CN218887159U - 一种螺旋旋转限位装置 - Google Patents

Abstract

一种螺旋旋转限位装置，包括工作平台，其上表面中间位置通过支架安装有支撑组件，支撑组件的顶面安装有旋转盘，支撑组件的一侧固定有旋转电机，旋转电机的输出端通过传动部件连接旋转轴，旋转轴与旋转盘连接，控制旋转盘转动；位于旋转盘的底面安装有螺旋导轨，位于工作平台的上表面还固定安装有并排的传感器固定座和直线导轨固定座，传感器固定座上设置有上下间隔的上激光传感器和下激光传感器，直线导轨固定座上通过直线导轨安装滑块，所述滑块上固定限位轴，限位轴伸入至螺旋导轨中，随着螺旋导轨一同转动，限位轴的跟动带动滑块沿着直线导轨上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器和下激光传感器触发控制，工作可靠，保证测量精度。

Description

一种螺旋旋转限位装置

技术领域

本实用新型涉及旋转限位装置技术领域，尤其是一种螺旋旋转限位装置。

背景技术

在半导体芯片制作过程中，晶圆加工、光刻、刻蚀、薄膜沉积以及封装等各项制作工艺，每步工艺产品的性能质量达标与否是保证成品芯片性能的重要前提，所以对被测对象的检测尤为重要。通常情况下，检测时需要对其进行旋转，通过旋转来实现其表面多采样点的检测，采样点覆盖越全面，检测结果越精确。在检测过程中，旋转角度直接决定了采样点的覆盖范围，能实现满360度旋转对检测结果的精确度至关重要。

现有技术中，为了防止平台无限制的旋转而使下部的连接线缠绕、拉扯损坏设备，需要安装限位开关，限位开关由于限位开关自身厚度的存在，在旋转还未回到原点时就会触发，从而无法实现整360度的旋转测量工作，总有一定角度范围内的采样点无法被检测，大大影响了检测精度。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种螺旋旋转限位装置，从而可以保证平台无限制旋转的同时克服了现有技术的缺陷，使旋转平台能够旋转满360度后再回到原点，且无论是正转、反转时都能起到较好的保护作用。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种螺旋旋转限位装置，包括工作平台，所述工作平台的上表面中间位置通过支架安装有支撑组件，所述支撑组件的顶面安装有旋转盘，所述支撑组件的一侧固定有旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动部件连接旋转轴，所述旋转轴与旋转盘连接，控制旋转盘转动；位于旋转盘的底面安装有螺旋导轨，位于工作平台的上表面还固定安装有并排的传感器固定座和直线导轨固定座，所述传感器固定座上设置有上下间隔的上激光传感器和下激光传感器，所述直线导轨固定座上通过直线导轨安装有滑块，所述滑块上固定限位轴，所述限位轴伸入至螺旋导轨中，随着螺旋导轨一同转动，限位轴的跟动带着滑块沿着直线导轨上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器和下激光传感器触发控制。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述螺旋导轨呈圆柱环结构。

所述螺旋导轨与旋转盘同心设置。

所述螺旋导轨的结构为：包括导轨本体，导轨本体为上下均是敞口的薄壁圆柱体结构，导轨本体的壁面上开有螺旋槽，限位轴伸入螺旋槽中。

所述导轨本体的上表面为平面。

所述导轨本体上开有多个圆孔以及两个备用孔。

所述传感器固定座和直线导轨固定座均呈直角形结构。

所述传感器固定座的内侧上下位置间隔固定有上安装板和下安装板，上安装板和下安装板均呈L型结构，上安装板顶部安装上激光传感器，下安装板顶部安装下激光传感器。

所述传感器固定座的内侧设置有直线导轨，所述直线导轨上安装有沿直线导轨上下滑动的滑块，所述滑块的外侧垂直安装限位轴，所述直线导轨的顶部设置有上限位板，直线导轨的底部设置有下限位板。

滑块采用小方块结构，滑块下方设置有与上激光传感器和下激光传感器触发的突出部分。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过驱动设备、旋转盘、螺旋导轨、直线导轨、传感器等部件之间的互相配合工作，可以方便的完成被测对象在旋转盘上360的旋转工作，满足测量要求，能测量全角度范围内的采样点，提高测量准确性，保证检测精度。

本实用新型结构简单，刚性结构经久耐用，满足测量要求同时成本低。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型另一视角的结构示意图。

