CN218728592U - 工件批量曝光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种工件批量曝光设备，设计光伏加工技术领域，所提供的工件批量曝光设备能够通过固定相机组同时对批量呈阵列排布的工件进行拍摄和图像检测，基于图像信息检测获得工件边缘轮廓信息后，将工件的偏移信息和偏转角度提供给曝光装置，对曝光图案调整后进行曝光处理。设备适用于表面没有定位标记的工件，能够准确对大批量工件同时进行坐标位置检测和曝光处理，工作效率高的同时工件图案曝光准确率高。

Description

工件批量曝光设备

技术领域

本实用新型涉及光伏加工技术领域，具体地涉及一种工件批量曝光设备。

背景技术

太阳能光伏电池自动曝光设备是基于光学检测通过激光自动对光伏电池板表面成像曝光的设备系统，但目前的自动曝光设备主要应用于电路板领域，其在光伏领域的应用并不成熟，在电路板领域及现有的光伏自动曝光设备在工作流程中单次只能对一个工件进行处理，工作效率低下，并且电路板表面设置有易于识别的通孔等可以用于定位标记的结构，而在光伏电池板表面并没有诸如通孔等易于识别的标志，因此，在电路板领域应用成熟的光学检测方法也无法在光伏领域适用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种工件批量曝光设备。

本实用新型提供一种工件批量曝光设备，包括：

工件载台，至少能够沿Y轴方向运动，所述工件载台表面能够同时放置在XY轴平面呈阵列排布的多个工件；

固定相机组，包括多个设置于所述工件载台上方的固定相机，其被配置用于拍摄所述工件载台上工件的图像，多个所述固定相机视野组合后至少覆盖所述工件载台表面沿X轴方向排布的一行工件；

处理器坐标计算单元，其被配置用于将多个所述固定相机位置信息统一至同一坐标系；

处理器图像处理单元，其被配置用于根据所述固定相机所拍摄的工件图像在所述坐标系下计算每个工件相对于预设标准位置的偏移距离及偏转角度，并基于每个所述工件的偏移距离及偏转角度，对所述曝光图形进行调整；

曝光装置，其被配置用于根据调整后曝光图形对所述工件载台上阵列分布的多个所述工件同时进行曝光处理。

作为本实用新型的进一步改进，所述工件载台表面设置有多个定位标记，所述定位标记沿所述工件载台表面X轴方向均匀间隔分布。

作为本实用新型的进一步改进，每个所述固定相机的视野至少覆盖一个所述定位标记。

作为本实用新型的进一步改进，还包括：至少一个运动相机，所述运动相机设置于所述工件载台上方，且至少能够沿X轴方向运动，其被配置用于依次运动拍摄所述工件载台上的定位标记。

作为本实用新型的进一步改进，还包括：龙门架，所述龙门架包括架设于所述工件载台上方的横梁，和沿所述横梁两端向下设置的立梁，所述横梁沿X轴方向延伸，所述固定相机均匀间隔设置于所述横梁上，所述运动相机设置于所述横梁上，可沿所述横梁往复运动。

作为本实用新型的进一步改进，包括两个设于横梁上所述运动相机，两个所述运动相加沿所述横梁相对往复运动。

作为本实用新型的进一步改进，所述处理器图像处理单元还被配置用于比较换算所述运动相机和所述固定相机所拍摄的所述定位标记的位置，将所述运动相机和多个所述固定相机统一在同一坐标系内。

作为本实用新型的进一步改进，处理器图像处理单元被配置为基于所述工件边缘轮廓位置信息计算所述工件中心坐标信息，并与预设的所述标准曝光图案中工件中心位置进行比较，计算得到所述工件的偏移距离；以及计算所述工件边缘轮廓与所述标准曝光图案中工件边缘轮廓之间的夹角，得到所述工件的偏转角度。

