CN218584062U - 检测装置和光刻机 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种检测装置和光刻机。检测装置包括承载平板以及电子检测组件，电子检测组件设于承载平板，且包括沿第一方向延伸设置的第一电子水平仪，以及沿第二方向延伸设置的第二电子水平仪，其中，所述第一方向与所述第二方向彼此相交。本申请的检测装置适用于检测光刻机的交换版机械手的倾斜程度，第一电子水平仪沿第一方向延伸可以检测交换版机械手在第一方向上的倾斜程度，第二电子水平仪沿第二方向延伸可以检测交换版机械手在第二方向上的倾斜程度，可以理解的是，检测装置在检测承载平板所在平面的倾斜程度的同时，利用电子水平仪的便捷性以及精准性，提高了检测结果的精准性。

Description

检测装置和光刻机

技术领域

本申请涉及光刻机的维护保养领域，特别是涉及一种检测装置和光刻机。

背景技术

光刻机包括光刻机本体、掩模版、以及用于运输掩模版且设于光刻机本体的交换版机械手，在对光刻机进行维护保养的过程中，通常需要将光刻机的交换版机械手拆卸下来，维护检测之后再安装回光刻机本体，或者更换新的交换版机械手，之后需要对安装完成的交换版机械手进行水平检测，以保证其水平安装在光刻机本体上。

相关技术中，对于交换版机械手的水平检测，通常需要人工利用机械水平仪在机台上找参考点校零测量，而机械水平仪依靠人工目测只能看出大致倾斜程度，容易导致测量结果误差较大。

实用新型内容

基于此，有必要针对相关技术中对光刻机的交换版机械手水平校准时测量结果误差较大的问题，提供一种检测装置和光刻机。

根据本申请的第一方面，提供了一种检测装置，检测装置包括：

承载平板；以及

电子检测组件，设于承载平板，且包括沿第一方向延伸设置的第一电子水平仪，以及沿第二方向延伸设置的第二电子水平仪；

其中，第一方向与第二方向彼此相交。

本申请的检测装置适用于检测光刻机的交换版机械手的倾斜程度，设置有分别沿第一方向延伸设置的第一电子水平仪，以及沿第二方向延伸设置的第二电子水平仪，检测这两个方向上的倾斜程度可以确定承载平板所在平面的倾斜程度，可以理解的是检测装置在检测承载平板所在平面的倾斜程度的同时，将水平仪设置为电子水平仪更是利用电子水平仪的便捷性以及精准性，大大降低了检测过程的复杂程度，从而直接以及间接地提高了检测结果的精确度。

在其中一个实施例中，第一方向与第二方向彼此垂直。

在其中一个实施例中，第一电子水平仪包括水平仪本体和显示屏，水平仪本体设于承载平板，显示屏设于水平仪本体背离承载平板的一侧，且与水平仪本体电性连接。

在其中一个实施例中，第一电子水平仪还包括启动开关，启动开关设于水平仪本体背离承载平板的一侧，且与显示屏间隔设置；

启动开关与水平仪本体电性连接。

在其中一个实施例中，第一电子水平仪还包括校零按钮，校零按钮设于水平仪本体，且校零按钮分别与显示屏和水平仪本体电连接。

在其中一个实施例中，第二电子水平仪与第一电子水平仪构造相同。

在其中一个实施例中，检测装置还包括配重组件，配重组件包括设于承载平板的第一配重块；

定义平行于第一方向的平面且通过承载平板的中心的平面为第一平面；

第一配重块的重量与第一电子水平仪的重量相同，且第一配重块与第一平面之间在第二方向上的间距等于第一电子水平仪与第一平面之间在第二方向上的间距。

在其中一个实施例中，配重组件包括设于承载平板的第二配重块；

定义平行于第二方向的平面且通过承载平板的中心的平面为第二平面；

第二配重块的重量与第二电子水平仪的重量相同，第二配重块与第二平面之间在第一方向上的间距等于第二电子水平仪与第二平面之间在第一方向上的间距。

在其中一个实施例中，第一配重块的外轮廓与第一电子水平仪的外轮廓相同，第二配重块的外轮廓与第二电子水平仪的外轮廓相同。

根据本申请的另一个方面，提供了一种光刻机，包括上述的检测装置。

附图说明

图1为本申请一种检测装置的俯视图；

图2为本申请一种检测装置的结构示意图。

附图标记说明：

检测装置100；

第一电子水平仪1；校零按钮11；显示屏12；启动开关13；水平仪本体14；

第一配重块21；第二配重块22；承载平板3；

第二电子水平仪4；

第一平面A；第二平面B；

第一方向F₁；第二方向F₂。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

在针对光刻机的交换版机械手部分进行拆卸检修时，通常需要对重新安装好的交换版机械手进行水平检测，再根据检测将交换版机械手调整至水平，相关技术中，通常是人工使用机械水平仪对其进行检测以及调整至水平，检测步骤大致是在机台上多次寻找参考点，再进行校零测量，一方面，机械水平仪本身测量误差较大，另一方面，机械水平仪的使用过程较为复杂，每次人工寻找的参考点不同，或不同人对机械水平仪目测的差异，都将使检测结果出现误差，从而影响到将交换版机械手调整至水平。

图1为本申请提供的检测装置100的俯视图，图2为本申请提供的检测装置100的结构示意图。

参阅图1和图2，本申请针对机械水平仪对交换版机械手水平校准时测量结果误差较大的问题提供一种检测装置100，检测装置100包括承载平板3以及电子检测组件，电子检测组件设于承载平板3，且包括沿第一方向F₁延伸设置的第一电子水平仪1，以及沿第二方向F₂延伸设置的第二电子水平仪4，其中，第一方向F₁与第二方向F₂彼此相交。

可以理解的是，将电子检测组件设于承载平板3上，再利用承载平板3对交换版机械手进行检测，可以避免人工在机台上寻找具体参考点，具体地，将承载平板3放置在交换版机械手上，保持承载平板3的底面与交换版机械手对应位置相互接触，使承载平板3所在平面和交换版机械手所在平面相互平行，其中，第一电子水平仪1沿第一方向F₁延伸可以检测交换版机械手在第一方向F₁上的倾斜程度，第二电子水平仪4沿第二方向F₂延伸可以检测交换版机械手在第二方向F₂上的倾斜程度，将水平仪设置为电子水平仪更是利用电子水平仪的便捷性以及精准性，大大降低了检测过程的复杂程度，从而直接以及间接地提高了检测结果的精确度。

在本实施例中，第一方向F₁与第二方向F₂彼此垂直，与第一方向F₁和第二方向F₂相对应设置有第一电子水平仪1和第二电子水平仪4的情况下，从这两个方向上即可检测到承载平板3所在平面是否水平，或者说不水平时的倾斜程度。

参阅图1和图2，第一电子水平仪1包括水平仪本体14和显示屏12，水平仪本体14设于承载平板3，显示屏12设于水平仪本体14背离承载平板3的一侧，且与水平仪本体14电性连接。显示屏12用于显示水平仪本体14检测到的倾斜程度的数值，也就是说显示屏12将检测装置100检测的交换版机械手的倾斜程度以数值的方式展示出来，结合显示屏12设于水平仪本体14背离承载平板3的一侧，能够较为方便地读取水平仪本体14检测到的倾斜程度的数值，提高了检测结果的精准性和便利性。

第一电子水平仪1还包括启动开关13，启动开关13设于水平仪本体14背离承载平板3的一侧，且与显示屏12间隔设置，启动开关13与水平仪本体14电性连接。开启启动开关13，整个电子水平仪开始工作，水平仪本体14检测交换版机械手的倾斜程度，并传递给显示屏12以数值形式显示出来。

第一电子水平仪1还包括校零按钮11，校零按钮11设于水平仪本体14，且校零按钮11分别与显示屏12和水平仪本体14电连接。在测出一次倾斜程度的数值之后，记录数值，按动校零按钮11使显示屏12上的倾斜程度的数值归零，便于多次重复测量数值。

在本实施例中，第二电子水平仪4与第一电子水平仪1构造相同，第二电子水平仪4可以包括水平仪本体14、位于水平仪本体14上且彼此间隔设置的显示屏12、校零按钮11和启动开关13，具体使用方式也和第一电子水平仪1相同，可以通过水平仪本体14检测交换版机械手的倾斜程度，并以数值形式显示在显示屏12上，并利用校零按钮11可多次检测交换版机械手的倾斜程度。

参阅图1和图2，检测装置100还包括配重组件，配重组件包括设于承载平板3的第一配重块21，定义平行于第一方向F₁的平面且通过所述承载平板3的中心的平面为第一平面A，第一配重块21的重量与第一电子水平仪1的重量相同，且第一配重块21与第一平面A之间在第二方向F₂上的间距等于第一电子水平仪1与第一平面A之间在第二方向F₂上的间距。可以理解的是，第一配重块21和第一电子水平仪1重量相同且沿第二方向F₂相对设置，以能够保持检测装置100沿第二方向F₂上的平衡。

