CN218849449U - 一种晶圆真空吸盘 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种吸盘，尤其是一种晶圆真空吸盘，包括固定座和采用PEEK材料制成的圆盘，所述圆盘上设有真空吸孔、若干环形的真空吸槽和连通槽，若干所述真空吸槽沿所述真空吸孔环形阵列设置，所述连通槽与所述真空吸孔和所述真空吸槽相通，所述圆盘的下方设有连接柱，所述连接柱与所述固定座连接。本实用新型提供的一种晶圆真空吸盘结构简单，生产方便，合格率高，同时吸附力好、吸附均匀，并且安装方便。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种吸盘，尤其是一种晶圆真空吸盘。
背景技术
晶圆生产过程中需要通过真空吸盘进行加工，如中国专利CN216528817U公开的一种适用于多种晶圆尺寸的真空吸盘，其包括由氧化铝陶瓷制成的真空吸盘，所述真空吸盘的底部设置有内环形凸台、外环形凸台和设置在其中心的抽真空气孔，所述内环形凸台内均布有支撑柱和环绕所述抽真空气孔设置的定位孔，所述定位孔的口部均设置有环形平台，所述内环形凸台和外环形凸台之间环布所述定位孔。其结构复杂，并且采用陶瓷制备，合格率低。
实用新型内容
为解决上述问题，本实用新型提供一种结构简单、生产方便的一种晶圆真空吸盘，具体技术方案为：
一种晶圆真空吸盘，包括固定座和采用PEEK材料制成的圆盘，所述圆盘上设有真空吸孔、若干环形的真空吸槽和连通槽，若干所述真空吸槽沿所述真空吸孔环形阵列设置，所述连通槽与所述真空吸孔和所述真空吸槽相通，所述圆盘的下方设有连接柱，所述连接柱与所述固定座连接。
优选的，所述连接柱上设有连接孔，所述连接孔的直径大于所述真空吸孔的直径。
优选的，所述固定座上设有固定孔和若干驱动块，若干所述驱动块环形阵列设置在所述固定孔内。
进一步的，所述固定孔上设有导入锥面。
优选的，所述固定座的顶部设有若干防滑齿，所述防滑齿固定在所述连接柱上。
与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：
本实用新型提供的一种晶圆真空吸盘结构简单，生产方便，合格率高，同时吸附力好、吸附均匀，并且安装方便。
附图说明
图1是一种晶圆真空吸盘的结构示意图；
图2是一种晶圆真空吸盘的俯视图；
图3是一种晶圆真空吸盘的剖视图；
图4是固定座的结构示意图；
图5是固定座的正视图。
具体实施方式
现结合附图对本实用新型作进一步说明。
如图1至图5所示，一种晶圆真空吸盘，包括圆盘1和固定座2。圆盘1采用PEEK材料制成，其中，圆盘1的直径略大于晶圆的直径，圆盘1的顶部设有真空吸孔14、真空吸槽11和连通槽13，真空吸孔14设置在圆盘1的中心，真空吸槽11为环形槽，且沿真空吸孔14环形阵列设置，连通槽13穿过圆盘1的中心线，连通槽13还穿过若干真空吸槽11，使所有真空吸槽11相互连通，并且还使真空吸槽11与真空吸孔14相通，从而使所有真空吸槽11均能产生真空，同时还能使真空吸槽11的吸附力均匀。真空吸槽11还减少了圆盘1与晶圆的接触面积，减小对晶圆的影响，并且降低了加工难度，能有效保证圆盘1顶面的平面度，使圆盘1的顶面平整。圆盘1的底部设有连接柱15，连接柱15位于圆盘1的中心线上，连接柱15上设有连接孔16，连接孔16与真空吸孔14相通，连接孔16的直径大于真空吸孔14的直径，连接孔16用于减小连接柱15的壁厚，进而减小圆盘1注塑时的变形，保证了连接柱15的垂直度。连接柱15的底部设有固定插孔17，固定插孔17与连接孔16相通，且同轴线设置。
固定座2顶部的外圆面设有若干防滑齿21，且防滑齿21环形阵列设置，固定座2的顶部插在固定插孔17内，防滑齿21插在固定插孔17的侧壁上，防滑齿21能够有效防止固定座2与圆盘1发生相对转动，同时增大的连接面积，进而保证连接的可靠性和稳定性。固定座2的底部设有固定孔22，固定孔22与连接孔16相通，固定孔22的内部环形阵列设有四个驱动块23，驱动块23使固定孔22的顶部形成矩形孔，矩形孔与转动轴连接，能够带动圆盘1旋转。固定孔22的底部设有导入锥面24，导入锥面24在将固定孔22插到转动轴上时，能够进行导向，方便固定座2的安装。固定座2采用不锈钢制成，强度高，与PEEK的连接可靠。
工作时，将晶圆放置在圆盘1上，晶圆覆盖所有的真空吸槽11，然后电磁阀打开，真空装置抽真空，真空装置通过真空吸孔14和连通槽13对真空吸槽11进行抽真空，真空吸槽11产生负压，使晶圆通过大气压紧在圆盘1上。
以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆真空吸盘，其特征在于，包括固定座(2)和采用PEEK材料制成的圆盘(1)，所述圆盘(1)上设有真空吸孔(14)、若干环形的真空吸槽(11)和连通槽(13)，若干所述真空吸槽(11)沿所述真空吸孔(14)环形阵列设置，所述连通槽(13)与所述真空吸孔(14)和所述真空吸槽(11)相通，所述圆盘(1)的下方设有连接柱(15)，所述连接柱(15)与所述固定座(2)连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸盘，其特征在于，所述连接柱(15)上设有连接孔(16)，所述连接孔(16)的直径大于所述真空吸孔(14)的直径。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸盘，其特征在于，所述固定座(2)上设有固定孔(22)和若干驱动块(23)，若干所述驱动块(23)环形阵列设置在所述固定孔(22)内。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆真空吸盘，其特征在于，所述固定孔(22)上设有导入锥面(24)。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆真空吸盘，其特征在于，所述固定座(2)的顶部设有若干防滑齿(21)，所述防滑齿(21)固定在所述连接柱(15)上。
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