CN218691398U - 一种碳化硅晶体生长用筛分装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长用筛分装置，包括外壳、加热组件和筛分机构，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；所述加热组件设于所述容纳腔内；所述筛分机构包括布置在所述容纳腔内的筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分。本实用新型能够对碳化硅晶体生长使用后的净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。

Description

一种碳化硅晶体生长用筛分装置

技术领域

本实用新型涉及碳化硅晶体生长领域，尤其是涉及一种碳化硅晶体生长用筛分装置。

背景技术

物理气相传输法(PVT)作为制备导电型碳化硅晶体最常用的方法之一，主要是通过对坩埚进行加热，当其温度达到2100℃以上时，坩埚内的碳化硅粉末受热升华，向上移动，并在坩埚内温度梯度的作用下于坩埚盖的碳化硅籽晶上结晶、生长，从而成功地长出碳化硅晶体。考虑到晶体生长过程中，坩埚内部气氛不同，前期富硅，后期富碳，这两种状态易产生硅滴、碳包裹等杂质，导致晶体缺陷。为了减少上述情况的发生，通常会在坩埚内碳化硅粉料的上方设置净化材料，净化材料可抑制硅原子、碳原子的产生，以此来减少硅滴、碳包裹等杂质的产生，提升晶体生长的良率。

目前，为了降低使用成本，一般会将使用后的净化材料进行处理后再次投入使用。具体的，待生长结束取出碳化硅晶体后，可将石墨滤网上的净化材料倒出，经过初步的清洗烘干后，由人工靠肉眼识别挑出晶块，并将吸附在净化材料上的晶渣剥离，将合格的净化材料挑选出来以备后续使用，但大块的挑选，剥离相对简单，小的不好操作，费时费力，效率低。

发明内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型在于提出一种碳化硅晶体生长用筛分装置，可实现对碳化硅晶体生长使用后的净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低成本，提高效率。

根据本实用新型实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置，包括：

外壳，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；

加热组件，所述加热组件设于所述容纳腔内；

筛分机构，所述筛分机构包括筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构，所述筛分架布置在所述容纳腔内，并能够转动地安装在所述外壳上；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分；

其中，所述外壳的侧壁上设有进气口，所述外壳的顶端设有散热孔，所述外壳的底部设有排料口，所述输料管道的出料端与所述排料口连接；所述排料口处安装有阀门。

根据本实用新型实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置，针对晶渣与净化材料粘接之间留存有间隙的特点，通过提供密封的空间，在加热组件提供的高温条件下，晶渣与净化材料之间的间隙增大，物料间的相互摩擦使其从净化材料上分离。同时，还可实现对净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。

在本实用新型的一些实施例中，所述筛网组件为上开口的抽屉状结构，所述出料口开设在所述筛网组件的后侧壁上，所述筛网组件的后侧壁上设有用于封堵所述出料口的封板。

在本实用新型的一些实施例中，还包括称重机构，所述称重机构包括：

储料斗，所述储料斗布置在所述外壳的下方正对所述排料口的位置；

称重单元，所述称重单元包括：

壳体，所述壳体内设有中空腔，所述壳体具有与所述中空腔连通的上开口和下开口；

封口组件，所述封口组件设置在所述中空腔内，以使所述上开口和所述下开口连通或隔断；

压力传感器，所述压力传感器安装在所述封口组件内；

其中，所述壳体的上开口于所述储料斗的出料口连通。

在本实用新型的一些实施例中，所述封口组件包括第一挡板，所述第一挡板具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态，所述第一挡板位于所述上开口和所述下开口之间，以使所述上开口和所述下开口隔断；在所述第二工作状态，所述第一挡板远离所述上开口和所述下开口，以使所述上开口和所述下开口连通。

