CN218502807U - 避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统包括通过一管路相互连接的一浸泡槽、一粗过滤装置、以及一泵浦，以及一设置在所述浸泡槽中的晶圆振动装置。所述浸泡槽具有一上槽体以及一下槽体，所述下槽体具有一倾斜面以让自晶圆表面剥落的金属片能够顺畅地沿所述倾斜面下滑到所述下槽体下方的管路，并被过滤和回收。

Description

避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统

技术领域

本实用新型关于一种晶圆表面清洗系统，尤指一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统。

背景技术

针对晶圆表面图案较复杂之光阻去除(Photoresist Stripping)或金属剥除(Metal Lift-off)制程，一般会先将晶圆批次放入在浸泡槽(Soaking Tank)进行批次晶圆浸泡清洗，去除大部份金属与光阻，后续使用单晶圆旋转清洗设备(Single Wafer SpinProcessor)清洗残留物。

在采用浸泡槽清洗的过程中，若从晶圆表面剥除下来的为小尺寸金属碎屑与光阻碎屑，则可顺利随药液流动，带有这些金属碎屑及光阻碎屑的药液可藉由与浸泡槽连接的管路流动到过滤器进行杂质过滤，以便能回收药液供重复使用。然而，若由晶圆剥除下来的为大块片状金属块与光阻块时，这些块体则时常滞留堵塞于浸泡槽(Soaking Tank)之下槽体处，进而造成光阻去除或金属剥除制程无法顺利进行。此乃因自晶圆上剥落金属块及光阻块呈现大块片状，除不易在药液中流动外，也不利于通过相对狭小的管路，导致所述剥落的大块片状金属块和光阻块容易堆积于所述浸泡槽的内表面，且较下方的金属块和光阻块频繁堵塞于下槽体与其下方的管路，进而造成清洗制程需中断以解决堵塞问题，使得清洗制程无法反复顺畅实施，除降低了晶圆清洗的效率外，也降低了晶圆的产率。

发明内容

本实用新型主要目的在于提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其可防止晶圆浸泡到浸泡槽内用于剥离晶圆表面上金属与光阻的药液后，剥落的之大块片状金属块与光阻块堵塞下槽体与循环管路，并回收有用的金属。

为达上述目的，本实用新型提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，包括：

一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角；

一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端；

一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及

一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台的所述底部与所述下槽体的所述上开口端的间距为5至10mm。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台用于上下振动，且所述振动平台于振动时的最低点高于所述下槽体的所述上开口端。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台连接到一振动驱动机构，所述振动驱动机构用于输出动力以驱动所述振动平台进行振动。

于本实用新型较佳实施例中，所述管路为一循环管路，用于使所述药液自所述浸泡槽流出后回流至所述浸泡槽中。

于本实用新型较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一精过滤装置，所述精过滤装置用于对所述药液进行过滤，所述精过滤装置上形成一入口端以通过所述管路与所述泵浦连接，所述精过滤装置上形成一出口端以通过所述管路与所述浸泡槽的所述上槽体连接，且所述精过滤装置上形成一回收出口端。

于本实用新型较佳实施例中，所述精过滤装置的杂质过滤尺寸小于所述粗过滤装置的杂质过滤尺寸。

于本实用新型较佳实施例中，所述粗过滤装置用于过滤片状或块状杂质，所述精过滤装置用于过滤粒状杂质。

于本实用新型较佳实施例中，所述精过滤装置为一旋涡流离心过滤装置，所述旋涡流离心过滤装置为一无滤芯结构，且用于对所述药液施加旋转离心力而分离出所述药液中的金属。

于本实用新型较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一过滤物搜集回收容器，所述过滤物搜集回收容器连接到所述精过滤装置的所述回收出口端，用于收集自所述精过滤装置所滤出的所述药液中的金属。

于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽进一步包括至少一喷嘴，所述喷嘴设置在所述上槽体内壁，连接到所述管路，且用于将所述药液喷洒到所述振动平台上方。

于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽的所述喷嘴为两组喷嘴，所述两组喷嘴以非对称方式设置在所述上槽体的内壁。

于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽进一步包括一溢流槽体，所述溢流槽体围绕设置在所述上槽体的外侧，在所述溢流槽体内形成一溢流腔室以容纳药液，且所述溢流腔室的底端高于所述上腔室的底端。

于本实用新型较佳实施例中，所述倾斜角为50至60度。

于本实用新型较佳实施例中，所述下槽体呈锥体状。

于本实用新型较佳实施例中，所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状。

于本实用新型较佳实施例中，所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙。

于本实用新型较佳实施例中，所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间的所述间隙为10至15mm。

