CN218812188U - 一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及电化学沉积领域，具体为一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置。该装置的方框型支架设置于移动升降支架腿上，支架上部左右两侧分别设置有竖直的移动槽Ⅱ，每个移动槽Ⅱ自上而下均匀排布水平凹槽，移动槽Ⅱ内相对应的水平凹槽之间安装有横梁Ⅱ，横梁Ⅱ与移动槽Ⅱ呈滑动连接；支架内部左右两侧分别设置与移动槽Ⅱ垂直的水平移动槽Ⅰ，每个移动槽Ⅰ沿水平方向均匀排布凹槽，移动槽Ⅰ内相对应的凹槽之间安装有横梁Ⅰ，横梁Ⅰ与移动槽Ⅰ呈滑动连接；竖直的夹具机构Ⅱ上端与横梁Ⅱ滑动连接，水平的夹具机构Ⅰ一端与横梁Ⅰ滑动连接。本实用新型解决电化学沉积支架功能单一，自动化程度低，稳定性差，连接不稳固，从而影响施镀效果的问题。

Description

一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置

技术领域

本实用新型涉及电化学沉积及化学镀领域，具体为一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置。

背景技术

随着我国成为世界上第一制造大国，作为制造业中的电化学沉积行业也越来越重要。不仅如此，电化学沉积行业在航空航天、电工电子、轻工业等多个领域都发挥着举足轻重的作用。然而目前我国大多数企业的电化学沉积设备存在一系列问题，不紧造成了人力物力的浪费，对镀层的质量也造成了很大的影响。

目前的电化学沉积设备存在以下问题：1、功能单一、适用性不强，一般一种电化学沉积夹持支架只适用于一种特定的零件，当这种零件需求量少，不能大批生产时，电化学沉积成本也大大提高；2、根据电化学沉积原理，正常情况下，调节两极之间的距离，可以使电流在阴极上更加均匀的分布，提高镀液的分散能力，而目前工业上的电化学沉积设备简陋，精度不高，误差较大，不能精准的测量两极之间的距离，造成所得镀层厚度不均匀的情况；3、稳定性不高，大多数镀液需要不停的搅拌或超声波振动以防止沉淀，当夹持支架连接不稳固时会造成基体的偏移，从而影响施镀效果；4、自动化程度低，效率低，浪费人力物力。

因此，现在迫切需要一种新型的多功能电化学沉积夹持支架解决上述问题。除此之外，配套专用电极夹具，在不同角度施镀时也能保证被施镀工件的稳定性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，解决以往工业电化学沉积支架功能单一、适用性不强；调节两极位置时精度不高，误差较大；自动化程度低，浪费人力物力且效率低；稳定性差，连接不稳固，从而影响施镀效果的问题。

本实用新型的技术方案是：

一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，该装置包括支架、移动升降支架腿、夹具机构Ⅰ、夹具机构Ⅱ，具体结构如下：方框型支架设置于移动升降支架腿上，支架上部左右两侧分别设置有竖直的移动槽Ⅱ，每个移动槽Ⅱ自上而下均匀排布水平凹槽，两个移动槽Ⅱ的水平凹槽一一对应，移动槽Ⅱ内相对应的水平凹槽之间安装有横梁Ⅱ，横梁Ⅱ与移动槽Ⅱ呈滑动连接；支架内部左右两侧分别设置与移动槽Ⅱ垂直的水平移动槽Ⅰ，每个移动槽Ⅰ沿水平方向均匀排布凹槽，两个移动槽Ⅰ的凹槽一一对应，移动槽Ⅰ内相对应的凹槽之间安装有横梁Ⅰ，横梁Ⅰ与移动槽Ⅰ呈滑动连接；竖直的夹具机构Ⅱ上端与横梁Ⅱ滑动连接，水平的夹具机构Ⅰ一端与横梁Ⅰ滑动连接。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，横梁Ⅰ和横梁Ⅱ均可拆卸，且在外壁设置刻度线。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，方框型支架下部固定安装移动升降支架腿，移动升降支架腿包括：伸缩腿、支架腿、丝杆螺母、电机支架Ⅰ、丝杆电机、电机、电机支架Ⅱ、轮子，具体结构如下：

