CN218873039U - 一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，包括进水管，所述进水管前端贯穿并固定连接有高压水泵，所述高压水泵输出端贯穿并固定连接有总配水管，所述总配水管前端贯穿并固定连接有上下配水支管，所述上下配水支管顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管，所述左右配水支管与上下配水支管前端贯穿并固定连接有主体，所述主体顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽，所述主体前端底部设置有管道仓，所述主体顶部后端中间位置固定连接有固定板。本实用新型中，提高了清洗效率，增强了清洗效果，同时简化了操作流程，降低操作难度，提高工作效率，且装置结构较为简单，便于检修维护。

Description

一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置

技术领域

本实用新型涉及芯片清洗技术领域，尤其涉及一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置。

背景技术

随着大规模集成电路的发展、集成电路的集成度不断提高、线宽不断减小，集成电路对硅芯片表面的洁净度、表面化学态、氧化膜厚度的要求也越来越高。半导体器件生产中的硅芯片必须经严格清洗，否则即使微量污染也会导致器件失效，在对硅芯片进行清洗时需要用到芯片清洗自动喷淋装置对硅芯片进行清洗。

目前现有的芯片清洗喷淋装置，通过设置有手持容器，达到了可拆卸的效果；但是在使用过程中，由于没有防护措施容易对芯片表面造成损伤，由于喷头单一且固定芯片的容器不可调节转动，使芯片的清洗效果较差，同时结构较为复杂，操作难度较高，且不易维护。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，包括进水管，所述进水管前端贯穿并固定连接有高压水泵，所述高压水泵输出端贯穿并固定连接有总配水管，所述总配水管前端贯穿并固定连接有上下配水支管，所述上下配水支管顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管，所述左右配水支管与上下配水支管前端贯穿并固定连接有主体，所述主体顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽，所述主体前端底部设置有管道仓，所述主体顶部后端中间位置固定连接有固定板，所述固定板前端左侧中间位置固定连接有控制面板，所述固定板前端中间位置固定连接有控制开关，所述主体底部前端转动连接有仓门，所述左右配水支管前端贯穿并固定连接有左右喷管，所述上下配水支管前端贯穿并固定连接有四个上下喷管，所述清洗槽底部均贯穿并固定连接有下水管，所述主体顶部前端位置有四个均匀排列的固定槽，所述固定槽内部均滑动连接有两个固定滑块，所述固定滑块相对的一侧均转动连接有第一转轴，所述第一转轴后端中间位置均固定连接有第二转轴，所述第二转轴底部后端均转动连接有第三转轴，所述第三转轴后端底部位置转动连接有电动推杆，所述电动推杆输出端固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有连接杆，所述连接杆后端上下两侧均转动连接有固定框。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述仓门前端底部固定连接有把手。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述左右喷管与上下喷管输出端均固定连接有喷头。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述下水管后端中间位置贯穿并固定连接有出水管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述左右喷管固定连接在主体的内部且左右喷管的输出端伸入清洗槽内。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述上下喷管贯穿清洗槽的底部并与清洗槽固定连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述固定框相对的一侧均设置有橡胶垫。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型中，在使用装置对芯片进行清洗时，首先将需要清洗的芯片固定在手持容器的固定框上，将芯片放置在两个固定框中间，闭合固定框，将芯片固定，通过手持容器的固定滑块将手持容器安装在主体的固定槽内，通过手持容器上的第一转轴、第二转轴与第三转轴使固定框可以上下左右转动，从而使固定框固定的芯片上下左右转动，通过电动推杆的伸缩带动固定框前后移动，对固定框上的芯片进行调整，通过电机带动连接杆转动使固定框上的芯片转动，从而使芯片可以得到全方位无死角的清洗，通过控制开关控制喷头喷水，同时通过控制面板控制高压水泵调整清洗时的水压，通过左右喷管与左右配水支管从横向上对芯片进行清洗，通过上下配水支管与上下喷管从竖向上对芯片进行清洗，装置在主体设置有管道仓，通过把手打开仓门，方便对管道仓内的管道进行检修与维护，装置设置有四个清洗槽，可以同时对芯片进行清洗，提高了清洗效率，增强了清洗效果，同时简化了操作流程，降低操作难度，提高工作效率，且装置结构较为简单，便于检修维护。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的立体图；

