CN218487490U - 一种单晶硅片切割用翻转工作台 - Google Patents

一种单晶硅片切割用翻转工作台 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及单晶硅片切割领域，公开了一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台，所述工作台的外壁上固定安装有控制面板，所述工作台的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的中部固定连接有转轴，所述旋转台的上下两侧均固定连接有安装板，所述安装板上设置有装夹装置，所述旋转台的上下表面上均设置有刮板，所述转轴旋转安装在工作台内的凹槽内。本装置通过设置旋转电机，通过转轴带动旋转台旋转，在旋转台的一面对单晶硅片切割，在旋转台的另一面通过刮板将旋转台表面上的废料清理干净，不仅方便对切割过程产生的废料进行收集，而且能提高切割效率。

Description

一种单晶硅片切割用翻转工作台
技术领域
本实用新型涉及单晶硅片切割领域，特别涉及一种单晶硅片切割用翻转工作台。
背景技术
单晶硅片是硅片的一种，是一种良好的半导体材料，单晶硅片常常用于制造半导体器件、太阳能电池等。
单晶硅片需要通过切割成特定的形状，现代常使用的为激光切割机，激光切割需要在工作台上进行，工作台起到对单晶硅片的承载作用，现有的工作台存在较多的缺陷，在切割过程中会产生废料，这些废料不进行收集会造成资源浪费，现有的工作台不方便对切割产生的废料进行收集，废料停留在工作台的表面上，清理起来较为繁琐，为此，提出一种单晶硅片切割用翻转工作台。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种单晶硅片切割用翻转工作台，可以有效解决上述背景技术中提出的现有切割工作台废料收集较为不便的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台，所述工作台的外壁上固定安装有控制面板，所述工作台的上表面上开设有凹槽，所述凹槽内设置有旋转台，所述旋转台的中部固定连接有转轴，所述旋转台的上下两侧均固定连接有安装板，所述安装板上设置有装夹装置，所述旋转台的上下表面上均设置有刮板。
优选的，所述转轴旋转安装在工作台内的凹槽内，所述转轴的一端穿出工作台固定连接有旋转电机，所述旋转电机固定安装在工作台的外侧壁上。
优选的，所述装夹装置包括第一丝杆电机，所述第一丝杆电机固定安装在安装板上，所述第一丝杆电机的输出轴上固定连接有第一丝杆，所述第一丝杆电机和第一丝杆均设置有两组，所述第一丝杆上开设有两段外螺纹，所述第一丝杆上的两段外螺纹螺旋方向相反。
优选的，所述第一丝杆上的两段外螺纹上均螺纹连接有移动板，所述移动板的表面上固定连接有固定架，所述固定架上固定安装有液压缸，所述液压缸的液压杆端部上固定连接有夹板。
优选的，所述刮板的下表面与旋转台的表面相互贴合，所述刮板的两侧均固定连接有连接块，其中一个所述连接块上螺纹连接有第二丝杆，所述第二丝杆转动安装在旋转台内，所述第二丝杆上固定连接有第二丝杆电机，所述第二丝杆电机固定安装在旋转台的外侧壁上，另一个所述连接块上滑动连接有限位杆，所述限位杆固定连接在旋转台内。
优选的，所述旋转台的表面上开设有通槽，所述连接块滑动设置在通槽内，所述通槽的一侧固定连接有挡条。
优选的，所述工作台的下表面上固定连接有支撑腿，所述工作台的下端一侧活动连接有活动门。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：
1.本装置通过设置旋转电机，通过转轴带动旋转台旋转，在旋转台的一面对单晶硅片切割，在旋转台的另一面通过刮板将旋转台表面上的废料清理干净，不仅方便对切割过程产生的废料进行收集，而且能提高切割效率。
2.本装置通过第一丝杆电机和第一丝杆的设置，使移动板能在第一丝杆上移动，配合上固定架上的液压缸能对不同大小的单晶硅片进行固定，操作简单。
附图说明
图1为本实用新型的整体结构示意图。
图2为本实用新型中旋转台的结构示意图。
图3为本实用新型图2中A处的放大图。
图4为本实用新型中旋转台的剖视图。
图5为本实用新型中旋转台另一个角度的剖视图。
图中：1、工作台；2、控制面板；3、凹槽；4、旋转台；5、安装板；6、转轴；7、旋转电机；8、第一丝杆电机；9、第一丝杆；10、移动板；11、固定架；12、液压缸；13、夹板；14、刮板；15、连接块；16、第二丝杆；17、第二丝杆电机；18、限位杆；19、通槽；20、挡条；21、支撑腿；22、活动门。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-图5所示，一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台1，工作台1的外壁上固定安装有控制面板2，工作台1的上表面上开设有凹槽3，凹槽3内设置有旋转台4，旋转台4的中部固定连接有转轴6，旋转台4的上下两侧均固定连接有安装板5，安装板5上设置有装夹装置，旋转台4的上下表面上均设置有刮板14。
转轴6旋转安装在工作台1内的凹槽3内，转轴6的一端穿出工作台1固定连接有旋转电机7，旋转电机7固定安装在工作台1的外侧壁上，旋转电机7受到控制面板2控制，控制面板2控制旋转电机7工作，带动转轴6和旋转台4旋转。