伸缩腿插装于方管型支架腿上部，且伸缩腿与支架腿呈滑动配合；支架腿内自下而上安装电机、丝杆电机，电机通过电机支架Ⅱ固定在支架腿内部，电机上部安装有丝杆电机，丝杆电机通过电机支架Ⅰ固定在支架腿内部；丝杆电机上的竖直丝杆伸至伸缩腿的圆筒槽内，所述丝杆上安装丝杆螺母于伸缩腿的底部，丝杆螺母与丝杆电机上的丝杆通过螺纹配合连接，丝杆螺母上部与伸缩腿固定连接；电机的水平输出轴上安装轮子，通过电机驱动轮子移动。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，伸缩腿内部圆筒槽宽于丝杆。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，横梁Ⅰ分别与两个相对设置的夹具机构Ⅰ滑动连接，每个夹具机构Ⅰ包括蝴蝶螺栓Ⅰ、夹具固定环Ⅰ、夹具槽、固定槽、夹具伸缩杆、固定销、复位弹簧、夹具固定杆Ⅰ、半球头结构、移动槽，具体结构如下：

夹具固定环Ⅰ与夹具固定杆Ⅰ为一体连接结构，夹具固定环Ⅰ套设于横梁Ⅰ且与横梁Ⅰ呈滑动配合，夹具固定环Ⅰ上部有蝴蝶螺栓Ⅰ，通过蝴蝶螺栓Ⅰ与横梁Ⅰ紧密接触连接固定夹具位置；夹具固定杆Ⅰ内腔设置夹具槽、固定槽、移动槽，两个夹具机构Ⅰ的夹具固定杆Ⅰ下部相对一侧分别固定连接夹具体；夹具固定杆Ⅰ内腔套接夹具伸缩杆，夹具固定杆Ⅰ内腔壁均匀开设两组以上的夹具槽、固定槽和一条移动槽，每组夹具槽、固定槽中，夹具槽为环形槽，固定槽为圆周阵列的八个孔，移动槽为半圆柱状槽；夹具伸缩杆顶端侧面的半球头结构与夹具槽匹配连接，夹具伸缩杆在夹具槽内旋转调整位置，夹具伸缩杆通过其上的半球头结构沿移动槽内拉伸调整位置，夹具伸缩杆侧面设有垂直于夹具固定杆Ⅰ内壁且与固定槽相对的定位孔，所述定位孔内部有复位弹簧、固定销，复位弹簧与固定销连接，固定销露出所述定位孔的顶端是斜面，保证夹具伸缩杆只能沿单方向转动，固定销与固定槽匹配连接，实现对夹具伸缩杆固定，夹具伸缩杆底部有螺纹孔，夹具伸缩杆底部通过螺纹孔连接夹具体。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，夹具固定杆Ⅰ与夹具伸缩杆是绝缘防腐材料包裹的铜棒，且杆外侧分别有角度刻度和长度刻度。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，横梁Ⅱ与夹具机构Ⅱ滑动连接，夹具机构Ⅱ包括蝴蝶螺栓Ⅱ、夹具固定杆Ⅱ、软连接部位、夹具固定杆Ⅲ、抱箍、夹具固定环Ⅱ，具体结构如下：

夹具固定环Ⅱ与夹具固定杆Ⅱ为一体连接结构，夹具固定环Ⅱ套设于横梁Ⅱ且与横梁Ⅱ呈滑动配合，夹具固定环Ⅱ上部有蝴蝶螺栓Ⅱ，通过蝴蝶螺栓Ⅱ与横梁Ⅱ紧密接触连接固定夹具位置；夹具固定杆Ⅱ与夹具固定杆Ⅲ的相对应一端之间通过软连接部位连接并通过抱箍固定，软连接部位为紫铜带，抱箍分别将软连接部位与夹具固定杆Ⅱ、软连接部位与夹具固定杆Ⅲ压紧，夹具固定杆Ⅲ下部与夹具体固定连接。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，夹具体包括方框型夹具支架Ⅰ、连接杆Ⅰ、夹具Ⅰ、挂钩，夹具支架Ⅰ的顶部中间与竖直的夹具固定杆Ⅲ连接，夹具支架Ⅰ上下两侧设有与连接杆Ⅰ相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅰ与连接杆Ⅰ通过螺纹连接，连接杆Ⅰ固定连接夹具Ⅰ，夹具Ⅰ下方有挂钩，挂钩内侧有齿。

