CN218510181U - 一种密封环 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种密封环，涉及半导体密封技术领域，以解决现有密封环密封性能差的问题。一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。本实用新型提供的密封环用于提高现有密封环的密封性能。

Description

一种密封环

技术领域

本实用新型涉及半导体密封技术领域，尤其涉及一种密封环。

背景技术

密封环是一种带有缺口的环状密封件，靠被压拢后所具有的弹性而抵紧在静止件的内孔壁上起密封作用。

现有密封环一般是将凹槽设置在外侧，由于凹槽开口朝外，密封环的上下两端受挤压向中间靠拢时，不会产生弹性变形，只能依靠材料本身的弹性起到密封作用，密封效果差，且由于不能产生弹性变形，传统的密封环往往使用寿命短。然而半导体行业对密封环的要求很高，密封性能的优劣往往会决定产品的质量。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种密封环，用于解决现有密封环密封性能差的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

本实用新型提供了一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。

可选的，所述密封环的横截面为C型。

可选的，所述密封环的外侧面设置有两个环形凹陷以及外侧密封线，两个所述环形凹陷距离所述外侧密封线的距离值相等。

可选的，所述外侧密封线与所述内侧密封线对应设置。

可选的，两个所述环形凹陷的深度小于所述环形凹槽的深度。

可选的，所述密封环为一体成型。

可选的，所述密封环沿所述内侧密封线轴向对称。

可选的，所述密封环的材料为361L不锈钢或361Ti不锈钢。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种密封环，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。通过密封环内侧面设置的环形凹槽，当气压越大时，凹槽内气压增大，材料受挤压沿内侧密封线向外扩张，会得到更大的密封比压，使密封环的密封性能提高，同时密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封可以增加密封可靠性。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型提供的一种密封环立体结构图；

图2为本实用新型提供的部分密封环的正视图；

图3为本实用新型提供的部分密封环的后视图；

图4为本实用新型提供的一种密封环与待密封件装配后的剖视图。

附图标记：

1-环形凹槽，2-内侧密封线，3-第一端面密封线，4-第二端面密封线，5-第一环形凹陷，6-第二环形凹陷，7-外侧密封线，8-第一压块，9-第二压块，10-垫片。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。“若干”的含义是一个或一个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

金属密封是一种采用适当的金属材料替换弹性材料形成密封的一种高膨胀率压力安全机构，是采用可控的载荷来挤压其中一个金属元件，并使之充分变形与另一个金属元件接触，利用两元件接触面的压力使金属发生塑性变形与流动来填充两个元件接触面之间的空隙，从而获得密封能力。

在半导体行业中，对密封元件有低泄漏的要求，常见的密封方式为密封环密封，将密封环方在两个待密封件之间，在压紧面上产生足够的密封比压以阻止泄漏，现有密封环往往采用平面密封，且密封环凹槽设置朝外，密封效果差。

为解决上述问题，本实用新型提供一种密封环，密封效果好，接下来结合附图进行说明。

参见图1-图3，本实用新型实施例提供的一种密封环为环状结构，密封环的横截面为C型，密封环的内侧面设置有环形凹槽1以及内侧密封线2，环形凹槽1沿内侧密封线2周向设置；内侧密封线2为环形凹槽1的中线；密封环沿内侧密封线2轴向对称；密封环上下两端的端面为坡面，从而形成如图2所示的第一端面密封线3和第二端面密封线4，使得密封环在受挤压时，密封环的两端与待密封件形成线密封。密封环的外侧面设置有第一环形凹陷5、第二环形凹陷6以及外侧密封线7，外侧密封线7设置在与内侧密封线2对应的位置，两个环形凹陷位于外侧密封线7的两侧且沿外侧密封线7周向设置，同时两个环形凹陷距离外侧密封线7的距离值相同。两个环形凹陷的深度要小于环形凹槽1的深度。

其中，内侧密封线2和外侧密封线7是为了说明密封环的结构而虚拟的线，密封环实体上并没有这两条线。

密封环的材料可以采用361L不锈钢材料或者其他弹性金属材料。弹性金属材料具有良好的弹性，能够产生弹性形变，进而保证密封性；其中361L不锈钢和361Ti不锈钢都具有较好的耐腐蚀性和硬度，能够保证在工作过程中，不会产生金属屑，从而影响流过的气体纯度。

本实用新型提供的密封环可以一体成型加工，从而保证密封环的位置度。位置度是一个形体的轴线或中心平面允许自身位置变动的范围。

具体实施过程可以结合图4进行说明，如图4所示，第一压块8和第二压块9为待密封件，密封环放置在两个压块之间的槽体内，两个压块之间的非槽体部分放置有垫片10。压块内部会形成气流，在压力稳定后，气体将对密封环施加压力，密封环的环形凹槽1受到压力向外扩张，使得密封环与两个压块更加贴合，同时两个环形凹陷的设置使得密封环向外扩张更加容易，上下端面设置成坡面，使密封环上下两端与压块之间形成线接触，增加密封的可靠性。其中小箭头的方向为密封环内部的压力示意方向。

通过上述密封环的结构和具体实施过程可知，本实施例提供的密封环通过密封环内侧面设置的环形凹槽1，当气压越大时，环形凹槽1内气压增大，材料受挤压沿内侧密封线2向外扩张，使密封环的密封性能提高，同时在密封环外侧设置两个环形凹陷，当材料受挤压向外扩张时，由于环形凹陷的存在，材料向外扩张受到的阻力更小，会得到更大的密封比压；同时密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封可以增加密封的可靠性，另外环形凹槽1的设置使得密封环可以产生一定的弹性形变，可提高密封环的使用寿命。

在上述实施方式的描述中，具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (8)

1.一种密封环，其特征在于，所述密封环为环状结构，所述密封环的内侧面设置有环形凹槽以及内侧密封线，所述环形凹槽沿所述内侧密封线周向设置；所述内侧密封线为所述环形凹槽的中线；所述密封环受挤压的两端与待密封件形成线密封。

2.根据权利要求1所述密封环，其特征在于，所述密封环的横截面为C型。

3.根据权利要求1所述密封环，其特征在于，所述密封环的外侧面设置有两个环形凹陷以及外侧密封线，两个所述环形凹陷距离所述外侧密封线的距离值相等。

4.根据权利要求3所述密封环，其特征在于，所述外侧密封线与所述内侧密封线对应设置。

5.根据权利要求3所述的密封环，其特征在于，两个所述环形凹陷的深度小于所述环形凹槽的深度。

6.根据权利要求1所述的密封环，其特征在于，所述密封环为一体成型。

7.根据权利要求1所述的密封环，其特征在于，所述密封环沿所述内侧密封线轴向对称。

8.根据权利要求1所述的密封环，其特征在于，所述密封环的材料为361L不锈钢或361Ti不锈钢。

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