CN218548377U - 一种用于半导体检测设备的辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于半导体检测设备的辅助装置，包括底架、支撑面板、输送架、放置架和移取架，支撑面板设置于底架上，输送架设置于支撑面板上，放置架设置于输送架的一侧，移取架设置于放置架和输送架之间。输送架包括对称设置的输送板，输送板上设置于第一驱动电机和驱动带，驱动带通过第一驱动电机驱动，输送板上设置于若干安装滑槽，安装滑槽内设置有用于调节驱动带张力的张紧轮，驱动带上方设置放置有驱动板。通过设置输送架、放置架、移取架和拦截组件实现了产品的自动上下料，通过拦截组件的设置保证了精度，整体设备效率高，解决了现有的整体检测设备及其他设备上下料过程中成本较高，人工上下料效率低、精度不高的问题。

Description

一种用于半导体检测设备的辅助装置

技术领域

本实用新型涉及半导体上下料设备领域，具体为一种用于半导体检测设备的辅助装置。

背景技术

半导体检测通常包括表面缺陷检测和性能检测，其检测设备目前较为成熟，但是其大部分都属于半自动检测，即采用人工放料的方式进行检测，效率较低，半导体在检测时通常放置在专用治具上，因此在检测前的一道工序就是将半导体摆入治具，采用人工摆放，其摆放精度难以保证，导致其摆放效率较低，也有部分厂家对检测设备进行了改进增设了上料结构，但是其使用成本较高，同时也有部分厂家专门针对检测设备设计上料结构，不过其效率和精度也难以保证。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体检测设备的辅助装置，以解决现有的整体检测设备及其他设备上下料过程中成本较高，人工上下料效率低、精度不高的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体检测设备的辅助装置，包括底架、支撑面板、输送架、放置架和移取架，所述支撑面板设置于底架上，所述输送架设置于支撑面板上，所述放置架设置于输送架的一侧，所述移取架设置于放置架和输送架之间。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述输送架包括对称设置的输送板，所述输送板上设置于第一驱动电机和驱动带，所述驱动带通过第一驱动电机驱动，所述输送板上设置于若干安装滑槽，所述安装滑槽内设置有用于调节驱动带张力的张紧轮，所述驱动带上方设置放置有驱动板。

所述放置架包括推料机构和驱动机构，所述驱动机构包括第二驱动电机、与第二驱动电机相连的驱动螺杆和与驱动螺杆配合的螺套，所述推料机构包括与螺套相连的连接板、设置于连接板上的导杆和设置于导杆上的放料板，所述放料板外围设置有挡板。

所述移取架包括X向气动滑轨，Y向气动滑轨和吸嘴，所述Y向气动滑轨设置于X向气动滑轨移动端上，所述吸嘴设置于Y向气动滑轨移动端上。

所述输送架上设置有拦截组件，所述拦截组件包括拦截架、设置于拦截架上的第一拦料气缸、设置于支撑面板上的抬升气缸和第二拦料气缸。

所述拦截架下方设置有缓冲器。缓冲器可以减少顶升时造成的破坏。

所述底架上设置于若干容线槽。容线槽用于放置电线、气管等，保持设备整齐、整洁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的用于半导体检测设备的辅助装置，通过设置输送架、放置架、移取架和拦截组件实现了产品的自动上下料，通过拦截组件的设置保证了精度，整体设备效率高，解决了现有的整体检测设备及其他设备上下料过程中成本较高，人工上下料效率低、精度不高的问题。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图之一；

图2为本实用新型整体结构示意图之二；

图3为本实用新型输送架结构示意图之一；

图4为本实用新型输送架结构示意图之二；

图5为本实用新型放置架结构示意图之一；

图6为本实用新型放置架结构示意图之二；

图7为本实用新型拦截组件结构示意图之一；

图8为本实用新型拦截组件结构示意图之二。

附图标记：1、底架；2、支撑面板；3、输送架；31、输送板；32、第一驱动电机；33、驱动带；34、安装滑槽；35、张紧轮；36、驱动板；4、放置架；41、第二驱动电机；42、驱动螺杆；43、螺套；44、连接板；45、导杆；46、放料板；47、挡板；5、移取架；51、X向气动滑轨；52、Y向气动滑轨；53、吸嘴；11、容线槽；6、拦截组件；61、拦截架；62、第一拦料气缸；63、抬升气缸；64、第二拦料气缸；65、缓冲器。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示，本实施例的用于半导体检测设备的辅助装置，包括底架1、支撑面板2、输送架3、放置架4和移取架5，支撑面板2设置于底架1上，输送架3设置于支撑面板2上，放置架4设置于输送架3的一侧，移取架5设置于放置架4和输送架3之间。

如图2至4所示，输送架3包括对称设置的输送板31，输送板31上设置于第一驱动电机32和驱动带33，驱动带33通过第一驱动电机32驱动，输送板31上设置于若干安装滑槽34，安装滑槽34内设置有用于调节驱动带33张力的张紧轮35，驱动带33上方设置放置有驱动板36。

