CN218710975U - 一种拼装式晶圆镀膜治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种拼装式晶圆镀膜治具，所述镀膜治具包括治具支架，所述治具支架上设有安装通孔；晶圆托盘，所述晶圆托盘配合在安装通孔内，所述晶圆托盘上容安装多个晶圆；以及四个调节螺栓，四个调节螺栓分别位于晶圆托盘的四个角，所述调节螺栓活动插设在治具支架上并与晶圆托盘螺接。本实用新型的晶圆托盘通过四个角的调节螺栓安装在治具支架上，并配合在安装通孔内，所以，可以通过旋拧四个调节螺栓来调节晶圆托盘的倾斜角度，用以适应由镀膜工艺、设备以及环境等多因素带来的影响，使得在晶圆上加工出来的薄膜质量统一，并且能够调整。

Description

一种拼装式晶圆镀膜治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产加工的技术领域，特别是涉及一种拼装式晶圆镀膜治具。

背景技术

随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，技术人员通过对晶圆进行加工可以制作成各种电路元件，因此晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。

晶圆作为一种光学基底材料，在其上镀膜成为提高其光学性能的基本需求。晶圆在制造过程中需要将晶圆承载在镀膜治具上，并通过物理或者化学气相沉积的方式，在晶圆表面镀上薄膜。

现有的镀膜治具通常采用一体式，即在一治具主体上开设多个圆孔，圆孔内设有容置晶圆的沉台，在进行镀膜时将晶圆置于圆孔的沉台上，之后将治具主体安装在旋转机台，再配合镀膜设备在晶圆上完成镀膜。

但是，通过观察发现因为镀膜工艺、设备以及环境等多因素的影响，采用现有镀膜治具在晶圆上加工出来的薄膜质量不统一，亦无法调整。

有鉴于此，本设计人针对上述镀膜治具结构设计上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种拼装式晶圆镀膜治具，采用该镀膜治具在晶圆上加工出来的薄膜质量统一，并且能够调整。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种拼装式晶圆镀膜治具，所述镀膜治具包括

治具支架，所述治具支架上设有安装通孔；

晶圆托盘，所述晶圆托盘配合在安装通孔内，所述晶圆托盘上容安装多个晶圆；

以及四个调节螺栓，四个调节螺栓分别位于晶圆托盘的四个角，所述调节螺栓活动插设在治具支架上并与晶圆托盘螺接。

优选的，所述治具支架包括安装座、固定环以及至少两根连接支杆；所述安装座呈环状并设置在正中心；各连接支杆在安装座的圆周上等间距布设，所述连接支杆的两端分别连接至安装座和固定环上，所述安装通孔由相邻的连接支杆、安装座和固定环围合形成。

优选的，所述治具支架上还可拆卸的安装有一活动支架，所述晶圆托盘通过四个调节螺栓安装在活动支架内。

优选的，所述活动支架包括内侧弧板、两侧板以及外侧弧板；所述内侧弧板、其中一块侧板外侧弧板以及另一块侧板依次首尾连接；所述内侧弧板的上端设有第一耳板，所述安装座上设有支撑台，所述活动支架的一端通过第一耳板搭靠在支撑台上；所述活动支架的另一端通过外侧弧板搭靠在固定环上，所述外侧弧板还通过螺栓可拆卸的锁固在固定环上。

优选的，所述侧板上安装有把手。

优选的，所述侧板的上端还设有第二耳板，所述侧板通过第二耳板搭靠在连接支杆上。

优选的，所述侧板上还安装有螺栓块，所述调节螺栓活动插设在螺栓块上并与晶圆托盘螺接。

优选的，所述晶圆托盘上设有多个容置通孔，各个容置通孔内均放置有一晶圆卡环，所述晶圆卡环的内壁上设有多个承台，所述晶圆容置于承台上。

优选的，：所述晶圆卡环的内壁上还设有一定位块，所述定位块朝向晶圆的一端设有一横端面，所述晶圆上设有一与横端面相对应定位缺口。

采用上述方案后，本实用新型的晶圆托盘通过四个角的调节螺栓安装在治具支架上，并配合在安装通孔内，所以，可以通过旋拧四个调节螺栓来调节晶圆托盘的倾斜角度，用以适应由镀膜工艺、设备以及环境等多因素带来的影响，使得在晶圆上加工出来的薄膜质量统一，并且能够调整。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的分解图。