在本实用新型的一些实施例中，还包括设置在所述称重机构下方的分装机构，所述分装机构包括：

坩埚台，所述坩埚台内形成有第一腔体，所述坩埚台的上表面设有多个与所述第一腔体上端连通的第一吸孔，所述第一腔体的进气端贯穿所述坩埚台，并连接有第一抽气机构；

旋转机构，所述旋转机构设在所述坩埚台的下方，以带动所述坩埚台自转；

其中，所述坩埚台与所述储料斗偏心设置。

在本实用新型的一些实施例中，还包括布置在所述分装机构一侧的振动机构，所述振动机构包括：

振动台，所述振动台内形成有第二腔体，所述振动台的上表面设有多个与所述第二腔体上端连通的第二吸孔，所述第二腔体的进气端贯穿所述振动台，并连接有第二抽气机构；

振动电机，所述振动电机安装在所述振动台的底部。

在本实用新型的一些实施例中，所述振动机构还包括布置在所述振动台下方的复位弹簧，所述复位弹簧远离所述振动台的一端与振动台安装支架连接。

在本实用新型的一些实施例中，还包括设置在所述分装机构远离所述振动机构一侧的推杆机构，所述推杆机构包括电动伸缩杆和设在所述电动伸缩杆端部的推板。

在本实用新型的一些实施例中，所述动力机构包括：

双向伺服电机，所述双向伺服电机布置在所述外壳的外部；

主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述双向伺服电机的输出端；

从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述筛分架伸至所述外壳外部的端部，并与所述主动齿轮相啮合；

其中，所述从动齿轮周向上的齿纹夹角不超过60°。

在本实用新型的一些实施例中，所述加热组件包括多个电钨丝加热管，所述电钨丝加热管的两端与所述外壳的两侧内壁连接，所有所述电钨丝加热管均匀布置在所述筛分机构的上方和下方。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

图1是根据本实用新型一个实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置的示意图；

图2是图1中碳化硅晶体生长用筛分装置主视图的剖视图；

图3是图1中碳化硅晶体生长用筛分装置右视图的剖视图；

图4是图3中称重机构和分装机构的放大示意图；

图5是筛分组件后侧壁的示意图；

图6是称重单元称重时的示意图；

图7是图6的俯视图的剖视图；

图8是称重单元放料时的示意图；

图9是图8的俯视图的剖视图；

图10是动力机构中主动齿轮和从动齿轮的示意图。

附图标记：

筛分装置100；

外壳10；容纳腔11；密封门12；进气口13；散热孔14；排料口15；

加热组件20；

筛分机构30；筛分架31；安装腔311；筛网组件32；出料口321；封板322；第一电动伸缩杆323；输料管道33；动力机构34；双向伺服电机341；主动齿轮342；从动齿轮343；回收箱35；

称重机构40；储料斗41；称重单元42；壳体421；中空腔4211；上开口4212；下开口4213；封口组件422；第一挡板4221；摇杆423；螺纹杆424；滑块425；导向块426；导向杆427；

分装机构50；坩埚台51；旋转机构52；旋转电机521；主齿轮522；从齿轮523；第一支架524；

振动机构60；振动台61；振动电机62；振动台安装支架63；复位弹簧64；

推杆机构70；第二电动伸缩杆71；推板72；底座73；

坩埚200；

底架300。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。此外，本实用新型可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此外，本实用新型提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

下面参考图1-图10描述根据本实用新型实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置100，包括：外壳10、加热组件20和筛分机构30。

参照图1至图5所示，外壳10内形成有容纳腔11，外壳10的侧壁上安装有密封门12；例如，整个外壳10为一个中空的箱型结构，内部的中空结构用于安装其他部件，密封门12可以有两个，对称安装在外壳10的前、后两个侧壁上，打开时可进行内部部件的安装拆卸。加热组件20设于容纳腔11内，用于提高容纳腔11内的温度，实现对物料的烘干。筛分机构30包括筛分架31、筛网组件32、输料管道33和动力机构34，筛分架31布置在容纳腔11内，并能够转动地安装在外壳10上；筛分架31内形成有多个间隔布置的安装腔311，例如，整个筛分架31为框架型结构，筛分架31的左右两侧对称布置有安装轴，并通过安装轴能够转动地安装在外壳10上；筛网组件32插装在安装腔311内，筛网组件32上设有出料口321；输料管道33的进料端与筛网组件32的出料口321连接；动力机构34布置在外壳10的外部，动力机构34与筛分架31连接，以带动筛分架31往复摆动实现物料筛分；其中，外壳10的侧壁上设有进气口13，外壳10的顶端设有散热孔14，外壳10的底部设有排料口15，输料管道33的出料端与排料口15连接；排料口15处安装有阀门。其中，筛网组件32可以有多个，多个筛网组件32的目数不同，由上至下目数逐渐减小，以实现对不同大小的物料进行筛分。相应的，输料管道33的进料端的数量可与筛网组件32的数量一致，并一一对应连接。而所提及的物料(下同)主要是指参与碳化硅晶体生长的净化材料，碳化硅晶体生长完成后，其成分除了大小不同的净化材料本体之外，还有生长过程中产生的晶块或晶渣，以及净化材料与晶渣、晶块的粘接体等，其中，提及的晶块、晶渣或粘接体仅指大块被挑选过后的小的，净化材料主要指惰材。现有技术中，人们一般借助镊子等工具将晶渣从净化材料上剥离，进行筛分等操作，操作麻烦，筛分时间长，效率低。

