CN218826967U - 一种圆弧型旋转限位机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种圆弧型旋转限位机构，包括底座，所述底座的上表面中间位置一体式连接有支架，支架的顶部为支撑件，所述支撑件的一侧安装旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动组件安装旋转轴，所述旋转轴上安装吸盘，位于吸盘的底部设置有与吸盘底面垂直的限位杆；所述底座上安装有固定座，所述固定座的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨，所述圆弧导轨上配合安装有圆弧滑块，所述圆弧滑块的顶面固定有限位座，所述限位座与限位杆配合抵接，限位杆推动限位座沿着圆弧导轨滑动，使平台能够旋转满360度后再回到原点，且平台无论正转、反转时都能起到保护作用。

Description

一种圆弧型旋转限位机构

技术领域

本实用新型涉及旋转限位机构技术领域，尤其是一种圆弧型旋转限位机构。

背景技术

在半导体芯片制作过程中，硅晶片、硅晶片表面薄膜等被测对象的各项性能达标与否是保证成品芯片性能的重要前提，所以对被测对象的性能质量检测尤为重要。通常情况下，检测时需要对其进行旋转，通过旋转来实现其表面多采样点的检测，采样点覆盖越全面，检测结果越精确。在检测过程中，旋转角度直接决定了采样点的覆盖范围，能实现超360度旋转对检测结果的精确度至关重要。

现有技术中，为了防止平台无限制的旋转而使下部的连接线缠绕、拉扯损坏设备，需要安装限位开关，限位开关由于限位开关自身厚度的存在，在旋转还未回到原点时就会触发，从而无法实现整360度的旋转测量工作，总有一定角度范围内的采样点无法被检测，大大影响了检测精度。

实用新型内容

本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种圆弧型旋转限位机构，从而保护平台无限制旋转的同时克服了现有技术的缺陷，使平台能够旋转满360度后再回到原点，且平台无论正转、反转时都能起到保护作用。

本实用新型所采用的技术方案如下：

一种圆弧型旋转限位机构，包括底座，所述底座的上表面中间位置一体式连接有支架，支架的顶部为支撑件，所述支撑件的一侧安装旋转电机，所述旋转电机的输出端通过传动组件安装旋转轴，所述旋转轴上安装吸盘，位于吸盘的底部设置有与吸盘底面垂直的限位杆；所述底座上安装有固定座，所述固定座的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨，所述圆弧导轨上配合安装有圆弧滑块，所述圆弧滑块的顶面固定有限位座，所述限位座与限位杆配合抵接，限位杆推动限位座沿着圆弧导轨滑动。

作为上述技术方案的进一步改进：

台阶面的两端设置有左右两面极限的限位面，限制限位座的滑动位置。

所述限位座的顶面中部设置有凸起，所述凸起抵住限位杆，所述限位座的外侧面中部设置有舌状板。

所述限位座的顶面设置有一号弹簧拉杆，固定座的外侧面间隔固定有直角座，两个直角座上分别安装二号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆，一号弹簧拉杆和二号弹簧拉杆之间安装复位弹簧，一号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆之间同样安装复位弹簧。

两个复位弹簧的弹性和长度相同。

所述固定座的外侧面中间位置固定有传感器安装座，所述传感器安装座上对称安装传感器，所述传感器与限位座对应。

所述传感器安装座为一体式结构。

所述传感器安装座的结构为：包括U型结构，所述U型结构的中部开有与固定座连接的锁紧孔，U型结构两端向上延伸有支杆，所述支杆上开有安装传感器的圆孔，传感器安装在支杆的内侧位置。

四个支架分布在支撑件的底部。

本实用新型的有益效果如下：

本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过旋转的吸盘、限位杆、固定座上的限位座等部件之间的互相配合工作，可以方便的完成被测对象在吸盘上满360度的旋转工作，从而完成被测对象采样点检测的工作，大大提高了检测精度，满足使用要求。

本实用新型可以实现超360度旋转，能测量被测对象的全角度范围内的采样点，提高测量准确性。

本实用新型装置结构简单，刚性结构经久耐用，满足测量要求同时成本低。

本实用新型所述的传感器和极限限位多重限位装置，增加了保护力度。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型另一视角的结构示意图。

