CN218730868U - 一种晶圆环取料贴装装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种晶圆环取料贴装装置，涉及晶圆环加工技术领域，包括工作台，所述工作台的内部设置有旋转机构，所述工作台的顶端安装有转动板，所述第一气缸的下方安装有取料腔，所述取料腔的内部设置有取料槽，所述取料腔内部的中间位置处设置有固定机构，所述工作台顶端的一侧安装有放置板，所述工作台顶部的后端安装有支架，所述支架的底端安装有第二气缸，所述第二气缸的底端安装有贴装板；通过在取料腔的内部设置有固定机构，利用固定机构的相互配合，可使得晶圆环进入取料槽的内部后，利用固定板对晶圆环进行固定处理，使得晶圆环在取料时更加稳定，不易脱落，从而大大提高了该装置在使用时的工作效率。

Description

一种晶圆环取料贴装装置

技术领域

本实用新型涉及晶圆环加工技术领域，尤其涉及一种晶圆环取料贴装装置。

背景技术

随着经济的发展，科技水平的不断提高，我国的半导体行业发展的越来越迅速了，金晶圆环的使用也越来越多了，晶圆或称为晶圆环是生产芯片及LED等器件的原材料；

在晶圆上完成多个芯片或LED制作后，需要将这些芯片或LED逐一从晶圆上分离下来，然后将其贴装到玻璃面板上，故需要使用到专门的取料贴装装置，然而现有技术通常是利用人工进行贴装处理，从而大大增加了工人的劳动强度，而且不便对晶圆环进行高效便捷的进行取料，从而大大降低了晶圆环取料贴装的工作效率，因此，本实用新型提出一种晶圆环取料贴装装置用来解决上述问题。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提出一种晶圆环取料贴装装置，已解决现有技术中不便对晶圆环进行高效便捷的进行取料，从而大大降低了晶圆环取料贴装的工作效率的问题。

为实现本实用新型的目的，本实用新型通过以下技术方案实现：一种晶圆环取料贴装装置，包括工作台，所述工作台的内部设置有旋转机构，所述工作台的顶端安装有转动板，所述转动板的顶端安装有竖板，所述竖板的一侧安装有安装腔，所述安装腔的内部设置有移动机构，所述安装腔的一侧安装有第一气缸，所述第一气缸的下方安装有取料腔，所述取料腔的内部设置有取料槽，所述取料腔内部的中间位置处设置有固定机构，所述工作台顶端的一侧安装有放置板，所述工作台顶部的后端安装有支架，所述支架的底端安装有第二气缸，所述第二气缸的底端安装有贴装板；

所述固定机构包括第一伺服电机、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、螺纹杆、螺纹套、电动伸缩杆和固定板，所述第一伺服电机安装于取料腔的内部，所述第一伺服电机的输出端安装有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的下方啮合有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的两端安装有螺纹杆，所述螺纹杆两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆的外侧壁对称设置有螺纹套，所述螺纹套的下方安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底端安装有固定板。

进一步改进在于：所述移动机构包括第二伺服电机、主动锥形齿轮、从动锥形齿轮、螺杆、螺套、活动腔和限位结构，所述第二伺服电机安装于安装腔一侧的上方，所述主动锥形齿轮安装于安装腔内部顶端的一侧，所述第二伺服电机的输出端与主动锥形齿轮的一端连接，所述主动锥形齿轮的一侧啮合有从动锥形齿轮，所述从动锥形齿轮的一侧安装有螺杆，所述螺杆的外侧壁设置有螺套，所述螺套的外侧壁固定有活动腔，所述活动腔的一端与第一气缸的一侧连接。

进一步改进在于：所述限位结构包括限位槽和限位块，所述限位槽安装于安装腔内部的两侧，所述限位槽的内部设置有限位块，所述限位块的一端与活动腔的一端连接。

进一步改进在于：所述旋转机构包括第三伺服电机、主动齿轮、从动齿轮和导向结构，所述第三伺服电机安装于工作台的内部，所述第三伺服电机的输出端安装有主动齿轮，所述主动齿轮的一侧啮合有从动齿轮，所述从动齿轮的顶端与转动板的底端连接。

