CN218887148U - 运动平台及封装设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种运动平台及封装设备，涉及封装设备技术领域。该运动平台包括第一运动机构、第二运动机构、平台和防尘件；第一运动机构与第二运动机构传动连接，第二运动机构与平台传动连接，第一运动机构与第二运动机构配合实现平台沿X向和Y向运动；第一运动机构和第二运动机构均包括底座和光栅尺，光栅尺安装于底座，且至少一底座安装有用于罩设光栅尺的防尘件。本实用新型提供的运动平台解决了现有技术中存在的运动平台的防尘装置影响设备散热、成本高和防尘效果差的技术问题。

Description

运动平台及封装设备

技术领域

本实用新型涉及封装设备技术领域，尤其是涉及一种运动平台及封装设备。

背景技术

近年来，随着后摩尔时代的来临，半导体产品呈现微小化、轻薄化、高密度化的变革特点，对半导体封装检测装备提出了更高的性能指标要求，运动平台作为封装装备的核心运动部件，为有效适应半导体的变革，需要在高速和高加速下保证高精度和高稳定性。

运动平台作为封装设备的核心部件，其精度及稳定性直接影响着整机的使用性能，故运动平台在设计过程中需要保证运动平台的精度和稳定性。目前为了保证高精度，具备优异光学性能的光栅尺是一种理想的反馈装置，而这种光栅尺原理是光学式反馈，其性能很容易被异物和灰尘等影响。现有技术中采用直接在运动平台外罩设防尘罩或风琴式防尘罩的方式保护光栅尺，存在整个工作台位于防尘罩内成本高且影响散热的问题；同时，现有风琴式防尘罩在移动时会使沉积的灰尘再飞扬起来，影响防尘效果。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种运动平台及电子元件检测装置，以缓解现有技术中存在的运动平台的防尘装置影响设备散热、成本高和防尘效果差的技术问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的技术方案在于：

第一方面，本实用新型提供的运动平台包括第一运动机构、第二运动机构与平台，所述第一运动机构与所述第二运动机构传动连接，第二运动机构与所述平台传动连接，所述第一运动机构与所述第二运动机构配合实现所述平台沿X向运动，且所述第二运动机构与所述平台配合实现所述平台沿Y向运动；

