CN103470789B - 一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀 - Google Patents

Abstract

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：包括：一阀口；一阀板；一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上；一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；一枢轴，将阀板与连杆的第二端枢轴连接；一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；销孔设于连杆的第二端上，滑动销穿设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，以此螺钉顶压滑动销，滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。本发明开关动作速度快、工作可靠、并且密封效果有保证。

Description

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀

技术领域

本发明涉及镀膜生产机械领域，具体涉及一种连续式真空镀膜生产线的真空腔室上的物料进出口翻板阀。

背景技术

以连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线为例来说，其镀膜室须为高真空的状态，玻璃基板需要快速地进出镀膜室，即玻璃基板要在大气状态—高真空状态—大气状态之间快速切换，以实现磁控溅射生产工艺的高效生产率。现通常采用的方法是：在镀膜室前、后均布置串接的2~3个真空腔室，一级级地增加/降低真空度，譬如：在镀膜室之前的三个真腔室中，第一级真空腔室的压力调节的目标值设定为10Pa，第二级真空腔室的压力调节的目标值设定为0.1Pa；第三级真空腔室的压力调节的目标值设定为1×10^-3Pa。这些真空腔室要独立地压力调节，故各腔室之间需要设计阀门来分割和密封，当阀门打开时，其前后腔室连通，玻璃基板可以快速地从前一级腔室输送到后一级腔室；关闭时，可以对单个腔室进行压力调节。阀门的密封效果直接关系到各腔室的真空度和各腔室之间真空梯度的形成，从而影响到能否在各腔室之间快速输送玻璃基板以及镀膜室真空度的稳定性，最终将影响到整线的生产效率和镀膜质量。

现有技术中，阀门有多种，但用于上述场合，需要着重考虑阀门的密封性能，其次还要考虑阀门开闭速度和方便性，目前市面上的现成常规阀门都不是很适用。

发明内容

本发明目的是提供一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，以满足连续式真空镀膜生产线的各级真空腔室之间的分割和密封的需要。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，包括：

一阀口，该阀口为开设于真空腔室壁面上的物料传送口；

一阀板，以正面朝阀口并封盖于阀口上，阀板正面与真空腔室壁面之间绕阀口周向设有密封圈；

一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上，且位于阀板的侧旁；

一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；

一枢轴，其轴线与主传动轴的轴线相平行，且由该枢轴将阀板与连杆的第二端枢轴连接，以使阀板可绕枢轴转动；

一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，所述每一顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；所述销孔朝向阀板的背面开设于连杆的第二端上，所述滑动销滑动设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，螺钉与销孔螺纹连接，以此螺钉顶压滑动销，使滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；并且，所述一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；

一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述阀口为矩形，且阀口以长边沿水平方向布置；所述阀板也对应为矩形；所述主传动轴平行于矩形阀口的长边设置于阀板的上方，以此阀板上下翻转打开。

2、上述方案中，所述密封圈嵌设于阀板正面上。

3、上述方案中，所述旋转驱动机构由气缸及曲柄连杆机构组成，所述曲柄连杆机构的曲柄端部与主传动轴固定，气缸经曲柄连杆机构驱动主传动轴旋转。

4、上述方案中，所述弹性元件为橡胶压块，滑动销朝阀板背面的一端上开设一内孔，橡胶压块嵌置于该内孔中，橡胶压块的端部突出于内孔。

5、上述方案中，所述螺钉整体外周面上均设有外螺纹成一螺杆状，在螺钉突出于销孔的头部上螺纹连接有螺母。

由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明的阀板以翻转的方式打开关闭，结构简单，打开关闭的动作速度快。并且，由于本发明设有倾角调整装置，在翻板阀安装调整基本到位后，可利用倾角调整装置将阀板调整到和密封面平行的状态，使密封圈上各处压缩量一致，即兼顾了阀板和被密封面之间的间隙和平行度这两个重要参数，保证了密封效果。倾角调整装置还能够有效弥补腔体及阀板的加工误差以及密封圈变形或磨损造成的密封失效，确保翻板阀长期频繁动作的密封效果。

