活动块。
优选的,所述活动块的底部固定连接有连接板,所述连接板的底部设置有吸附装置。
优选的,所述框体底部的四角均设置有滚珠,且滚珠为对称设置。
优选的,所述横板底部的右侧固定连接有电池盒,且电池盒正面的中端开设有充电孔。
优选的,所述横板底部的左侧固定连接有防护壳,且防护壳位于第二伺服电机的外表面。
优选的,所述横板底部的四角均固定连接有支撑腿,所述横板顶部的右侧设置有静电座。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果如下:
1、本实用新型中,通过调节结构的设置,通过第二伺服电机带动框体转动,双轴电机通过转杆带动第二齿轮转动,第二齿轮通过第一齿轮带动第二螺纹杆转动,第二螺纹杆通过升降块带动调节臂向下运动,第一伺服电机通过第一螺纹杆带动活动块在滑槽的内腔左右移动,活动块通过连接板带动吸附装置调节,实现了方便调节的目的。
2、本实用新型中,通过稳定结构的设置,框体转动时,框体带动滚珠在横板的顶部滚动。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图;
图2为本实用新型局部结构剖视示意图;
图3为本实用新型第二螺纹杆结构示意图。
图中:1、横板;2、支撑腿;3、框体;4、连接板;5、调节臂;6、静电座;7、电池盒;8、防护壳;9、第一伺服电机;10、活动块;11、第一螺纹杆;12、滑槽;13、第二伺服电机;14、升降块;15、第二螺纹杆;16、第一齿轮;17、双轴电机;18、转杆;19、第二齿轮;20、升降槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图2和图3,本实用新型:一种电子芯片加工用真空吸附设备,包括横板1,横板1底部的右侧固定连接有电池盒7,且电池盒7正面的中端开设有充电孔,横板1底部的左侧固定连接有防护壳8,且防护壳8位于第二伺服电机13的外表面,横板1底部的四角均固定连接有支撑腿2,横板1顶部的右侧设置有静电座6,横板1底部的左侧固定安装有第二伺服电机13,第二伺服电机13的输出端固定连接有框体3,框体3前后两端的内表面均开设有升降槽20,升降槽20的内腔均转动连接有第二螺纹杆15,第二螺纹杆15外表面的下端均固定连接有第一齿轮16,框体3内表面底部的中端固定安装有双轴电机17,双轴电机17的前后两端均固定连接有转杆18,转杆18的前后两端均固定连接有第二齿轮19,第二齿轮19与第一齿轮16啮合,第二螺纹杆15外表面的上端均螺纹连接有升降块14,升降块14的内侧固定连接有调节臂5,调节臂5的内表面开设有滑槽12,滑槽12内腔的左侧固定安装有第一伺服电机9,第一伺服电机9的输出端固定连接有第一螺纹杆11,第一螺纹杆11外表面的左侧螺纹连接有活动块10,活动块10的底部固定连接有连接板4,连接板4的底部设置有吸附装置。
其中:人们将芯片放置于静电座6的上方,通过外置控制器开启第二伺服电机13工作,第二伺服电机13带动框体3转动调节,框体3带动滚珠在横板1的顶部滚动,通过外置控制器开启双轴电机17工作,双轴电机17通过转杆18带动第二齿轮19转动,第二齿轮19通过第一齿轮16带动第二螺纹杆15转动,第二螺纹杆15通过升降块14带动调节臂5上下运动调节,通过外置控制器开启第一伺服电机9工作,第一伺服电机9通过第一螺纹杆11带动活动块10在滑槽12的内腔左右运动调节,活动块10通过连接板4带动吸附装置左右运动调节,使吸附装置可以多方位调节对静电座6上方的芯片进行吸附作业,实现了方便调节的目的。
请参阅图1和图2,一种电子芯片加工用真空吸附设备,框体3底部的四角均设置有滚珠,且滚珠为对称设置。
其中:框体3转动时,框体3带动滚珠在横板1的顶部滚动,实现了稳定的目的。
本实用新型的工作原理是;人们将芯片放置于静电座6的上方,通过外置控制器开启第二伺服电机13工作,第二伺服电机13带动框体3转动调节,框体3带动滚珠在横板1的顶部滚动,通过外置控制器开启双轴电机17工作,双轴电机17通过转杆18带动第二齿轮19转动,第二齿轮19通过第一齿轮16带动第二螺纹杆15转动,第二螺纹杆15通过升降块14带动调节臂5上下运动调节,通过外置控制器开启第一伺服电机9工作,第一伺服电机9通过第一螺纹杆11带动活动块10在滑槽12的内腔左右运动调节,活动块10通过连接板4带动吸附装置左右运动调节,使吸附装置可以多方位调节对静电座6上方的芯片进行吸附作业,通过以上结构的配合,达到了方便调节的目的,解决了现有的吸附设备不具备方便调节的功能,导致无法针对各个方位的芯片进行吸附作业的问题。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种电子芯片加工用真空吸附设备,包括横板(1),其特征在于:所述横板(1)底部的左侧固定安装有第二伺服电机(13),所述第二伺服电机(13)的输出端固定连接有框体(3),所述框体(3)前后两端的内表面均开设有升降槽(20),所述升降槽(20)的内腔均转动连接有第二螺纹杆(15),所述第二螺纹杆(15)外表面的下端均固定连接有第一齿轮(16),所述框体(3)内表面底部的中端固定安装有双轴电机(17),所述双轴电机(17)的前后两端均固定连接有转杆(18),所述转杆(18)的前后两端均固定连接有第二齿轮(19),所述第二齿轮(19)与第一齿轮(16)啮合,所述第二螺纹杆(15)外表面的上端均螺纹连接有升降块(14),所述升降块(14)的内侧固定连接有调节臂(5),所述调节臂(5)的内表面开设有滑槽(12),所述滑槽(12)内腔的左侧固定安装有第一伺服电机(9),所述第一伺服电机(9)的输出端固定连接有第一螺纹杆(11),所述第一螺纹杆(11)外表面的左侧螺纹连接有活动块(10)。
2.根据权利要求1所述的一种电子芯片加工用真空吸附设备,其特征在于:所述活动块(10)的底部固定连接有连接板(4),所述连接板(4)的底部设置有吸附装置。
3.根据权利要求1所述的一种电子芯片加工用真空吸附设备,其特征在于:所述框体(3)底部的四角均设置有滚珠,且滚珠为对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种电子芯片加工用真空吸附设备,其特征在于:所述横板(1)底部的右侧固定连接有电池盒(7),且电池盒(7)正面的中端开设有充电孔。
5.根据权利要求1所述的一种电子芯片加工用真空吸附设备,其特征在于:所述横板(1)底部的左侧固定连接有防护壳(8),且防护壳(8)位于第二伺服电机(13)的外表面。
6.根据权利要求1所述的一种电子芯片加工用真空吸附设备,其特征在于:所述横板(1)底部的四角均固定连接有支撑腿(2),所述横板(1)顶部的右侧设置有静电座(6)。
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