CN111255319A - 一种真空设备 - Google Patents

一种真空设备 Download PDF

Info

Publication number
CN111255319A
CN111255319A CN201811462842.3A CN201811462842A CN111255319A CN 111255319 A CN111255319 A CN 111255319A CN 201811462842 A CN201811462842 A CN 201811462842A CN 111255319 A CN111255319 A CN 111255319A
Authority
CN
China
Prior art keywords
door
plate
door shaft
vacuum
rotatably connected
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811462842.3A
Other languages
English (en)
Inventor
姜保彧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zishi Energy Co.,Ltd.
Original Assignee
Shenzhen Yongshenglong Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Yongshenglong Technology Co Ltd filed Critical Shenzhen Yongshenglong Technology Co Ltd
Priority to CN201811462842.3A priority Critical patent/CN111255319A/zh
Publication of CN111255319A publication Critical patent/CN111255319A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05DHINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D7/00Hinges or pivots of special construction
    • E05D7/08Hinges or pivots of special construction for use in suspensions comprising two spigots placed at opposite edges of the wing, especially at the top and the bottom, e.g. trunnions
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05DHINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D5/00Construction of single parts, e.g. the parts for attachment
    • E05D5/02Parts for attachment, e.g. flaps
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05DHINGES OR SUSPENSION DEVICES FOR DOORS, WINDOWS OR WINGS
    • E05D7/00Hinges or pivots of special construction
    • EFIXED CONSTRUCTIONS
    • E05LOCKS; KEYS; WINDOW OR DOOR FITTINGS; SAFES
    • E05FDEVICES FOR MOVING WINGS INTO OPEN OR CLOSED POSITION; CHECKS FOR WINGS; WING FITTINGS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, CONCERNED WITH THE FUNCTIONING OF THE WING
    • E05F15/00Power-operated mechanisms for wings
    • E05F15/50Power-operated mechanisms for wings using fluid-pressure actuators
    • E05F15/53Power-operated mechanisms for wings using fluid-pressure actuators for swinging wings

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)

Abstract

本发明涉及一种真空设备,其包括:真空设备本体、门轴、门板和驱动装置,门轴包括沿径向延伸的门轴压板,门轴压板一端与门轴固定连接,另一端与门板转动连接;真空设备本体包括开口、门板与开口相对设置,门轴在驱动装置的驱动下带动门轴压板将门板密闭压合于开口。本发明提供的真空设备,结构简单灵活,可通过驱动装置自动控制;贴合效果好。门板与门轴压板间转动连接,门板有一定旋转自由度,可自适应开口面的平面度,与开口面贴合状态好。