图2为本实用新型较佳实施例中治具支架的结构示意图。

图3为本实用新型较佳实施例中活动支架的结构示意图。

图4为本实用新型较佳实施例中晶圆卡环的结构示意图。

主要元件符号说明：

图中：1、治具支架；11、安装通孔；12、安装座；121、支撑台；13、固定环；14、连接支杆；15、活动支架；151、内侧弧板；1511、第一耳板；152、侧板；1521、把手；1522、第二耳板；1523、螺栓块；153、外侧弧板；2、晶圆托盘；21、容置通孔；22、晶圆卡环；221、承台；222、定位块；2221、横端面；3、晶圆；31、定位缺口；4、调节螺栓。

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1至图4所示，为本实用新型一种拼装式晶圆镀膜治具的较佳实施例，该镀膜治具包括治具支架1，治具支架1上设有安装通孔11；晶圆托盘2，晶圆托盘2配合在安装通孔11内，晶圆托盘2上容安装多个晶圆3；以及四个调节螺栓4，四个调节螺栓4分别位于晶圆托盘2的四个角，调节螺栓4活动插设在治具支架1上并与晶圆托盘2螺接。

使用时，将多个晶圆3安装在晶圆托盘2上，然后，将晶圆托盘2置于安装通孔11内，并通过调节螺栓4将晶圆托盘2安装在治具支架1上；最后再将治具支架1安装在镀膜旋转机台上或者直接置于镀膜工作台上，再配合镀膜设备在晶圆3上完成镀膜。

本实用新型的重点在于，本实用新型的晶圆托盘2通过四个角的调节螺栓4安装在治具支架1上，并配合在安装通孔11内，所以，可以通过旋拧四个调节螺栓4来调节晶圆托盘2的倾斜角度，用以适应由镀膜工艺、设备以及环境等多因素带来的影响，使得在晶圆3上加工出来的薄膜质量统一，并且能够调整。

上述治具支架1包括安装座12、固定环13以及至少两根连接支杆14；安装座12呈环状并设置在正中心；各连接支杆14在安装座12的圆周上等间距布设，连接支杆14的两端分别连接至安装座12和固定环13上，安装通孔11由相邻的连接支杆14、安装座12和固定环13围合形成。在本实施例中，治具支架1设置有四根连接支杆14，即该治具支架1上设置有四个安装通孔11。

上述治具支架1上还可拆卸的安装有一活动支架15，晶圆托盘2通过四个调节螺栓4安装在活动支架15内。如此，在需要安装晶圆3时，可以将活动支架15从治具支架1上拆卸下来，以方便晶圆3的安装。

上述活动支架15包括内侧弧板151、两侧板152以及外侧弧板153；内侧弧板151、其中一块侧板152外侧弧板153以及另一块侧板152依次首尾连接；内侧弧板151的上端设有第一耳板1511，安装座12上设有支撑台121，活动支架15的一端通过第一耳板1511搭靠在支撑台121上；活动支架15的另一端通过外侧弧板153搭靠在固定环13上，外侧弧板153还通过螺栓可拆卸的锁固在固定环13上。如此，在安装活动支架15时，只需将活动支架15放置在支撑台121和固定环13上，之后再通过螺栓将外侧弧形板锁固在固定环13上即可，其具有安装方便的优点。