所述第一运动机构和所述第二运动机构均包括底座和光栅尺，所述光栅尺安装于所述底座，且至少一所述底座安装有用于罩设所述光栅尺的防尘件。

优选地，所述光栅尺包括标尺和读数头，所述标尺安装于所述底座，所述读数头与所述标尺信号连接；

所述防尘件设有用于使所述读数头伸入的避让空间，所述标尺位于所述避让空间内。

优选地，所述防尘件包括安装段、连接段和罩设段；

所述安装段和所述罩设段分别位于所述连接段的两侧，且均与所述连接段呈夹角设置；

所述罩设段和所述连接段之间形成所述避让空间；

所述安装段安装于所述底座。

优选地，所述第一运动机构和所述第二运动机构均包括固定板；

所述读数头安装于所述固定板，所述第一运动机构中的所述固定板与所述第二运动机构连接，所述第二运动机构中的所述固定板与所述平台连接。

优选地，所述第一运动机构安装有所述防尘件时，所述第一运动机构中的所述固定板设有卡槽，所述卡槽与所述防尘件滑动配合。

优选地，所述第一运动机构和所述第二运动机构均包括驱动件和滑动件；所述驱动件安装于所述底座，并与所述滑动件传动连接，以驱动所述滑动件移动；

所述第一运动机构中的所述滑动件与所述第二运动机构连接，以带动所述第二运动机构沿X向运动，所述第二运动机构中的所述滑动件与所述平台连接，以带动所述平台沿Y向运动。

优选地，所述滑动件内设有散热通道，所述散热通道配置为容纳冷却介质。

优选地，所述第一运动机构设有第一导向组件，所述第一导向组件沿X向延伸，用于引导所述第二运动机构沿X向运动；和/或，

所述第二运动机构设有第二导向组件，所述第二导向组件沿Y向延伸，用于引导所述平台沿Y向运动。

优选地，所述第一运动机构设有第一限位组件，所述第一限位组件用于限制所述第二运动机构的运动行程；和/或，

所述第二运动机构设有第二限位组件，所述第二限位组件用于限制所述平台的运动行程。

第二方面，本实用新型提供的封装设备包括如上述任一项所述的运动平台。

综合上述技术方案，本实用新型所能实现的技术效果分析如下：

本实用新型提供的运动平台包括第一运动机构、第二运动机构、平台和防尘件；第一运动机构与第二运动机构传动连接，第二运动机构与平台传动连接，第一运动机构与第二运动机构配合实现平台沿X向运动，第二运动机构与平台配合实现平台沿Y向运动；第一运动机构和第二运动机构均包括底座和光栅尺，光栅尺安装于底座，且至少一底座安装有用于罩设光栅尺的防尘件。防尘件罩设光栅尺，防止灰尘落在光栅尺上，使光栅尺不被外部环境影响，提高了光栅尺的反馈精度，进而提高了运动平台的精度和稳定性。防尘件直接安装在底座上，仅对光栅尺进行罩设，结构简单成本低，且因未罩设整个运动平台，不会对运动平台的散热造成影响；并且，在平台运动过程中，安装于第一运动机构的防尘件和安装于第二运动机构的防尘件自身各部分之间不会产生相对运动，因此，在运动过程中不会产生灰尘，提高了防尘效果。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的运动平台的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的运动平台中第一运动机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的运动平台中第二运动机构的结构示意图；

图4为本实用新型实施例提供的运动平台中第二运动机构的局部结构示意图；

图5为本实用新型实施例提供的运动平台中防尘件在第一视角下的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的运动平台中防尘件在第二视角下的结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的运动平台中固定板的结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的运动平台中第一限位组件的结构示意图。

图标：

100-第一运动机构；110-底座；120-标尺；130-固定板；131-卡槽；132-安装槽；140-驱动件；150-滑动件；160-第一导向组件；170-第一限位组件；171-液压缓冲器；172-柔性限位件；200-第二运动机构；210-第二导向组件；220-第二限位组件；300-平台；400-防尘件；410-避让空间；420-安装段；430-连接段；440-罩设段。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，术语“水平”、“竖直”、“悬垂”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

实施例一

如图1所示，本实用新型实施例提供的运动平台包括第一运动机构100、第二运动机构200与平台300；第一运动机构100与第二运动机构200传动连接，第二运动机构200与平台300传动连接，第一运动机构100与第二运动机构200配合实现平台300沿X向运动，第二运动机构200与平台300配合实现平台300沿Y向运动；第一运动机构100和第二运动机构200均包括底座110和光栅尺，光栅尺安装于底座110，且至少一底座110安装有用于罩设光栅尺的防尘件400。防尘件400罩设光栅尺，防止灰尘落在光栅尺上，使光栅尺不被外部环境影响，提高了光栅尺的反馈精度，进而提高了运动平台的精度和稳定性。防尘件400直接安装在底座110上，仅对光栅尺进行罩设，结构简单成本低，且因未罩设整个运动平台，不会对运动平台的散热造成影响；并且，在平台300运动过程中，安装于第一运动机构100上的防尘件400和安装于第二运动机构200的防尘件400自身各部分之间不会产生相对运动，因此，在运动过程中不会产生灰尘，提高了防尘效果。

以下对运动平台的结构和形状进行详细说明：

本实用新型实施例的可选方案中，光栅尺包括标尺120和读数头，标尺120安装于所述底座110，读数头与标尺120信号连接；防尘件400设有用于使读数头伸入的避让空间410；标尺120位于避让空间410内。

具体地，本实施例中，请参见图2至图4，光栅尺包括标尺120和读数头，标尺120设置为长条形，且固定于底座110，标尺120的长度方向与底座110的长度方向平行；读数头与标尺120信号连接，并且安装于对应的运动件，例如第二运动机构200或平台300。

