CN218658088U - 划片机显微成像系统的保护装置、用于划片机的显微镜及划片机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种划片机显微成像系统的保护装置、用于划片机的显微镜及划片机，设置在显微成像系统的透镜组的下端；具体包括具有多个吹气通道的吹气保护块，吹气通道的入气口用于注入气体，且吹气通道的出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气；吹气保护块上设有供透镜组下端嵌入且配合透镜组对加工物进行图像识别的腔室，多个吹气通道斜向下设置在腔室外围，用于控制所有出气口吹出的气体集中于加工物；本实用新型通过锥形引流通道，将显微镜镜头与划切箱相对隔离，吹气后，气体通过较小直径的锥形口后，气体流速增大，可确保划切箱内的水汽完全无法进入锥形引流通道内，同时清理切割区域的碎屑和冷却水。

Description

划片机显微成像系统的保护装置、用于划片机的显微镜及划 片机

技术领域

本实用新型属于半导体封装切割加工技术领域，具体涉及一种划片机显微成像系统的保护装置、用于划片机的显微镜及划片机。

背景技术

划片机是半导体后封装的关键设备，其作用是将器件分割成单个的电路单元或将大尺寸材料分离成小尺寸材料。切割过程中，为确保切割精度，通过需要向刀片不断喷切割冷却水来冷却刀片及清除刀片上粘带的切割对象碎屑，因此，在划切箱内残留大量的水雾及碎屑，这些水雾及碎屑会附着在显微镜镜头上，影响对切割情况的观察，因此需要增加对显微镜镜头去除水雾及碎屑的吹气机构。

目前常规的吹气机构仅包括外伸一根或多根吹气管，通过吹气管对准显微镜镜头进行吹气或者通过吹气口横向吹走水汽，但由于显微镜镜头长期暴露在划切箱中，吹气管吹出的气体仍会带着少量划切箱中的水汽吹向镜头以及由于吹气管数量及角度问题，不能完成360°无死角吹气，因此无法从根本上去除显微镜镜头上的水雾，大大影响器件切割。

实用新型内容

实用新型目的：为解决在划片机切割过程中显微镜镜头上的水雾及碎屑无法完全清除的问题，本实用新型提出了一种划片机显微成像系统的保护装置、用于划片机的显微镜及划片机，提高显微镜的吹气保护效率，提升划片机的整体性能。

技术方案：一种划片机显微成像系统的保护装置，设置在显微成像系统的透镜组的下端；包括具有多个吹气通道的吹气保护块，所述吹气通道的入气口用于注入气体，且所述吹气通道的出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气；所述吹气保护块上设有供透镜组下端嵌入且配合透镜组对加工物进行图像识别的腔室，多个所述吹气通道斜向下设置在所述腔室外围，用于控制所有出气口吹出的气体集中于加工物。

进一步的，在所述吹气保护块下端固定有引流通道，所述引流通道为上宽下窄结构，其入气口包裹住所有吹气通道的出气口，用于注入来自吹气通道的气体；其出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气。

进一步的，所述引流通道为中空的锥形结构。

本实用新型还公开了一种用于划片机的显微镜，包括安装在安装壳体上的主轴固定件和固定在所述主轴固定件上的显微成像系统，所述显微成像系统的下方安装有透镜组，在所述透镜组的下方安装有保护装置，所述保护装置为上述公开的一种划片机显微成像系统的保护装置。

本实用新型还公开了一种划片机，包括对加工物进行图像识别的显微镜，所述显微镜为上述公开的一种用于划片机的显微镜。

有益效果：本实用新型与现有技术相比，具有包括以下优点：

(1)本实用新型通过锥形引流通道，将显微镜镜头与划切箱相对隔离，吹气后，气体进入锥形引流通道所围成的空间，在该空间内仅有唯一出口供气体流出，且通过较小直径的锥形口后，气体流速增大，可确保划切箱内的水汽完全无法进入锥形引流通道内，同时清理切割区域的碎屑和冷却水；因此，本实用新型在完成显微镜保护的同时，实现工件吹气；

(2)本实用新型不采用直吹镜头的方式，有效避免因吹气引起的镜头晃动问题，提高了整机的精度及稳定性；

(3)本实用新型的结构相对于市面上的喷水杆结构，具有可靠性高、结构紧凑等优点；

(4)本实用新型整体性强，维护方便，后期更换配件时操作更加简单。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的吹气保护块结构示意图；