上述侧板152上安装有把手1521。使用人员可以通过把手1521搬运活动支架15，使得其具有使用方便的优点。

上述侧板152的上端还设有第二耳板1522，侧板152通过第二耳板1522搭靠在连接支杆14上。如此，连接支杆14能够通过第二耳板1522对活动支架15起到支撑作用，使得活动支架15的安装更加牢固、稳定。

上述侧板152上还安装有螺栓块1523，调节螺栓4活动插设在螺栓块1523上并与晶圆托盘2螺接。

上述晶圆托盘2上设有多个容置通孔21，各个容置通孔21内均放置有一晶圆卡环22，晶圆卡环22的内壁上设有多个承台221，晶圆3容置于承台221上。如此，使用时，使用人员可以将晶圆卡环22从晶圆托盘2上取下来，待将晶圆3放置在晶圆卡环22上之后再将晶圆卡环22放置在晶圆托盘2上的容置通孔21内，从而方便晶圆3的放置和拿取。

上述晶圆卡环22的内壁上还设有一定位块222，定位块222朝向晶圆3的一端设有一横端面2221，晶圆3上设有一与横端面2221相对应定位缺口31。如此，使用人员能够快速识别晶圆3的放置位置，具有使用方便的优点。

上述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的，这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得所属领域的普通技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。

Claims (9)

1.一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述镀膜治具包括

治具支架(1)，所述治具支架(1)上设有安装通孔(11)；

晶圆托盘(2)，所述晶圆托盘(2)配合在安装通孔(11)内，所述晶圆托盘(2)上容安装多个晶圆(3)；

以及四个调节螺栓(4)，四个调节螺栓(4)分别位于晶圆托盘(2)的四个角，所述调节螺栓(4)活动插设在治具支架(1)上并与晶圆托盘(2)螺接。

2.如权利要求1所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述治具支架(1)包括安装座(12)、固定环(13)以及至少两根连接支杆(14)；所述安装座(12)呈环状并设置在正中心；各连接支杆(14)在安装座(12)的圆周上等间距布设，所述连接支杆(14)的两端分别连接至安装座(12)和固定环(13)上，所述安装通孔(11)由相邻的连接支杆(14)、安装座(12)和固定环(13)围合形成。

3.如权利要求2所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述治具支架(1)上还可拆卸的安装有一活动支架(15)，所述晶圆托盘(2)通过四个调节螺栓(4)安装在活动支架(15)内。

4.如权利要求3所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述活动支架(15)包括内侧弧板(151)、两侧板(152)以及外侧弧板(153)；所述内侧弧板(151)、其中一块侧板(152)外侧弧板(153)以及另一块侧板(152)依次首尾连接；所述内侧弧板(151)的上端设有第一耳板(1511)，所述安装座(12)上设有支撑台(121)，所述活动支架(15)的一端通过第一耳板(1511)搭靠在支撑台(121)上；所述活动支架(15)的另一端通过外侧弧板(153)搭靠在固定环(13)上，所述外侧弧板(153)还通过螺栓可拆卸的锁固在固定环(13)上。

5.如权利要求4所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述侧板(152)上安装有把手(1521)。

6.如权利要求4所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述侧板(152)的上端还设有第二耳板(1522)，所述侧板(152)通过第二耳板(1522)搭靠在连接支杆(14)上。

7.如权利要求4所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述侧板(152)上还安装有螺栓块(1523)，所述调节螺栓(4)活动插设在螺栓块(1523)上并与晶圆托盘(2)螺接。

8.如权利要求1所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述晶圆托盘(2)上设有多个容置通孔(21)，各个容置通孔(21)内均放置有一晶圆卡环(22)，所述晶圆卡环(22)的内壁上设有多个承台(221)，所述晶圆(3)容置于承台(221)上。

9.如权利要求8所述的一种拼装式晶圆镀膜治具，其特征在于：所述晶圆卡环(22)的内壁上还设有一定位块(222)，所述定位块(222)朝向晶圆(3)的一端设有一横端面(2221)，所述晶圆(3)上设有一与横端面(2221)相对应定位缺口(31)。

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