CN218781397U - 一种智能半导体车间的换气装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种智能半导体车间的换气装置，包括：外壳体，以及安装在外壳体内部的过滤单元，外壳体包括：通风口，以及设置在通风口后部的排气口；通风口边缘安装有若干气体检测器；过滤单元包括：隐藏壳体，以及与隐藏壳体相连接的过滤部件；过滤部件包括：导向滑轨，与导向滑轨相连接的若干调节钎管，以及与若干调节钎管相连接的若干褶皱；在对半导体车间内的废气进行过滤时，通过风机将废气吹入通风口，通过气体检测器开始运行检测气体的类别，过滤部件进行伸缩，若干褶皱通过导向滑轨带动能够进行连续折叠，让废气能更大程度的实现不同类别的过滤，解决了长期维持在同一状态下对过滤部件的损耗，提高了过滤效率，降低了制造成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种废气处理技术领域，尤其涉及一种智能半导体车间的换气装置。
背景技术
目前，随着车间内的各类加工产品的研究开发，车间内也随之产生多种类的废气，工业工厂对车间内的空气洁净度要求也逐渐提高，尤其是智能半导体车间；半导体工艺对车间内的空气清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中产生的各类废气，废气排放使用挥发的方式。
现有的智能半导体车间内的换气装置，使用废弃净化设备，包括箱体，以及箱体内的过滤部分，但在使用时无法分辨废气中的各类气体，使过滤部件长期维持在同一状态下进行过滤，在长期使用后空气阻力变大，难以持续保证过滤部件的过滤效率；并且如此长期进行过滤不进行清洗，会导致过滤部件使用寿命大大缩减，后期会耗费大量的制造成本。
因此，有必要对现有技术中的智能半导体车间的换气装置进行改进，以解决上述问题。
发明内容
本实用新型克服了现有技术的不足，提供一种智能半导体车间的换气装置。
为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种智能半导体车间的换气装置，包括：外壳体，以及安装在所述外壳体内部的过滤单元。
所述外壳体包括：通风口，以及设置在所述通风口后部的排气口；所述通风口边缘安装有若干气体检测器。
所述过滤单元包括：隐藏壳体，以及与所述隐藏壳体相连接的过滤部件；所述过滤部件包括：导向滑轨，与所述导向滑轨相连接的若干调节钎管，以及与若干所述调节钎管相连接的若干褶皱。
本实用新型一个较佳实施例中，每个所述调节钎管两端均设置有滑动块，所述滑动块与所述导向滑轨相连接，所述滑动块能够在所述导向滑轨上做水平往复运动。
本实用新型一个较佳实施例中，每两个所述褶皱通过所述调节钎管固定连接，呈V字型。
本实用新型一个较佳实施例中，所述通风口呈四方形，并且每边安装有所述气体检测器。
本实用新型一个较佳实施例中，所述隐藏壳体隐藏若干所述褶皱，用于控制若干所述褶皱的伸缩。
本实用新型一个较佳实施例中，每个所述褶皱的两端与所述导向滑轨严密配合，用于防止气体泄露。
本实用新型一个较佳实施例中，若干所述调节钎管的两端与所述导向滑轨相连接，整体呈平台梯形状。
本实用新型一个较佳实施例中，所述外壳体上设置有所述排气口的壳体部分采用拆卸连接。
本实用新型一个较佳实施例中，所述气体检测器至少能够检测酸性气体、碱性气体和有毒气体。
本实用新型一个较佳实施例中，若干所述褶皱与若干所述调节钎管阵列排布，并且固定安装在所述调节钎管上的头尾两端分别固定安装在所述隐藏壳体以及所述外壳体上。
本实用新型解决了背景技术中存在的缺陷，本实用新型具备以下有益效果：
(1)本实用新型提供了一种智能半导体车间的换气装置，在对半导体车间内的废气进行过滤时，通过风机将废气吹入通风口，气体检测器开始运行检测气体的类别，通过检测到的气体类别，过滤部件进行伸缩，让废气能更大程度的实现不同类别的过滤，解决了长期维持在同一状态下对过滤部件的损耗，并且提高了过滤效率，降低了制造成本。
(2)本实用新型所使用的褶皱，设置在呈平台梯形状的导向支架上，通过导向滑轨的带动能够进行水平往复运动，即能够进行连续折叠，此操作可调节过滤的表面积，也使得过滤部件形成了更多的吸附面，便于气体的流动与过滤，提高了吸附、过滤的效率和质量。
(3)本实用新型所使用的外壳体上设置有排气口的后壳体部分采用拆卸连接，在进行一阶段的过滤之后，可把后壳拆卸下来，进而方便对内部的过滤部件进行清洗以及维修，解决了清理过滤部件不及时导致的过滤效率低下的问题，同时可以方便及时的清理过滤部件也节约了大量的制造成本。
(4)本实用新型设置成箱体的形状，可镶嵌在墙体内，减少了占地空间，也使得过滤后的废气能更快的通过排气口排出车间，且能更好的挥发，在一定程度上提高了过滤的效率以及增加了过滤部件的使用寿命。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明；
图1是本实用新型的优选实施例的换气装置的立体结构图；
图2是本实用新型的优选实施例的换气装置的正视图；
图3是本实用新型的优选实施例的换气装置的后视图；
图4是本实用新型的优选实施例的过滤单元的立体结构图；
图5是本实用新型的优选实施例的过滤部件的局部放大图；
图中：1、外壳体；11、通风口；12、气体检测器；13、排气口；2、过滤单元；21、隐藏壳体；22、过滤部件；221、导向滑轨；222、调节钎管；223褶皱。
具体实施方式