防尘件400设有避让空间410，方便将读数头伸入防尘件400内，实现对读数头和标尺120的保护且不影响读数头的移动。第一运动机构100和第二运动机构200均安装有防尘件400，对第一运动机构100和第二运动机构200中的光栅尺进行保护，从而提高运动平台的精度和稳定性。

作为一种实施方式，防尘件400包括呈夹角设置的第一段和第二段，第二段的一端与第一段连接，另一端与底座110连接；第一段和第二段之间形成避让空间410。

具体地，第一段和第二段相互垂直。更进一步地，螺钉穿过第二段与底座110螺纹连接，实现防尘件400与底座110的可拆卸连接，方便对防尘件400进行安装和拆卸。当然，其他的连接方式，例如第二段远离第一段的端部设有定位凸起，底座110设有定位孔，定位凸起插设于定位孔的方式，也应当在本实用新型实施例的保护范围之内。

第一段和第二段形成避让空间410，结构简单，成本低。

进一步地第一段和第二段一体成型。具体地，利用板材进行弯折，形成具有第一段和第二段的防尘件400。第一段和第二段一体成型，提高了两者之间的连接强度。

作为另一种实施方式，防尘件400包括安装段420、连接段430和罩设段440；安装段420和罩设段440分别位于连接段430的两侧，且均与连接段430呈夹角设置；罩设段440和连接段430之间形成避让空间410；安装段420安装于底座110。

具体地，请参见图5和图6，安装段420和罩设段440均与连接段430垂直设置。较为优选地，安装段420、连接段430和罩设段440一体成型，利用板材进行弯折，形成具有安装段420、连接段430和罩设段440的防尘件400。本实施例中，防尘件400采用钣金制成。

防尘件400包括安装段420、连接段430和罩设段440，安装段420方便将防尘件400安装在底座110上；连接段430和罩设段440之间形成避让空间410，实现防尘件400对光栅尺的保护。现有技术中有两种对光栅尺进行防尘的方式，第一种为在XY平台之间做一个转接件，然后在其上方安装防尘盖板，该种方式因为在XY平台之间做了转接板，降低了XY平台的刚度和精度。第二种为在单根轴上增加风琴式防尘罩，风琴式防尘罩结构复杂，并且在XY平台运动时，风琴式防尘罩随之运动产生灰尘，不符合封装设备的洁净度要求。本实施例提供的防尘件400，结构简单且直接安装在底座110上。相较于第一种防尘方式，无需在第一运动机构100和第二运动机构200之间增加转接板，进而不会影响运动平台的刚度和精度。相较于第二种防尘方式，防尘件400结构简单，占用空间小；并且在平台300的运动过程中，安装于第一运动机构100上的防尘件400和安装于第二运动机构200的防尘件400自身各部分之间不产生相对运动，因此在运动过程中不会产生灰尘或产生的灰尘少，更符合封装设备的洁净度要求。并且，因为防尘件400具有避让空间410，避让空间410具有开口，不封闭，有利于运动平台的散热，保证运动平台的稳定性。

如图2和图4所示，第一运动机构100和第二运动机构200均包括固定板130；读数头安装于固定板130，并且第一运动机构100中的固定板130与第二运动机构200连接，第二运动机构200中的固定板130与平台300连接。

具体地，在安装光栅尺时，将标尺120安装于底座110，将读数头安装于固定板130，标尺120的设置方向与固定板130的移动方向一致。读数头安装于固定板130，则在固定板130运动时，带动读数头运动；读数头与标尺120信号连接，实现对固定板130的位置的反馈。

第一运动机构100中的固定板130与第二运动机构200连接，则在第二运动机构200沿X向运动时，带动第一运动机构100中的固定板130移动，进而实现第一运动机构100中的读数头移动以检测第二运动机构200沿X向的位移。同理，第二运动机构200中的固定板130与平台300连接，则在平台300沿Y向运动时，带动第二运动机构200中的固定板130移动，进而实现第二运动机构200中的读数头移动以检测平台300沿Y向的位移。