作为本实用新型的进一步改进，还包括：光源装置，所述光源装置设置于所述工件载台表面，被打开后，所述光源装置能够向所述固定相机镜头射出光线。

作为本实用新型的进一步改进，所述固定相机被配置为在光源装置打开之后，对所述工件载台表面所放置的所述工件进行拍摄。

作为本实用新型的进一步改进，还包括：处理器复检单元，所述处理器复检单元被配置用于获取曝光后工件图像，并将所述曝光后工件图像与标准曝光图案进行比较。

本实用新型的有益效果是：实用新型所提供的工件批量曝光设备能够通过固定相机组同时对批量呈阵列排布的工件进行拍摄和图像检测，基于图像信息检测获得工件边缘轮廓信息后，将工件的偏移信息和偏转角度提供给曝光装置，对曝光图案调整后进行曝光处理。设备适用于表面没有定位标记的工件，能够准确对大批量工件同时进行坐标位置检测和曝光处理，工作效率高的同时工件图案曝光准确率高。

附图说明

图1是本发明一实施方式中的工件批量曝光设备的左视图。

图2是本发明一实施方式中的工件载台的俯视图(为便于说明示出龙门架、固定相机组和运动相机)。

图3是本发明另一实施方式中的工件批量曝光设备的左视图(包括两个工件载台)。

图4是本发明另一实施方式中的工件批量曝光设备的正视图(包括两个重叠设置的工件载台)。

图5是本发明另一实施方式中的工件批量曝光设备的正视图(包括两个相对设置的工件载台)。

图6是本发明一实施方式中的工件载台的正视图(为便于说明示出龙门架和固定相机组)。

图7是本发明一实施方式中的工件批量曝光方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施方式及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施方式仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本申请保护的范围。

下面详细描述本实用新型的实施方式，实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

为方便说明，本文使用表示空间相对位置的术语来进行描述，例如“上”、“下”、“后”、“前”等，用来描述附图中所示的一个单元或者特征相对于另一个单元或特征的关系。空间相对位置的术语可以包括设备在使用或工作中除了图中所示方位以外的不同方位。例如，如果将图中的装置翻转，则被描述为位于其他单元或特征“下方”或“上方”的单元将位于其他单元或特征“下方”或“上方”。因此，示例性术语“下方”可以囊括下方和上方这两种空间方位。

如图1和图2所示，本实施方式提供一种工件批量曝光方法和设备1，所述曝光设备1通过所述方法批量对工件2进行曝光处理，特别适用于针对表面无明显定位标记113的工件2的曝光处理。在本实施方式中，其具体用于对光伏电池板2a的曝光处理，区别于现有技术方案中的单次只能对一块光伏电池板2a进行曝光操作、或通过旋转工件载台轮流对光伏电池板2a进行曝光操作，本实施方式所提供的设备1和方法能够同时批量对多块光伏电池板2a进行曝光处理，从而显著提升工件2的曝光工序进行效率，并且所提供的方法图像识别准确率高，所形成的曝光图案精度高。

为便于说明，本实施方式基于一具体曝光设备1对曝光方法进行介绍，以下先对曝光设备1进行介绍。

如图1所示，本实用新型提供一种工件批量曝光设备1，包括：工件载台11、固定相机组12、运动相机13、龙门架14、曝光装置15和处理器。工件载台11用于承载工件2；固定相机组12包括多个相机，用于对工件2进行拍摄设别；运动相机13用于对辅助固定相机组12统一坐标系；龙门架14架设于工件载台11上方，用于放置固定相机组12和运动相机13；曝光装置15用于对工件2进行曝光；处理器包括多个计算单元，用于对所拍摄的图像数据进行处理，并基于数据发出工作指令。

沿Y轴方向，即沿曝光设备1内部工件2流水线运动方向，曝光设备1大致分为上料区a、自动光学检测区b、曝光区c和出料区d。龙门架14及其上的固定相机组12和运动相机13位于自动光学检测区b，包装装置位于曝光区c。