附图说明

图1为本发明实施例结构主视示意图；

图2为图1的A-A剖视示意图，该图表示阀板调整前的状态；

图3为图1的B-B剖视示意图，该图表示阀板调整前的状态。

以上附图中：1、阀口；2、真空腔室壁面；3、阀板；4、密封圈；5、主传动轴；6、连杆；7、枢轴；8、倾角调整装置；9、顶销机构；10、销孔；11、滑动销；12、弹性元件；13、螺钉；14、内孔；15、螺母；16、轴承座；17、辅助连杆。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

实施例：参见图1-图3所示：

一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，包括阀口1、阀板3、主传动轴5、连杆6、枢轴7、倾角调整装置8以及旋转驱动机构。

参见图1-图3所示，所述阀口1，为开设于真空腔室壁面2上的物料传送口。所述阀板3，以正面朝阀口1并封盖于阀口1上，阀板3正面与真空腔室壁面2之间绕阀口1周向设有密封圈4，较佳是将密封圈4嵌设于阀板正面上。

参见图1-图3所示，所述主传动轴5，通过轴承座16转动支承于真空腔室壁面2上，且位于阀板3的侧旁，图上举例为设于阀板的上侧。

参见图1-图3所示，所述连杆6，其第一端（图上示出为上端）与主传动轴5以螺栓固定连接，其第二端（图上示出为下端）伸至阀板3的背面侧。所述枢轴7的轴线与主传动轴5的轴线相平行，且由该枢轴7将阀板3与连杆6的第二端枢轴连接，以使阀板3可绕枢轴7转动。

具体，如图1所示，连杆6是设于轴承座16旁，在轴承座16的另一侧对称于连杆6还设有一辅助连杆17，该辅助连杆17的上端也与主传动轴5以螺栓固定连接，枢轴7的中部为位于连杆6和辅助连杆17之间的矩形块状体，枢轴7的两端则穿置于连杆6和辅助连杆17上，枢轴7的矩形块状体的中心设螺栓与阀板3固定连接。

参见图1-图3所示，所述倾角调整装置8由设置于连杆6上的至少一对顶销机构9组成，所述每一顶销机构9包括销孔10、滑动销11、弹性元件12以及螺钉13；所述销孔10朝向阀板3的背面开设于连杆6的第二端上，所述滑动销11滑动设于销孔10中，其朝阀板3背面的一端上设所述弹性元件12，其另一端处设所述螺钉13，螺钉13与销孔10的端部螺纹连接，以此螺钉13顶压滑动销11，使滑动销11端部的弹性元件12抵压阀板3的背面。并且，所述一对顶销机构9中的两个顶销机构9在连杆6长度方向上分列于枢轴7的两侧（如图示即为上下两侧）；所述旋转驱动机构驱动主传动轴旋转，即可带动阀板3翻转打开或关闭。

具体，见图1-图3所示，所述阀口1为矩形，且阀口1以长边沿水平方向布置，所述阀板3也对应为矩形，所述主传动轴5平行于矩形阀口1的长边设置于阀板3的上方，以此阀板3上下翻转打开。当阀板3的长度较长时，就需要在阀板3上布置多套如图1上所示的机构（该机构由连杆6、辅助连杆17、轴承16、枢轴7以及倾角调整装置8组成），这样的机构需在阀板3的长度方向上均布。

具体，见图1-图3所示，所述螺钉13整体外周面上均设有外螺纹成一螺杆状，在螺钉13突出于销孔10的头部上螺纹连接有螺母15，即以螺母15锁紧螺钉13，防止螺钉13在阀板8打开关闭的运动过程中因震动而松动移位。

见图2-图3所示，所述弹性元件12实际中可以是螺旋弹簧、弹簧片，也可以是弹性材质的柱体等。较佳方案是弹性元件12为橡胶压块，滑动销11朝阀板3背面的一端上开设一内孔14，橡胶压块嵌置于该内孔14中，橡胶压块的端部突出于内孔14，以便作用于阀板3的背面。