进一步改进在于：所述主动齿轮的横截面小于从动齿轮的横截面，所述主动齿轮带动从动齿轮做减速运动。

进一步改进在于：所述导向结构包括导向槽和导向块，所述导向槽设置于工作台的内部，所述导向槽的内部设置有导向块，所述导向块的顶端与转动板的底端连接。

本实用新型的有益效果为：通过在取料腔的内部设置有固定机构，利用固定机构的第一伺服电机、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、螺纹杆、螺纹套、电动伸缩杆和固定板的相互配合，可使得晶圆环进入取料槽的内部后，利用固定板对晶圆环进行固定处理，使得晶圆环在取料时更加稳定，不易脱落，从而大大提高了该装置在使用时的工作效率；通过设置有移动机构，利用移动机构的第二伺服电机、主动锥形齿轮、从动锥形齿轮、螺杆、螺套、活动腔的相互配合，可将取料的晶圆环移动到适当的位置，使得晶圆环在放置时更加准确，故使得晶圆环在贴装时更加准确，从而大大提高了该装置在使用时的实用性。

附图说明

图1为本实用新型的正视剖面图；

图2为本实用新型的图1中A处局部放大结构示意图；

图3为本实用新型的图1中B处局部放大结构示意图；

图4为本实用新型的图1中C处局部放大结构示意图。

其中：1、工作台；2、转动板；3、竖板；4、安装腔；5、第一气缸；6、取料腔；7、取料槽；8、放置板；9、支架；10、第二气缸；11、贴装板；12、第一伺服电机；13、第一锥形齿轮；14、第二锥形齿轮；15、螺纹杆；16、螺纹套；17、电动伸缩杆；18、固定板；19、第二伺服电机；20、主动锥形齿轮；21、从动锥形齿轮；22、螺杆；23、螺套；24、活动腔；25、第三伺服电机；26、主动齿轮；27、从动齿轮。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例对本实用新型做进一步详述，本实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。

根据图1、2、3、4所示，本实施例提出了一种晶圆环取料贴装装置，包括工作台1，所述工作台1的内部设置有旋转机构，所述工作台1的顶端安装有转动板2，所述转动板2的顶端安装有竖板3，所述竖板3的一侧安装有安装腔4，所述安装腔4的内部设置有移动机构，所述安装腔4的一侧安装有第一气缸5，所述第一气缸5的下方安装有取料腔6，所述取料腔6的内部设置有取料槽7，所述取料腔6内部的中间位置处设置有固定机构，所述工作台1顶端的一侧安装有放置板8，所述工作台1顶部的后端安装有支架9，所述支架9的底端安装有第二气缸10，所述第二气缸10的底端安装有贴装板11。

所述固定机构包括第一伺服电机12、第一锥形齿轮13、第二锥形齿轮14、螺纹杆15、螺纹套16、电动伸缩杆17和固定板18，所述第一伺服电机12安装于取料腔6的内部，所述第一伺服电机12的输出端安装有第一锥形齿轮13，所述第一锥形齿轮13的下方啮合有第二锥形齿轮14，所述第二锥形齿轮14的两端安装有螺纹杆15，所述螺纹杆15两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆15的外侧壁对称设置有螺纹套16，所述螺纹套16的下方安装有电动伸缩杆17，所述电动伸缩杆17的底端安装有固定板18，使用时，启动第一气缸5带动取料腔6下降，使得晶圆环位于取料槽7的内部，然后启动电动伸缩杆17，带动固定板18向下移动，使得固定板18位置晶圆环的下方，然后启动第一伺服电机12带动第一锥形齿轮13进行旋转，由于第一锥形齿轮13与第二锥形齿轮14之间相互啮合，故利用第二锥形齿轮14带动螺纹杆15进行旋转，进而带动螺纹套16进行移动，故带动固定板18进行移动，将固定板18移动至晶圆环的下方，对晶圆环进行固定处理，使得晶圆环在取料时更加稳定，不易脱落，从而大大提高了该装置在使用时的工作效率。

所述移动机构包括第二伺服电机19、主动锥形齿轮20、从动锥形齿轮21、螺杆22、螺套23、活动腔24和限位结构，所述第二伺服电机19安装于安装腔4一侧的上方，所述主动锥形齿轮20安装于安装腔4内部顶端的一侧，所述第二伺服电机19的输出端与主动锥形齿轮20的一端连接，所述主动锥形齿轮20的一侧啮合有从动锥形齿轮21，所述从动锥形齿轮21的一侧安装有螺杆22，所述螺杆22的外侧壁设置有螺套23，所述螺套23的外侧壁固定有活动腔24，所述活动腔24的一端与第一气缸5的一侧连接，使用时，启动第二伺服电机19带动主动锥形齿轮20进行旋转，由于主动锥形齿轮20和从动锥形齿轮21之间相互啮合，故都利用从动锥形齿轮21带动螺杆22进行旋转，进而带动螺套23进行移动，故在限位槽和限位块的限位下，通过螺套23带动活动腔24进行移动，进而带动晶圆环进行移动，将晶圆环移动到适当的位置，使得晶圆环在放置时更加准确，故使得晶圆环在贴装时更加准确，从而大大提高了该装置在使用时的实用性。

所述限位结构包括限位槽和限位块，所述限位槽安装于安装腔4内部的两侧，所述限位槽的内部设置有限位块，所述限位块的一端与活动腔24的一端连接，使用时，利用限位槽和限位块之间的相互配合，可对活动腔24在移动时进行限位处理，使得活动腔24在移动时更加稳定。

所述旋转机构包括第三伺服电机25、主动齿轮26、从动齿轮27和导向结构，所述第三伺服电机25安装于工作台1的内部，所述第三伺服电机25的输出端安装有主动齿轮26，所述主动齿轮26的一侧啮合有从动齿轮27，所述从动齿轮27的顶端与转动板2的底端连接，所述主动齿轮26的横截面小于从动齿轮27的横截面，所述主动齿轮26带动从动齿轮27做减速运动，使用时，启动第三伺服电机25带动主动齿轮26进行旋转，故通过主动齿轮26带动从动齿轮27进行缓慢转动，进而在导向槽和导向块的作用下，利用从动齿轮27带动转动板2进行旋转，进而带动晶圆环进行转动，对晶圆环的位置进行移动。

所述导向结构包括导向槽和导向块，所述导向槽设置于工作台1的内部，所述导向槽的内部设置有导向块，所述导向块的顶端与转动板2的底端连接，使用时，利用导向槽和导向块之间的相互配合，可对转动板2在旋转时进行导向处理，使得转动板2在旋转时更加稳定。