如下对各部分进行具体介绍。

如图2所示，工件载台11至少能够沿Y轴方向运动，工件载台11表面能够同时放置在XY轴平面呈阵列排布的多个工件2。

工件载台11表面相较于现有技术中同类型只能放置一个工件2的工件载台，其表面积尺寸较大，从而能够用于放置批量呈阵列排布的工件2，以在后续的光学图像识别和曝光工序中能够对多个工件2同时进行批量处理，提高设备工作效率。

示例性的，在本实施方式中，光伏电池板2a外轮廓呈长方形，工件载台11表面能够放置21块光伏电池板2a，光伏电池板2a以3×7的阵列排布。

在本实用新型的其他实施方式中，可根据工件2尺寸大小、工件2排布方式、设备1处理性能等因素而对工件载台11尺寸进行具体调整，而使其能够放置适量的工件2。

进一步的，由于在进行对工件2进行图像处理之前，需要完成对固定相机组12之间不同固定相机12a之间的标定，而在本实施方式中，通过运动相机13和固定相机12a结合定位标记113来完成标定。因此，在工件载台11表面设置有多个定位标记113，定位标记113沿工件载台11表面X轴方向均匀间隔分布，定位标记113在被固定相机组12和运动相机13拍摄后用以辅助对固定相机组12位置进行标定。由于工件载台11相对于固定相机组12沿Y轴运动，为了使固定相机组12能够完整对工件载台11表面工件2进行拍摄，因此固定相机12a沿X轴向分布设置，相对应的，设置在工件载台11表面的定位标记113为沿X轴向分布。

进一步的，定位标记113可以结合固定相机12a的视野大小，而对应于工件2在工件载台11X轴向的排布数量而设置，如分别在对应于工件2两端的位置分别设置一个定位标记113，以使固定相机12a标定的准确率更高。

示例性的，在本实施方式中，在工件载台11表面一端处设置有6个定位标记113，定位标记113形状可以为具有一定标识度的符号，如十字形等。

在本实用新型的其他实施方式中，也可在工件2台面其他区域位置设置其他数量的定位标记113，只要能够结合固定相机12a视野完成位置标定即可。

通过直接在工件载台11表面设置定位标记113，可以直接通过工件载台11对固定相机组12完成标定而统一坐标系，无需在通过额外设置的标定板进行标定，排除了标定板本身可能带来的误差，简便高效的同时，标定准确率高。

工件载台11通过沿Y轴方向运动，可先在上料区a完成上料工作，同时将多个光伏电池板2a装载至工件载台11上，沿Y轴运动至自动光学检测区b，通过固定相机组12对光伏电池板2a进行识别后，继续沿Y轴运动至曝光装置15处进行曝光，最后沿Y轴运动至出料区d，从而完成一次完整流程。

进一步的，如图3和图4所示，在本实用新型的一些实施方式中，工件批量曝光设备1包括至少两个工件载台11，工件载台11包括驱动基台111和设于驱动基台111上的载台面112，驱动基台111能够带动载台面112沿Y轴往复运动，并控制载台面112沿Z轴上下往复运动，通过至少两个工件载台11交替往复运动，能够进一步提高设备1工作效率。

比如在一实施方式中，可设置两个工件载台11，分别为第一工件载台11a和第二工件载台11b，当第一工件载台11a在进行工作流程时，第二工件载台11b在进行上料准备，当第一工件载台11a进行下料后沿Y轴运动返回，并同时调整载台面112高度，避免与第二工件载台11b发生干涉碰撞，此时第二工件载台11b开始进行工作流程。第一工件载台11a和第二工件载台11b交替往复进行工作流程从而可进一步提高工作效率。载台面112分为工作区1121和驱动连接区1122，工作区1121用以放置工件2，驱动连接区1122底面与驱动基台111相连。第一工件载台11a和第二工件载台11b的工作区1121重叠对位设于固定相机组12和曝光装置15下，驱动连接区1122分别设置于沿X轴方向相对的一侧，第一工件载台11a和第二工件载台11b的驱动基台也分别对应设置于沿X轴方向相对的一侧，从而当第一工件载台11a和第二工件载台11b相对运动时，通过调整载台面112的高度，即可避免第一工件载台11a和第二工件载台11b在相对运动时发生干涉碰撞，实现两者的交错运动。