Description

一种真空设备
技术领域
本发明涉及密封设备领域,尤其是一种真空设备。
背景技术
真空设备为保证工作过程中真空度要求,必须保证阀门处密封牢靠,保证真空与大气或不同真空压力之间的隔离。
现有的密封门阀,有的驱动机构占用空间过大,操作不灵活;有的贴合密封效果差。
发明内容
(一)要解决的技术问题
为了解决现有技术的上述问题,本发明提供一种灵活、贴合效果好的真空设备。
(二)技术方案
为了达到上述目的,本发明提供一种真空设备,其包括:真空设备本体、门轴、门板和驱动装置;门轴包括门轴压板,门轴压板一端与门轴固定连接,另一端与门板转动连接;真空设备本体包括连通内部和外部的开口,门板与开口相对设置;门轴在驱动装置的驱动下带动门轴压板将门板密闭压合于开口。
优选的,包括铰链固定板,铰链固定板与真空设备本体固定连接,铰链固定板与门轴转动连接,铰链固定板与驱动装置转动连接。
进一步的,门轴的两端分别设置有一个铰链固定板,且每个铰链固定板上均设置有一个与门轴转动连接的驱动装置。
进一步的,门轴两端分别设置固定连接的连接块;驱动装置为气缸,气缸的一端与连接块转动连接,另一端与铰链固定板转动连接,气缸两端的伸缩推动门轴转动。
优选的,门板背离开口的一面固定有门板铰链座,门板铰链座与门轴压板转动连接。
进一步的,门轴压板包括凸块,凸块位于门板的转动轴线背离门轴的一侧,凸块限制门板的转动范围。
进一步的,每个门板铰链座对应的门轴处设置加强铰链座;加强铰链座套设在门轴的外侧并与门轴转动连接,加强铰链座与真空设备本体固定连接;成对设置的门板铰链座和加强铰链座的两侧分别设置有一个门轴压板。
进一步的,门轴压板与加强铰链座之间设置垫片。
优选的,门板包括减轻槽。
优选的,门板贴合开口的一面包括密封槽,密封槽内设置密封圈。
(三)有益效果
本发明提供一种真空设备,结构简单灵活,可通过驱动装置自动控制;贴合效果好。门板与门轴压板间转动连接,门板有一定旋转自由度,可自适应开口所在面的平面度,与开口贴合状态好。
通过设置铰链固定板,设备整体可以通过铰链固定板安装、拆卸。使用、调整。维护方便。
门轴压板与门板的转动轴与门板贴合开口的面距离较远,则门板自由转动的半径越大,而其对应的弧度越小,可以更精细的调整。
驱动装置从门轴两侧同时提供动力,对称性好,使力均匀。
门轴压板的本体和凸块分别限制了门板的转动范围,可以使门板整体受控,防止门板以异常姿态与开口贴合。
多个门轴压板可以使门板所受压力更均匀,防止门板局部翘起。加强铰链座主要防止门轴在门板的反作用力下挠性变形,加强铰链座可以使门轴更好的保持姿态,从而也使门板受压更均匀。
减轻门板重量可以减小驱动装置所需的动力,门轴更容易转动。由于加强铰链座的存在,能较好的保持门板刚度,避免变形、密闭不严等。
垫片防止门轴压板和加强铰链座二者因为转动而磨损。提高了门阀的整体寿命。
使用气缸作为动力源,可以防止刚性连接相互影响,避免了动力源在刚性连接下对同步性的较高要求。
通过设置密封圈使门板和开口之间密封。门轴压板对门板的压力均匀。
附图说明
图1是一种真空设备的关状态结构示意图;
图2是图1的主视示意图;
图3是图2开状态结构示意图;
图4是图1的开状态结构示意图。
【附图标记说明】
1:真空设备本体;2:门轴;3:门板;4:门轴压板;41:凸块;5:门板铰链座;6:第一销轴;7:加强铰链座;8:垫片;9:连接块;10:第二销轴;11:活塞杆;12:铰链固定板;13:活塞缸;14:第三销轴;15:气缸座。
具体实施方式
为了更好的解释本发明,以便于理解,下面结合附图,通过具体实施方式,对本发明作详细描述。
如图1所示,处于关状态的真空设备。由于真空设备需要密闭,门板3面向真空设备本体1开口的一面包括密封槽,密封槽内设置密封圈,使得门板3和真空设备本体1的开口之间密封。当然,其他设备不需要如真空设备本体1一般密封时,也可以不设置密封圈。
图1中门轴2水平的设置在开口上部,也可以设置在下部或者竖向、斜向设置在侧部。门轴2也可以与开口平面成一定角度,而图1中的水平是比较优选的,因为门板2在关状态时与开口受力为垂直方向,密封性最好。
图1中门板3为矩形,且宽度较宽,门板3面对开口的一面为正面,另一面为背面。沿门轴2轴向间隔设置有三个加强铰链座7,门轴2上每个加强铰链座7两侧的位置设置有门轴压板4,门轴压板4的一端与门轴2固定,另一端与固定在门板3背面的门板铰链座5通过第一销轴6转动连接。门板铰链座5的转动轴线在同一条直线上,使得门板3可以相对门轴压板4转动。
门轴2两端分别设置有铰链固定板12,铰链固定板12与真空设备本体1固定连接,同时与门轴2转动连接。各转动连接处可以使用磁流体轴承等真空轴承,从而适应不同真空度的环境。
驱动装置也可以设置在铰链固定板12上,这样门阀整体可以比较稳固的与真空设备本体1固定连接。当然驱动装置也可以直接喝真空装置1连接。
如图1、图2、图3所示。驱动装置采用气缸,气缸包括伸缩的活塞杆11和活塞缸13。活塞杆11和门轴2上沿径向延伸的连接块9通过第二销轴10转动连接,活塞缸13和固定在铰链固定板12上的气缸座15通过第三销轴14转动连接。
门轴压板4与加强铰链座7之间设置垫片8,其余转动连接处也可以设置垫片8。
活塞杆11缩回活塞缸13时,门轴2处于关位置,真空设备处于关状态,门板3在门轴压板4的压力下与开口紧密贴合。活塞杆11伸出活塞缸13时,门轴2转动至开位置,真空设备处于开状态,门板3在门轴压板4的带动下离开开口,让开出入口。
如图2、图3所示,驱动装置与门板3在开位置为顺向,驱动装置与连接块9形成的四连杆机构在开状态和关状态时动作很小,也基本为顺向。结构整体紧凑,占用空间小。
可以想见,可以使用其他类型的驱动装置,只要驱动门轴2在两个状态间切换即可。比如气缸驱动一根齿条,而门轴2上同轴固定有一个啮合的齿轮;活塞缸13与气缸座15固定连接,活塞杆11通过一根铰链杆与连接块9连接等等。气缸也可以换成油缸。还可以电机带动皮带、皮带带动门轴2转动等。
参考图3、图4,门轴压板4在门板3转动轴线背对门轴的一侧还延伸有一个凸块41。当门轴2处于开位置时,门板3由于和门轴压板4间是转动的,门板3的重心偏置的话,会带动门板3转动,受凸块41的抵顶,门板3不能转动过大范围,这样当真空设备切换回关状态时,门板3可以以正确的姿态将正面贴合开口,而不是侧面或边角等。
上实施例仅为本发明的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本发明的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书不应理解为对本发明的限制。

Claims (10)