现在结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明，这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示，一种智能半导体车间的换气装置，包括：外壳体1，以及安装在外壳体内部的过滤单元2，整体设置成箱体的形状，可镶嵌在墙体内，减少了占地空间，也使得过滤后的废气能更快的通过排气口排出车间，且能更好的挥发，在一定程度上提高了过滤的效率以及增加了过滤部件的使用寿命。
如图2和图3所示，外壳体1包括：通风口11，以及设置在通风口11后部的排气口13；所述通风口边缘安装有若干气体检测器12；通风口11呈四方形，并且每边安装有气体检测器12，气体检测器12至少能够检测酸性气体、碱性气体和有毒气体；外壳体1上设置有排气口13的壳体部分采用拆卸连接，在进行一阶段的过滤之后，可把后壳拆卸下来，进而方便对内部的过滤部件22进行清洗以及维修，解决了清理过滤部件22不及时导致的过滤效率低下的问题，同时可以方便及时的清理过滤部件22也节约了大量的制造成本。
如图4所示，过滤单元2包括：隐藏壳体21，以及与隐藏壳体21相连接的过滤部件22；过滤部件22包括：导向滑轨221，与导向滑轨221相连接的若干调节钎管222，以及与若干调节钎管222相连接的若干褶皱223；每个调节钎管222两端均设置有滑动块，滑动块与导向滑轨221相连接，滑动块能够在导向滑轨222上做水平往复运动；隐藏壳体21隐藏若干褶皱223，用于控制若干褶皱的伸缩；每个褶皱223的两端与导向滑轨221严密配合，用于防止气体泄露。
如图5所示，若干调节钎管222的两端与导向滑轨221相连接，整体呈平台梯形状；每两个褶皱223通过调节钎管222固定连接，呈V字型；所使用的褶皱223，设置在呈平台梯形状的导向支架上，通过导向滑轨221的带动能够进行水平往复运动，即能够进行连续折叠，此操作可调节过滤的表面积，也使得过滤部件22形成了更多的吸附面，便于气体的流动与过滤，提高了吸附、过滤的效率和质量。
若干褶皱223与若干调节钎管222阵列排布，并且固定安装在调节钎管222上的头尾两端分别固定安装在隐藏壳体21以及所述外壳体1上；在对半导体车间内的废气进行过滤时，通过风机将废气吹入通风口11，气体检测器12开始运行检测气体的类别，通过检测到的气体类别，过滤部件22进行伸缩，让废气能更大程度的实现不同类别的过滤，解决了长期维持在同一状态下对过滤部件22的损耗，并且提高了过滤效率，降低了制造成本。
本实用新型使用时，通过风机运行，将废气吹入换气装置的通风口，安装在通风口边缘的气体检测器检测完废气中的气体类别后，将信息传送给过滤单元，识别出有害气体时，隐藏壳体内的褶皱通过导向滑轨以及调节钎管往过滤的部位运动，此时褶皱变密，过滤强度提高，即换气强度提高，反之亦然，当识别出不是有害气体时，隐藏壳体内的褶皱通过导向滑轨以及调节钎管往隐藏壳体内运动，此时褶皱变疏，过滤强度变小，即换气强度减小；过滤后的气体通过后壳体上的排气口排出而后发挥；进行一阶段的过滤后，可打开后壳体，进行清洗，当出现故障时，也可打开后壳体进行维修。
以上依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定技术性范围。
Claims (10)
1.一种智能半导体车间的换气装置，包括：外壳体，以及安装在所述外壳体内部的过滤单元，其特征在于，
所述外壳体包括：通风口，以及设置在所述通风口后部的排气口；所述通风口边缘安装有若干气体检测器；
所述过滤单元包括：隐藏壳体，以及与所述隐藏壳体相连接的过滤部件；所述过滤部件包括：导向滑轨，与所述导向滑轨相连接的若干调节钎管，以及与若干所述调节钎管相连接的若干褶皱。
2.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：每个所述调节钎管两端均设置有滑动块，所述滑动块与所述导向滑轨相连接，所述滑动块能够在所述导向滑轨上做水平往复运动。
3.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：每两个所述褶皱通过所述调节钎管固定连接，呈V字型。
4.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：所述通风口呈四方形，并且每边安装有一所述气体检测器。
5.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：所述隐藏壳体隐藏若干所述褶皱，用于控制若干所述褶皱的伸缩。
6.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：每个所述褶皱的两端与所述导向滑轨严密配合，用于防止气体泄露。
7.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：若干所述调节钎管的两端与所述导向滑轨相连接，整体呈平台梯形状。
8.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：所述外壳体上设置有所述排气口的壳体部分采用拆卸连接。
9.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：所述气体检测器至少能够检测酸性气体、碱性气体和有毒气体。
10.根据权利要求1所述的一种智能半导体车间的换气装置，其特征在于：若干所述褶皱与若干所述调节钎管阵列排布，并且固定安装在所述调节钎管上的头尾两端分别固定安装在所述隐藏壳体以及所述外壳体上。
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