CN218935307U - 一种自适应密封的真空腔室翻板门阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种自适应密封的真空腔室翻板门阀，其包括阀体、阀门以及驱动所述阀门翻转的驱动模组；所述阀体的侧立面上设置有阀口；所述驱动模组包括转动设置在所述阀体外且位于所述阀口旁的转轴、驱动所述转轴转动的驱动气缸、固定在所述转轴上的若干驱动摆块以及转动设置在所述驱动摆块上的铰接座，所述铰接座的主体与所述阀门固定连接，所述铰接座通过销轴转动设置在所述驱动摆块上，所述驱动摆块上位于所述销轴两侧设置有向下顶持所述阀门表面的下压弹性组件。本实用新型能够非常方便的调节阀门与阀体之间的间隙，调节阀门局部的密封性，且能够自适应阀口处的平面度，提高密封效果。

Description

一种自适应密封的真空腔室翻板门阀

【技术领域】

本实用新型属于镀膜设备技术领域，特别是涉及一种自适应密封的真空腔室翻板门阀。

【背景技术】

在超大产量磁芯电感真空镀膜设备上，因为工艺需要，相邻的真空室之间需要设置真空隔离门阀，进而实现真空与大气之间隔离、或真空与真空之间不同真空度要求的隔离，因此，在真空镀膜设备中，真空门阀的设计必不可少。

现有技术中绝大多数的真空腔体门阀中的阀芯均设置在阀体内，如专利公开号为CN111188913A公开的一种真空阀门、专利公开号为CN208535180U公开的一种水冷翻板门阀，其对于阀芯的安装与维修较为不便。对于尺寸较大的大型腔体而言，其阀体的加工变形在所难免，而阀门又是一个整体式的板面结构，容易出现因为阀体阀口处不平整而出现密封不实，局部漏气的现象；且对于大型腔体的密封对于阀门的驱动强度要求更高。

因此，需要额外设计一款自适应密封的真空腔室翻板门阀来解决上述技术问题。

【实用新型内容】

本实用新型的主要目的在于提供一种自适应密封的真空腔室翻板门阀，能够非常方便的调节阀门与阀体之间的间隙，调节阀门局部的密封性，且能够自适应阀口处的平面度，提高密封效果。

本实用新型通过如下技术方案实现上述目的：一种自适应密封的真空腔室翻板门阀，其包括阀体、阀门以及驱动所述阀门翻转的驱动模组；所述阀体的侧立面上设置有阀口；所述驱动模组包括转动设置在所述阀体外且位于所述阀口旁的转轴、驱动所述转轴转动的驱动气缸、固定在所述转轴上的若干驱动摆块以及转动设置在所述驱动摆块上的铰接座，所述铰接座的主体与所述阀门固定连接，所述铰接座通过销轴转动设置在所述驱动摆块上，所述驱动摆块上位于所述销轴两侧设置有向下顶持所述阀门表面的下压弹性组件。

进一步的，所述销轴与所述转轴轴线平行。

进一步的，所述阀门与所述驱动模组均设置在所述阀体的外部。

进一步的，所述铰接座通过一对螺钉与所述阀门固定连接，所述铰接座上设置有顶持所述阀门表面的若干顶丝，所述顶丝围绕设置在所述螺钉的两侧。

进一步的，所述驱动摆块包括抱紧在所述转轴上的抱紧环以及自所述抱紧环圆周表面径向向外延伸形成的连接板，所述铰接座通过所述销轴铰接设置在所述连接板上。

进一步的，所述抱紧环的内壁表面形成有提高与所述转轴旋转传动力的传动凹槽，与所述转轴上突出的凸肋配合；所述抱紧环通过锁紧螺丝锁紧固定在所述转轴上。

进一步的，所述驱动气缸的活塞端通过一个驱动摆杆与所述转轴连接，所述驱动摆杆的一端通过涨紧套与所述转轴固定连接且另一端与所述驱动气缸的活塞杆铰接。

与现有技术相比，本实用新型一种自适应密封的真空腔室翻板门阀的有益效果在于：能够非常方便的调节阀门与阀体之间的间隙，调节阀门局部的密封性，且能够自适应阀口处的平面度，提高密封效果。具体的，

1)阀门采用铰接方式转动设置在驱动摆块上，使其具有一定的角度浮动功能，配合其旋转轴两侧设置的下压弹性组件，实现了阀门的弹性角度摆动功能，实现了自适应的角度调节，以能够匹配各种阀体的密封角度，还能实现自适应；

2)通过下压弹性组件的设计，还减缓了阀门关闭时对阀体的冲击力，减轻了设备晃动幅度，提高了使用寿命；

3)在连接阀门的铰接座上设置调节阀门与阀体局部间隙的顶丝，以调节阀门与阀体局部的密封间隙，弥补因为阀体过大存在的加工变形误差导致密封不实的问题，通过局部调节阀门与阀体贴合的间隙即可提高两者贴合的密封性，达到更好的密封效果；