1.一种真空设备,其特征在于,包括:真空设备本体(1)、门轴(2)、门板(3)和驱动装置;
所述门轴(2)包括门轴压板(4),所述门轴压板(4)一端与门轴(2)固定连接,另一端与门板(3)转动连接;
所述真空设备本体(1)包括连通内部和外部的开口,所述门板(3)与所述开口相对设置;
所述门轴(2)在驱动装置的驱动下带动所述门轴压板(4)将所述门板(3)密闭压合于所述开口。
2.如权利要求1所述的真空设备,其特征在于:包括铰链固定板(12),所述铰链固定板(12)与真空设备本体(1)固定连接,所述铰链固定板(12)与所述门轴(2)转动连接,所述铰链固定板(12)与所述驱动装置转动连接。
3.如权利要求2所述的真空设备,其特征在于:门轴(2)的两端分别设置有一个铰链固定板(12),且每个铰链固定板(12)上均设置有一个与门轴(2)转动连接的驱动装置。
4.如权利要求3所述的真空设备,其特征在于:所述门轴(2)两端分别设置固定连接的连接块(9);
所述驱动装置为气缸,所述气缸的一端与所述连接块(9)转动连接,另一端与铰链固定板(12)转动连接,所述气缸两端的伸缩推动所述门轴(2)转动。
5.如权利要求1或4所述的真空设备,其特征在于:所述门板(3)背离所述开口的一面固定有门板铰链座(5),所述门板铰链座(5)与门轴压板(4)转动连接。
6.如权利要求5所述的真空设备,其特征在于:所述门轴压板(4)包括凸块(41),所述凸块(41)位于所述门板(3)的转动轴线背离所述门轴(2)的一侧,所述凸块(41)限制所述门板(3)的转动范围。
7.如权利要求5所述的真空设备,其特征在于,每个门板铰链座(5)对应的门轴(2)处设置加强铰链座(7);
所述加强铰链座(7)套设在所述门轴(2)的外侧并与所述门轴(2)转动连接,所述加强铰链座(7)与所述真空设备本体(1)固定连接;
成对设置的所述门板铰链座(5)和所述加强铰链座(7)的两侧分别设置有一个所述门轴压板(4)。
8.如权利要求7所述的真空设备,其特征在于:所述门轴压板(4)与加强铰链座(7)之间设置垫片(8)。
9.如权利要求1所述的真空设备,其特征在于:所述门板(3)包括减轻槽。
10.如权利要求1的真空设备,其特征在于:所述门板(3)贴合开口的一面包括密封槽,所述密封槽内设置密封圈。
CN201811462842.3A 2018-11-30 2018-11-30 一种真空设备 Pending CN111255319A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811462842.3A CN111255319A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种真空设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811462842.3A CN111255319A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种真空设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN111255319A true CN111255319A (zh) 2020-06-09

Family

ID=70953862

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811462842.3A Pending CN111255319A (zh) 2018-11-30 2018-11-30 一种真空设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN111255319A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112593799A (zh) * 2020-12-03 2021-04-02 常州市大成真空技术有限公司 一种推门机构及真空板阀

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112593799A (zh) * 2020-12-03 2021-04-02 常州市大成真空技术有限公司 一种推门机构及真空板阀

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7575220B2 (en) Curved slit valve door
US8366375B2 (en) Rotation introduction mechanism, substrate transfer apparatus, and vacuum processing apparatus
US7497414B2 (en) Curved slit valve door with flexible coupling
CN101616753B (zh) 表面处理装置
CN111255319A (zh) 一种真空设备
KR100629805B1 (ko) 진공 처리 장치
CN107091324B (zh) 一种随动调节密封间距铰链
CN201487243U (zh) 一种真空阀门
CN209585992U (zh) 一种真空设备
CN211623055U (zh) 一种用于真空炉的炉门液压开闭机构
CN104633141A (zh) 气动蝶阀机构
CN220488302U (zh) 一种翻板阀
CN112361001A (zh) 一种敞开式插板阀
CN210770303U (zh) 一种用于玻璃钢化炉供风系统的翻板阀门开关装置
CN212131313U (zh) 一种新型截止阀
CN218908329U (zh) 一种改变高分子材料性质的辐照装置
CN218236171U (zh) 一种真空翻板阀
CN215443621U (zh) 一种高真空度舱体密封门铰链
CN218529138U (zh) 一种设有空气净化结构的医用传递仓
CN211315146U (zh) 一种自动补偿球面密封衬氟蝶阀
CN217029972U (zh) 一种新型真空腔室用狭缝门阀
CN214271024U (zh) 一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置
CN112833208B (zh) 一种真空阀门
CN217682784U (zh) 一种斜齿轮间歇动作系统抬升枢轴器
CN219674768U (zh) 一种冻干机小门在位翻转结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20210226

Address after: Unit 611, unit 3, 6 / F, building 1, yard 30, Yuzhi East Road, Changping District, Beijing 102208

Applicant after: Zishi Energy Co.,Ltd.

Address before: Room 403, unit 2, building C, Dongfang Shengshi, Jinpai community, Buji street, Longgang District, Shenzhen, Guangdong 518112

Applicant before: Shenzhen yongshenglong Technology Co.,Ltd.

TA01 Transfer of patent application right
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination