CN218539812U - 一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，包括支架，所述支架的顶部固定连接有下夹座，所述下夹座的四周均固定连接有固定筒，所述固定筒的内侧开设有竖槽，所述固定筒的内侧设置有与下夹座配合使用的上夹座，所述固定筒内设置有与下夹座和上夹座配合使用的夹持机构，所述下夹座的底部设置有吸附机构。通过设置夹持机构，对上夹座进行下移操作，实现上夹座和下夹座的夹持固定效果，对激光器芯片达到一级夹持固定效果，通过设置吸附机构，对一级夹持固定后的激光器芯片实现二级吸附固定效果，增强激光器芯片镀膜过程中稳定性，以防激光器芯片镀膜时发生偏移，降低激光器芯片的成型质量。

Description

一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具

技术领域

本实用新型涉及激光器芯片制造技术领域，尤其涉及一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具。

背景技术

激光器指的是能发射激光的装置，激光器的种类有很多，按工作介质分，激光器可分为：气体激光器、固体激光器、半导体激光器和染料激光器4大类，近来还发展了自由电子激光器，大功率激光器通常都是脉冲式输出。

而芯片为激光器的大脑，在激光器芯片进行镀膜制造时，需要用到夹具对芯片进行镀膜辅助，目前所采用的镀膜夹具，多为手动式夹持结构，不能对激光器芯片进行二级夹持吸附固定处理，导致激光器芯片镀膜时发生位移，降低激光器芯片的制造质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在不能对激光器芯片进行二级夹持吸附固定处理的缺点，而提出的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，包括支架，所述支架的顶部固定连接有下夹座，所述下夹座的四周均固定连接有固定筒，所述固定筒的内侧开设有竖槽，所述固定筒的内侧设置有与下夹座配合使用的上夹座，所述固定筒内设置有与下夹座和上夹座配合使用的夹持机构，所述下夹座的底部设置有吸附机构。

优选的，所述夹持机构包括放置台阶槽，所述放置台阶槽开设在下夹座内腔顶部的四周，所述下夹座内腔靠近放置台阶槽的底部开设有真空腔，所述下夹座内腔靠近真空腔的底部开设有抽气孔，所述上夹座的四周均开设有与放置台阶槽连通配合的镀膜口，所述固定筒的顶部固定连接有电动推杆且电动推杆的活塞杆固定连接有与固定筒滑动配合的滑座，所述滑座的内侧固定连接有与上夹座固定配合的连接件。

优选的，所述吸附机构包括真空吸泵，所述真空吸泵固定在支架靠近下夹座的右侧且真空吸泵的顶部固定连接有控制器，所述真空吸泵的吸气口连通有四通接头且四通接头的三个吸气口连通有支管，所述支管的另一端连通有总管且总管的顶端连通有与抽气孔连通配合的抽气管，所述真空吸泵的出气口连通有排气管。

优选的，所述放置台阶槽、真空腔、抽气孔和镀膜口分别沿下夹座和上夹座的纵轴线呈阵列状等距分布。

优选的，所述排气管的另一端连通有均流罩，且均流罩的四周均开设有均流排气口。

优选的，所述下夹座的顶部开设有密封槽，所述上夹座的底部固定连接有与密封槽配合使用的密封垫。

优选的，所述支架靠近下夹座的左侧固定连接有蓄电池，所述蓄电池的背面设置有充电插头。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型中，所述一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，通过设置夹持机构，由四根电动推杆提供驱动来源，再由放置台阶槽、真空腔、抽气孔、镀膜口、滑座和连接件的配合，对上夹座进行下移操作，实现上夹座和下夹座的夹持固定效果，对激光器芯片达到一级夹持固定效果，通过设置吸附机构，由真空吸泵提供吸力来源，再由四通接头、支管、总管、抽气管和排气管的配合，对一级夹持固定后的激光器芯片实现二级吸附固定效果，增强激光器芯片镀膜过程中稳定性，以防激光器芯片镀膜时发生偏移，降低激光器芯片的成型质量。

通过密封槽和密封垫，对夹持状态下的上夹座和下夹座之间进行密封处理，避免上夹座和下夹座夹持不紧出现偏移，通过蓄电池和充电插头，对用电部件提供电量供应。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。

图1为本实用新型提出的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具的结构示意图；

图2为本实用新型提出的上夹座的结构开启示意图；

图3为本实用新型提出的上夹座和固定筒的结构局部仰视剖面图；

图4为本实用新型提出的下夹座的结构俯视图；

图5为本实用新型提出的吸附机构的结构俯视图。

图中：1、支架；2、下夹座；3、上夹座；4、固定筒；5、夹持机构；51、放置台阶槽；52、真空腔；53、抽气孔；54、镀膜口；55、电动推杆；56、滑座；57、连接件；6、吸附机构；61、真空吸泵；62、四通接头；63、支管；64、总管；65、抽气管；66、排气管；7、密封槽；8、密封垫；9、蓄电池。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

实施例一

参照图1-5，一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，包括支架1，支架1的顶部固定连接有下夹座2，下夹座2的四周均固定连接有固定筒4，固定筒4的内侧开设有竖槽，固定筒4的内侧设置有与下夹座2配合使用的上夹座3，固定筒4内设置有与下夹座2和上夹座3配合使用的夹持机构5，通过设置夹持机构5，由四根电动推杆55提供驱动来源，再由放置台阶槽51、真空腔52、抽气孔53、镀膜口54、滑座56和连接件57的配合，对上夹座3进行下移操作，实现上夹座3和下夹座2的夹持固定效果，对激光器芯片达到一级夹持固定效果，下夹座2的底部设置有吸附机构6，通过设置吸附机构6，由真空吸泵61提供吸力来源，再由四通接头62、支管63、总管64、抽气管65和排气管66的配合，对一级夹持固定后的激光器芯片实现二级吸附固定效果，增强激光器芯片镀膜过程中稳定性，以防激光器芯片镀膜时发生偏移，降低激光器芯片的成型质量。

实施例二

在实施例一的基础上改进：一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，包括支架1，支架1的顶部固定连接有下夹座2，支架1靠近下夹座2的左侧固定连接有蓄电池9，蓄电池9的背面设置有充电插头，对用电部件提供电量供应，下夹座2的四周均固定连接有固定筒4，固定筒4的内侧开设有竖槽，固定筒4的内侧设置有与下夹座2配合使用的上夹座3，下夹座2的顶部开设有密封槽7，上夹座3的底部固定连接有与密封槽7配合使用的密封垫8，对夹持状态下的上夹座3和下夹座2之间进行密封处理，避免上夹座3和下夹座2夹持不紧出现偏移，固定筒4内设置有与下夹座2和上夹座3配合使用的夹持机构5，夹持机构5包括放置台阶槽51，放置台阶槽51开设在下夹座2内腔顶部的四周，下夹座2内腔靠近放置台阶槽51的底部开设有真空腔52，下夹座2内腔靠近真空腔52的底部开设有抽气孔53，上夹座3的四周均开设有与放置台阶槽51连通配合的镀膜口54，放置台阶槽51、真空腔52、抽气孔53和镀膜口54分别沿下夹座2和上夹座3的纵轴线呈阵列状等距分布，便于工作人员对多块激光器芯片进行夹持固定和镀膜作业，固定筒4的顶部固定连接有电动推杆55且电动推杆55的活塞杆固定连接有与固定筒4滑动配合的滑座56，滑座56的内侧固定连接有与上夹座3固定配合的连接件57，通过设置夹持机构5，由四根电动推杆55提供驱动来源，再由放置台阶槽51、真空腔52、抽气孔53、镀膜口54、滑座56和连接件57的配合，对上夹座3进行下移操作，实现上夹座3和下夹座2的夹持固定效果，对激光器芯片达到一级夹持固定效果，下夹座2的底部设置有吸附机构6，吸附机构6包括真空吸泵61，真空吸泵61固定在支架1靠近下夹座2的右侧且真空吸泵61的顶部固定连接有控制器，真空吸泵61的吸气口连通有四通接头62且四通接头62的三个吸气口连通有支管63，支管63的另一端连通有总管64且总管64的顶端连通有与抽气孔53连通配合的抽气管65，真空吸泵61的出气口连通有排气管66，排气管66的另一端连通有均流罩，且均流罩的四周均开设有均流排气口，避免排气的气体在排气管66排气口处发生紊乱，利于气体的均流排出工作，通过设置吸附机构6，由真空吸泵61提供吸力来源，再由四通接头62、支管63、总管64、抽气管65和排气管66的配合，对一级夹持固定后的激光器芯片实现二级吸附固定效果，增强激光器芯片镀膜过程中稳定性，以防激光器芯片镀膜时发生偏移，降低激光器芯片的成型质量。