图2为本实用新型提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的正视图；

图3为本实用新型提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的俯视图；

图4为本实用新型提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的侧视图；

图5为本实用新型提出的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置的手持容器示意图。

图例说明：

1、主体；2、清洗槽；3、管道仓；4、固定板；5、控制面板；6、控制卡关；7、固定框；8、左右喷管；9、左右配水支管；10、上下配水支管；11、上下喷管；12、总配水管；13、高压水泵；14、进水管；15、喷头；16、下水管；17、出水管；18、仓门；19、把手；20、固定槽；21、固定滑块；22、第一转轴；23、第二转轴；24、第三转轴；25、电动推杆；26、电机；27、连接杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性，此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，包括进水管14，其特征在于：进水管14前端贯穿并固定连接有高压水泵13，高压水泵13输出端贯穿并固定连接有总配水管12，总配水管12前端贯穿并固定连接有上下配水支管10，上下配水支管10顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管9，左右配水支管9与上下配水支管10前端贯穿并固定连接有主体1，主体1顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽2，装置设置有四个清洗槽2，可以同时对芯片进行清洗，提高工作效率，主体1前端底部设置有管道仓3，主体1顶部后端中间位置固定连接有固定板4，固定板4前端左侧中间位置固定连接有控制面板5，通过控制面板5控制高压水泵13调整清洗时的水压，固定板4前端中间位置固定连接有控制开关6，主体1底部前端转动连接有仓门18，左右配水支管9前端贯穿并固定连接有左右喷管8，通过左右喷管8与左右配水支管9从横向上对芯片进行清洗，上下配水支管10前端贯穿并固定连接有四个上下喷管11，通过上下配水支管10与上下喷管11从竖向上对芯片进行清洗，清洗槽2底部均贯穿并固定连接有下水管16，主体1顶部前端位置有四个均匀排列的固定槽20，通过手持容器的固定滑块21将手持容器安装在主体1的固定槽20内，固定槽20内部均滑动连接有两个固定滑块21，固定滑块21相对的一侧均转动连接有第一转轴22，第一转轴22后端中间位置均固定连接有第二转轴23，第二转轴23底部后端均转动连接有第三转轴24，通过手持容器上的第一转轴22、第二转轴23与第三转轴24使固定框7可以上下左右转动，从而使固定框7固定的芯片上下左右转动，第三转轴24后端底部位置转动连接有电动推杆25，通过电动推杆25的伸缩带动固定框7前后移动，对固定框7上的芯片进行调整，电动推杆25输出端固定连接有电机26，通过电机26带动连接杆27转动使固定框7上的芯片转动，从而使芯片可以得到全方位无死角的清洗，电机26输出端固定连接有连接杆27，连接杆27后端上下两侧均转动连接有固定框7，将芯片放置在两个固定框7中间，闭合固定框7，将芯片固定。

仓门18前端底部固定连接有把手19，装置在主体1设置有管道仓3，通过把手19打开仓门18，方便对管道仓3内的管道进行检修与维护，左右喷管8与上下喷管11输出端均固定连接有喷头15，下水管16后端中间位置贯穿并固定连接有出水管17，左右喷管8固定连接在主体1的内部且左右喷管8的输出端伸入清洗槽2内，上下喷管11贯穿清洗槽2的底部并与清洗槽2固定连接，固定框7相对的一侧均设置有橡胶垫，将芯片放置在两个固定框7中间，防止芯片被刮花。

工作原理：在使用装置对芯片进行清洗时，首先将需要清洗的芯片固定在手持容器的固定框7上，将芯片放置在两个固定框7中间，闭合固定框7，将芯片固定，通过手持容器的固定滑块21将手持容器安装在主体1的固定槽20内，通过手持容器上的第一转轴22、第二转轴23与第三转轴24使固定框7可以上下左右转动，从而使固定框7固定的芯片上下左右转动，通过电动推杆25的伸缩带动固定框7前后移动，对固定框7上的芯片进行调整，通过电机26带动连接杆27转动使固定框7上的芯片转动，从而使芯片可以得到全方位无死角的清洗，通过控制开关6控制喷头15喷水，同时通过控制面板5控制高压水泵13调整清洗时的水压，通过左右喷管8与左右配水支管9从横向上对芯片进行清洗，通过上下配水支管10与上下喷管11从竖向上对芯片进行清洗，装置在主体1设置有管道仓3，通过把手19打开仓门18，方便对管道仓3内的管道进行检修与维护，装置设置有四个清洗槽2，可以同时对芯片进行清洗，提高工作效率。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，包括进水管（14），其特征在于：所述进水管（14）前端贯穿并固定连接有高压水泵（13），所述高压水泵（13）输出端贯穿并固定连接有总配水管（12），所述总配水管（12）前端贯穿并固定连接有上下配水支管（10），所述上下配水支管（10）顶部后端中间位置贯穿并固定连接有左右配水支管（9），所述左右配水支管（9）与上下配水支管（10）前端贯穿并固定连接有主体（1），所述主体（1）顶部中间位置设置有四个均匀排列的清洗槽（2），所述主体（1）前端底部设置有管道仓（3），所述主体（1）顶部后端中间位置固定连接有固定板（4），所述固定板（4）前端左侧中间位置固定连接有控制面板（5），所述固定板（4）前端中间位置固定连接有控制开关（6），所述主体（1）底部前端转动连接有仓门（18），所述左右配水支管（9）前端贯穿并固定连接有左右喷管（8），所述上下配水支管（10）前端贯穿并固定连接有四个上下喷管（11），所述清洗槽（2）底部均贯穿并固定连接有下水管（16），所述主体（1）顶部前端位置有四个均匀排列的固定槽（20），所述固定槽（20）内部均滑动连接有两个固定滑块（21），所述固定滑块（21）相对的一侧均转动连接有第一转轴（22），所述第一转轴（22）后端中间位置均固定连接有第二转轴（23），所述第二转轴（23）底部后端均转动连接有第三转轴（24），所述第三转轴（24）后端底部位置转动连接有电动推杆（25），所述电动推杆（25）输出端固定连接有电机（26），所述电机（26）输出端固定连接有连接杆（27），所述连接杆（27）后端上下两侧均转动连接有固定框（7）。

2.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述仓门（18）前端底部固定连接有把手（19）。

3.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述左右喷管（8）与上下喷管（11）输出端均固定连接有喷头（15）。

4.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述下水管（16）后端中间位置贯穿并固定连接有出水管（17）。

5.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述左右喷管（8）固定连接在主体（1）的内部且左右喷管（8）的输出端伸入清洗槽（2）内。

6.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述上下喷管（11）贯穿清洗槽（2）的底部并与清洗槽（2）固定连接。

7.根据权利要求1所述的一种高压震荡式的芯片清洗自动喷淋装置，其特征在于：所述固定框（7）相对的一侧均设置有橡胶垫。

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