CN218812230U - 一种单晶炉坩埚轴对中装置 - Google Patents

一种单晶炉坩埚轴对中装置 Download PDF

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Abstract

本实用新型公开一种单晶炉坩埚轴对中装置,涉及单晶炉技术领域。该单晶炉坩埚轴对中装置,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体的一侧设置有支撑架,所述单晶炉主体的内部设置有限位机构,所述限位机构的顶部设置有对中机构。该单晶炉坩埚轴对中装置通过设置对中圈,当需要对中坩埚轴时,首先在石墨坩埚的底部设置有锅底,在锅底的底部固定连接有对中圈,在托盘的顶部开设有对中槽,通过对中圈卡入对中槽的内部以便于对中坩埚轴,该装置便于对中坩埚轴。

Description

一种单晶炉坩埚轴对中装置
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体为一种单晶炉坩埚轴对中装置。
背景技术
晶硅材料作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。一种常见的晶硅生长方法是直拉法,该方法使用单晶炉,将籽晶浸入坩埚内的熔融原料中,在转动籽晶及坩埚的同时提拉籽晶,并在籽晶下端生长晶硅棒。拉晶前后,坩埚在坩埚轴的带动下进行转动及升降运动。
专利文件CN201670891U公开了一种单晶炉用坩埚轴,包括“坩埚轴本体和内管,坩埚轴本体套装在内管外,坩埚轴本体和内管之间有间隙,还包括芯轴和滑动轴承,所述坩埚轴本体包括轴头、主轴和旋转接头,轴头设置在主轴上端,旋转接头设置在主轴下端,所述主轴和旋转接头的轴心上开有相连通的通孔,所述坩埚轴本体内开有空腔,芯轴设置在空腔中通过滑动轴承安装在内管上端,芯轴轴心开有和内管连通的通孔,所述芯轴通过固定销固定在坩埚轴本体上,芯轴和坩埚轴本体之间有间隙。本实用新型与现有技术相比,本实用新型在坩埚轴内部增设芯轴,大大提高了坩埚轴的水冷效果,并且本实用新型安装简单”;
上述装置在使用时不具备单晶炉坩埚轴对中的结构,使得晶硅材料在提拉生产晶硅棒时稳定性较差,产出过程中可能会导致工件的损坏或报废,不便于使用,基于现有的技术不足,本实用新型设计了一种单晶炉坩埚轴对中装置。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型公开了一种单晶炉坩埚轴对中装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种单晶炉坩埚轴对中装置,包括单晶炉主体,所述单晶炉主体的一侧设置有支撑架,所述单晶炉主体的内部设置有限位机构,所述限位机构的顶部设置有对中机构;
对中机构,所述对中机构包括石墨坩埚和锅底,所述石墨坩埚设置在单晶炉主体的内部,所述石墨坩埚的底部固定连接有锅底。
优选的,所述对中机构还包括对中圈、对中槽和,所述对中圈固定连接在锅底的底部,所述对中槽开设在限位机构的顶部。
优选的,所述限位机构包括连接盘、坩埚轴、托盘和限位圈,所述连接盘设置在单晶炉主体的底部,所述连接盘的顶部设置有坩埚轴,所述托盘设置在单晶炉主体的内部,所述托盘的顶部固定连接有限位圈。
优选的,所述单晶炉主体的底部设置有底座,所述底座的底部固定连接有连接柱,所述连接柱的底部设置有固定座,所述单晶炉主体的顶部固定连接有连接管。
优选的,所述连接管的顶部设置有连接头,所述连接头的顶部设置有长管。
优选的,所述坩埚轴设置在托盘的内部,所述限位圈设置在对中圈的一侧。
优选的,所述对中圈活动卡接在对中槽的内部,所述对中槽开设在托盘的顶部。
本实用新型公开了一种单晶炉坩埚轴对中装置,其具备的有益效果如下:
1、该单晶炉坩埚轴对中装置通过设置对中圈,当需要对中坩埚轴时,首先在石墨坩埚的底部设置有锅底,在锅底的底部固定连接有对中圈,在托盘的顶部开设有对中槽,通过对中圈卡入对中槽的内部以便于对中坩埚轴,该装置便于对中坩埚轴。
2、该单晶炉坩埚轴对中装置,当需要对对中圈进行限位时,首先将对中圈卡入对中槽的内部,且在对中槽的一侧固定有限位圈,当石墨坩埚旋转时,限位圈即可对对中圈进行限位,该装置便于对对中圈进行限位。
附图说明
图1为本实用新型单晶炉主体结构示意图;
图2为本实用新型连接头结构示意图;
图3为本实用新型对中机构结构示意图;
图4为本实用新型坩埚轴结构示意图。
图中:1、单晶炉主体;101、底座;102、连接柱;103、固定座;2、支撑架;201、连接头;202、长管;203、连接管;3、限位机构;301、连接盘;302、坩埚轴;303、托盘;304、限位圈;4、对中机构;401、石墨坩埚;402、锅底;403、对中圈;404、对中槽。
具体实施方式
本实用新型实施例公开一种单晶炉坩埚轴对中装置,如图1-4所示,包括单晶炉主体1,所述单晶炉主体1的一侧设置有支撑架2,所述单晶炉主体1的内部设置有限位机构3,所述限位机构3的顶部设置有对中机构4;
