CN218534244U - 静电吸盘拆卸治具及静电吸盘 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种静电吸盘拆卸治具及静电吸盘，涉及拆卸治具的领域，其包括第一支架和第二支架；第一支架用于固定连接基座；第二支架用于固定连接静电吸盘；第一支架和第二支架之间设置有驱动组件以及若干导柱；第一支架和第二支架之间通过若干导柱实现滑移连接；驱动组件用于驱动第二支架相对第一支架滑移，以带动静电吸盘从基座上分离。通过若干导柱的导向以及驱动组件的驱动，使得第二支架相对第一支架平稳的滑移，第二支架滑移时对静电吸盘均匀的施加提拉力，使得静电吸盘和基座之间能够顺利分离，有效的减少了静电吸盘的磕碰情况，同时能够有效的减少静电吸盘出现单侧翘起的情况，进而降低静电吸盘上O型圈脱落的可能。

Description

静电吸盘拆卸治具及静电吸盘

技术领域

本申请涉及拆卸治具的领域，具体涉及一种静电吸盘拆卸治具及静电吸盘。

背景技术

静电吸盘在半导体干法刻蚀设备中大量使用，用于固定晶圆。当下静电吸盘相对基座的拆卸，需要通过提手式治具，以手提的形式向上提。

但提手式治具需要施加极大的力使得静电吸盘与基座分离，分离过程中一旦操作人员用力不均，静电吸盘和基座分离的瞬间，空气会从翘起的一侧迅速灌入，导致静电吸盘背部的O型圈脱落，并且易使得静电吸盘出现磕碰损伤。

因此，需要一种新的拆卸治具，能够对静电吸盘均匀的施加向上的提拉力，使得静电吸盘和基座之间不易出现磕碰，且静电吸盘和基座脱离的瞬间空气不会单侧灌入，以减少O型圈脱落的可能。

实用新型内容

有鉴于此，本说明书实施例提供一种静电吸盘拆卸治具及静电吸盘，能够将静电吸盘和基座之间顺利分离，减少静电吸盘的磕碰损伤，并且减少O型圈脱落的可能。

本说明书实施例提供以下技术方案：

本说明书实施例提供一种静电吸盘拆卸治具，包括：第一支架和第二支架；

第一支架用于固定连接基座；

第二支架用于固定连接静电吸盘；

第一支架和第二支架之间设置有驱动组件以及若干导柱；

第一支架和第二支架之间通过若干导柱实现滑移连接；

驱动组件用于驱动第二支架相对第一支架滑移，以带动静电吸盘从基座上分离。

通过上述技术方案，第一支架和第二支架之间通过若干导柱连接，将第一支架和基座固定连接，第二支架和静电吸盘固定连接，以驱动组件带动第二支架相对第一支架沿着导柱滑移，第二支架通过导柱的导向，对静电吸盘均匀的施加向上的提拉力，使得静电吸盘和基座之间顺利分离，并且可以减少磕碰，同时能够有效的减少静电吸盘出现单侧翘起的情况，进而降低静电吸盘上O型圈脱落的可能。

优选的，驱动组件为丝杆，丝杆转动连接于第一支架，丝杆螺纹连接于第二支架，丝杆用于带动第二支架相对第一支架滑移。

优选的，第二支架沿周向均匀设置有若干第二连接段；

第二支架通过若干第二连接段与静电吸盘固定连接。

通过沿周向均匀设置的若干第二连接段，使得第二支架向上提拉静电吸盘的过程中，第二支架能过通过周向均匀设置的若干第二连接段，对静电吸盘施加若干沿周向均匀分布的提拉力，降低静电吸盘分离过程中单侧翘起的可能。

优选的，第二连接段的数量为三个，三个第二连接段之间呈正三角分布。

优选的，第二连接段的数量为四个，四个第二连接段之间呈正四边形分布。

优选的，第二连接段与静电吸盘之间通过螺栓固定连接。

通过上述技术方案，方便第二支架与静电吸盘之间的安装固定以及拆卸。

优选的，第一支架沿周向均匀设置有若干第一连接段；

第一支架通过若干第一连接段与静电吸盘固定连接。

优选的，第一连接段与静电吸盘之间通过螺栓固定连接。

优选的，若干导柱于第一支架和第二支架之间沿周向均匀分布。

通过上述技术方案，降低第二支架相对第一支架滑移过程中发生偏转的可能性，进而降低静电吸盘分离过程中单侧翘起的可能性。

本说明书实施例还提供一种静电吸盘，包括吸盘本体和基座，吸盘本体和基座上共同连接有上述任一所述的静电吸盘拆卸治具。

与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

1、通过第一支架、第二支架、若干导柱以及驱动组件的设置，以第一支架固定连接基座，第二支架固定连接静电吸盘，通过若干导柱的导向并配合驱动组件的驱动，使得第二支架相对第一支架平稳的滑移，进而通过第二支架对静电吸盘均匀的施加提拉力，使得静电吸盘和基座之间能够顺利分离，并且有效的减少了静电吸盘的磕碰情况；

2、通过第二支架对静电吸盘均匀的施加提拉力，能够有效的减少静电吸盘出现单侧翘起的情况，进而降低静电吸盘上O型圈脱落的可能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实施例中的静电吸盘拆卸治具的示意图；

图2是本实施例中的静电吸盘的示意图。

附图标记：1、第一支架；2、第二支架；3、第一连接段；4、第二连接段；5、丝杆；6、导柱；7、吸盘本体；8、基座。

具体实施方式

下面结合附图对本申请实施例进行详细描述。

以下通过特定的具体实例说明本申请的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本申请的其它优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中所描述的方面可体现于广泛多种形式中，且本文中所描述的任何特定结构及/或功能仅为说明性的。基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践。

申请人发现，当下的静电吸盘与基座之间的分离，普遍采用提手式治具，以手提的形式分离静电吸盘和基座，但以手提的形式分离静电吸盘和基座，需要施加极大的力才能使得静电吸盘与基座分离，分离过程中一旦操作人员用力不均，静电吸盘和基座分离的瞬间，空气会从翘起的一侧迅速灌入，导致静电吸盘背部的O型圈脱落，并且易使得静电吸盘出现磕碰损伤。

基于此，本说明书实施例提出了一种静电吸盘拆卸治具：如图1所示，包括第一支架1和第二支架2，第一支架1和第二支架2之间通过若干导柱6实现滑移连接，再通过第一支架1和第二支架2之间设置的驱动组件，驱动第二支架2相对第一支架1沿导柱6滑移，对静电吸盘均匀的施加提拉力，使得静电吸盘和基座8之间能够顺利分离，同时有效减少静电吸盘分离过程中单侧翘起的情况，降低静电吸盘上O型圈脱落的可能，并且减少了静电吸盘因分离导致的磕碰损伤。

以下结合附图，说明本申请各实施例提供的技术方案。

如图1所示，本说明书实施例提供一种静电吸盘拆卸治具，包括第一支架1和第二支架2。

第一支架1上固定连接有若干第一连接段3，若干第一连接段3于第一支架1上沿周向均匀分布，且每个第一连接段3均垂直于第一支架1设置。每个第一连接段3远离第一支架1的一端均设置有供螺栓穿过的第一连接孔。每个第一连接段3均通过第一连接孔穿入螺栓，以螺栓连接的方式与基座8固定连接。进而第一支架1和基座8之间通过若干第一连接段3以及若干螺栓实现固定连接。

第一连接段3的数量可以为三个、四个或者八个，也可以为其它数量，只要于周向上均匀分布即可。若干第一连接段3的长度均保持一致，进而第一支架1通过若干第一连接段3以及若干螺栓实现与基座8的固定连接时，第一支架1和基座8之间能够保持水平。

第二支架2上固定连接有若干第二连接段4，若干第二连接段4于第二支架2上沿周向均匀分布，且每个第二连接段4均垂直于第二支架2设置。每个第二连接段4远离第二支架2的一端均设置有供螺栓穿过的第二连接孔。每个第二连接段4均通过第二连接孔穿入螺栓，以螺栓连接的方式与静电吸盘固定连接。进而第二支架2和静电吸盘之间通过若干第二连接段4以及若干螺栓实现固定连接。

在本实施例中，第二支架2上的第二连接段4共有三个，且三个第二连接段4之间呈正三角分布。若干第二连接段4的长度均保持一致，进而第二支架2通过三个第二连接段4以及若干螺栓与静电吸盘相互固定时，第二支架2与静电吸盘之间能够保持水平。