所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，夹具体包括方框型夹具支架Ⅱ、连接杆Ⅱ、夹具Ⅱ，水平设置的夹具支架Ⅱ的一侧与通过软连接部位调节水平的夹具固定杆Ⅲ连接，夹具支架Ⅱ左右两侧设有与连接杆Ⅱ相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅱ与连接杆Ⅱ通过螺纹连接，连接杆Ⅱ固定连接夹具Ⅱ，夹具Ⅱ内侧有齿。

本实用新型的设计思想是：

本实用新型装置在支架腿内部安装四组电机，可以根据实际需要自动移动至工作位置并调节高低，减少人工操作；本实用新型支架上方有两组横梁，横梁上分别布置有刻度线，可以精准调节两个电极之间的相对位置；横梁上有夹具机构，夹具机构通过蝴蝶螺栓固定位置，从而保证夹具机构的稳定性；夹具机构下方的伸缩杆可以根据工作需要调节高度与角度；夹具伸缩杆与夹具体通过螺纹连接，根据待镀工件的不同更换不同夹具体。本实用新型的设计不仅节省人力，而且实用性较强，精确度和稳定性更高，可以节约成本，提高电化学沉积质量。

本实用新型具有以下优点及有益效果：

1、本实用新型可灵活并精准调节两个电极的位置和角度，以提高镀层质量；

2、本实用新型可针对不同形状大小的被施镀工件替换不同夹具，以提高适用性降低施镀成本；

3、本实用新型可自动升降和行走以节省人力，提高施镀效率；

4、本实用新型稳定性高，施镀效果好，且最终达到降本增能的目的。

附图说明

图1为本实用新型所述电化学沉积夹持支架示意图。

图2为待镀工件为平面且垂直放置工作时的结构示意图。

图3为待镀工件为平面且水平放置工作时的结构示意图。

图4为待镀工件为曲面时工作状态结构示意图。

图5为移动升降支架腿的结构示意图。

图6为夹具机构Ⅰ的结构示意图。

图7为夹具机构Ⅰ的局部放大图。

图8为夹具机构Ⅱ的结构示意图。

图9为夹具体Ⅰ的结构示意图。

图10为夹具体Ⅴ的结构示意图。

附图标记如下：1.支架；101.移动槽Ⅰ；102.移动槽Ⅱ；2.移动升降支架腿；201.伸缩腿；202.支架腿；203.丝杆螺母；204.电机支架Ⅰ；205.丝杆电机；206.电机；207.电机支架Ⅱ；208.轮子；3.夹具机构Ⅰ；301.蝴蝶螺栓Ⅰ；302.夹具固定环Ⅰ；303.夹具槽；304.固定槽；305.夹具伸缩杆；306.固定销；307.复位弹簧；308.夹具固定杆Ⅰ；309.螺纹孔；310.半球头结构；311.移动槽；4.夹具机构Ⅱ；401.蝴蝶螺栓Ⅱ；402.夹具固定杆Ⅱ；403.软连接部位；404.夹具固定杆Ⅲ；405.抱箍；406.夹具固定环Ⅱ；5.横梁Ⅰ；6.横梁Ⅱ；7.夹具体；701.夹具体Ⅰ；702.夹具体Ⅱ；703.夹具体Ⅲ；704.夹具体Ⅳ；705.夹具体Ⅴ；706.夹具体Ⅵ；707.夹具体Ⅶ；7011.夹具支架Ⅰ；7012.连接杆Ⅰ；7013.夹具Ⅰ；7014.挂钩；7051.夹具支架Ⅱ；7052.连接杆Ⅱ；7053.夹具Ⅱ。

具体实施方式

下面，通过附图对本实用新型进一步详细阐述。

如图1-图10所示，本实用新型提出一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，该装置包括支架1、移动升降支架腿2、夹具机构Ⅰ3、夹具机构Ⅱ4，具体结构如下：方框型支架1设置于移动升降支架腿2上，支架1上部左右两侧分别设置有竖直的移动槽Ⅱ102，每个移动槽Ⅱ102自上而下均匀排布水平凹槽，两个移动槽Ⅱ102的水平凹槽一一对应，移动槽Ⅱ102内相对应的水平凹槽之间安装有横梁Ⅱ6，横梁Ⅱ6与移动槽Ⅱ102呈滑动连接，横梁Ⅱ6可在移动槽Ⅱ102内上下移动至不同高度的水平凹槽之间；支架1内部左右两侧分别设置与移动槽Ⅱ102垂直的水平移动槽Ⅰ101，每个移动槽Ⅰ101沿水平方向均匀排布凹槽，两个移动槽Ⅰ101的凹槽一一对应，移动槽Ⅰ101内相对应的凹槽之间安装有横梁Ⅰ5，横梁Ⅰ5与移动槽Ⅰ101呈滑动连接；竖直的夹具机构Ⅱ4上端与横梁Ⅱ6滑动连接，水平的夹具机构Ⅰ3一端与横梁Ⅰ5滑动连接，横梁Ⅰ5和横梁Ⅱ6均可拆卸，且在外壁设置刻度线，方便精准调整夹具机构的相对位置。

如图1、图5所示，方框型支架1下部固定安装移动升降支架腿2，移动升降支架腿2包括：伸缩腿201、支架腿202、丝杆螺母203、电机支架Ⅰ204、丝杆电机205、电机206、电机支架Ⅱ207、轮子208，具体结构如下：

伸缩腿201插装于方管型支架腿202上部，且伸缩腿201与支架腿202呈滑动配合；支架腿202内自下而上安装电机206、丝杆电机205，电机206通过电机支架Ⅱ207固定在支架腿202内部，电机206上部安装有丝杆电机205，丝杆电机205通过电机支架Ⅰ204固定在支架腿202内部；丝杆电机205上的竖直丝杆伸至伸缩腿201的圆筒槽内，所述丝杆上安装丝杆螺母203于伸缩腿201的底部，丝杆螺母203与丝杆电机205上的丝杆通过螺纹配合连接，丝杆螺母203上部与伸缩腿201固定连接，通过丝杆螺母203可以调节伸缩腿201的升降；伸缩腿201内部圆筒槽略宽于丝杆可防止丝杆晃动，对丝杆进行限位。电机206的水平输出轴上安装轮子208，通过电机206驱动轮子208移动。

如图1-图4、图6-图7所示，横梁Ⅰ5分别与两个相对设置的夹具机构Ⅰ3滑动连接，每个夹具机构Ⅰ3包括蝴蝶螺栓Ⅰ301、夹具固定环Ⅰ302、夹具槽303、固定槽304、夹具伸缩杆305、固定销306、复位弹簧307、夹具固定杆Ⅰ308、半球头结构310、移动槽311，具体结构如下：

夹具固定环Ⅰ302与夹具固定杆Ⅰ308为一体连接结构，夹具固定环Ⅰ302套设于横梁Ⅰ5且与横梁Ⅰ5呈滑动配合，夹具固定环Ⅰ302上部有蝴蝶螺栓Ⅰ301，通过蝴蝶螺栓Ⅰ301与横梁Ⅰ5紧密接触连接固定夹具位置，防止移动；夹具固定杆Ⅰ308内腔设置夹具槽303、固定槽304、移动槽311，两个夹具机构Ⅰ3的夹具固定杆Ⅰ308下部相对一侧分别固定连接夹具体Ⅲ703；夹具固定杆Ⅰ308内腔套接夹具伸缩杆305，夹具固定杆Ⅰ308内腔壁均匀开设两组以上的夹具槽303、固定槽304和一条移动槽311，每组夹具槽303、固定槽304中，夹具槽303为环形槽，固定槽304为圆周阵列的八个孔，移动槽311为半圆柱状槽；夹具伸缩杆305顶端侧面的半球头结构310与夹具槽303匹配连接，夹具伸缩杆305在夹具槽303内旋转调整位置，夹具伸缩杆305通过其上的半球头结构310沿移动槽311内拉伸调整位置，夹具伸缩杆305侧面设有垂直于夹具固定杆Ⅰ308内壁且与固定槽304相对的定位孔，所述定位孔内部有复位弹簧307、固定销306，复位弹簧307与固定销306连接，固定销306露出所述定位孔的顶端是斜面，保证夹具伸缩杆305只能沿单方向转动，固定销306与固定槽304匹配连接，实现对夹具伸缩杆305固定，夹具伸缩杆305底部有螺纹孔309，夹具伸缩杆305底部通过螺纹孔309连接夹具体7，可根据工作状态更换夹具体Ⅱ702、夹具体Ⅳ704、夹具体Ⅵ706，夹具体Ⅵ706用于固定圆筒待镀工件。夹具固定杆Ⅰ308与夹具伸缩杆305是绝缘防腐材料包裹的铜棒，且杆外侧分别有角度刻度和长度刻度，便于根据工作要求调整高度和角度。

如图1-图4、图8所示，横梁Ⅱ6与夹具机构Ⅱ4滑动连接，夹具机构Ⅱ4包括蝴蝶螺栓Ⅱ401、夹具固定杆Ⅱ402、软连接部位403、夹具固定杆Ⅲ404、抱箍405、夹具固定环Ⅱ406，具体结构如下：

夹具固定环Ⅱ406与夹具固定杆Ⅱ402为一体连接结构，夹具固定环Ⅱ406套设于横梁Ⅱ6且与横梁Ⅱ6呈滑动配合，夹具固定环Ⅱ406上部有蝴蝶螺栓Ⅱ401，通过蝴蝶螺栓Ⅱ401与横梁Ⅱ6紧密接触连接固定夹具位置，防止移动；夹具固定杆Ⅱ402与夹具固定杆Ⅲ404的相对应一端之间通过软连接部位403连接并通过抱箍405固定，软连接部位403材料为紫铜带，连接后各部件的相对位置可调整，抱箍405分别将软连接部位403与夹具固定杆Ⅱ402、软连接部位403与夹具固定杆Ⅲ404压紧，保证结构稳定、导电良好，夹具固定杆Ⅲ404下部与夹具体7固定连接，可根据工作情况更换夹具体Ⅰ701、夹具体Ⅴ705、夹具体Ⅶ707。

如图9所示，夹具体Ⅰ701包括方框型夹具支架Ⅰ7011、连接杆Ⅰ7012、夹具Ⅰ7013、挂钩7014，夹具支架Ⅰ7011的顶部中间与竖直的夹具固定杆Ⅲ404连接，夹具支架Ⅰ7011上下两侧设有与连接杆Ⅰ7012相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅰ7011与连接杆Ⅰ7012通过螺纹连接，连接杆Ⅰ7012固定连接夹具Ⅰ7013，夹具Ⅰ7013下方有挂钩7014，挂钩7014内侧有齿，便于固定工件。

如图10所示，夹具体Ⅴ705包括方框型夹具支架Ⅱ7051、连接杆Ⅱ7052、夹具Ⅱ7053，水平设置的夹具支架Ⅱ7051的一侧与通过软连接部位403调节水平的夹具固定杆Ⅲ404连接，夹具支架Ⅱ7051左右两侧设有与连接杆Ⅱ7052相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅱ7051与连接杆Ⅱ7052通过螺纹连接，连接杆Ⅱ7052固定连接夹具Ⅱ7053，夹具Ⅱ7053内侧有齿，使工件固定更牢固。

如图1-图10所示，本实用新型工作时，首先由电机206控制轮子208移动到相应镀液槽上方，到达固定位置后，由丝杆电机205控制伸缩腿201往下移动，伸缩腿201带动支架1往下移动，这时待镀工件及相应的阳极板被浸入镀液中进行工作。

本实用新型主要有三种工作状态：

1、如图2所示，待镀工件为平面且垂直放置时，阳极板由夹具体Ⅱ702垂直于支架面固定，待镀工件由夹具体Ⅰ701中的夹具Ⅰ7013固定。为提升施镀效率，在夹具体Ⅰ701中固定了多个夹具Ⅰ7013，以达到同时固定多个工件进行施镀的目的；

2、如图3所示，待镀工件为平面且水平放置时，阳极板分别由夹具体Ⅲ703和夹具体Ⅳ704平行于支架面进行固定，待镀工件由夹具体Ⅴ705中的夹具Ⅱ7053固定。为提升施镀效率，在夹具体Ⅴ705中固定了多个夹具Ⅱ7053，以达到同时固定多个工件进行施镀的目的；

3、如图4所示，待镀工件为曲面时，阳极棒由夹具体Ⅶ707垂直固定在中间，待镀圆柱形工件由夹具体Ⅵ706固定进行施镀。

Claims (9)

1.一种用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，该装置包括支架、移动升降支架腿、夹具机构Ⅰ、夹具机构Ⅱ，具体结构如下：方框型支架设置于移动升降支架腿上，支架上部左右两侧分别设置有竖直的移动槽Ⅱ，每个移动槽Ⅱ自上而下均匀排布水平凹槽，两个移动槽Ⅱ的水平凹槽一一对应，移动槽Ⅱ内相对应的水平凹槽之间安装有横梁Ⅱ，横梁Ⅱ与移动槽Ⅱ呈滑动连接；支架内部左右两侧分别设置与移动槽Ⅱ垂直的水平移动槽Ⅰ，每个移动槽Ⅰ沿水平方向均匀排布凹槽，两个移动槽Ⅰ的凹槽一一对应，移动槽Ⅰ内相对应的凹槽之间安装有横梁Ⅰ，横梁Ⅰ与移动槽Ⅰ呈滑动连接；竖直的夹具机构Ⅱ上端与横梁Ⅱ滑动连接，水平的夹具机构Ⅰ一端与横梁Ⅰ滑动连接。

2.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，横梁Ⅰ和横梁Ⅱ均可拆卸，且在外壁设置刻度线。

3.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，方框型支架下部固定安装移动升降支架腿，移动升降支架腿包括：伸缩腿、支架腿、丝杆螺母、电机支架Ⅰ、丝杆电机、电机、电机支架Ⅱ、轮子，具体结构如下：

伸缩腿插装于方管型支架腿上部，且伸缩腿与支架腿呈滑动配合；支架腿内自下而上安装电机、丝杆电机，电机通过电机支架Ⅱ固定在支架腿内部，电机上部安装有丝杆电机，丝杆电机通过电机支架Ⅰ固定在支架腿内部；丝杆电机上的竖直丝杆伸至伸缩腿的圆筒槽内，所述丝杆上安装丝杆螺母于伸缩腿的底部，丝杆螺母与丝杆电机上的丝杆通过螺纹配合连接，丝杆螺母上部与伸缩腿固定连接；电机的水平输出轴上安装轮子，通过电机驱动轮子移动。

4.按照权利要求3所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，伸缩腿内部圆筒槽宽于丝杆。

5.按照权利要求1所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，横梁Ⅰ分别与两个相对设置的夹具机构Ⅰ滑动连接，每个夹具机构Ⅰ包括蝴蝶螺栓Ⅰ、夹具固定环Ⅰ、夹具槽、固定槽、夹具伸缩杆、固定销、复位弹簧、夹具固定杆Ⅰ、半球头结构、移动槽，具体结构如下：