请参照附图3-4所示,对中机构4,所述对中机构4包括石墨坩埚401和锅底402,所述石墨坩埚401设置在单晶炉主体1的内部,所述石墨坩埚401的底部固定连接有锅底402,所述对中机构4还包括对中圈403、对中槽404和405,所述对中圈403固定连接在锅底402的底部,所述对中槽404开设在限位机构3的顶部,所述对中圈403活动卡接在对中槽404的内部,所述对中槽404开设在托盘303的顶部,在石墨坩埚401的底部设置有锅底402,在锅底402的底部固定有对中圈403,通过对中圈403卡在托盘303顶部开设的对中槽404内部,以便于对中石墨坩埚401和托盘303,以便于对中坩埚轴302。
请参照附图2-4所示,所述限位机构3包括连接盘301、坩埚轴302、托盘303和限位圈304,所述连接盘301设置在单晶炉主体1的底部,所述连接盘301的顶部设置有坩埚轴302,所述托盘303设置在单晶炉主体1的内部,所述托盘303的顶部固定连接有限位圈304,所述坩埚轴302设置在托盘303的内部,所述限位圈304设置在对中圈403的一侧,首先限位机构3和对中机构4设置在单晶炉主体1的内部,其中托盘303的顶部固定有限位圈304,通过限位圈304可对石墨坩埚401底部设置的对中圈403进行限位,此时石墨坩埚401旋转时就不会移位。
请参照附图1-2所示,所述单晶炉主体1的底部设置有底座101,所述底座101的底部固定连接有连接柱102,所述连接柱102的底部设置有固定座103,所述单晶炉主体1的顶部固定连接有连接管203,所述连接管203的顶部设置有连接头201,所述连接头201的顶部设置有长管202。
工作原理:当一种单晶炉坩埚轴对中装置使用时,首先限位机构3和对中机构4设置在单晶炉主体1的内部,其中托盘303的顶部固定有限位圈304,通过限位圈304可对石墨坩埚401底部设置的对中圈403进行限位,此时石墨坩埚401旋转时就不会移位,并且在石墨坩埚401的底部设置有锅底402,在锅底402的底部固定有对中圈403,通过对中圈403卡在托盘303顶部开设的对中槽404内部,以便于对中石墨坩埚401和托盘303,以便于对中坩埚轴302。
当需要对中坩埚轴302时,首先在石墨坩埚401的底部设置有锅底402,在锅底402的底部固定连接有对中圈403,在托盘303的顶部开设有对中槽404,通过对中圈403卡入对中槽404的内部以便于对中坩埚轴302,该装置便于对中坩埚轴302。
当需要对对中圈403进行限位时,首先将对中圈403卡入对中槽404的内部,且在对中槽404的一侧固定有限位圈304,当石墨坩埚401旋转时,限位圈304即可对对中圈403进行限位,该装置便于对对中圈403进行限位。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种单晶炉坩埚轴对中装置,包括单晶炉主体(1),其特征在于:所述单晶炉主体(1)的一侧设置有支撑架(2),所述单晶炉主体(1)的内部设置有限位机构(3),所述限位机构(3)的顶部设置有对中机构(4);
对中机构(4),所述对中机构(4)包括石墨坩埚(401)和锅底(402),所述石墨坩埚(401)设置在单晶炉主体(1)的内部,所述石墨坩埚(401)的底部固定连接有锅底(402)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述对中机构(4)还包括对中圈(403)和对中槽(404),所述对中圈(403)固定连接在锅底(402)的底部,所述对中槽(404)开设在限位机构(3)的顶部。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述限位机构(3)包括连接盘(301)、坩埚轴(302)、托盘(303)和限位圈(304),所述连接盘(301)设置在单晶炉主体(1)的底部,所述连接盘(301)的顶部设置有坩埚轴(302),所述托盘(303)设置在单晶炉主体(1)的内部,所述托盘(303)的顶部固定连接有限位圈(304)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述单晶炉主体(1)的底部设置有底座(101),所述底座(101)的底部固定连接有连接柱(102),所述连接柱(102)的底部设置有固定座(103),所述单晶炉主体(1)的顶部固定连接有连接管(203)。
5.根据权利要求4所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述连接管(203)的顶部设置有连接头(201),所述连接头(201)的顶部设置有长管(202)。
6.根据权利要求3所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述坩埚轴(302)设置在托盘(303)的内部,所述限位圈(304)设置在对中圈(403)的一侧。
7.根据权利要求2所述的一种单晶炉坩埚轴对中装置,其特征在于:所述对中圈(403)活动卡接在对中槽(404)的内部,所述对中槽(404)开设在托盘(303)的顶部。
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