当设置有3个或更多的工件载台11时，可以参考上述结构，工作区1121重叠设置，驱动连接区1122沿侧边位置依次向内缩进设置，或者其他现有的通过调节载台面112高度可使不同载台之间交错运动的结构。

如图5所示，在另一些实施方式中，第一工件载台1a和第二工件载台1b也可分别设置于沿X轴方向的相对两侧。相对分布的第一工件载台1a和第二工件载台1b无需对载台面112的高度进行调整，结构更加简单，设备可靠性高。

龙门架14包括架设于工件载台11上方的横梁141，和沿横梁141两端向下设置的立梁142，横梁141沿X轴方向延伸。

固定相机组12包括多个设置于横梁141上的固定相机12a，其被配置用于拍摄工件载台11上工件2的图像，多个固定相机12a视野组合后至少覆盖工件载台11表面沿X轴方向排布的一行工件2。通过固定相机组12可以完成对大面积工件载台11的快速拍摄，从而提高设备1运行效率。

进一步的，每个固定相机12a的视野至少覆盖一个定位标记113，以确保每个固定相机12a能够基于其所拍摄的定位标记113而进行坐标标定。

示例性的，在本实施方式中，在横梁141上设置有均匀间隔分布的6个固定相机12a，每个固定相机12a分别对应于一个定位标记113。6个固定相机12a能够完整拍摄沿X轴分布的一行3个工件2，工件载台11沿X轴运动，完成沿Y轴分布的阵列工件2的拍摄。

在本实用新型的其他实施方式中，固定相机12a的数量及分布方式可进行调整，固定相机组12经组合后能够至少完整拍摄在工件载台11上一行沿X轴分布的工件2即可。

至少一个运动相机13设置于工件载台11上方，且至少能够沿X轴方向运动，其被配置用于依次运动拍摄工件载台11上的定位标记113。运动相机13沿X轴运动，依次拍摄每个定位标记113，由于其为连续运动拍摄，将其拍摄的定位标记113的位置坐标和多个固定相机12a所拍摄的定位位置坐标进行对比换算，即可将固定相机12a统一至同一坐标系。

在运动相机13进行拍摄后，处理器坐标计算单元比较换算运动相机13和固定相机12a所拍摄的定位标记113的位置，将运动相机13和多个固定相机12a统一在同一坐标系内。

进一步的，在本实施方式中，工件批量曝光设备1包括两个设于横梁141上运动相机13，两个运动相机沿横梁141相对往复运动。通过设置两个运动相机13可以进一步提高工作效率和提高标定准确率。

在本实用新型的其他实施方式中，也可通过设置固定的标定尺等方式来对固定相机12a进行标定，此时无需设置运动相机13以及定位标记113，标定方法更加简单，但相比于运动相机13，其标定精度较低。

在完成标定后，固定相机12a拍摄工件2图像，处理器图像处理单元根据固定相机12a所拍摄的工件2图像在坐标系下计算每个工件2相对于预设标准位置的偏移距离及偏转角度，并基于每个工件2的偏移距离及偏转角度，对曝光图案进行调整。

具体的，处理器图像处理单元完成对图像进行识别后，基于工件2边缘轮廓位置信息计算工件2中心坐标信息，并与预设的标准曝光图案中工件2中心位置进行比较，计算得到工件2的偏移距离；计算工件2边缘轮廓与标准曝光图案中工件2边缘轮廓之间的夹角，得到工件2的偏转角度。

处理器图像处理单元可被配置为基于光伏电池板2a一条边进行偏转角度的检测，或对多条边进行偏转角度检测后求取平均值。另外，当工件2的外轮廓呈圆形时，只需计算出圆心位置后，对圆心的偏移距离进行计算即可。