可以理解的是，对于使用后净化材料中的大块晶块或大的晶块与净化材料的粘接体可先由人工直接挑选出去，本实用新型仅针对挑选剩余后的净化材料混合物进行处理，其包含大小不同的净化材料本体、小的粘接体、小的晶渣等。本实用新型使用时，可先打开密封门12，待将用过清洗后的物料倒在最上层的筛网组件32内后，关闭密封门12。然后，启动加热组件20工作，开始对容纳腔11的加热，实现对物料的烘干，同时，启动动力机构34，动力机构34带动筛分架31及其上方的筛网组件32同步晃动，随着温度的升高，晶渣与净化材料粘接处的缝隙会逐渐增大，再在物料间摩擦力作用下，粘接在净化材料上的晶碎、晶渣将从净化材料上分离，经筛网组件32落入下层，减少了净化材料上杂质的存在和污染。与此同时，还可实现对净化材料的筛分，以分选出不同目数的净化材料，碎小的晶渣将进入下层。而且，还可在进气口13处通入除静电离子风，除静电离子风可对各个筛网组件32上的物料进行吹扫，可避免加热晃动时物料之间摩擦产生静电，减少静电去物料的损伤，提升品质。筛分后的物料可根据需求，经输料管道33、排料口15排出所需目数的料。为了进一步提升筛分后物料排出的顺畅性，筛网组件32的底壁可为弧形面，出料口321设置在其后侧壁的最低点处。

有鉴于此，根据本实用新型实施例的碳化硅晶体生长用筛分装置，针对晶渣与净化材料粘接之间留存有间隙的特点，通过提供密封的空间，在加热组件20提供的高温条件下，晶渣与净化材料之间的间隙增大，物料间的相互摩擦使其从净化材料上分离。同时，还可实现对净化材料进行筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低了成本，提高了效率。当然，本实用新型也可用于纯净化材料的筛分，以挑出合格的净化材料以备后续使用，降低成本，提高效率。

在本实用新型的一些实施例中，参照图2、图3和图5所示，筛网组件32为上开口的抽屉状结构，出料口321开设在筛网组件32的后侧壁上，筛网组件32的后侧壁上设有用于封堵出料口的封板322。例如，筛网组件32的前侧壁上可设有把手，可方便握持，实现筛网组件32的抽拉。筛网组件32的后侧壁上可设有第一电动伸缩杆323，第一电动伸缩杆323的伸缩端与封板322连接，通过控制第一电动伸缩杆323的伸缩可实现对封板322所处位置的调整，以使其在封堵出料口321和露出出料口321的两个状态之间互换，进而实现对不同筛网组件32上筛分料的排出。如图3所示，筛网组件32可设有三个，对应的，输料管道33的进料端有三个，筛分架31上最下层筛网组件32的下方还可安装有回收箱35，可对筛分后细小的物料进行统一收集。

当然，上述筛分机构30也可直接用于使用后的净化材料的筛选，通过更换不同目数的筛网组件32，仅启动动力机构34，可将大块的晶块或粘接体筛选至最上层的筛网组件32内，然后手握把手将筛网组件32拉出，直接将筛分后的大块晶块或粘接体倒出。然后再对需要再次进行筛分的物料进行相应的筛分操作即可。

可以理解的是，当完成筛分操作后，可根据需要打开相应筛网组件32上出料口321处的封板322，以使料可经出料口321进入输料管道33，并经输料管道33到达排料口15处，打开阀门，即可实现对所需料的收集。

