CN218710815U - 一种立面式环状晶圆镀膜治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种立面式环状晶圆镀膜治具，镀膜治具包括一旋转机台；以及多个治具单元，治具单元安装在旋转机台的侧面，多个治具单元依次首尾连接闭合呈环状；治具单元包括一治具面板，治具面板上弯折成至少有两个立面，各个立面上均设有至少两个容置通孔；多个托盘，托盘容置于容置通孔内，托盘的前端设有晶圆容置槽；以及多个压紧臂，压紧臂的另一端将托盘压紧固定在容置通孔内。利用本实用新型的镀膜治具对晶圆进行镀膜，镀膜治具中的多个治具单元上能安装多个晶圆，在旋转机台的配合下能够同时对多个晶圆进行成批次的镀膜，在旋转机台侧面呈环状的多个治具单元也能够大大增加同批次晶圆的数量，从而大大提高了晶圆镀膜的效率。

Description

一种立面式环状晶圆镀膜治具

技术领域

本实用新型涉及晶圆生产加工的技术领域，特别是涉及一种立面式环状晶圆镀膜治具。

背景技术

随着半导体产业的发展，晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，技术人员通过对晶圆进行加工可以制作成各种电路元件，因此晶圆的加工制造一直是研究的核心领域。晶圆作为一种光学基底材料，在其上镀膜成为提高其光学性能的基本需求。晶圆在制造过程中需要将晶圆基片承载在镀膜治具上，并通过物理或者化学气相沉积的方式，在晶圆基片表面镀上薄膜。例如通过加热蒸发镀膜的方式就属于物理气相沉积中的一种，其通过加热蒸发物质使之气化并淀积在晶圆基片表面形成固体薄膜。

现有的晶圆镀膜通常利用物理气相沉积溅射的方法来完成，并且通过溅射装置来具体实施，溅射装置包括反应室以及机械手，反应室内设有靶材，当需要对晶圆进行镀膜时，机械手将晶圆放置在反应室内，利用靶材对晶圆进行溅射处理，但是，通过观察发现，现有的晶圆在镀膜过程中无法成批次的进行镀膜，或者每一批次的数量少，如此，造成了晶圆镀膜的效率交底。

有鉴于此，本设计人针对上述晶圆镀膜设备结构设计上未臻完善所导致的诸多缺失及不便，而深入构思，且积极研究改良试做而开发设计出本实用新型。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种立面式环状晶圆镀膜治具，用以提高晶圆镀膜的效率。

为了达成上述目的，本实用新型的解决方案是：

一种立面式环状晶圆镀膜治具，所述镀膜治具包括

一旋转机台；

以及多个治具单元，所述治具单元安装在旋转机台的侧面，多个治具单元依次首尾连接闭合呈环状；

其中，所述治具单元包括

一治具面板，所述治具面板上弯折成至少有两个立面，各个立面上均设有至少两个容置通孔，所述容置通孔的内壁前端设有多个挡块；

多个托盘，所述托盘容置于容置通孔内，所述托盘的前端设有晶圆容置槽；

以及多个压紧臂，所述压紧臂的一端枢接在立面的背面并位于容置通孔的一侧，所述压紧臂的另一端将托盘压紧固定在容置通孔内。

优选的，所述治具面板的一端安装有一弹性拼接板，与该治具面板相邻的另一治具面板的一端压靠在该弹性拼接板上并且紧贴靠在该治具面板的端面上。

优选的，所述弹性拼接板上设有第一挂孔，所述治具面板上设有第一连接柱，所述弹性拼接板通过第一挂孔可拆卸的安装在第一连接柱上。

优选的，所述弹性拼接板上设有定位孔，所述治具面板上设有定位柱，所述弹性拼接板通过定位孔套接在定位柱上。

优选的，所述治具面板的两端分别安装有两个弹性件，所述弹性件上设有倾斜的弹片，所述弹片与旋转机台弹性接触。

优选的，所述弹性件上设有第二挂孔，所述治具面板上设有第二连接柱，所述弹性件通过第二挂孔可拆卸的安装在第二连接柱上。

优选的，所述托盘的背部设有凸柱，所述凸柱的端部设有限位沉槽，所述压紧臂朝向托盘的一端弯曲成型有压紧部，所述压紧臂通过压紧部压靠在凸柱的限位沉槽内。

优选的，所述治具面板的两端分别设有拿取孔，所述治具面板的背部对应拿取孔的位置设有限位块；所述镀膜治具还包括两拿取手柄，所述拿取手柄上设有插入杆，所述插入杆的端部设有弹性珠，所述拿取手柄通过插入杆插入拿取孔内，并通过弹性珠与治具面板活动卡接。

采用上述方案后，利用本实用新型的镀膜治具对晶圆进行镀膜，镀膜治具中的多个治具单元上能安装多个晶圆，在旋转机台的配合下能够同时对多个晶圆进行成批次的镀膜，在旋转机台侧面呈环状的多个治具单元也能够大大增加同批次晶圆的数量，从而大大提高了晶圆镀膜的效率。

并且，利用本实用新型的镀膜治具对晶圆进行镀膜，各个晶圆均通过托盘安装在治具面板的立面上，治具面板的各个立面也是依次首尾连接闭合呈环状，并且在旋转机台的作用下匀速转动，以配合对多个晶圆进行成批次的镀膜，如此，在各个晶圆上加工出来的薄膜具有质量统一的优点。

附图说明

图1为本实用新型较佳实施例的结构示意图。

图2为本实用新型较佳实施例中治具单元的结构示意图。

图3为本实用新型较佳实施例中治具单元的分解图。

主要元件符号说明：

图中：1、旋转机台；2、治具单元；21、治具面板；211、立面；212、容置通孔；213、挡块；214、弹性拼接板；2141、第一挂孔；2142、定位孔；215、第一连接柱；216、定位柱；217、弹性件；2171、弹片；2172、第二挂孔；218、第二连接柱；219、拿取孔；210、限位块；22、托盘；221、晶圆容置槽；223、凸柱；224、限位沉槽；23、压紧臂；231、压紧部；3、拿取手柄；31、插入杆；32、弹性珠。

具体实施方式

为了进一步解释本实用新型的技术方案，下面通过具体实施例来对本实用新型进行详细阐述。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

如图1至图3所示，为本实用新型一种立面式环状晶圆镀膜治具的较佳实施例，该镀膜治具包括一旋转机台1；以及多个治具单元2，治具单元2安装在旋转机台1的侧面，多个治具单元2依次首尾连接闭合呈环状；其中，治具单元2包括一治具面板21，治具面板21上弯折成至少有两个立面211，各个立面211上均设有至少两个容置通孔212，容置通孔212的内壁前端设有多个挡块213；多个托盘22，托盘22容置于容置通孔212内，托盘22的前端设有晶圆容置槽221；以及多个压紧臂23，压紧臂23的一端枢接在立面211的背面并位于容置通孔212的一侧，压紧臂23的另一端将托盘22压紧固定在容置通孔212内。

使用时，先将所有的治具单元2从旋转机台1上拆卸下来；之后，拨开压紧臂23，将治具面板21上的托盘22取下来；之后，将待镀膜的晶圆分别装入托盘22的晶圆容置槽221内，再将托盘22重新安装回治具面板21的容置通孔212内，并用压紧臂23将托盘22压紧固定在容置通孔212内；之后，再将治具单元2重新安装会旋转机台1上；旋转机台1在反应室内持续旋转过程中，利用靶材对晶圆进行溅射处理，即对晶圆进行成批次的镀膜。

在本实施例中，上述镀膜治具设置有六个治具单元2，六个治具单元2均安装在旋转机台1的侧面，并且六个治具单元2依次首尾连接闭合呈环状；而在本实施例中，治具单元2中的治具面板21上弯折成有三个立面211，各个立面211上均设置有两个容置通孔212，所以，本实施例中的镀膜治具一批次可以同时对36个晶圆进行成批次的镀膜。

本实用新型的重点在于，利用本实用新型的镀膜治具对晶圆进行镀膜，镀膜治具中的多个治具单元2上能安装多个晶圆，在旋转机台1的配合下能够同时对多个晶圆进行成批次的镀膜，在旋转机台1侧面呈环状的多个治具单元2也能够大大增加同批次晶圆的数量，从而大大提高了晶圆镀膜的效率。

并且，利用本实用新型的镀膜治具对晶圆进行镀膜，各个晶圆均通过托盘22安装在治具面板21的立面211上，治具面板21的各个立面211也是依次首尾连接闭合呈环状，并且在旋转机台1的作用下匀速转动，以配合对多个晶圆进行成批次的镀膜，如此，在各个晶圆上加工出来的薄膜具有质量统一的优点。

上述治具面板21的一端安装有一弹性拼接板214，与该治具面板21相邻的另一治具面板21的一端压靠在该弹性拼接板214上并且紧贴靠在该治具面板21的端面上。如此，相邻的两个治具面板21能够弹性接触并紧密贴合，避免相邻的两个治具面板21因为硬接触而无法闭合安装呈环状，所以，本实用新型的镀膜治具具有安装方便的优点。

上述弹性拼接板214上设有第一挂孔2141，治具面板21上设有第一连接柱215，弹性拼接板214通过第一挂孔2141可拆卸的安装在第一连接柱215上。如此，其具有结构简单、安装方便的优点。

上述弹性拼接板214上设有定位孔2142，治具面板21上设有定位柱216，弹性拼接板214通过定位孔2142套接在定位柱216上。如此，能够对弹性拼接板214的安装位置进行限位，确保弹性拼接板214的安装位置正确，弹性拼接板214的上下两端不伸出治具面板21。

上述治具面板21的两端分别安装有两个弹性件217，弹性件217上设有倾斜的弹片2171，弹片2171与旋转机台1弹性接触。通过设有弹性件217，利用弹性件217上倾斜的弹片2171顶靠在旋转机台1上，从而使得治具面板21通过弹性件217与旋转机台1弹性接触，用以配合治具单元2的安装，确保治具单元2安装在旋转机台1上的同时，相邻的治具单元2之间连接保持齐平并贴合，从而形成规整的闭合环状，进一步确保在各个晶圆上加工出来的薄膜具有质量统一的优点。

上述弹性件217上设有第二挂孔2172，治具面板21上设有第二连接柱218，弹性件217通过第二挂孔2172可拆卸的安装在第二连接柱218上。如此，其具有结构简单、安装方便的优点。

上述托盘22的背部设有凸柱223，凸柱223的端部设有限位沉槽224，压紧臂23朝向托盘22的一端弯曲成型有压紧部231，压紧臂23通过压紧部231压靠在凸柱223的限位沉槽224内。如此，凸柱223加高了托盘22的高度，限位沉槽224又能够确保压紧臂23的压紧部231稳定的压靠在凸柱223上，避免压紧部231从凸柱223上滑脱，而弯曲成型的压紧部231又能够增加弹性压紧力，进而使得压紧臂23能够将托盘22牢固、稳定的压紧固定在容置通孔212内。

上述治具面板21的两端分别设有拿取孔219，治具面板21的背部对应拿取孔219的位置设有限位块210；镀膜治具还包括两拿取手柄3，拿取手柄3上设有插入杆31，插入杆31的端部设有弹性珠32，拿取手柄3通过插入杆31插入拿取孔219内，并通过弹性珠32与治具面板21活动卡接。如此，工作人员可以通过拿取手柄3拿取治具单元2，用以配合治具单元2的拿取、放置以及安装，从而使得本实用新型具有使用方便的优点。

上述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的，这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得所属领域的普通技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变，任何所属技术领域的普通技术人员对其所做的适当变化或修饰，皆应视为不脱离本实用新型的专利范畴。

Claims (8)

1.一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述镀膜治具包括

一旋转机台(1)；

以及多个治具单元(2)，所述治具单元(2)安装在旋转机台(1)的侧面，多个治具单元(2)依次首尾连接闭合呈环状；

其中，所述治具单元(2)包括

一治具面板(21)，所述治具面板(21)上弯折成至少有两个立面(211)，各个立面(211)上均设有至少两个容置通孔(212)，所述容置通孔(212)的内壁前端设有多个挡块(213)；

多个托盘(22)，所述托盘(22)容置于容置通孔(212)内，所述托盘(22)的前端设有晶圆容置槽(221)；

以及多个压紧臂(23)，所述压紧臂(23)的一端枢接在立面(211)的背面并位于容置通孔(212)的一侧，所述压紧臂(23)的另一端将托盘(22)压紧固定在容置通孔(212)内。

2.如权利要求1所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述治具面板(21)的一端安装有一弹性拼接板(214)，与该治具面板(21)相邻的另一治具面板(21)的一端压靠在该弹性拼接板(214)上并且紧贴靠在该治具面板(21)的端面上。

3.如权利要求2所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述弹性拼接板(214)上设有第一挂孔(2141)，所述治具面板(21)上设有第一连接柱(215)，所述弹性拼接板(214)通过第一挂孔(2141)可拆卸的安装在第一连接柱(215)上。

4.如权利要求2所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述弹性拼接板(214)上设有定位孔(2142)，所述治具面板(21)上设有定位柱(216)，所述弹性拼接板(214)通过定位孔(2142)套接在定位柱(216)上。

5.如权利要求1所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述治具面板(21)的两端分别安装有两个弹性件(217)，所述弹性件(217)上设有倾斜的弹片(2171)，所述弹片(2171)与旋转机台(1)弹性接触。

6.如权利要求5所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述弹性件(217)上设有第二挂孔(2172)，所述治具面板(21)上设有第二连接柱(218)，所述弹性件(217)通过第二挂孔(2172)可拆卸的安装在第二连接柱(218)上。

7.如权利要求1所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述托盘(22)的背部设有凸柱(223)，所述凸柱(223)的端部设有限位沉槽(224)，所述压紧臂(23)朝向托盘(22)的一端弯曲成型有压紧部(231)，所述压紧臂(23)通过压紧部(231)压靠在凸柱(223)的限位沉槽(224)内。

8.如权利要求1所述的一种立面式环状晶圆镀膜治具，其特征在于：所述治具面板(21)的两端分别设有拿取孔(219)，所述治具面板(21)的背部对应拿取孔(219)的位置设有限位块(210)；所述镀膜治具还包括两拿取手柄(3)，所述拿取手柄(3)上设有插入杆(31)，所述插入杆(31)的端部设有弹性珠(32)，所述拿取手柄(3)通过插入杆(31)插入拿取孔(219)内，并通过弹性珠(32)与治具面板(21)活动卡接。

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