图3为本实用新型的结构示意图(省略螺旋导轨)。

图4为本实用新型螺旋导轨的结构示意图。

图5为本实用新型传感器固定座和直线导轨固定座的安装示意图。

其中：1、旋转盘；2、支架；4、传感器固定座；5、直线导轨固定座；6、工作平台；7、直线导轨；8、滑块；9、限位轴；10、螺旋导轨；11、旋转电机；12、下限位板；13、上激光传感器；14、上安装板；15、下激光传感器；16、下安装板；17、上限位板；18、支撑组件；

1001、导轨本体；1002、螺旋槽；1003、备用孔；1004、平面。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-图5所示，本实施例的螺旋旋转限位装置，包括工作平台6，工作平台6的上表面中间位置通过支架2安装有支撑组件18，支撑组件18的顶面安装有旋转盘1，支撑组件18的一侧固定有旋转电机11，旋转电机11的输出端通过传动部件连接旋转轴，旋转轴与旋转盘1连接，控制旋转盘1转动；位于旋转盘1的底面安装有螺旋导轨10，位于工作平台6的上表面还固定安装有并排的传感器固定座4和直线导轨固定座5，传感器固定座4上设置有上下间隔的上激光传感器13和下激光传感器15，直线导轨固定座5上通过直线导轨7安装有滑块8，滑块8上固定限位轴9，限位轴9伸入至螺旋导轨10中，随着螺旋导轨10一同转动，限位轴9的跟动带着滑块8沿着直线导轨7上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器13和下激光传感器15触发控制。

螺旋导轨10呈圆柱环结构。

螺旋导轨10与旋转盘1同心设置。

螺旋导轨10的结构为：包括导轨本体1001，导轨本体1001为上下均是敞口的薄壁圆柱体结构，导轨本体1001的壁面上开有螺旋槽1002，限位轴9伸入螺旋槽1002中。

导轨本体1001的上表面为平面1004。

导轨本体1001上开有多个圆孔以及两个备用孔1003。

传感器固定座4和直线导轨固定座5均呈直角形结构。

传感器固定座4的内侧上下位置间隔固定有上安装板14和下安装板16，上安装板14和下安装板16均呈L型结构，上安装板14顶部安装上激光传感器13，下安装板16顶部安装下激光传感器15。

传感器固定座4的内侧设置有直线导轨7，直线导轨7上安装有沿直线导轨7上下滑动的滑块8，滑块8的外侧垂直安装限位轴9，直线导轨7的顶部设置有上限位板17，直线导轨7的底部设置有下限位板12。

滑块8采用小方块结构，滑块8下方设置有与上激光传感器13和下激光传感器15触发的突出部分。

本实用新型的具体结构和功能如下：

主要包括旋转盘1、旋转电机11、螺旋导轨10、直线导轨7、直线导轨固定座5、限位轴9、滑块8、上激光传感器13、下激光传感器15等。

旋转盘1是检测时用来吸附被测对象的装置，旋转盘1中心通过旋转支撑、支架2等固定在工作平台6上。

旋转电机11安装在旋转盘1的下方，与旋转盘1直连，通过控制器控制带动旋转盘1围绕旋转轴连续旋转。

螺旋导轨10为一圆柱环结构，以旋转轴为中心，通过螺栓固定安装在旋转盘1的反面，也可以直接焊接在旋转盘1的反面，能够跟随旋转盘1一起旋转运动。圆柱面上开有螺旋型的螺旋槽1002，使限位轴9一端在螺旋槽1002内滑动。

限位轴9安装在滑块8上，滑块8可沿直线导轨7上下滑动，滑块8设计成小方块形状，下侧方有一突出部分，用来触发传感器。

直线导轨7通过直线导轨固定座5固定在工作平台6上。直线导轨7上方设置有上限位板17，下方设置有下限位板12。

上激光传感器13、下激光传感器15分别通过安装板固定在传感器固定座4上；上激光传感器13监测滑块8至上限位板17滑动的限制位置，下激光传感器15监测滑块8向下限位板12滑动的限制位置；当传感器被滑块8触发时，传送信号给控制器，控制旋转电机11停止工作。