图3为本实用新型固定座的安装示意图。

图4为本实用新型另一视角的固定座安装示意图。

图5为图3的俯视图。

图6为本实用新型传感器安装座的结构示意图。

其中：1、吸盘；2、支撑件；3、支架；4、限位座；5、圆弧导轨；6、固定座；7、直角座；8、传感器；9、传感器安装座；10、底座；11、限位杆；12、旋转轴；13、旋转电机；14、圆弧滑块；15、复位弹簧；

401、凸起；402、舌状板；

901、支杆；902、圆孔；903、U型结构；904、锁紧孔。

具体实施方式

下面结合附图，说明本实用新型的具体实施方式。

如图1-图6所示，本实施例的圆弧型旋转限位机构，包括底座10，底座10的上表面中间位置一体式连接有支架3，支架3的顶部为支撑件2，支撑件2的一侧安装旋转电机13，旋转电机13的输出端通过传动组件安装旋转轴12，旋转轴12上安装吸盘1，位于吸盘1的底部设置有与吸盘1底面垂直的限位杆11；底座10上安装有固定座6，固定座6的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨5，圆弧导轨5上配合安装有圆弧滑块14，圆弧滑块14的顶面固定有限位座4，限位座4与限位杆11配合抵接，限位杆11推动限位座4沿着圆弧导轨5滑动。

台阶面的两端设置有左右两面极限的限位面，限制限位座4的滑动位置。

限位座4的顶面中部设置有凸起401，凸起401抵住限位杆11，限位座4的外侧面中部设置有舌状板402。

限位座4的顶面设置有一号弹簧拉杆，固定座6的外侧面间隔固定有直角座7，两个直角座7上分别安装二号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆，一号弹簧拉杆和二号弹簧拉杆之间安装复位弹簧15，一号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆之间同样安装复位弹簧15。

两个复位弹簧15的弹性和长度相同。

固定座6的外侧面中间位置固定有传感器安装座9，传感器安装座9上对称安装传感器8，传感器8与限位座4对应。

传感器安装座9为一体式结构。

传感器安装座9的结构为：包括U型结构903，U型结构903的中部开有与固定座6连接的锁紧孔904，U型结构903两端向上延伸有支杆901，支杆901上开有安装传感器8的圆孔902，传感器8安装在支杆901的内侧位置。

四个支架3分布在支撑件2的底部。

本实用新型的主要结构和功能如下：

主要包括：吸盘1、旋转电机13、圆弧导轨5、固定座6、限位杆11、限位座4、复位弹簧15，传感器8，传感器安装座9和底座10等。

吸盘1是被测对象在检测时用来吸附被测对象的承片装置。吸盘1的中心通过旋转轴12固定在底座10上。

旋转电机13安装在吸盘1的下方，通过控制器控制带动吸盘1围绕旋转轴12连续旋转。

圆弧导轨5为一段圆弧状滑轨，通过圆弧导轨5设置在固定座6上，可供限位座4在滑轨上滑动。固定座6上设计有左右两面极限限位面，当限位座4接触到左或右限位面时即到达极限位置，吸盘1停止旋转。

限位杆11安装在吸盘1的反面，安装位置保证吸盘1在旋转时限位杆11能与限位座4的凸起401相撞。

限位座4通过圆弧滑块14安置在圆弧导轨5上，受限位杆11推动可沿圆弧导轨5左右滑动；限位座4外侧设计有触发传感器8的结构(即舌状板402)。限位座4上表面安装有一号弹簧拉杆。

安装在两个直角座7的顶面分别安装二号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆，一号弹簧拉杆和二号弹簧拉杆之间安装复位弹簧15，一号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆之间同样安装复位弹簧15，两个复位弹簧15对称设置，两弹簧弹性和长度相同。作用：限位座4不受限位杆11的力时将限位座4拉回原点位(对称中心位置)。

