CN218727536U - 一种探针台及其热台 - Google Patents
一种探针台及其热台 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218727536U CN218727536U CN202222969428.XU CN202222969428U CN218727536U CN 218727536 U CN218727536 U CN 218727536U CN 202222969428 U CN202222969428 U CN 202222969428U CN 218727536 U CN218727536 U CN 218727536U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- station
- probe
- heat
- thermal
- conductive ceramic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
Abstract
本实用新型涉及一种探针台及其热台。热台包括由绝缘陶瓷制成的壳体，壳体内部设置有用于发热的导电陶瓷，壳体上或导电陶瓷上具有供待测量器件放置的器件放置部。导电陶瓷代替传统的电阻丝，相对于传统的电阻丝导电陶瓷其使用寿命较长，大大提高了热台的使用寿命，不需要定期更换及校正，节省使用成本。导电陶瓷与电阻丝相比，其体积小，能够使得热台小型化。待测量的器件可以直接放在壳体上或导电陶瓷上的器件放置部上，导电陶瓷通电后发热，热量向外传递，绝缘陶瓷的壳体导热慢，能够起到避免热量损失太快的作用，提高了热台的能效，使得热台能够达到更高的能效标准要求，提高产品的市场竞争力。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针台技术领域，具体涉及一种探针台及其热台。
背景技术
探针台是一种主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。探针台包括外壳，外壳内设置有热台，待测试的器件置于热台上，通过热台调节探针台内部的温度，以测试器件在不同温度下的性能。
现有的热台大多是采用电阻丝进行加热实现温度调节，但是在实际应用中发现，电阻丝的体积大且寿命较短，导致热台的整体体积也大且寿命也短，需要定期进行更换电阻丝及进行温度校正，费时费力，导致使用成本增加。而且现有的热台能效较低，耗电量大，不能满足目前的能效等级的标准要求。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种探针台的热台，以解决现有技术中存在的寿命短、体积大且能效低的问题；同时，本实用新型的目的还在于提供一种使用上述热台的探针台。
为实现上述目的，本实用新型的一种探针台的热台采用如下技术方案：一种探针台的热台，包括由绝缘陶瓷制成的壳体，壳体内部设置有用于发热的导电陶瓷，壳体上或导电陶瓷上具有供待测量器件放置的器件放置部。
所述壳体包括上端开口的盒体，壳体还包括设置于盒体内部并位于导电陶瓷上方的放置板，放置板能够传递导电陶瓷的热量，盒体上端开口内的放置板部分形成上述器件放置部。
所述放置板采用绝缘陶瓷材质。
该热台还包括围设于壳体外部的用于屏蔽热辐射的热屏蔽层。
所述热屏蔽层包括至少两个内外间隔套设在一起且上端开口的盒状结构，壳体位于最内侧的盒状结构内。
任意相邻两个盒状结构之间具有定位安装结构，定位安装结构包括设置于任意相邻两个盒状结构中外侧盒状结构的底板上的定位孔以及内侧盒状结构的底板上的定位凸起。
该热台还包括连接于热屏蔽层上的安装板，安装板上设置有与导电陶瓷连接的第一接线柱。
该热台还包括伸入到壳体内部用于检测导电陶瓷温度的温度探测器。
所述安装板上设置有与温度探测器连接的第二接线柱。
本实用新型的一种探针台采用如下技术方案：一种探针台，包括外壳，外壳内部设置有热台和多个探针，热台包括由绝缘陶瓷制成的壳体，壳体内部设置有用于发热的导电陶瓷，壳体上或导电陶瓷上具有供待测量器件放置的器件放置部。
所述壳体包括上端开口的盒体，壳体还包括设置于盒体内部并位于导电陶瓷上方的放置板，放置板能够传递导电陶瓷的热量，盒体上端开口内的放置板部分形成上述器件放置部。
所述放置板采用绝缘陶瓷材质。
该热台还包括围设于壳体外部的用于屏蔽热辐射的热屏蔽层。
所述热屏蔽层包括至少两个内外间隔套设在一起且上端开口的盒状结构，壳体位于最内侧的盒状结构内。
任意相邻两个盒状结构之间具有定位安装结构，定位安装结构包括设置于任意相邻两个盒状结构中外侧盒状结构的底板上的定位孔以及内侧盒状结构的底板上的定位凸起。