于本实用新型较佳实施例中，所述粗过滤装置内设置有一滤芯，在所述粗过滤装置上设置有一清洗排放管。

本实用新型另一目的在于提供一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，包括：

一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角，所述倾斜角为50至60度；

一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端，其中所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙，且所述间隙为10至15mm；

一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及

一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。

藉由上述技术手段，本实用新型至少具备下列优点：

1、本实用新型将所述下槽体的倾斜面采用高倾斜角度(50至60度)设计，防止剥离下来之片状金属块呈现偏横躺状态而滞留于所述下槽体表面，促使片状金属块能快速往所述下槽体底部之管路流动，可有效避免金属块剥除物堵塞下槽体以及管路。后续经管路上的粗过滤装置和精过滤装置将片状金属块与光阻块拦截，其中所述精过滤装置采用旋涡流离心过滤装置，金属块与光阻块会流向所述旋涡流离心过滤装置底部，可从所述旋涡流离心过滤装置的回收出口端有效回收金属块(尤其是贵重金属，金的回收)，经过滤之干净药液由所述旋涡流离心过滤装置上部流回所述上槽体以继续重复进行金属剥除制程。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属及光阻块在所述浸泡槽内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

2、本实用新型承载复数晶圆之振动平台的底部与下槽体之间的垂直距离控制短为5至10mm，藉此有效避免片状金属块及片状光阻块在过大的垂直距离中水平横躺到所述下槽体的所述上开口端处，而造成所述下槽体的上开口端处被水平横躺的片状金属块和光阻所轻易阻塞。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属及光阻块在所述浸泡槽内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

3、所述上槽体与所述振动平台之间的间隙为10至15mm，即所述上槽体与所述振动平台之间的间隙仅一线之隔，藉此，可限制片状金属块及片状光阻块仅能以自身最薄的方向(垂直或是立起的方向)通过所述间隙，而不会随意水平横躺于所述间隙中，而造成所述间隙被水平横躺的片状金属块和光阻所轻易阻塞，进而使所述振动平台上晶圆所剥离之光阻与金属能顺畅地往所述下槽体掉落。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属及光阻块在所述浸泡槽内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

4、本实用新型非对称排列之复数喷嘴用于喷洒药液于浸泡槽使液面产生扰动波，促进晶圆之光阻去除与金属剥离。此外，根据制程需求，本实用新型亦可调整复数喷嘴之喷出角度，以达到最佳清洗效率。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本实用新型避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统的正面示意图。

图2为本实用新型浸泡槽的俯视图。

图3为本实用新型下槽体一实施例的立体外观图。

图4为本实用新型的所述下槽体另一实施例的立体外观图。

图5为本实用新型的粗过滤装置的立体外观图。

图6为本实用新型的精过滤装置的侧面示意图。

具体实施方式

请参照图1及图2，本实用新型避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统包括：一浸泡槽10、一晶圆振动装置20、一粗过滤装置30、以及一泵浦40。

所述浸泡槽10用于承载药液80，且包括一上槽体11以及一下槽体12，所述上槽体11内形成一上腔室110，所述下槽体12连接于所述上槽体11的底端，所述下槽体12包括一上开口端121以及一下开口端122，所述下开口端122的直径小于所述上开口端121直径，在所述下槽体12内形成有一连通所述上腔室 110的下腔室120，所述下腔室120的内表面的至少一部分为一倾斜面1210而与一水平线之间形成一倾斜角θ。

所述晶圆振动装置20设置在所述浸泡槽10中，且包括一振动平台21，所述振动平台21设置在所述浸泡槽10中，且所述振动平台21底部高于所述下槽体12的所述上开口端121。此外，所述振动平台21上可形成有多个晶圆定位槽211以供摆放晶圆90。

所述粗过滤装置30通过一管路70连接在所述浸泡槽10的所述下槽体12 的所述下开口端122，且用于对所述药液80进行过滤。

所述泵浦40连接在所述管路70上，且用于输送所述药液80以使所述药液 80沿着由所述浸泡槽10至所述粗过滤装置30的方向流动。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台21底部与所述下槽体12的所述上开口端121的间距H为5至10mm。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台21用于上下振动，且所述振动平台21于振动时的最低点高于所述下槽体12的所述上开口端121。