4)另外，本方案中门阀的阀芯均设置在阀体之外，当需要进行零部件的更换或维修时，操作方便。

【附图说明】

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中驱动模组与阀门的侧视结构示意图；

图3为本实用新型实施例中驱动模组的部分结构示意图；

图4为本实用新型实施例中部分驱动模组与阀门的俯视结构示意图；

图中数字表示：

100-自适应密封的真空腔室翻板门阀；

1-阀体；2-阀门；3-驱动模组，31-转轴，32-驱动气缸，33-驱动摆块，331-抱紧环，332-连接板，333-传动凹槽，334-锁紧螺丝，34-铰接座，35-销轴，36-下压弹性组件，37-顶丝，38-螺钉，39-驱动摆杆。

【具体实施方式】

实施例一：

请参照图1-图4，本实施例为一种自适应密封的真空腔室翻板门阀100，其包括阀体1、阀门2以及驱动阀门2翻转的驱动模组3。

本实施例为一个阀芯外置式门阀结构，阀门2与驱动模组3均设置在阀体1的外部。阀体1的侧立面上设置有阀口(图中未标示)。驱动模组3包括转动设置在阀体1外且位于所述阀口旁的转轴31、驱动转轴31转动的驱动气缸32、固定在转轴31上的若干驱动摆块33以及转动设置在驱动摆块33上的铰接座34，铰接座34的主体与阀门2固定连接，铰接座34通过销轴35转动设置在驱动摆块33上，销轴35与转轴31轴线平行，驱动摆块33上位于销轴35两侧设置有向下顶持阀门2表面的下压弹性组件36，通过下压弹性组件36的设置，一方面可以让阀门2绕着销轴35实现自适应摆动，自动调整阀门2与阀体1的密封角度；另一方面可以减缓阀门2关闭瞬间的冲击力。

为了方便实现阀门2与阀体1间隙的局部调节，本实施例中在铰接座34上设置有顶持阀门2表面的若干顶丝37，铰接座34通过一对螺钉38与阀门2固定连接，顶丝37围绕设置在所述螺钉38的两侧，通过调节顶丝37，即可调节阀门2对应于每一处铰接座34所在区域与阀体1之间的间隙，进而提高与阀体1之间的密封性，以弥补因为阀体1体积大和加工误差造成的变形。

驱动摆块33包括抱紧在转轴31上的抱紧环331以及自抱紧环331圆周表面径向向外延伸形成的连接板332，铰接座34通过销轴35铰接设置在连接板332上。抱紧环331的内壁表面形成有提高与转轴31旋转传动力的传动凹槽333，与转轴31上突出的凸肋配合，提高转动力矩。抱紧环331通过锁紧螺丝334锁紧固定在转轴31上。

驱动气缸32的活塞端通过一个驱动摆杆39与转轴31连接，驱动摆杆39的一端通过涨紧套与转轴31固定连接且另一端与驱动气缸32的活塞杆铰接。通过涨紧套的设置，可以方便的调节阀门2旋转的角度。

本实施例中，转轴31采用外径较粗的轴杆结构，以提高轴的强度，防止关门时由于扭矩过大，转轴中段跳动而导致阀门2密封不实。

本实施例在使用时，驱动气缸32启动伸出，带动转轴31进行转动，在驱动摆块33的传动作用下，带着铰接在驱动摆块33上的阀门2绕着转轴31进行摆动，待阀门2接触阀体1侧方的阀口周边时，在下压弹性组件36的缓冲作用下，阀门2自动调节其与阀体1贴合的角度进行密封；当需要打开阀口时，驱动气缸32缩回，转轴31反向转动，将阀门2从所述阀口处翻转打开。当需要调节阀门2的局部平面度时，可以通过调节顶丝37，以调节阀门2与阀体1表面贴合的间隙，以使得阀门2能够更好的与阀体1表面贴合达到更好的密封效果。

以上所述的仅是本实用新型的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (7)

1.一种自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：其包括阀体、阀门以及驱动所述阀门翻转的驱动模组；所述阀体的侧立面上设置有阀口；所述驱动模组包括转动设置在所述阀体外且位于所述阀口旁的转轴、驱动所述转轴转动的驱动气缸、固定在所述转轴上的若干驱动摆块以及转动设置在所述驱动摆块上的铰接座，所述铰接座的主体与所述阀门固定连接，所述铰接座通过销轴转动设置在所述驱动摆块上，所述驱动摆块上位于所述销轴两侧设置有向下顶持所述阀门表面的下压弹性组件。

2.如权利要求1所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述销轴与所述转轴轴线平行。

3.如权利要求1所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述阀门与所述驱动模组均设置在所述阀体的外部。

4.如权利要求1所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述铰接座通过一对螺钉与所述阀门固定连接，所述铰接座上设置有顶持所述阀门表面的若干顶丝，所述顶丝围绕设置在所述螺钉的两侧。

5.如权利要求1所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述驱动摆块包括抱紧在所述转轴上的抱紧环以及自所述抱紧环圆周表面径向向外延伸形成的连接板，所述铰接座通过所述销轴铰接设置在所述连接板上。

6.如权利要求5所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述抱紧环的内壁表面形成有提高与所述转轴旋转传动力的传动凹槽，与所述转轴上突出的凸肋配合；所述抱紧环通过锁紧螺丝锁紧固定在所述转轴上。

7.如权利要求1所述的自适应密封的真空腔室翻板门阀，其特征在于：所述驱动气缸的活塞端通过一个驱动摆杆与所述转轴连接，所述驱动摆杆的一端通过涨紧套与所述转轴固定连接且另一端与所述驱动气缸的活塞杆铰接。

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