上激光传感器13和下激光传感器15是用来判断旋转盘1是否旋转满360度回原点的限位设备。

上限位板17和下限位板12是极限限位一种螺旋旋转限位装置，用来保证旋转盘1不超角度旋转，保护下方连接电路和气路。

上激光传感器13和下激光传感器15平行对称安装在传感器固定座4上，上激光传感器13和下激光传感器15之间的相对距离是依据旋转盘1旋转角度(也即滑块8滑动的距离)来确定的。

控制器用来接收测量指令控制旋转电机11旋转，还接收激光传感器传输的信号用来控制旋转电机11的暂停与否。

实际工作过程中：

测量开始前，旋转盘1静止在原点位置，限位轴9在螺旋导轨10下端。

测量开始，控制器接收正转指令，控制器控制旋转电机11工作带动旋转盘1从原点位置开始顺时针旋转；螺旋导轨10跟随旋转盘1一起旋转，限位轴9随着螺旋槽1002的旋转带动滑块8向上滑动，滑动到一定的高度触发上激光传感器13，传感器监测到暂停信号并发送给控制器，控制器控制旋转电机11暂停旋转，旋转盘1停止测量。

控制器接收反转指令，旋转原理同上述，当滑块8向下滑动至触发下激光传感器15时，传感器监测到暂停信号并发送给控制器，控制器控制旋转电机11暂停旋转，旋转盘1停止测量。

对接线的保护：通过使用上限位板17、下限位板12，对滑块8进行极限限位，进而限制旋转盘1在断电后的旋转角度，从而实现平台能够旋转满360度回到原点外，还在断电后限制旋转盘1不会超角度转动，保护旋转盘1连接的电路和气路不会过分拉扯、缠绕、断开。

本实用新型所述的被测对象可以是晶圆、硅晶片、液晶屏、太阳能电池板以及各种能吸附在平台上检测的任何被检物，应用广泛。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

Claims (10)

1.一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：包括工作平台(6)，所述工作平台(6)的上表面中间位置通过支架(2)安装有支撑组件(18)，所述支撑组件(18)的顶面安装有旋转盘(1)，所述支撑组件(18)的一侧固定有旋转电机(11)，所述旋转电机(11)的输出端通过传动部件连接旋转轴，所述旋转轴与旋转盘(1)连接，控制旋转盘(1)转动；位于旋转盘(1)的底面安装有螺旋导轨(10)，位于工作平台(6)的上表面还固定安装有并排的传感器固定座(4)和直线导轨固定座(5)，所述传感器固定座(4)上设置有上下间隔的上激光传感器(13)和下激光传感器(15)，所述直线导轨固定座(5)上通过直线导轨(7)安装有滑块(8)，所述滑块(8)上固定限位轴(9)，所述限位轴(9)伸入至螺旋导轨(10)中，随着螺旋导轨(10)一同转动，限位轴(9)的跟动带着滑块(8)沿着直线导轨(7)上下滑动，上下滑动的极限位置被上激光传感器(13)和下激光传感器(15)触发控制。

2.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述螺旋导轨(10)呈圆柱环结构。

3.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述螺旋导轨(10)与旋转盘(1)同心设置。

4.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述螺旋导轨(10)的结构为：包括导轨本体(1001)，导轨本体(1001)为上下均是敞口的薄壁圆柱体结构，导轨本体(1001)的壁面上开有螺旋槽(1002)，限位轴(9)伸入螺旋槽(1002)中。

5.如权利要求4所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述导轨本体(1001)的上表面为平面(1004)。

6.如权利要求4所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述导轨本体(1001)上开有多个圆孔以及两个备用孔(1003)。

7.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述传感器固定座(4)和直线导轨固定座(5)均呈直角形结构。

8.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述传感器固定座(4)的内侧上下位置间隔固定有上安装板(14)和下安装板(16)，上安装板(14)和下安装板(16)均呈L型结构，上安装板(14)顶部安装上激光传感器(13)，下安装板(16)顶部安装下激光传感器(15)。

9.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：所述传感器固定座(4)的内侧设置有直线导轨(7)，所述直线导轨(7)上安装有沿直线导轨(7)上下滑动的滑块(8)，所述滑块(8)的外侧垂直安装限位轴(9)，所述直线导轨(7)的顶部设置有上限位板(17)，直线导轨(7)的底部设置有下限位板(12)。

10.如权利要求1所述的一种螺旋旋转限位装置，其特征在于：滑块(8)采用小方块结构，滑块(8)下方设置有与上激光传感器(13)和下激光传感器(15)触发的突出部分。

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