于本实用新型较佳实施例中，所述振动平台21可通过一连接臂23而连接到一振动驱动机构25，所述振动驱动机构25用于输出动力以驱动所述振动平台21进行振动。此外，所述振动驱动机构25可以是任何已知的动力装置，例如马达、电磁阀、气压缸、液压缸等等，只要能够驱动振动平台21往复振动即可。

于本实用新型较佳实施例中，所述管路70为一循环管路70，用于使所述药液80自所述浸泡槽10流出后最终回流至所述浸泡槽10中。

于本实用新型较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一精过滤装置50，所述精过滤装置50用于对所述药液80进行过滤，所述精过滤装置50 上形成一入口端51以通过所述管路70与所述泵浦40连接，所述精过滤装置 50上形成一出口端52以通过所述管路70与所述浸泡槽10的所述上槽体11连接，且所述精过滤装置50上形成一回收出口端53。

请参照图6，于本实用新型较佳实施例中，所述精过滤装置50的杂质过滤尺寸小于所述粗过滤装置30的杂质过滤尺寸。于本实用新型较佳实施例中，所述粗过滤装置30用于过滤片状或块状杂质，即是片状金属块91或是片状光阻块92，所述精过滤装置50用于过滤粒状杂质。于本实用新型较佳实施例中，所述精过滤装置50为一旋涡流离心过滤装置，所述旋涡流离心过滤装置为一无滤芯结构，且用于对所述药液80施加旋转离心力而分离出所述药液80中的金属。

于本实用新型较佳实施例中，所述晶圆表面清洗系统进一步包括一过滤物搜集回收容器60，所述过滤物搜集回收容器60连接到所述精过滤装置50的所述回收出口端53，用于收集自所述精过滤装置50所滤出的所述药液80中的金属。

由于本实用新型的所述精过滤装置50采用旋涡流离心过滤装置，其可将颗粒较小之金属与光阻拦截进行第二次过滤，旋涡流离心过滤装置基于重力及离心力的工作原理，清除重量高于药液80的金属与光阻等固体颗粒。药液80由进水管之切向进入所述旋涡流离心过滤装置，由旋转产生离心力，离心力推动光阻及金属固体沿管壁流动，形成旋流使光阻和金属颗粒进入过滤器底部的过滤物搜集回收容器60，以有效回收金属(尤其是贵重金属，金的回收)，而经过滤之干净药液80则顺流沿旋涡流离心过滤装置上部出水口流出，干净药液 80循环回槽体继续进行光阻去除或金属剥除制程。

于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽10进一步包括至少一喷嘴17，所述喷嘴17设置在所述上槽体11内壁，连接到所述管路70，且用于将所述药液80喷洒到所述振动平台21上方。

请复参照图2，于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽10的所述喷嘴17 为两组喷嘴17，各组喷嘴17可包括一或多个所述喷嘴17，且所述两组喷嘴17 以非对称方式设置在所述上槽体11的内壁。

于本实用新型较佳实施例中，所述浸泡槽10进一步包括一溢流槽体13，所述溢流槽体13围绕设置在所述上槽体11的外侧，在所述溢流槽体13内形成一溢流腔室130以容纳药液80，此外，所述溢流腔室130的底端高于所述上腔室110的底端。

于本实用新型较佳实施例中，所述倾斜角θ为50至60度。本实用新型将所述下槽体12的倾斜面1210采用50至60度的高倾斜角θ度设计，防止剥离下来之片状金属块91呈现偏横躺状态而滞留于所述下槽体12表面，促使片状金属块91能快速往所述下槽体12底部之管路70流动，可有效避免金属块剥除物堵塞下槽体12以及管路70。

于本实用新型较佳实施例中，所述下槽体12呈锥体状。详细而言，所述下槽体12呈圆锥体状或呈角锥体状，分别如图3的圆锥体状下槽体12a以及如图 4所示的角锥状下槽体12b。本实用新型将所述下槽体12设计锥体状而具有一个或多个倾斜面1210，不论所述倾斜面1210是角锥体的倾斜平面，还是所述圆锥体的倾斜弧面，均能让片状金属块91和片状光阻块92容易相对所述倾斜面1210滑动，进而达到避免片状金属块91和片状光阻块92滞留的效果。