该热台还包括连接于热屏蔽层上的安装板，安装板上设置有与导电陶瓷连接的第一接线柱。
该热台还包括伸入到壳体内部用于检测导电陶瓷温度的温度探测器。
所述安装板上设置有与温度探测器连接的第二接线柱。
本实用新型的有益效果：导电陶瓷代替传统的电阻丝，相对于传统的电阻丝导电陶瓷其使用寿命较长，大大提高了热台的使用寿命，不需要定期更换及校正，节省使用成本。导电陶瓷与电阻丝相比，其体积小，能够使得热台小型化。待测量的器件可以直接放在壳体上或导电陶瓷上的器件放置部上，导电陶瓷通电后发热，热量向外传递，绝缘陶瓷的壳体导热慢，能够起到避免热量损失太快的作用，提高了热台的能效，使得热台能够达到更高的能效标准要求，提高产品的市场竞争力。
附图说明
图1是本实用新型的一种探针台的一个实施例的结构示意图；
图2是图1中外壳内部的结构示意图；
图3是图2中热台的结构示意图；
图4是图3中热台在另一角度下的结构示意图；
图5是图3中热台的内部结构示意图；
图6是图5中A处的局部放大图。
具体实施方式
本实用新型的一种探针台的实施例，如图1-图6所示，包括外壳1，外壳内部设置有热台4和多个探针5，外壳包括上壳体3和下壳体2，上、下壳体形成真空腔体。热台包括壳体6，壳体由绝缘陶瓷材料制成。壳体内部设置有用于发热的导电陶瓷17。本实施例中，壳体16包括上端开口的盒体，壳体还包括设置于盒体内部并位于导电陶瓷17上方的放置板8，放置板采用绝缘陶瓷材料制成，放置板能够传递导电陶瓷的热量，盒体上端开口内的放置板部分形成上述器件放置部。盒体包括上盒体16和下盒体15。
该热台还包括围设于壳体外部的用于屏蔽热辐射的热屏蔽层10，热屏蔽层采用金属材料。热屏蔽层能够屏蔽热辐射，避免热量通过热辐射损失，进一步提高能效。热屏蔽层包括至少两个内外间隔套设在一起的且上端开口的盒状结构11，壳体及其内的导电陶瓷和放置板均位于最内侧的盒状结构内。本实施例中盒状结构为4个，即热屏蔽层有4层。任意相邻两个盒状结构之间具有定位安装结构，定位安装结构包括设置于任意相邻两个盒状结构中外侧盒状结构的底板上的定位孔以及内侧盒状结构的底板上的定位凸起(图中未显示)，便于多个盒状结构组合在一起。而且通过这种安装定位结构能够大大减小相邻两个盒状结构之间的接触面积，减少热量的传导而损失掉。
该热台还包括伸入到壳体内部用于检测导电陶瓷温度的温度探测器19。具体地，盒体包括下板体15和上壳盖16，导电陶瓷和放置板位于下板体和上壳盖之间，下板体上设置有上端开口的安装槽18，温度探测器19安装于安装槽中，使得温度探测器与上方的导电陶瓷之间没有物体阻隔，能够直接测量导电陶瓷的温度，保准测量的精准性。
最外侧的盒状结构上设置有用于与探针台的外壳固定连接的第一连接结构，第一连接结构包括设置于最外侧的盒状结构底板上的第一螺钉孔9。最外侧的盒状结构上连接有安装板，安装板上设置有与探针台的外壳固定连接的第二连接结构，第二连接结构包括设置于安装板上的第二螺钉孔。安装板上设置有与导电陶瓷17连接的第一接线柱14以及与温度探测器19连接的第二接线柱13。
在本实用新型的其他实施例中，盒状结构的数量可根据实际需要进行调整，也就是热屏蔽层的数量可根据实际需要进行调整；定位结构也可以包括设置于任意相邻两个盒状结构中外侧盒状结构的底板上的定位凸起以及内侧盒状结构的底板上的定位孔；器件放置部也可以直接设置于导电陶瓷上，此时壳体上端开口供待测量器件放入；放置板也可以由壳体的顶板代替。
本实用新型的一种探针台的热台的实施例与上述一种探针台的各实施例中的热台的结构相同，此处不再赘述。
Claims (10)
1.一种探针台的热台，其特征在于：包括由绝缘陶瓷制成的壳体，壳体内部设置有用于发热的导电陶瓷，壳体上或导电陶瓷上具有供待测量器件放置的器件放置部。
2.根据权利要求1所述的探针台的热台，其特征在于：所述壳体包括上端开口的盒体，壳体还包括设置于盒体内部并位于导电陶瓷上方的放置板，放置板能够传递导电陶瓷的热量，盒体上端开口内的放置板部分形成上述器件放置部。
3.根据权利要求2所述的探针台的热台，其特征在于：所述放置板采用绝缘陶瓷材质。
4.根据权利要求1-3中任意一项所述的探针台的热台，其特征在于：该热台还包括围设于壳体外部的用于屏蔽热辐射的热屏蔽层。
5.根据权利要求4所述的探针台的热台，其特征在于：所述热屏蔽层包括至少两个内外间隔套设在一起且上端开口的盒状结构，壳体位于最内侧的盒状结构内。
6.根据权利要求5所述的探针台的热台，其特征在于：任意相邻两个盒状结构之间具有定位安装结构，定位安装结构包括设置于任意相邻两个盒状结构中外侧盒状结构的底板上的定位孔以及内侧盒状结构的底板上的定位凸起。