考虑到在后续操作中，需将筛分后的净化材料定量装入坩埚内，以再次将其用于碳化硅晶体生长中。为了提高工作效率，在本实用新型的一些实施例中，参照图1至图9所示，还可包括称重机构40，称重机构40包括储料斗41和按爪给你在储料斗41底部用于对储料斗内料进行称重的称重单元42。例如，储料斗41布置在外壳10的下方正对排料口15的位置；称重单元42包括壳体421、封口组件422和压力传感器(图中未画出)；壳体421内设有中空腔4211，壳体421具有与中空腔4211连通的上开口4212和下开口4213；封口组件422设置在中空腔4211内，以使上开口4212和下开口4213连通或隔断；压力传感器安装在封口组件422内；其中，壳体421的上开口4212与储料斗41的出料口连通。整个称重机构40可通过布置在外壳10下方的底架300安装排料口15的下方。

可以理解的是，需要对筛分好的净化材料进行定量称重时，可先打开相应筛分组件32上的封板322，以使出料口321与输料管道33的进料端连通。控制动力机构34工作，以使筛分架31处于倾斜状态，利于筛分组件32上的净化材料经出料口321进入输料管道33。接着，打开排料口15处的阀门，保证输料管道33内的净化材料落至储料斗41内。封口组件422上的压力传感器时刻检测其上方(即储料斗41内)净化材料的重量，当到达预设重量时，控制阀门关闭，以保证储料斗41内的净化材料满足碳化硅晶体生长时所需的量。待阀门关闭后，可控制封口组件422移动，以使上开口4212和下开口4213连通，方便储料斗41内的净化材料排入下方的坩埚200内。排放完后，封口组件422再移动使上开口4212和下开口4213阻断，实现下一次的称重。

在本实用新型的一些实施例中，封口组件422包括第一挡板4221，第一挡板4221可连接有摇杆423，并在摇杆423的带动下移动。第一挡板4221具有第一工作状态和第二工作状态，在第一工作状态，第一挡板4221位于上开口4212和下开口4213之间，以使上开口4212和下开口4213隔断；在第二工作状态，第一挡板4221远离上开口4212和下开口4213，以使上开口4212和下开口4213连通。

具体而言，第一挡板4221为圆形，设置与中空腔4211内；摇杆423可通过传动机构与第一挡板4221连接，适于带动第一挡板4221在中空腔4211内来回移动，露出或遮挡上开口4212、下开口4213，以使上开口4212和下开口4213连通或隔断。壳体421的上侧壁与储料斗41的出料口密封连接。通常状况下，第一挡板4221处于第一工作状态，第一挡板4221位于上开口4212和下开口4213之间，以使上开口4212和下开口4213隔断。此时，压力传感器可实时检测第一挡板4221上料的重量，以实现称重目的。

可以理解的是，当压力传感器检测到第一挡板4221上料的重量达到预设值时，可先控制排料口15的阀门关闭，阻止输料管道33内的料再落入储料斗41；再转动摇杆，在传动机构的作用下，将带动第一挡板4221在中空腔4211内向远离上开口4212、下开口4213的方向移动，以使第一挡板4221由第一工作状态向第二工作状态转变，直至其完全远离上开口4212、下开口4213，上开口4212、下开口4213连通，储料斗41的料可落至下方的坩埚200内。待下料结束后，再反向转动摇杆，将带动第一挡板4221向靠近上开口4212、下开口4213的方向移动，以使第一挡板4221恢复至第一工作状态，方便对储料斗41内的料进行再次称重。

可选地，传动机构可包括螺纹杆424和设置在螺纹杆424上的滑块425；螺纹杆214设在中空腔4211内，并与摇杆伸至中空腔4211内的端部连接，适于随着摇杆423的转动而转动；滑块425与第一挡板4221连接，适于随着螺纹杆424的转动带动第一挡板4221沿螺纹杆424的轴向移动。摇杆423转动时，螺纹杆424将随之转动，螺纹杆424上的滑块425将沿螺纹杆424的轴向移动，与滑块425相连的第一挡板4221将同步移动，实现对上开口4212、下开口4213的遮挡或露出。此种传动机构结构简单，效果佳。为了进一步保证第一挡板4221移动过程中的平稳性，还包括设置在壳体421内与传动机构相对布置的导向杆427和安装在导向杆427上的导向块426，导向块426与第一挡板4221连接，与传动机构相配合，提高了第一挡板4221移动的稳定性。