所述旋转驱动机构，可以是现有各式提供旋转力的驱动机构，如直接采用一电机，或者是采用气缸加上直线-旋转转换的传动机构。较佳方案是，旋转驱动机构由气缸及曲柄连杆机构组成，所述曲柄连杆机构的曲柄端部与主传动轴5固定，气缸经曲柄连杆机构驱动主传动轴5旋转。

本发明安装调整时，先初调，即调整主传动轴5的旋转角度范围，使关闭时阀板3抵触真空腔室壁面2（即被密封面），然后细调，即通过倾角调整装置8细调阀板3的位置和角度。倾角调整装置8的具体调法是：微调两顶销机构9，即拧动螺钉13，螺钉13通过滑动销11和弹性元件12抵压阀板3，配合着调两顶销机构9即能使阀板3旋转，直至将阀板3调整到和密封面平行的状态，使密封圈4上各处压缩量一致时，能达到最佳的密封效果。

本实施例的阀板以翻转的方式打开关闭，结构简单，打开关闭的动作速度快，并且，在翻板阀安装调整基本到位后，可利用倾角调整装置将阀板调整到和密封面平行的状态，使密封圈上各处压缩量一致，即兼顾了阀板和被密封面之间的间隙和平行度这两个重要参数，保证了密封效果。并且，倾角调整装置还能够有效弥补腔体及阀板的加工误差以及密封圈变形或磨损造成的密封失效，确保翻板阀长期频繁动作的密封效果。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：包括：

一阀口（1），该阀口（1）为开设于真空腔室壁面（2）上的物料传送口；

一阀板（3），以正面朝阀口（1）并封盖于阀口（1）上，阀板（3）正面与真空腔室壁面（2）之间绕阀口（1）周向设有密封圈（4）；

一主传动轴（5），转动支承于真空腔室壁面（2）上，且位于阀板（3）的侧旁；

一连杆（6），其第一端与主传动轴（5）固定连接，其第二端伸至阀板（3）的背面侧；

一枢轴（7），其轴线与主传动轴（5）的轴线相平行，且由该枢轴（7）将阀板（3）与连杆（6）的第二端枢轴连接，以使阀板（3）可绕枢轴（7）转动；

一倾角调整装置（8），由至少一对顶销机构（9）组成，所述每一顶销机构（9）包括销孔（10）、滑动销（11）、弹性元件（12）以及螺钉（13）；所述销孔（10）朝向阀板（3）的背面开设于连杆（6）的第二端上，所述滑动销（11）滑动设于销孔（10）中，其朝阀板（3）背面的一端上设所述弹性元件（12），其另一端处设所述螺钉（13），螺钉（13）与销孔（10）螺纹连接，以此螺钉（13）顶压滑动销（11），使滑动销（11）端部的弹性元件（12）抵压阀板（3）的背面；并且，所述一对顶销机构（9）中的两个顶销机构（9）在连杆长度方向上分列于枢轴（7）的两侧；

一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。

2.根据权利要求1所述连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：所述阀口（1）为矩形，且阀口（1）以长边沿水平方向布置；所述阀板（3）也对应为矩形；所述主传动轴（5）平行于矩形阀口（1）的长边设置于阀板（3）的上方，以此阀板（3）上下翻转打开。

3.根据权利要求1所述连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：所述密封圈（4）嵌设于阀板正面上。

4.根据权利要求1所述连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：所述旋转驱动机构由气缸及曲柄连杆机构组成，所述曲柄连杆机构的曲柄端部与主传动轴（5）固定，气缸经曲柄连杆机构驱动主传动轴（5）旋转。

5.根据权利要求1所述连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：所述弹性元件（12）为橡胶压块，滑动销（11）朝阀板（3）背面的一端上开设一内孔（14），橡胶压块嵌置于该内孔（14）中，橡胶压块的端部突出于内孔（14）。

6.根据权利要求1所述连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，其特征在于：所述螺钉（13）整体外周面上均设有外螺纹成一螺杆状，在螺钉（13）突出于销孔（10）的头部上螺纹连接有螺母（15）。