工作原理：工作人员首先将玻璃面板放置在放置板8上，然后启动第一气缸5带动取料腔6下降，使得晶圆环位于取料槽7的内部，然后启动电动伸缩杆17，带动固定板18向下移动，使得固定板18位置晶圆环的下方，然后启动第一伺服电机12带动第一锥形齿轮13进行旋转，由于第一锥形齿轮13与第二锥形齿轮14之间相互啮合，故利用第二锥形齿轮14带动螺纹杆15进行旋转，进而带动螺纹套16进行移动，故带动固定板18进行移动，将固定板18移动至晶圆环的下方，对晶圆环进行固定处理，然后启动第三伺服电机25带动主动齿轮26进行旋转，故通过主动齿轮26带动从动齿轮27进行缓慢转动，进而在导向槽和导向块的作用下，利用从动齿轮27带动转动板2进行旋转，进而带动晶圆环进行转动，然后启动第二伺服电机19带动主动锥形齿轮20进行旋转，由于主动锥形齿轮20和从动锥形齿轮21之间相互啮合，故都利用从动锥形齿轮21带动螺杆22进行旋转，进而带动螺套23进行移动，故在限位槽和限位块的限位下，通过螺套23带动活动腔24进行移动，进而带动晶圆环进行移动，将晶圆环移动到适当的位置，然后启动第一气缸5带动取料腔6下降，将晶圆环放置在适当的位置，此时启动第一伺服电机12带动固定板18向中间移动，使得晶圆环到达贴装工位，然后启动第二伺服电机19，带动取料腔6从晶圆环上方移出，启动第二气缸10带动贴装板11向下移动，对晶圆环进贴装处理，贴装完成后启动第二气缸10带动贴装板11向上移动，此时可将晶圆环取下。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种晶圆环取料贴装装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的内部设置有旋转机构，所述工作台(1)的顶端安装有转动板(2)，所述转动板(2)的顶端安装有竖板(3)，所述竖板(3)的一侧安装有安装腔(4)，所述安装腔(4)的内部设置有移动机构，所述安装腔(4)的一侧安装有第一气缸(5)，所述第一气缸(5)的下方安装有取料腔(6)，所述取料腔(6)的内部设置有取料槽(7)，所述取料腔(6)内部的中间位置处设置有固定机构，所述工作台(1)顶端的一侧安装有放置板(8)，所述工作台(1)顶部的后端安装有支架(9)，所述支架(9)的底端安装有第二气缸(10)，所述第二气缸(10)的底端安装有贴装板(11)；

所述固定机构包括第一伺服电机(12)、第一锥形齿轮(13)、第二锥形齿轮(14)、螺纹杆(15)、螺纹套(16)、电动伸缩杆(17)和固定板(18)，所述第一伺服电机(12)安装于取料腔(6)的内部，所述第一伺服电机(12)的输出端安装有第一锥形齿轮(13)，所述第一锥形齿轮(13)的下方啮合有第二锥形齿轮(14)，所述第二锥形齿轮(14)的两端安装有螺纹杆(15)，所述螺纹杆(15)两端的螺纹方向相反，所述螺纹杆(15)的外侧壁对称设置有螺纹套(16)，所述螺纹套(16)的下方安装有电动伸缩杆(17)，所述电动伸缩杆(17)的底端安装有固定板(18)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆环取料贴装装置，其特征在于：所述移动机构包括第二伺服电机(19)、主动锥形齿轮(20)、从动锥形齿轮(21)、螺杆(22)、螺套(23)、活动腔(24)和限位结构，所述第二伺服电机(19)安装于安装腔(4)一侧的上方，所述主动锥形齿轮(20)安装于安装腔(4)内部顶端的一侧，所述第二伺服电机(19)的输出端与主动锥形齿轮(20)的一端连接，所述主动锥形齿轮(20)的一侧啮合有从动锥形齿轮(21)，所述从动锥形齿轮(21)的一侧安装有螺杆(22)，所述螺杆(22)的外侧壁设置有螺套(23)，所述螺套(23)的外侧壁固定有活动腔(24)，所述活动腔(24)的一端与第一气缸(5)的一侧连接。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆环取料贴装装置，其特征在于：所述限位结构包括限位槽和限位块，所述限位槽安装于安装腔(4)内部的两侧，所述限位槽的内部设置有限位块，所述限位块的一端与活动腔(24)的一端连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆环取料贴装装置，其特征在于：所述旋转机构包括第三伺服电机(25)、主动齿轮(26)、从动齿轮(27)和导向结构，所述第三伺服电机(25)安装于工作台(1)的内部，所述第三伺服电机(25)的输出端安装有主动齿轮(26)，所述主动齿轮(26)的一侧啮合有从动齿轮(27)，所述从动齿轮(27)的顶端与转动板(2)的底端连接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆环取料贴装装置，其特征在于：所述主动齿轮(26)的横截面小于从动齿轮(27)的横截面，所述主动齿轮(26)带动从动齿轮(27)做减速运动。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆环取料贴装装置，其特征在于：所述导向结构包括导向槽和导向块，所述导向槽设置于工作台(1)的内部，所述导向槽的内部设置有导向块，所述导向块的顶端与转动板(2)的底端连接。

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