为了进一步提高工作效率，在本实用新型的一些实施例中，参照图1至图3、图5所示，还可在包括设置在称重机构40下方的分装机构50，分装机构50包括坩埚台51和旋转机构52，坩埚台51内形成有第一腔体，坩埚台51的上表面设有多个与第一腔体上端连通的第一吸孔，第一腔体的进气端贯穿坩埚台51，并连接有第一抽气机构；旋转机构52设在坩埚台51的下方，以带动坩埚台51自转；其中，坩埚台51与储料斗41偏心设置，即坩埚台51与储料斗41的出料口偏向设置，保证料可落入坩埚台51中心处的坩埚内的同时，避免其在某一个位置堆积，保证铺料的均匀性。为了保证转动过程中，坩埚200时刻被吸附在坩埚台51上，上述第一抽气机构可与所述坩埚台51固定连接，并与其一同转动。

可以理解的是，可将装好碳化硅粉体和石墨滤网的坩埚200放置在坩埚台51上，启动第一抽气机构，在第一腔体和第一吸孔的作用下，坩埚200将被吸附在坩埚台51上。分装时，随着封装组件422(即第一挡板4221)的移动，净化材料经下开口4213落至坩埚200内，旋转机构52开始工作，将带动坩埚200自转。由于坩埚台51与封口组件422偏心设置，故可使落入坩埚200内的净化材料均匀铺设，避免集中堆积在某一处。

可选的，参照图3和图5所示，所述旋转机构52可包括安装在底架300上的旋转电机521、安装在旋转电机521输出端的主齿轮522和安装在坩埚台51底部的从齿轮523。从齿轮523能够转动地安装在位于底架300上的第一支架524上。启动旋转电机521，在主齿轮522和从齿轮523的作用下，坩埚台51可实现自转，以满足上面转动的需求。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1至图3所示，还包括布置在分装机构50一侧的振动机构60，振动机构60包括振动台61和振动电机62；振动台61内形成有第二腔体，振动台61的上表面设有多个与第二腔体上端连通的第二吸孔，第二腔体的进气端贯穿振动台61，并连接有第二抽气机构；振动电机62安装在振动台61的底部。

可以理解的是，可将分装机构50上装好料的坩埚200放置在振动台61上，启动第二抽气机构63，将其吸附在振动台61上。然后，启动振动电机62，在振动电机62的作用下，坩埚200内的料将受力并铺均，以备下一道工序待用。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1至图3所示，振动机构60还包括布置在振动台61下方的复位弹簧64，复位弹簧64远离振动台61的一端与振动台安装支架63连接。例如，正常情况下，振动台61的上表面与坩埚台51的上表面处于同一水平面上，方便坩埚200位置的变动。为了避免振动台61振动幅度过大，所述振动台61和振动台安装支架63之间还设有导向杆，以提高振动过程的稳定性。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1至图3所示，还可包括设置在分装机构50远离振动机构60一侧的推杆机构70，推杆机构70包括第二电动伸缩杆71和设在第二电动伸缩杆71端部的推板72。例如，第二电动伸缩杆71通过底座73安装在底架300上，推板72正对坩埚200下部布置，当坩埚200内分装好净化材料后，可控制第二电动伸缩杆71工作，将其由坩埚台51上推至振动台61上，提高了工作效率。

在本实用新型的一些实施例中，参照图1、图2和图10所示，动力机构34包括双向伺服电机341、主动齿轮342和从动齿轮343，双向伺服电机341可通过安装支架布置在外壳10的外部；主动齿轮342安装在双向伺服电机341的输出端；从动齿轮343安装在筛分架31伸至外壳10外部的端部，并与主动齿轮324相啮合；其中，从动齿轮343周向上的齿纹夹角不超过60°。通常情况下，筛分架31处于水平状态时，主动齿轮342位于从动齿轮343上齿纹的中间。当从动齿轮343周向上的齿纹夹角为60°时，整个筛分架31左右摆动的幅度最大为60°，筛网组件32与水平面最大的夹角为30°，避免角度过大，物料飞溅出去。

有鉴于此，启动双向伺服电机341，主动齿轮342将随之转动，从动齿轮343转动，并带动筛分架31同步摆动，当从动齿轮343转至齿纹端部时，双向伺服电机反向转动，再带动从动齿轮343反向转动，最终，通过双向伺服电机341正反转交替，以实现筛分架31的往复摆动。

当然，上述动力机构34也可以是连杆机构，通过多个连杆的传动实现筛分架31的摆动，其具体结构不是本实用新型的保护重点，只要其能够带动筛分架31往复摆动即可，故对其具体结构不做详述。