本实用新型中，工作人员先将多块待镀膜的激光器芯片分别穿过上夹座3上的镀膜口54置于下夹座2中的放置台阶槽51内，再由蓄电池9对用电部件提供电量供应，此时控制器控制四根电动推杆55同步开启并带动四组滑座56在四组固定筒4内向下滑动，四组滑座56再通过四组连接件57带动上夹座3整体下移，直至上夹座3上的密封垫8卡入下夹座2上的密封槽7内，即可完成上夹座3和下夹座2对多块待镀膜的激光器芯片的一级夹持固定工作；

然后控制器控制真空吸泵61开启并经过四通接头62向三根支管63和三根总管64内施加负压真空吸力，则放置台阶槽51内激光器芯片底部的空气在负压真空吸力的作用下，经过抽气管65将真空腔52内的空气由抽气孔53抽取至三根总管64内，接着吸入的空气原路返回依次经过三根支管63和四通接头62再由真空吸泵61排至排气管66内，最后由排气管66上均流罩四周的均流排气口均流排至外界，即可对放置台阶槽51内激光器芯片的底部施加负压真空吸力，完成多块激光器芯片的二级吸附固定工作，最后工作人员借助镀膜枪通过镀膜口54对固定完成后的多块激光器芯片进行镀膜作业即可。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)的顶部固定连接有下夹座(2)，所述下夹座(2)的四周均固定连接有固定筒(4)，所述固定筒(4)的内侧开设有竖槽，所述固定筒(4)的内侧设置有与下夹座(2)配合使用的上夹座(3)，所述固定筒(4)内设置有与下夹座(2)和上夹座(3)配合使用的夹持机构(5)，所述下夹座(2)的底部设置有吸附机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述夹持机构(5)包括放置台阶槽(51)，所述放置台阶槽(51)开设在下夹座(2)内腔顶部的四周，所述下夹座(2)内腔靠近放置台阶槽(51)的底部开设有真空腔(52)，所述下夹座(2)内腔靠近真空腔(52)的底部开设有抽气孔(53)，所述上夹座(3)的四周均开设有与放置台阶槽(51)连通配合的镀膜口(54)，所述固定筒(4)的顶部固定连接有电动推杆(55)且电动推杆(55)的活塞杆固定连接有与固定筒(4)滑动配合的滑座(56)，所述滑座(56)的内侧固定连接有与上夹座(3)固定配合的连接件(57)。

3.根据权利要求1所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述吸附机构(6)包括真空吸泵(61)，所述真空吸泵(61)固定在支架(1)靠近下夹座(2)的右侧且真空吸泵(61)的顶部固定连接有控制器，所述真空吸泵(61)的吸气口连通有四通接头(62)且四通接头(62)的三个吸气口连通有支管(63)，所述支管(63)的另一端连通有总管(64)且总管(64)的顶端连通有与抽气孔(53)连通配合的抽气管(65)，所述真空吸泵(61)的出气口连通有排气管(66)。

4.根据权利要求2所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述放置台阶槽(51)、真空腔(52)、抽气孔(53)和镀膜口(54)分别沿下夹座(2)和上夹座(3)的纵轴线呈阵列状等距分布。

5.根据权利要求3所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述排气管(66)的另一端连通有均流罩，且均流罩的四周均开设有均流排气口。

6.根据权利要求1所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述下夹座(2)的顶部开设有密封槽(7)，所述上夹座(3)的底部固定连接有与密封槽(7)配合使用的密封垫(8)。

7.根据权利要求1所述的一种用于激光器芯片制造的镀膜夹具，其特征在于，所述支架(1)靠近下夹座(2)的左侧固定连接有蓄电池(9)，所述蓄电池(9)的背面设置有充电插头。

Images