装夹装置包括第一丝杆电机8，第一丝杆电机8固定安装在安装板5上，第一丝杆电机8的输出轴上固定连接有第一丝杆9，第一丝杆电机8和第一丝杆9均设置有两组，第一丝杆9上开设有两段外螺纹，第一丝杆9上的两段外螺纹螺旋方向相反，第一丝杆电机8受到控制面板2控制，控制面板2控制第一丝杆电机8工作，第一丝杆电机8带动第一丝杆9发生旋转。
第一丝杆9上的两段外螺纹上均螺纹连接有移动板10，移动板10的表面上固定连接有固定架11，固定架11上固定安装有液压缸12，液压缸12的液压杆端部上固定连接有夹板13，液压缸12受到控制面板2控制，由于第一丝杆9的两段外螺纹螺旋方向相反，当第一丝杆电机8工作带动第一丝杆9旋转时，能使第一丝杆9上的两块移动板10相互靠近或者相互远离，配合上移动板10上的固定架11能将放置在移动板10表面上的单晶硅片两侧夹住，控制面板2控制液压缸12工作，液压缸12从上端将单晶硅片的上表面夹紧。
刮板14的下表面与旋转台4的表面相互贴合，刮板14的两侧均固定连接有连接块15，其中一个连接块15上螺纹连接有第二丝杆16，第二丝杆16转动安装在旋转台4内，第二丝杆16上固定连接有第二丝杆电机17，第二丝杆电机17固定安装在旋转台4的外侧壁上，另一个连接块15上滑动连接有限位杆18，限位杆18固定连接在旋转台4内，第二丝杆电机17受到控制面板2控制，第二丝杆电机17带动第二丝杆16旋转，在限位杆18的限位下，能使刮板14在旋转台4的表面上滑动，将旋转台4表面上的废料完全刮掉。
旋转台4的表面上开设有通槽19，连接块15滑动设置在通槽19内，通槽19的一侧固定连接有挡条20，挡条20能防止切割产生的碎渣通过通槽19进入到旋转台4的内侧。
工作台1的下表面上固定连接有支撑腿21，工作台1的下端一侧活动连接有活动门22，通过活动门22对凹槽3收集的废料进行清理。
本实用新型的工作原理：本装置在使用时，将需要切割单晶硅片放在移动板10上，第一丝杆电机8工作带动第一丝杆9旋转，使第一丝杆9上的两块移动板10移动，配合上移动板10上的固定架11将单晶硅片的两侧夹住，控制面板2控制液压缸12工作，液压缸12从上端将单晶硅片的上表面夹紧，单晶硅片得到固定，切割过程可采用激光切割机进行切割，切割产生的废料掉落在旋转台4的表面上，切割完成将单晶硅片取下，通过旋转电机7带动转轴6和旋转台4旋转一圈，对旋转台4另一面的单晶硅片进行切割，切割的方面朝向凹槽3的底端，第二丝杆电机17带动第二丝杆16旋转，在限位杆18的限位下，能使刮板14在旋转台4的表面上滑动，将旋转台4表面上的废料完全刮掉，废料留在凹槽3内，通过以上方法方便了对废料收集，同时，在清洁废料的同时，另一面的单晶硅片仍然在进行切割，能提高切割效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种单晶硅片切割用翻转工作台，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的外壁上固定安装有控制面板（2），所述工作台（1）的上表面上开设有凹槽（3），所述凹槽（3）内设置有旋转台（4），所述旋转台（4）的中部固定连接有转轴（6），所述旋转台（4）的上下两侧均固定连接有安装板（5），所述安装板（5）上设置有装夹装置，所述旋转台（4）的上下表面上均设置有刮板（14）。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述转轴（6）旋转安装在工作台（1）内的凹槽（3）内，所述转轴（6）的一端穿出工作台（1）固定连接有旋转电机（7），所述旋转电机（7）固定安装在工作台（1）的外侧壁上。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述装夹装置包括第一丝杆电机（8），所述第一丝杆电机（8）固定安装在安装板（5）上，所述第一丝杆电机（8）的输出轴上固定连接有第一丝杆（9），所述第一丝杆电机（8）和第一丝杆（9）均设置有两组，所述第一丝杆（9）上开设有两段外螺纹，所述第一丝杆（9）上的两段外螺纹螺旋方向相反。
4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述第一丝杆（9）上的两段外螺纹上均螺纹连接有移动板（10），所述移动板（10）的表面上固定连接有固定架（11），所述固定架（11）上固定安装有液压缸（12），所述液压缸（12）的液压杆端部上固定连接有夹板（13）。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述刮板（14）的下表面与旋转台（4）的表面相互贴合，所述刮板（14）的两侧均固定连接有连接块（15），其中一个所述连接块（15）上螺纹连接有第二丝杆（16），所述第二丝杆（16）转动安装在旋转台（4）的外侧壁上，所述第二丝杆（16）上固定连接有第二丝杆电机（17），所述第二丝杆电机（17）固定安装在旋转台（4）内，另一个所述连接块（15）上滑动连接有限位杆（18），所述限位杆（18）固定连接在旋转台（4）内。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述旋转台（4）的表面上开设有通槽（19），所述连接块（15）滑动设置在通槽（19）内，所述通槽（19）的一侧固定连接有挡条（20）。
7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片切割用翻转工作台，其特征在于：所述工作台（1）的下表面上固定连接有支撑腿（21），所述工作台（1）的下端一侧活动连接有活动门（22）。
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