第一运动机构100安装有防尘件400时，第一运动机构100中的固定板130设有卡槽131，卡槽131与防尘件400滑动配合。

具体地，请参见图7，第一运动机构100中的固定板130的上端与第二运动机构200的底座110连接，下端设有用于安装读数头的安装槽132；卡槽131位于固定板130的中间位置，以避让防尘件400，罩设段440插入卡槽131内，保证防尘件400将标尺120全部盖设。

第一运动机构100和第二运动机构200均包括驱动件140和滑动件150；驱动件140安装于底座110，并与滑动件150传动连接，以驱动滑动件150移动；第一运动机构100中的滑动件150与第二运动机构200连接，以带动第二运动机构200沿X向运动，第二运动机构200中的滑动件150与平台300连接，以带动平台300沿Y向运动。

具体地，本实施例中，驱动件140设置为无铁芯直线电机，滑动件150与无铁芯直线电机的动子连接，实现直线电机驱动滑动件150移动。

第一运动机构100中的滑动件150与第二运动机构200连接，以带动第二运动机构200沿X向运动；第二运动机构200中的滑动件150与平台300连接，以带动平台300沿Y向运动；从而实现平台300可沿X向和/或Y向移动。

滑动件150内设有散热通道，散热通道配置为容纳冷却介质。

具体地，冷却介质可设置为水或空气，达到降温的作用。

通过向散热通道内灌输水或空气等介质，带走直线电机的动子散发的热力，达到降温的作用，从而保证运动平台不会因温度过高导致整个结构变形。

第一运动机构100设有第一导向组件160，第一导向组件160沿X向延伸，用于引导第二运动机构200沿X向运动；和/或，第二运动机构200设有第二导向组件210，第二导向组件210沿Y向延伸，用于引导平台300沿Y向运动。

具体地，本实施例中，第一运动机构100设有第一导向组件160，且第二运动机构200设有第二导向组件210。第一导向组件160包括第一滑轨和第一滑块，第一滑轨安装于第一运动机构100中的底座110，并沿X向延伸，第一滑块与第二运动机构200的底座110连接且与第一滑轨滑动配合。较为优选地，第一滑轨和第一滑块均设置有多个，多个第一滑轨沿Y向间隔设置，多个第一滑块与多个第一滑轨对应滑动配合。第二导向组件210包括第二滑轨和第二滑块，第二滑轨安装于第二运动机构200中的底座110，并沿Y向延伸，第二滑块与平台300连接且与第二滑轨滑动配合。较为优选地，第二滑轨和第二滑块均设置有多个，多个第二滑轨沿X向间隔设置，多个第二滑块与多个第二滑轨对应滑动配合。

第一运动机构100设有第一导向组件160，对第二运动机构200的运动起到引导作用，提高了第二运动机构200的运动稳定性。第二运动机构200设有第二导向组件210，对平台300的运动起到引导作用，提高了平台300的运动稳定性。

第一运动机构100设有第一限位组件170，第一限位组件170用于限制第二运动机构200的运动行程；和/或，第二运动机构200设有第二限位组件220，第二限位组件220用于限制平台300的运动行程。

具体地，请参见图8，第一限位组件170和第二限位组件220均包括柔性限位件172和液压缓冲器171，液压缓冲器171安装于底座110，柔性限位件172安装于液压缓冲器171靠近光栅尺的一侧，且液压缓冲器171的柱塞伸出柔性限位件172。

液压缓冲器171利用液压阻尼的作用对作惯性滑行的第二运动机构200或平台300进行缓冲减速直至停止。设于第一运动机构100的柔性限位件172避免第二运动机构200的底座110与第一运动机构100的液压缓冲器171的缸体刚性碰撞，设于第二运动机构200的柔性限位件172避免平台300与第二运动机构200的液压缓冲器171的缸体刚性碰撞，避免降低运动平台的精度。

第一限位组件170设有两组，两组第一限位组件170分别位于第一运动机构100的底座110的两端。

具体地，本实施例中，每组的第一限位组件170设置有两个，且同组的两个第一限位组件170沿Y向间隔设置，以对第二运动机构200的底座110的两端进行限位，当第二运动机构200的底座110运动至第一运动机构100的边缘时，同组的两个第一限位组件170可对第二运动机构200的底座110的两端同时进行限位，避免第二运动机构200的底座110在Y向倾斜。