于本实用新型较佳实施例中，所述上槽体11的内壁与所述振动平台21的外侧边之间具有一间隙D。

于本实用新型较佳实施例中，所述上槽体11的内壁与所述振动平台21的外侧边之间的所述间隙D为10至15mm。换言之，所述上槽体11与所述振动平台21之间的10至15mm的间隙D仅一线之隔，藉此，可限制片状金属块 91及片状光阻块92仅能以自身最薄的方向(垂直或是立起的方向)通过所述间隙D，而不会随意水平横躺于所述间隙D中，而造成所述间隙D被水平横躺的片状金属块91和光阻所轻易阻塞，进而使所述振动平台21上晶圆所剥离之光阻与金属能顺畅地往所述下槽体12掉落。

请参照图5，于本实用新型较佳实施例中，所述粗过滤装置30内设置有一滤芯31(可为滤网形式)，在所述粗过滤装置30上设置有一清洗排放管32。所述滤芯31为可拆卸替换的形式，可根据制程需要而替换具适当网目尺寸的滤芯31。所述清洗排放管32可供排放所述粗过滤装置30内的药液80，以进一步对所述粗过滤装置30进行清理。本实用新型的所述粗过滤装置30采用过滤网设计，将颗粒较大之片状金属与光阻拦截与回收金属，此外，滤芯(滤网)可为抛弃式，或者是非抛弃式，非抛弃式滤芯则可定期卸下进行清洗。经粗过滤之药液80经由泵浦40抽取流向所述精过滤装置50进行第二次过滤。

请复参照图1至图5，本实用新型避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统的另一实施例包括：一浸泡槽10、一晶圆振动装置20、一粗过滤装置30、以及一泵浦40。

所述浸泡槽10用于承载药液80，且包括一上槽体11以及一下槽体12，所述上槽体11内形成一上腔室110，所述下槽体12连接于所述上槽体11的底端，所述下槽体12包括一上开口端121以及一下开口端122，所述下开口端122的直径小于所述上开口端121直径，所述下槽体12呈圆锥体状或呈角锥体状，在所述下槽体12内形成有一连通所述上腔室110的下腔室120，所述下腔室120 的内表面的至少一部分为一倾斜面1210而与一水平线之间形成一倾斜角θ，所述倾斜角θ为50至60度。

所述晶圆振动装置20设置在所述浸泡槽10中，且包括一振动平台21，所述振动平台21设置在所述浸泡槽10中，且所述振动平台21底部高于所述下槽体12的所述上开口端121(或是高于所述上槽体11与所述下槽体122之间的交界15)，其中所述上槽体11的内壁与所述振动平台21的外侧边之间具有一间隙D，且所述间隙D为10至15mm。

所述粗过滤装置30通过一管路70连接在所述浸泡槽10的所述下槽体12 的所述下开口端122，且用于对所述药液80进行过滤。

所述泵浦40连接在所述管路70上，且用于输送所述药液80以使所述药液 80沿着由所述浸泡槽10至所述粗过滤装置30的方向流动。

藉由上述技术手段，本实用新型至少具备下列优点：

1、本实用新型将所述下槽体12的倾斜面1210采用高倾斜角θ度(50至 60度)设计，防止剥离下来之片状金属块91呈现偏横躺状态而滞留于所述下槽体12表面，促使片状金属块91能快速往所述下槽体12底部之管路70流动，可有效避免金属块剥除物堵塞下槽体12以及管路70。后续经管路70上的粗过滤装置30和精过滤装置50将片状金属块91与片状光阻块92拦截，其中所述精过滤装置50采用旋涡流离心过滤装置，金属块与光阻块会流向所述旋涡流离心过滤装置底部，可从所述旋涡流离心过滤装置的回收出口端53有效回收金属块(尤其是贵重金属，金的回收)，经过滤之干净药液80由所述旋涡流离心过滤装置上部流回所述上槽体11以继续重复进行金属剥除制程。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属块91及片状光阻块92在所述浸泡槽10内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽10进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

2、本实用新型承载复数晶圆之振动平台21的所述底部与下槽体12之间的垂直间距H控制短为5至10mm，藉此有效避免片状金属块91及片状光阻块 92在过大的垂直间距H中水平横躺到所述下槽体12的所述上开口端121处，而造成所述下槽体12的上开口端121处被水平横躺的片状金属块91和光阻所轻易阻塞。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属块91及片状光阻块92在所述浸泡槽10内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽10进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