夹具固定环Ⅰ与夹具固定杆Ⅰ为一体连接结构，夹具固定环Ⅰ套设于横梁Ⅰ且与横梁Ⅰ呈滑动配合，夹具固定环Ⅰ上部有蝴蝶螺栓Ⅰ，通过蝴蝶螺栓Ⅰ与横梁Ⅰ紧密接触连接固定夹具位置；夹具固定杆Ⅰ内腔设置夹具槽、固定槽、移动槽，两个夹具机构Ⅰ的夹具固定杆Ⅰ下部相对一侧分别固定连接夹具体；夹具固定杆Ⅰ内腔套接夹具伸缩杆，夹具固定杆Ⅰ内腔壁均匀开设两组以上的夹具槽、固定槽和一条移动槽，每组夹具槽、固定槽中，夹具槽为环形槽，固定槽为圆周阵列的八个孔，移动槽为半圆柱状槽；夹具伸缩杆顶端侧面的半球头结构与夹具槽匹配连接，夹具伸缩杆在夹具槽内旋转调整位置，夹具伸缩杆通过其上的半球头结构沿移动槽内拉伸调整位置，夹具伸缩杆侧面设有垂直于夹具固定杆Ⅰ内壁且与固定槽相对的定位孔，所述定位孔内部有复位弹簧、固定销，复位弹簧与固定销连接，固定销露出所述定位孔的顶端是斜面，保证夹具伸缩杆只能沿单方向转动，固定销与固定槽匹配连接，实现对夹具伸缩杆固定，夹具伸缩杆底部有螺纹孔，夹具伸缩杆底部通过螺纹孔连接夹具体。

6.按照权利要求5所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，夹具固定杆Ⅰ与夹具伸缩杆是绝缘防腐材料包裹的铜棒，且杆外侧分别有角度刻度和长度刻度。

7.按照权利要求5所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，横梁Ⅱ与夹具机构Ⅱ滑动连接，夹具机构Ⅱ包括蝴蝶螺栓Ⅱ、夹具固定杆Ⅱ、软连接部位、夹具固定杆Ⅲ、抱箍、夹具固定环Ⅱ，具体结构如下：

夹具固定环Ⅱ与夹具固定杆Ⅱ为一体连接结构，夹具固定环Ⅱ套设于横梁Ⅱ且与横梁Ⅱ呈滑动配合，夹具固定环Ⅱ上部有蝴蝶螺栓Ⅱ，通过蝴蝶螺栓Ⅱ与横梁Ⅱ紧密接触连接固定夹具位置；夹具固定杆Ⅱ与夹具固定杆Ⅲ的相对应一端之间通过软连接部位连接并通过抱箍固定，软连接部位为紫铜带，抱箍分别将软连接部位与夹具固定杆Ⅱ、软连接部位与夹具固定杆Ⅲ压紧，夹具固定杆Ⅲ下部与夹具体固定连接。

8.按照权利要求7所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，夹具体包括方框型夹具支架Ⅰ、连接杆Ⅰ、夹具Ⅰ、挂钩，夹具支架Ⅰ的顶部中间与竖直的夹具固定杆Ⅲ连接，夹具支架Ⅰ上下两侧设有与连接杆Ⅰ相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅰ与连接杆Ⅰ通过螺纹连接，连接杆Ⅰ固定连接夹具Ⅰ，夹具Ⅰ下方有挂钩，挂钩内侧有齿。

9.按照权利要求7所述的用于电化学沉积工艺的自动夹持装置，其特征在于，夹具体包括方框型夹具支架Ⅱ、连接杆Ⅱ、夹具Ⅱ，水平设置的夹具支架Ⅱ的一侧与通过软连接部位调节水平的夹具固定杆Ⅲ连接，夹具支架Ⅱ左右两侧设有与连接杆Ⅱ相对应的螺纹孔，夹具支架Ⅱ与连接杆Ⅱ通过螺纹连接，连接杆Ⅱ固定连接夹具Ⅱ，夹具Ⅱ内侧有齿。

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