两组第一限位组件170分别位于第一运动机构100的底座110的两端，实现对第二运动机构200沿X向运动时往返的行程限位。

第二限位组件220设有两个，两个第二限位组件220分别位于第二运动机构200的底座110的两端。

具体地，第二限位组件220位于第二运动机构200的底座110的中部，节省占用空间。

两个第二限位组件220分别位于第二运动机构200的底座110的两端，实现对平台300沿Y向运动时往返的行程限位。

实施例二

本实用新型实施例提供的封装设备，包括了实施例一中述及的运动平台，因此，也具备了实施例一中的一切有益效果，在此不再赘述。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种运动平台，其特征在于，包括：第一运动机构(100)、第二运动机构(200)与平台(300)，所述第一运动机构(100)与所述第二运动机构(200)传动连接，第二运动机构与所述平台(300)传动连接，所述第一运动机构(100)与所述第二运动机构(200)配合实现所述平台(300)沿X向运动，且所述第二运动机构(200)与所述平台(300)配合实现所述平台(300)沿Y向运动；

所述第一运动机构(100)和所述第二运动机构(200)均包括底座(110)和光栅尺，所述光栅尺安装于所述底座(110)，且至少一所述底座(110)安装有用于罩设所述光栅尺的防尘件(400)。

2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述光栅尺包括标尺(120)和读数头，所述标尺(120)安装于所述底座(110)，所述读数头与所述标尺(120)信号连接；

所述防尘件(400)设有用于使所述读数头伸入的避让空间(410)，所述标尺(120)位于所述避让空间(410)内。

3.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述防尘件(400)包括安装段(420)、连接段(430)和罩设段(440)；

所述安装段(420)和所述罩设段(440)分别位于所述连接段(430)的两侧，且均与所述连接段(430)呈夹角设置；

所述罩设段(440)和所述连接段(430)之间形成所述避让空间(410)；

所述安装段(420)安装于所述底座(110)。

4.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)和所述第二运动机构(200)均包括固定板(130)；

所述读数头安装于所述固定板(130)，所述第一运动机构(100)中的所述固定板(130)与所述第二运动机构(200)连接，所述第二运动机构(200)中的所述固定板(130)与所述平台(300)连接。

5.根据权利要求4所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)安装有所述防尘件(400)时，所述第一运动机构(100)中的所述固定板(130)设有卡槽(131)，所述卡槽(131)与所述防尘件(400)滑动配合。

6.根据权利要求1-5任一项所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)和所述第二运动机构(200)均包括驱动件(140)和滑动件(150)；所述驱动件(140)安装于所述底座(110)，并与所述滑动件(150)传动连接，以驱动所述滑动件(150)移动；

所述第一运动机构(100)中的所述滑动件(150)与所述第二运动机构(200)连接，以带动所述第二运动机构(200)沿X向运动，所述第二运动机构(200)中的所述滑动件(150)与所述平台(300)连接，以带动所述平台(300)沿Y向运动。

7.根据权利要求6所述的运动平台，其特征在于，所述滑动件(150)内设有散热通道，所述散热通道配置为容纳冷却介质。

8.根据权利要求1-5任一项所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)设有第一导向组件(160)，所述第一导向组件(160)沿X向延伸，用于引导所述第二运动机构(200)沿X向运动；和/或，

所述第二运动机构(200)设有第二导向组件(210)，所述第二导向组件(210)沿Y向延伸，用于引导所述平台(300)沿Y向运动。

9.根据权利要求1-5任一项所述的运动平台，其特征在于，所述第一运动机构(100)设有第一限位组件(170)，所述第一限位组件(170)用于限制所述第二运动机构(200)的运动行程；和/或，

所述第二运动机构(200)设有第二限位组件(220)，所述第二限位组件(220)用于限制所述平台(300)的运动行程。

10.一种封装设备，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的运动平台。

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