在本实用新型的一些实施例中，参照图2和图3所示，加热组件20包括多个电钨丝加热管21，电钨丝加热管21的两端与外壳10的两侧内壁连接，所有电钨丝加热管20均匀布置在筛分机构30的上方和下方。

可以理解的是，当电钨丝加热管21工作时，其可向容纳腔11内释放热量，实现对其容纳腔11的加热，进而实现对筛分组件上的料进行烘干。同时，随着温度的逐渐升高，晶渣与净化材料间的间隙逐渐增大，并可从净化材料上分离，以实现对净化材料除杂的处理。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，包括：

外壳，所述外壳内形成有容纳腔，所述外壳的侧壁上安装有密封门；

加热组件，所述加热组件设于所述容纳腔内；

筛分机构，所述筛分机构包括筛分架、筛网组件、输料管道和动力机构，所述筛分架布置在所述容纳腔内，并能够转动地安装在所述外壳上；所述筛分架内形成有多个间隔布置的安装腔；所述筛网组件插装在所述安装腔内，所述筛网组件上设有出料口；所述输料管道的进料端与所述筛网组件的出料口连接；所述动力机构布置在所述外壳的外部，所述动力机构与所述筛分架连接，以带动所述筛分架往复摆动实现物料筛分；

其中，所述外壳的侧壁上设有进气口，所述外壳的顶端设有散热孔，所述外壳的底部设有排料口，所述输料管道的出料端与所述排料口连接；所述排料口处安装有阀门。

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述筛网组件为上开口的抽屉状结构，所述出料口开设在所述筛网组件的后侧壁上，所述筛网组件的后侧壁上设有用于封堵所述出料口的封板。

3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括称重机构，所述称重机构包括：

储料斗，所述储料斗布置在所述外壳的下方正对所述排料口的位置；

称重单元，所述称重单元包括：

壳体，所述壳体内设有中空腔，所述壳体具有与所述中空腔连通的上开口和下开口；

封口组件，所述封口组件设置在所述中空腔内，以使所述上开口和所述下开口连通或隔断；

压力传感器，所述压力传感器安装在所述封口组件内；

其中，所述壳体的上开口于所述储料斗的出料口连通。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述封口组件包括第一挡板，所述第一挡板具有第一工作状态和第二工作状态，在所述第一工作状态，所述第一挡板位于所述上开口和所述下开口之间，以使所述上开口和所述下开口隔断；在所述第二工作状态，所述第一挡板远离所述上开口和所述下开口，以使所述上开口和所述下开口连通。

5.根据权利要求3所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括设置在所述称重机构下方的分装机构，所述分装机构包括：

坩埚台，所述坩埚台内形成有第一腔体，所述坩埚台的上表面设有多个与所述第一腔体上端连通的第一吸孔，所述第一腔体的进气端贯穿所述坩埚台，并连接有第一抽气机构；

旋转机构，所述旋转机构设在所述坩埚台的下方，以带动所述坩埚台自转；

其中，所述坩埚台与所述储料斗偏心设置。

6.根据权利要求5所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括布置在所述分装机构一侧的振动机构，所述振动机构包括：

振动台，所述振动台内形成有第二腔体，所述振动台的上表面设有多个与所述第二腔体上端连通的第二吸孔，所述第二腔体的进气端贯穿所述振动台，并连接有第二抽气机构；

振动电机，所述振动电机安装在所述振动台的底部。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述振动机构还包括布置在所述振动台下方的复位弹簧，所述复位弹簧远离所述振动台的一端与振动台安装支架连接。

8.根据权利要求6所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，还包括设置在所述分装机构远离所述振动机构一侧的推杆机构，所述推杆机构包括电动伸缩杆和设在所述电动伸缩杆端部的推板。

9.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述动力机构包括：

双向伺服电机，所述双向伺服电机布置在所述外壳的外部；

主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述双向伺服电机的输出端；

从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述筛分架伸至所述外壳外部的端部，并与所述主动齿轮相啮合；

其中，所述从动齿轮周向上的齿纹夹角不超过60°。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的一种碳化硅晶体生长用筛分装置，其特征在于，所述加热组件包括多个电钨丝加热管，所述电钨丝加热管的两端与所述外壳的两侧内壁连接，所有所述电钨丝加热管均匀布置在所述筛分机构的上方和下方。

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