进一步的，如图6所示，在本实用新型一些实施方式中，工件批量曝光设备1还包括光源装置114，光源装置114设置于工件载台11表面，被打开后，光源装置114能够向固定相机12a镜头射出光线。由于光伏电池板2a为不透光的硅片，因此光伏电池板2a之间的区域会被光源照亮，而光伏电池板2a区域光线被遮蔽，从而使得固定相机12a拍摄得到光伏电池板2a区域与周侧区域形成高对比度差的图像。在通过该方法所拍摄的图像中，光伏电池板2a的边缘轮廓线清晰、容易分辨，因此可以准确在图像中检测识别出工件2边缘轮廓信息来进行偏移距离及偏转角度的计算。

在本实用新型的其他实施方式中，也可根据工件2的具体类别，基于其表面形貌，将工件载台11表面设置为与工件2表面颜色有较大差异的颜色，从而直接使所拍摄的照片中工件2边缘轮廓信息易于识别。

曝光装置15根据调整后曝光图案对工件载台11上阵列分布的多个工件2同时进行曝光处理，从而完成对工件2的批量曝光处理。

进一步的，在本实用新型一些实施方式中，工件批量曝光设备1还包括处理器复检单元，复检单元被配置用于获取曝光后工件2图像，并将曝光后工件2图像与标准曝光图案进行比较。由于光伏电池板2a表面感光材料在曝光完成后，会产生明显的颜色变化，因此可再次拍摄曝光后图像与标准曝光图案进行比较，当判断存在不良产品后，发出警报提醒，从而减少不良产品产出，并且由于不同颜色区域对比度差异大，因此判别准确率高。

如图7所示，本实施方式还对基于上述设备的工件批量曝光方法进行说明，其包括步骤：

S1：将多个固定定相机位置信息统一至同一坐标系。

S2：将多个工件2置于工件载台11，使多个工件2于载台表面呈阵列排布。

S3：通过多个固定相机12a同时获取每个工件2边缘轮廓信息，在坐标系下计算每个工件2相对于预设标准位置的偏移距离及偏转角度。

S4：基于每个工件2的偏移距离及偏转角度，对曝光图案进行调整，并经由调整后曝光图案对多个工件2同时进行曝光处理。

在步骤S1中，其具体包括：

S11：沿Y轴方向移动工件载台11，沿X轴方向移动运动相机13，控制运动相机13拍摄获取设于工件载台11上的多个定位标记113的位置。

具体的，在本实施方式中，控制分别设于龙门架14上相对两端的两个运动相机13同时相对运动，拍摄获取设于工件载台11上沿X轴方向间隔均匀分布的多个定位标记113的位置。

S12：控制多个固定相机12a分别拍摄获取其对应镜头视野内的定位标记113的位置。

具体的，在本实施方式中，控制多个于龙门架14上沿X轴方向间隔均匀分布的固定相机12a分别拍摄获取其对应镜头视野内的定位标记113位置；每个固定相机12a分别用于拍摄一个定位标记113。

S13：比较换算运动相机13和固定相机12a所拍摄的定位标记113的位置，将运动相机13和多个固定相机12a统一在同一坐标系内。

在步骤S3中，其具体包括：

S31：开启位于工件载台11平面的光源装置114，光源装置114光线被工件2遮挡，工件2表面与边缘周侧区域形成亮度差，控制固定相机12a拍摄工件2图像。

S32：于工件2图像中检测获取各工件2边缘轮廓信息。

在步骤S4中，其具体包括：

S41：基于工件2边缘轮廓位置信息计算工件2中心坐标信息，并与预设的标准曝光图案中工件2中心位置进行比较，计算得到工件2的偏移距离。

S42：计算工件2边缘轮廓与标准曝光图案中工件2边缘轮廓之间的夹角，得到工件2的偏转角度。

进一步的，在本实用新型一些实施方式中，还包括步骤：

S5：拍摄获取曝光后工件2，将工件2曝光图案与标准曝光图案进行比较。

综上所述，本实用新型所提供的工件批量曝光设备能够通过固定相机组同时对批量呈阵列排布的工件进行拍摄和图像检测，基于图像信息检测获得工件边缘轮廓信息后，将工件的偏移信息和偏转角度提供给曝光装置，对曝光图案调整后进行曝光处理。设备适用于表面没有定位标记的工件，能够准确对大批量工件同时进行坐标位置检测和曝光处理，工作效率高的同时工件图案曝光准确率高。