配重组件包括设于承载平板3的第二配重块22，定义平行于第二方向F₂的平面且通过承载平板3的中心的平面为第二平面B，第二配重块22的重量与第二电子水平仪4的重量相同，且第二配重块22与第二平面B之间在第一方向F₁上的间距等于第二电子水平仪4与第二平面B之间在第一方向F₁上的间距。可以理解的是，第二配重块22和第二电子水平仪4重量相同且沿第一方向F₁相对设置，以能够保持检测装置100沿第一方向F₁上的平衡。通过将第一配重块21和第二配重块22分别与第一电子水平仪1和第二电子水平仪4相对应地设于承载平板3上，承载平板3所在平面上各处平衡，避免因为检测装置100的重量分布不均造成检测装置100自身倾斜，从而影响检测结果。

在本实施例中，第一配重块21的外轮廓与第一电子水平仪1的外轮廓相同，第二配重块22的外轮廓与第二电子水平仪4的外轮廓相同。可以理解的是，将配重块与对应的电子水平仪的外轮廓设置为相同形式，其与承载平板3之间的接触面相同，受力面大小也相同，只需设置配重块与对应的电子水平仪重量相同即可达到平衡承载平板3的作用，若是配重块与对应的电子水平仪的外轮廓不同，则还需考虑受力面大小等因素来设置相应的重量，较为复杂。

在一些实施例中，承载平板3可以为玻片，此时玻片大小可以根据不同的交换版机械手的大小进行设置，还可以模拟掩模版大小，在检测时将承载平板3对应放置在交换版机械手的相应位置，即可对交换版机械手进行水平检测。

本申请利用检测装置100调整交换版机械手至水平的具体调整方式：在拆卸原有的交换版机械手之前，将承载平板3放置在交换版机械手上，使承载平板3的底面与交换版机械手对应接触，打开启动开关13，开始检测，待显示屏12上出现数值之后，记录数值，记录完毕按校零按钮11使显示屏12数值归零，多次测量并记录数值，取多次数值的最大值。在拆卸检修完成之后，安装上交换版机械手，将将承载平板3放置在交换版机械手上，使承载平板3的底面与交换版机械手对应接触，打开启动开关13，开始检测，根据检测数值调整交换版机械手的水平，使显示器显示的检测数值小于原有交换版机械手所检测到的数值中的最大数值。即调整完毕。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：

承载平板；以及

电子检测组件，设于所述承载平板，且包括沿第一方向延伸设置的第一电子水平仪，以及沿第二方向延伸设置的第二电子水平仪；

其中，所述第一方向与所述第二方向彼此相交。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向彼此垂直。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一电子水平仪包括水平仪本体和显示屏，所述水平仪本体设于所述承载平板，所述显示屏设于所述水平仪本体背离所述承载平板的一侧，且与所述水平仪本体电性连接。

4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第一电子水平仪还包括启动开关，所述启动开关设于所述水平仪本体背离所述承载平板的一侧，且与所述显示屏间隔设置；

所述启动开关与所述水平仪本体电性连接。

5.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述第一电子水平仪还包括校零按钮，所述校零按钮设于所述水平仪本体，且所述校零按钮分别与所述显示屏和所述水平仪本体电连接。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第二电子水平仪与所述第一电子水平仪构造相同。

7.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述检测装置还包括配重组件，所述配重组件包括设于所述承载平板的第一配重块；

定义平行于第一方向的平面且通过所述承载平板的中心的平面为第一平面；

所述第一配重块的重量与所述第一电子水平仪的重量相同，且所述第一配重块与所述第一平面之间在所述第二方向上的间距等于所述第一电子水平仪与所述第一平面之间在所述第二方向上的间距。

8.根据权利要求7所述的检测装置，其特征在于，所述配重组件包括设于所述承载平板的第二配重块；

定义平行于第二方向的平面且通过所述承载平板的中心的平面为第二平面；

所述第二配重块的重量与所述第二电子水平仪的重量相同，且所述第二配重块与所述第二平面之间在所述第一方向上的间距等于所述第二电子水平仪与所述第二平面之间在所述第一方向上的间距。

9.根据权利要求8所述的检测装置，其特征在于，所述第一配重块的外轮廓与所述第一电子水平仪的外轮廓相同，所述第二配重块的外轮廓与所述第二电子水平仪的外轮廓相同。

10.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的检测装置。

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