在其它实施例中，第二连接段4的数量也可以为四个，四个第二连接段4之间呈正四边形分布。

在其它实施例中，第二连接段4的数量也可以为六个、八个或者其它数量，只要在第二支架2上沿周向均匀分布即可。

在其它实施例中，第一连接段3与基座8之间也可以通过卡扣的方式固定，第二连接段4与静电吸盘之间也可以通过卡扣的方式固定，固定方式为可拆卸固定即可。

第一支架1和第二支架2之间还设置有驱动组件以及若干导柱6。

若干导柱6于第一支架1和第二支架2之间沿周向均匀分布。第二支架2通过若干导柱6实现与第一支架1的滑移连接。当第一支架1和基座8固定连接且第二支架2和静电吸盘固定连接时，第二支架2沿竖直方向相对第一支架1滑移。

驱动组件在本实施例中为丝杆5，丝杆5转动连接于第一支架1，并且丝杆5上的螺纹套与第二支架2固定连接。丝杆5通过螺纹套实现与第二支架2的螺纹连接。

实际使用时，丝杆5转动，并通过螺纹套带动第二支架2相对第一支架1沿竖直方向滑移。第二支架2相对第一支架1沿竖直方向滑移时，第二支架2通过三个第二连接段4对静电吸盘均匀的施加向上的提拉力，进而可以使得静电吸盘沿竖直方向相对基座8分离，分离过程中，静电吸盘出现单侧翘起的可能性极低，有效的降低空气单侧灌入的可能性，进而可以有效降低静电吸盘上O型圈脱落的可能，同时也能够有效减少静电吸盘在分离过程中的磕碰损伤。

在其它实施例中，驱动组件也可以为气缸或者液压缸。

本说明书实施例还提供了一种静电吸盘，参照图2，其包括吸盘本体7和基座8。吸盘本体7与第二支架2通过三个第二连接段4以螺栓连接的方式固定连接，基座8与第一之间通过若干第一连接段3以螺栓连接的方式固定连接。第一支架1相对基座8呈水平设置，第二支架2相对吸盘本体7呈水平设置。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例侧重说明的都是与其它实施例的不同之处。尤其，对于后面说明的产品实施例而言，由于其与方法是对应的，描述比较简单，相关之处参见系统实施例的部分说明即可。

以上所述，仅为本申请的具体实施方式，但本申请的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本申请揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本申请的保护范围之内。因此，本申请的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种静电吸盘拆卸治具，其特征在于，包括：第一支架(1)和第二支架(2)；

所述第一支架(1)用于固定连接基座(8)；

所述第二支架(2)用于固定连接静电吸盘；

所述第一支架(1)和第二支架(2)之间设置有驱动组件以及若干导柱(6)；

所述第一支架(1)和第二支架(2)之间通过若干导柱(6)实现滑移连接；

所述驱动组件用于驱动第二支架(2)相对第一支架(1)滑移，以带动静电吸盘从基座(8)上分离。

2.根据权利要求1所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述驱动组件为丝杆(5)，所述丝杆(5)转动连接于第一支架(1)，所述丝杆(5)螺纹连接于第二支架(2)，所述丝杆(5)用于带动第二支架(2)相对第一支架(1)滑移。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第二支架(2)沿周向均匀设置有若干第二连接段(4)；

所述第二支架(2)通过若干第二连接段(4)与静电吸盘固定连接。

4.根据权利要求3所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第二连接段(4)的数量为三个，三个所述第二连接段(4)之间呈正三角分布。

5.根据权利要求3所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第二连接段(4)的数量为四个，四个所述第二连接段(4)之间呈正四边形分布。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第二连接段(4)与静电吸盘之间通过螺栓固定连接。

7.根据权利要求1所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第一支架(1)沿周向均匀设置有若干第一连接段(3)；

所述第一支架(1)通过若干第一连接段(3)与静电吸盘固定连接。

8.根据权利要求7所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，所述第一连接段(3)与静电吸盘之间通过螺栓固定连接。

9.根据权利要求1-5、7、8中任一项所述的静电吸盘拆卸治具，其特征在于，若干所述导柱(6)于第一支架(1)和第二支架(2)之间沿周向均匀分布。

10.一种静电吸盘，其特征在于，包括吸盘本体(7)和基座(8)，吸盘本体(7)和基座(8)上共同连接有权利要求1-9中任一项所述的静电吸盘拆卸治具。

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