应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本实用新型的可行性实施方式的具体说明，并非用以限制本实用新型的保护范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种工件批量曝光设备，其特征在于，包括：

工件载台，至少能够沿Y轴方向运动，所述工件载台表面能够同时放置在XY轴平面呈阵列排布的多个工件；

固定相机组，包括多个设置于所述工件载台上方的固定相机，其被配置用于拍摄所述工件载台上工件的图像，多个所述固定相机视野组合后至少覆盖所述工件载台表面沿X轴方向排布的一行工件；

处理器坐标计算单元，其被配置用于将多个所述固定相机位置信息统一至同一坐标系；

处理器图像处理单元，其被配置用于根据所述固定相机所拍摄的工件图像在所述坐标系下计算每个工件相对于预设标准位置的偏移距离及偏转角度，并基于每个所述工件的偏移距离及偏转角度，对曝光图形进行调整；

曝光装置，其被配置用于根据调整后曝光图形对所述工件载台上阵列分布的多个所述工件同时进行曝光处理。

2.根据权利要求1所述的工件批量曝光设备，其特征在于，所述工件载台表面设置有多个定位标记，所述定位标记沿所述工件载台表面X轴方向均匀间隔分布。

3.根据权利要求2所述的工件批量曝光设备，其特征在于，每个所述固定相机的视野至少覆盖一个所述定位标记。

4.根据权利要求2所述的工件批量曝光设备，其特征在于，还包括：至少一个运动相机，所述运动相机设置于所述工件载台上方，且至少能够沿X轴方向运动，其被配置用于依次运动拍摄所述工件载台上的定位标记。

5.根据权利要求4所述的工件批量曝光设备，其特征在于，还包括：龙门架，所述龙门架包括架设于所述工件载台上方的横梁，和沿所述横梁两端向下设置的立梁，所述横梁沿X轴方向延伸，所述固定相机均匀间隔设置于所述横梁上，所述运动相机设置于所述横梁上，可沿所述横梁往复运动。

6.根据权利要求5所述的工件批量曝光设备，其特征在于，包括两个设于横梁上所述运动相机，两个所述运动相加沿所述横梁相对往复运动。

7.根据权利要求4所述的工件批量曝光设备，其特征在于，所述处理器图像处理单元还被配置用于比较换算所述运动相机和所述固定相机所拍摄的所述定位标记的位置，将所述运动相机和多个所述固定相机统一在同一坐标系内。

8.根据权利要求5所述的工件批量曝光设备，其特征在于，处理器图像处理单元被配置为基于所述工件边缘轮廓位置信息计算所述工件中心坐标信息，并与预设的标准曝光图案中工件中心位置进行比较，计算得到所述工件的偏移距离；以及计算所述工件边缘轮廓与所述标准曝光图案中工件边缘轮廓之间的夹角，得到所述工件的偏转角度。

9.根据权利要求1所述的工件批量曝光设备，其特征在于，还包括：光源装置，所述光源装置设置于所述工件载台表面，被打开后，所述光源装置能够向所述固定相机镜头射出光线。

10.根据权利要求9所述的工件批量曝光设备，其特征在于，所述固定相机被配置为在光源装置打开之后，对所述工件载台表面所放置的所述工件进行拍摄。

11.根据权利要求1所述的工件批量曝光设备，其特征在于，还包括：处理器复检单元，所述处理器复检单元被配置用于获取曝光后工件图像，并将所述曝光后工件图像与标准曝光图案进行比较。

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