图3为本实用新型的锥形吹气盖结构示意图；

图4为本实用新型的气体流向示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例进一步阐述本实用新型。

实施例1：

参见图1，本实施例的一种划片机显微成像系统的保护装置，设置在显微成像系统的透镜组的下端；参见图2，该保护装置包括具有多个吹气通道的吹气保护块1，该吹气通道的入气口用于注入气体，出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气。吹气保护块1上设有供透镜组下端嵌入且配合透镜组对加工物进行图像识别的腔室11，多个吹气通道12斜向下设置在腔室11外围，用于控制所有出气口吹出的气体集中于加工物。

本实施例斜向吹入气体，而不是直吹显微镜镜头，能有效避免因吹气引起的显微镜镜头晃动问题，提高了整机的精度及稳定性。

实施例2：

参见图1，本实施例的一种划片机显微成像系统的保护装置，设置在显微成像系统的透镜组的下端；参见图2，该保护装置包括具有多个吹气通道的吹气保护块1，该吹气通道的入气口用于注入气体，出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气。吹气保护块1上设有供透镜组下端嵌入且配合透镜组对加工物进行图像识别的腔室11，多个吹气通道12斜向下设置在腔室11外围，用于控制所有出气口吹出的气体集中于加工物。

参见图3和图4，本实施例在吹气保护块1的下端固定有引流通道2，具体的，吹气保护块1的下端通过紧定螺丝与引流通道2固定；该引流通道2为上宽下窄结构，在本实施例中，引流通道2为中空的锥形结构，其入气口包裹住所有吹气通道的出气口，用于注入来自吹气通道的气体，出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气。

为了使气体顺利进入引流通道2，吹气保护块1的下端采用上窄下宽结构，其下端口直径小于引流通道2的上端口直径。本实施例通过在显微镜镜头下方形成上宽下窄的气流通道，当吹入的气体斜向下进入引流通道2的内部空间后，从引流通道2的下端快速喷出吹向工件，带走显微镜镜头上的水雾及碎屑和清理切割区域的碎屑和冷却水，上述过程可参见图4。

本实施例通过引流通道2，使气体从锥形口加速流出，也可以阻挡划切箱中的水汽从锥形口进入。本实施例的吹气保护装置相对于市面上的喷水杆结构，本实施例的结构更紧凑、牢固、可靠。

实施例3：

本实施例将实施例1或实施例2提及的保护装置应用于划片机显微镜上，具体结构为：包括安装在安装壳体上的主轴固定件以及固定在主轴固定件上的第一显微成像系统和第二显微成像系统，第一显微成像系统和第二显微成像系统的下方分别对应安装有第一透镜组和第二透镜组，在第一透镜组和第二透镜组的下方分别对应安装有实施例1或实施例2提及的保护装置，具体结构可参见图1。

实施例4：

本实施例公开了一种划片机，在该划片机上安装有对加工物进行图像识别的显微镜，该显微镜为实施例3提及的用于划片机的显微镜。

Claims (5)

1.一种划片机显微成像系统的保护装置，设置在显微成像系统的透镜组的下端；其特征在于：包括具有多个吹气通道的吹气保护块，所述吹气通道的入气口用于注入气体，且所述吹气通道的出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气；所述吹气保护块上设有供透镜组下端嵌入且配合透镜组对加工物进行图像识别的腔室，多个所述吹气通道斜向下设置在所述腔室外围，用于控制所有出气口吹出的气体集中于加工物。

2.根据权利要求1所述的一种划片机显微成像系统的保护装置，其特征在于：在所述吹气保护块下端固定有引流通道，所述引流通道为上宽下窄结构，其入气口包裹住所有吹气通道的出气口，用于注入来自吹气通道的气体；其出气口位于加工物的上方，用于向加工物进行吹气。

3.根据权利要求2所述的一种划片机显微成像系统的保护装置，其特征在于：所述引流通道为中空的锥形结构。

4.一种用于划片机的显微镜，其特征在于：包括安装在安装壳体上的主轴固定件和固定在所述主轴固定件上的显微成像系统，所述显微成像系统的下方安装有透镜组，在所述透镜组的下方安装有保护装置，所述保护装置为权利要求1至3任意一项所述的一种划片机显微成像系统的保护装置。

5.一种划片机，其特征在于：包括对加工物进行图像识别的显微镜，所述显微镜为权利要求4所述的一种用于划片机的显微镜。

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