3、所述上槽体11与所述振动平台21之间的间隙D为10至15mm，即所述上槽体11与所述振动平台21之间的间隙D仅一线之隔，藉此，可限制片状金属块91及片状光阻块92仅能以自身最薄的方向(垂直或是立起的方向)通过所述间隙D，而不会随意水平横躺于所述间隙D中，而造成所述间隙D被水平横躺的片状金属块91和光阻所轻易阻塞，进而使所述振动平台21上晶圆所剥离之光阻与金属能顺畅地往所述下槽体12掉落。藉此，本实用新型能够大幅减少片状金属块91及片状光阻块92在所述浸泡槽10内阻塞，减少金属剥除制程中断对浸泡槽10进行清淤的频率，有效提升金属剥除制程的顺畅度。

4、本实用新型非对称排列之复数喷嘴17用于喷洒药液80于浸泡槽10使液面产生扰动波，促进晶圆之光阻去除与金属剥离。此外，根据制程需求，本实用新型亦可调整复数喷嘴17之喷出角度，以达到最佳清洗效率，以达到最佳清洗效率。

Claims (20)

1.一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其特征在于包括：

一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角；

一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端；

一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及

一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。

2.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台的所述底部与所述下槽体的所述上开口端的间距为5至10mm。

3.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台用于上下振动，且所述振动平台于振动时的最低点高于所述下槽体的所述上开口端。

4.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述振动平台连接到一振动驱动机构，所述振动驱动机构用于输出动力以驱动所述振动平台进行振动。

5.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述管路为一循环管路，用于使所述药液自所述浸泡槽流出后回流至所述浸泡槽中。

6.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述晶圆表面清洗系统进一步包括一精过滤装置，所述精过滤装置用于对所述药液进行过滤，所述精过滤装置上形成一入口端以通过所述管路与所述泵浦连接，所述精过滤装置上形成一出口端以通过所述管路与所述浸泡槽的所述上槽体连接，且所述精过滤装置上形成一回收出口端。

7.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述精过滤装置的杂质过滤尺寸小于所述粗过滤装置的杂质过滤尺寸。

8.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述粗过滤装置用于过滤片状或块状杂质，所述精过滤装置用于过滤粒状杂质。

9.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述精过滤装置为一旋涡流离心过滤装置，所述旋涡流离心过滤装置为一无滤芯结构，且用于对所述药液施加旋转离心力而分离出所述药液中的金属。

10.根据权利要求6所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述晶圆表面清洗系统进一步包括一过滤物搜集回收容器，所述过滤物搜集回收容器连接到所述精过滤装置的所述回收出口端，用于收集自所述精过滤装置所滤出的所述药液中的金属。

11.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述浸泡槽进一步包括至少一喷嘴，所述喷嘴设置在所述上槽体内壁，连接到所述管路，且用于将所述药液喷洒到所述振动平台上方。

12.根据权利要求11所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述浸泡槽的所述喷嘴为两组喷嘴，所述两组喷嘴以非对称方式设置在所述上槽体的内壁。

13.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述浸泡槽进一步包括一溢流槽体，所述溢流槽体围绕设置在所述上槽体的外侧，在所述溢流槽体内形成一溢流腔室以容纳药液，且所述溢流腔室的底端高于所述上腔室的底端。

14.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述倾斜角为50至60度。

15.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述下槽体呈锥体状。

16.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状。

17.根据权利要求1至16中任一项所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙。

18.根据权利要求17所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间的所述间隙为10至15mm。

19.根据权利要求1所述避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其中所述粗过滤装置内设置有一滤芯，在所述粗过滤装置上设置有一清洗排放管。

20.一种避免堵塞并提升金属回收效率的晶圆表面清洗系统，其特征在于包括：

一浸泡槽，用于承载药液，且包括一上槽体以及一下槽体，所述上槽体内形成一上腔室，所述下槽体连接于所述上槽体的底端，所述下槽体包括一上开口端以及一下开口端，所述下开口端的直径小于所述上开口端直径，所述下槽体呈圆锥体状或呈角锥体状，在所述下槽体内形成有一连通所述上腔室的下腔室，所述下腔室的内表面的至少一部分为一倾斜面而与一水平线之间形成一倾斜角，所述倾斜角为50至60度；

一晶圆振动装置，设置在所述浸泡槽中，且包括一振动平台，所述振动平台设置在所述浸泡槽中，且所述振动平台的底部高于所述下槽体的所述上开口端，其中所述上槽体的内壁与所述振动平台的外侧边之间具有一间隙，且所述间隙为10至15mm；

一粗过滤装置，通过一管路连接在所述浸泡槽的所述下槽体的所述下开口端，且用于对所述药液进行过滤；以及

一泵浦，连接在所述管路上，且用于输送所述药液以使所述药液沿着由所述浸泡槽至所述粗过滤装置的方向流动。

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