如图5和6所示，放置架4包括推料机构和驱动机构，驱动机构包括第二驱动电机41、与第二驱动电机41相连的驱动螺杆42和与驱动螺杆42配合的螺套43，推料机构包括与螺套43相连的连接板44、设置于连接板44上的导杆45和设置于导杆45上的放料板46，放料板46外围设置有挡板47。移取架5包括X向气动滑轨51，Y向气动滑轨52和吸嘴53，Y向气动滑轨52设置于X向气动滑轨51移动端上，吸嘴53设置于Y向气动滑轨52移动端上。

如图7和8所示，输送架3上设置有拦截组件6，拦截组件6包括拦截架61、设置于拦截架61上的第一拦料气缸62、设置于支撑面板2上的抬升气缸63和第二拦料气缸64。

拦截架61下方设置有缓冲器65。选用米思米缓冲器，型号为MAKC0805A。

底架1上设置于若干容线槽11。

本实用新型工作原理：

使用时，首先将待检测的半导体放置在放料板46上，电机转动圈数与上升距离是具备一定关系的，调节程序使得电机转动合适的圈数，使得放料板46上升至合适位置，该调节方案采用市场较成熟技术即可，这部分用于半导体的放料主要包括推料机构和驱动机构。

接着是输送架3的工作流程，通过第一驱动电机32带动驱动带33运动，使得放置在驱动带33上的驱动板36运动，可通过调整张紧轮35在安装滑槽34内的位置，调整驱动带33的张力，张紧轮35在安装滑槽34内的固定方式可采用常规的螺纹固定进行实现。

为了保证上下料过程不发生干扰，设置有拦截组件6，拦截组件6通过抬升气缸63将驱动板36顶起，并设置有第二拦料气缸64用于拦截下一驱动板，第一拦料气缸62用于拦截驱动板，先拦截后顶起，为了防止顶起过程中对驱动板造成破坏，设置缓冲器65，进行缓冲。

拦截驱动板后，通过移取架5对半导体进行放置，通过X向气动滑轨51带动半导体左右运动，Y向气动滑轨52带动半导体上下运动，吸嘴53对半导体进行吸附，此三者的驱动方式为本领域的唱歌方式，其连接结构也为常规连接，因此此处未详尽其运动原理。

放置半导体或者吸取半导体完毕，拦截组件6回原始工作位，驱动板36回到驱动带33继续运行。

为了保证运动实施，本实用新型还包括若干传感器的设置，传感器位置布置以及使用为本领域技术人员的常规选择，此处未详尽。

本实用新型的优势在于，其可用于半导体检测过程中的上料和下料工序，因此可通过设置两台设备实现检测过程的上料和下料，当然也不是仅限于半导体，也可为其他片状产品，也可不仅用于检测，其他步骤中的上下料工序也可，本处主要描述与半导体检测，因为当前半导体发展设备受到一定限制，导致其使用成本较高，因此提供一种多用性辅助装置，使得上下料效率高，成本降低，精度提高。

以上所述的仅是本实用新型的实施例，方案中公知的具体结构及特性等常识在此未作过多描述。对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节。无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种用于半导体检测设备的辅助装置，包括底架(1)、支撑面板(2)、输送架(3)、放置架(4)和移取架(5)，其特征在于：所述支撑面板(2)设置于底架(1)上，所述输送架(3)设置于支撑面板(2)上，所述放置架(4)设置于输送架(3)的一侧，所述移取架(5)设置于放置架(4)和输送架(3)之间。

2.根据权利要求1所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述输送架(3)包括对称设置的输送板(31)，所述输送板(31)上设置于第一驱动电机(32)和驱动带(33)，所述驱动带(33)通过第一驱动电机(32)驱动，所述输送板(31)上设置于若干安装滑槽(34)，所述安装滑槽(34)内设置有用于调节驱动带(33)张力的张紧轮(35)，所述驱动带(33)上方设置放置有驱动板(36)。

3.根据权利要求2所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述放置架(4)包括推料机构和驱动机构，所述驱动机构包括第二驱动电机(41)、与第二驱动电机(41)相连的驱动螺杆(42)和与驱动螺杆(42)配合的螺套(43)，所述推料机构包括与螺套(43)相连的连接板(44)、设置于连接板(44)上的导杆(45)和设置于导杆(45)上的放料板(46)，所述放料板(46)外围设置有挡板(47)。

4.根据权利要求3所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述移取架(5)包括X向气动滑轨(51)，Y向气动滑轨(52)和吸嘴(53)，所述Y向气动滑轨(52)设置于X向气动滑轨(51)移动端上，所述吸嘴(53)设置于Y向气动滑轨(52)移动端上。

5.根据权利要求1-4中任一所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述输送架(3)上设置有拦截组件(6)，所述拦截组件(6)包括拦截架(61)、设置于拦截架(61)上的第一拦料气缸(62)、设置于支撑面板(2)上的抬升气缸(63)和第二拦料气缸(64)。

6.根据权利要求5所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述拦截架(61)下方设置有缓冲器(65)。

7.根据权利要求6所述的用于半导体检测设备的辅助装置，其特征在于：所述底架(1)上设置于若干容线槽(11)。

Images