固定座6的外侧还安装有传感器安装座9。

两个传感器8安装在传感器安装座9上，根据吸盘1的旋转角度选择安装位置，安装位置需保证吸盘1旋转完设定的角度后，两个传感器8能被限位座4触发。

实际工作过程中：

测量开始前，吸盘1静止在原点位置，限位座4在原点位置，限位杆11和限位座4的凸起401相碰但相互没有力的作用。

测量开始，控制器接收正转指令，控制器控制旋转电机13工作带动吸盘1从原点位置开始顺时针旋转；当吸盘1旋转即将360度回原点位时，限位杆11与限位座4的凸起401相撞，由于未满360需要继续旋转测量，限位座4受限位杆11推力开始沿圆弧导轨5发生滑动，当旋转满360度时，限位座4触发传感器8，传感器8监测到暂停信号并发送给控制器，控制器控制旋转电机13暂停旋转，吸盘1停止测量。

测量停止，吸盘1回到原点位，限位座4在复位弹簧15的作用下回到原位，等待下一次测量。

控制器接收反转指令，旋转原理同上述正转。

对接线的保护：通过圆弧导轨5上的两面极限限位面，在设备断电时，限位座4左右最远只能滑动至限位面处，从而限制了吸盘1在断电时超角度旋转，保护吸盘1连接的电路和气路不会过分拉扯、缠绕、断开。

本实用新型所述的被测对象可以是晶圆、硅晶片、液晶屏、太阳能电池板以及各种能吸附在平台上检测的任何被检物，应用广泛。

以上描述是对本实用新型的解释，不是对实用新型的限定，本实用新型所限定的范围参见权利要求，在本实用新型的保护范围之内，可以作任何形式的修改。

Claims (9)

1.一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：包括底座(10)，所述底座(10)的上表面中间位置一体式连接有支架(3)，支架(3)的顶部为支撑件(2)，所述支撑件(2)的一侧安装旋转电机(13)，所述旋转电机(13)的输出端通过传动组件安装旋转轴(12)，所述旋转轴(12)上安装吸盘(1)，位于吸盘(1)的底部设置有与吸盘(1)底面垂直的限位杆(11)；所述底座(10)上安装有固定座(6)，所述固定座(6)的顶部设置有台阶，在台阶面处设置有圆弧导轨(5)，所述圆弧导轨(5)上配合安装有圆弧滑块(14)，所述圆弧滑块(14)的顶面固定有限位座(4)，所述限位座(4)与限位杆(11)配合抵接，限位杆(11)推动限位座(4)沿着圆弧导轨(5)滑动。

2.如权利要求1所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：台阶面的两端设置有左右两面极限的限位面，限制限位座(4)的滑动位置。

3.如权利要求1所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：所述限位座(4)的顶面中部设置有凸起(401)，所述凸起(401)抵住限位杆(11)，所述限位座(4)的外侧面中部设置有舌状板(402)。

4.如权利要求1所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：所述限位座(4)的顶面设置有一号弹簧拉杆，固定座(6)的外侧面间隔固定有直角座(7)，两个直角座(7)上分别安装二号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆，一号弹簧拉杆和二号弹簧拉杆之间安装复位弹簧(15)，一号弹簧拉杆和三号弹簧拉杆之间同样安装复位弹簧(15)。

5.如权利要求4所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：两个复位弹簧(15)的弹性和长度相同。

6.如权利要求1所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：所述固定座(6)的外侧面中间位置固定有传感器安装座(9)，所述传感器安装座(9)上对称安装传感器(8)，所述传感器(8)与限位座(4)对应。

7.如权利要求6所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：所述传感器安装座(9)为一体式结构。

8.如权利要求6所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：所述传感器安装座(9)的结构为：包括U型结构(903)，所述U型结构(903)的中部开有与固定座(6)连接的锁紧孔(904)，U型结构(903)两端向上延伸有支杆(901)，所述支杆(901)上开有安装传感器(8)的圆孔(902)，传感器(8)安装在支杆(901)的内侧位置。

9.如权利要求1所述的一种圆弧型旋转限位机构，其特征在于：四个支架(3)分布在支撑件(2)的底部。

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