7.根据权利要求4所述的探针台的热台，其特征在于：该热台还包括连接于热屏蔽层上的安装板，安装板上设置有与导电陶瓷连接的第一接线柱。
8.根据权利要求7所述的探针台的热台，其特征在于：该热台还包括伸入到壳体内部用于检测导电陶瓷温度的温度探测器。
9.根据权利要求8所述的探针台的热台，其特征在于：所述安装板上设置有与温度探测器连接的第二接线柱。
10.一种探针台，包括外壳，外壳内部设置有热台和多个探针，其特征在于：所述热台采用权利要求1-9中任意一项所述的探针台的热台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222969428.XU CN218727536U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种探针台及其热台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202222969428.XU CN218727536U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种探针台及其热台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218727536U true CN218727536U (zh) | 2023-03-24 |
Family
ID=85611314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202222969428.XU Active CN218727536U (zh) | 2022-11-08 | 2022-11-08 | 一种探针台及其热台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218727536U (zh) |
-
2022
- 2022-11-08 CN CN202222969428.XU patent/CN218727536U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111637978A (zh) | 一种dfn封装的数字式红外温度传感器 | |
| WO2022095306A1 (zh) | 加热组件、测温方法及气溶胶产生装置 | |
| TWM613564U (zh) | 熱源模擬結構 | |
| CN218727536U (zh) | 一种探针台及其热台 | |
| CN105136845A (zh) | 固体粉末导热系数的瞬态热带法测量装置和方法 | |
| CN111880065A (zh) | 一种内置式金属箔电极传感器及其制备方法 | |
| CN107622954A (zh) | 功率半导体器件封装方法及封装结构 | |
| CN111983340A (zh) | 一种连接器高温低气压试验方法 | |
| CN209372215U (zh) | 一种高温宽频压电式振动传感器 | |
| CN203746669U (zh) | 一种用于变流器的新型电容器 | |
| CN113225858A (zh) | 热源模拟结构 | |
| CN205981509U (zh) | 测力传感器 | |
| CN214413067U (zh) | 热源模拟结构 | |
| US6767221B2 (en) | IC socket module | |
| CN207947912U (zh) | 加热膜板和电加热厨具 | |
| TWI771889B (zh) | 熱源模擬結構 | |
| CN112611886A (zh) | 一种内部对地绝缘型加速度传感器 | |
| CN218765648U (zh) | 一种贴片式温度传感器 | |
| CN220157598U (zh) | 用于电子烟的加热器和电子烟 | |
| CN219830136U (zh) | 一种自锁贴片式温度传感器 | |
| CN219892173U (zh) | 功率模块 | |
| CN218039448U (zh) | 一种锂电池底部加热结构 | |
| CN218724888U (zh) | 一种电流取能温度传感器校验装置 | |
| CN208283431U (zh) | 一种低温电学测量插拔型样品托 | |
| CN213985377U (zh) | 一种微小激光功率热电堆传感器及激光功率计 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |