CN218545751U - 一种可调整观测角度的光学探头固定装置 - Google Patents

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张自强
郑圣弘
施文俊
聂庆庆
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Bokangxing Shenzhen Technology Co ltd
Shenzhen Rongke Semiconductor Equipment Co ltd
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Bokangxing Shenzhen Technology Co ltd
Shenzhen Rongke Semiconductor Equipment Co ltd
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Abstract

本实用新型涉及光学测量技术领域,特别涉及一种可调整观测角度的光学探头固定装置,包括底座,阻尼转轴及探头支撑杆,所述阻尼转轴的上部与所述探头支撑杆固定连接,所述阻尼转轴的下部与所述底座固定;所述探头支撑杆包括杆体,所述杆体的下部开设有第一螺孔,固定螺丝穿过所述第一螺孔与所述阻尼转轴上部固定连接,所述杆体的上部螺纹连接有锁定螺母。与现有技术相比,本实用新型提供的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,结构简单,通过锁定螺母与探头本体可拆卸连接,通过转动阻尼转轴即可快速调整探头的监测角度以满足实际需求,操作方便、安装牢固,实用性强。

Description

一种可调整观测角度的光学探头固定装置
技术领域
本实用新型涉及光学测量技术领域,特别涉及一种可调整观测角度的光学探头固定装置。
背景技术
随着光电技术、机械技术的迅猛发展,其交叉技术衍生出光学测量这种高精科技,结合计算机、光发射光谱学等技术,已经广泛应用于半导体制造领域,而光学测量前端设备准直器光学探头是不可或缺的重要组成部分。光学探头接收光信号作为系统的第一个环节,将其平稳固定,以及可根据实际需求调整监测角度尤为重要。传统的探头安装时,平板型底座及丝杆型支撑容易出现不牢固及晃动现象;同时,定位安装好后探头的位置也随之固定,对于平行的多观测点需求不能快速调整观测角度,这些都会影响测量的准确性和工作效率。
实用新型内容
为解决以上技术问题,本实用新型提供一种可调整观测角度的光学探头固定装置。
本实用新型采用的技术方案如下:一种可调整观测角度的光学探头固定装置,关键在于:包括底座,阻尼转轴及探头支撑杆,所述阻尼转轴的上部与所述探头支撑杆固定连接,所述阻尼转轴的下部与所述底座固定;所述探头支撑杆包括杆体,所述杆体的下部开设有第一螺孔,固定螺丝穿过所述第一螺孔与所述阻尼转轴上部固定连接,所述杆体的中部固套有螺母,所述杆体的上部设有外螺纹。
优选的,所述阻尼转轴为一字型阻尼转轴。
优选的,还包括底座固定杆,所述底座固定杆的下端与所述底座中心固定连接,所述底座固定杆的上部开设有第二螺孔,固定螺丝穿过所述第二螺孔与所述阻尼转轴下部固定连接,
优选的,所述第一螺孔和所述第二螺孔均为两个,两个所述第一螺孔沿着所述杆体的长度方向排布,两个所述第二螺孔沿着所述底座固定杆的长度方向排布。
优选的,所述底座为十字座。
优选的,所述底座、阻尼转轴、底座固定杆及探头支撑杆均采用不锈钢材质。
有益效果:与现有技术相比,本实用新型提供的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,结构简单,通过锁定螺母与探头本体可拆卸连接,通过转动阻尼转轴即可快速调整探头的监测角度以满足实际需求,操作方便、安装牢固,实用性强。
附图说明
图1为本实用新型的分解结构示意图;
图2为本实用新型的组装后结构示意图。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案,下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。
如图1-2所示,一种可调整观测角度的光学探头固定装置,包括底座1,阻尼转轴3及探头支撑杆4,所述阻尼转轴3的上部与所述探头支撑杆4固定连接,所述阻尼转轴3的下部与所述底座1固定;所述探头支撑杆4包括杆体41,所述杆体41的下部开设有第一螺孔42,固定螺丝5穿过所述第一螺孔42与所述阻尼转轴3上部固定连接,所述杆体41的中部固套有螺母43,所述杆体41的上部设有外螺纹44。杆体上部与探头本体6中的安装孔进行螺纹连接,通过工具旋转固定螺母43便于转动固定,也便于拆卸,采用阻尼转轴来调整探头的观测角度,提高测量的准确性和工作效率。
本实施例中,所述阻尼转轴3为一字型阻尼转轴。一字型阻尼转轴的中部为转动部,一字型阻尼转轴的两端分别开设有与第一螺孔42、第二螺孔21对应的第三螺孔31,第三螺孔31与第一螺孔42、第二螺孔21通过固定螺丝5固定连接,可以使探头在水平面的360°任意角度的旋转和固定,实现平行的多观测点的观测。
本实施例中,还包括底座固定杆2,所述底座固定杆2的下端与所述底座1中心固定连接,所述底座固定杆2的上部开设有第二螺孔21,固定螺丝5穿过所述第二螺孔21与所述阻尼转轴3下部固定连接。采用固定螺丝连接阻尼转轴更加牢固,并可以通过调整固定杆与阻尼转轴在竖直方向上的相对高度,以使探头达到合适的实际监控高度。
本实施例中,所述第一螺孔42和所述第二螺孔21均为两个,两个所述第一螺孔42沿着所述杆体41的长度方向排布,两个所述第二螺孔21沿着所述底座固定杆2的长度方向排布。提高在竖直方向上的连接稳定性。
本实施例中,所述底座1为十字座。采用该结构,使整体更加平稳。
本实施例中,所述底座1、阻尼转轴3、底座固定杆2及探头支撑杆4均采用不锈钢材质。更有选的方案中,选用SUS304钢材,具有更好的耐腐蚀性能,适用于各种潮湿、微腐蚀性工作环境。
安装过程:安装时,先将杆体41上部伸入探头本体6的安装孔中进行螺纹连接,通过工具转动固定螺母43,使杆体41与探头本体6安装固定,然后依次将探头支撑杆4、阻尼转轴3、底座固定杆2及底座1依次用固定螺丝5固定,整个固定支架即安装成功。
最后需要说明,上述描述仅为本实用新型的优选实施例,本领域的技术人员在本实用新型的启示下,在不违背本实用新型宗旨及权利要求的前提下,可以做出多种类似的表示,这样的变换均落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:包括底座(1),阻尼转轴(3)及探头支撑杆(4),所述阻尼转轴(3)的上部与所述探头支撑杆(4)固定连接,所述阻尼转轴(3)的下部与所述底座(1)固定;
所述探头支撑杆(4)包括杆体(41),所述杆体(41)的下部开设有第一螺孔(42),固定螺丝(5)穿过所述第一螺孔(42)与所述阻尼转轴(3)上部固定连接,所述杆体(41)的上部螺纹连接有锁定螺母(43)。
2.根据权利要求1所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:所述阻尼转轴(3)为一字型阻尼转轴。
3.根据权利要求1所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:还包括底座固定杆(2),所述底座固定杆(2)的下端与所述底座(1)中心固定连接,所述底座固定杆(2)的上部开设有第二螺孔(21),固定螺丝(5)穿过所述第二螺孔(21)与所述阻尼转轴(3)下部固定连接。
4.根据权利要3所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:所述第一螺孔(42)和所述第二螺孔(21)均为两个,两个所述第一螺孔(42)沿着所述杆体(41)的长度方向排布,两个所述第二螺孔(21)沿着所述底座固定杆(2)的长度方向排布。
5.根据权利要求1所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:所述底座(1)为十字座。
6.根据权利要求4所述的一种可调整观测角度的光学探头固定装置,其特征在于:所述底座(1)、阻尼转轴(3)、底座固定杆(2)及探头支撑杆(4)均采用不锈钢材质。
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