CN218487407U - 一种静电卡盘基座钎焊固定工装 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种静电卡盘基座钎焊固定工装，包括固定架，所述固定架由底板和垂直设置于底板左右两端的两个连接板组成，连接板和底板为一体结构，所述底板的上表面为水平面，两个连接板对应设置，两个连接板的顶部端面通过若干个并排设置的横杆连接；静电卡盘基座设置于底板和横杆之间，横杆与静电卡盘基座之间还设有压板，所述压板上方的横杆上设有若干个第二螺孔，所述第二螺孔内安装有穿过横杆的压紧螺栓，所述压紧螺栓的底部端面能压紧在压板的上表面，本实用新型克服了现有技术的不足，能够使薄板和基座在整个接触面上受力均匀，提高薄板和基座主体的焊接质量。

Description

一种静电卡盘基座钎焊固定工装

技术领域

本实用新型涉及静电卡盘基座的加工技术领域，具体属于一种静电卡盘基座钎焊固定工装。

背景技术

静电卡盘是用于大气或真空环境的超洁净薄片承载体或抓取搬运设备，静电卡盘基座是静电卡盘的基础部件，其主要由基座主体和焊接在基座主体上下表面的薄板构成，而基座主体与薄板之间通过钎焊进行焊接时，需要将薄板压紧在基座主体的两侧表面上，但是现有的固定工装在固定薄板和基座主体时，主要采用在基座主体两侧的薄板的上设置一压紧板，压紧板四周边缘通过螺栓锁紧的方式，该方式由于在四周锁紧，其对薄板和基座主体边缘部分会产生较大的压力，使薄板和基座主体四周边缘的焊接质量较好；但是由于高温钎焊过程中压紧板四周受力，中部会发生一定的上翘，使薄板和基座主体在中部的压力不足，使薄板和基座主体在中部无法获得较好的焊接质量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种静电卡盘基座钎焊固定工装，克服了现有技术的不足，能够使薄板和基座在整个接触面上受力更加均匀，提高薄板和基座主体的焊接质量。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案如下：

一种静电卡盘基座钎焊固定工装，包括固定架，所述固定架由底板和垂直设置于底板左右两端的两个连接板组成，连接板和底板为一体结构，所述底板的上表面为水平面，两个连接板对应设置，两个连接板的顶部端面通过若干个并排设置的横杆连接；

静电卡盘基座设置于底板和横杆之间，横杆与静电卡盘基座之间还设有压板，所述压板上方的横杆上设有若干个第二螺孔，所述第二螺孔内安装有穿过横杆的压紧螺栓，所述压紧螺栓的底部端面能压紧在压板的上表面。

其中，所述压板与静电卡盘基座之间还设有石墨垫板。

其中，所述底板与静电卡盘基座之间还设有石墨垫板。

其中，两个连接板的顶部端面设有若干个对应设置的第一螺孔，所述横杆的两端通过连接螺栓与连接板连接，其中连接螺栓穿过横杆安装于第一螺孔内。

本实用新型与现有技术相比较，本实用新型的实施效果如下：

1、该工装通过压紧螺栓能够使压板的上表面多点受力，避免了压板中部上翘的问题，使薄板和基座主体的接触面能够受力更加均匀；

2、该工装采用多个横杆支撑压紧螺栓，而非整块板，使每个横杆之间无直接连接，从而使每个横杆上的压紧螺栓起到单独压紧压板的作用，避免了多个压紧螺栓共同作用于压板时，压紧螺栓之间压力的略微差异导致部分压紧螺栓无法起到压紧的作用的问题；

3、该工装采用石墨垫板设置在薄板的外部，能够避免该工装使用时，薄板容易被压坏的问题。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为静电卡盘基座设置在底板上时结构示意图；

图3为静电卡盘基座设置在底板上时的主视图。

附图标记说明：1、底板；11、连接板；12、第一螺孔；2、横杆；21、第二螺孔；22、连接螺栓；3、压紧螺栓；4、压板；5、石墨垫板；6、静电卡盘基座；61、基座主体；62、薄板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-3所示，本实用新型的静电卡盘基座钎焊固定工装，包括固定架，固定架由底板1和垂直设置于底板1左右两端的两个连接板11组成，连接板11和底板1为一体结构，底板1的上表面为水平面，两个连接板11对应设置，两个连接板11的顶部端面设有若干个对应设置的第一螺孔12，两个连接板11的顶部端面通过若干个并排设置的横杆2连接，横杆2的两端通过连接螺栓22与连接板11连接，其中连接螺栓22穿过横杆2安装于第一螺孔12内；横杆2与底板1之间形成一个静电卡盘基座放置区，静电卡盘基座6设置于底板1和横杆2之间。

横杆2与静电卡盘基座6之间还设有压板4，压板4可将整个静电卡盘基座的上表面覆盖，压板4上方的横杆2上设有若干个第二螺孔21，第二螺孔21内安装有穿过横杆2的压紧螺栓3，压紧螺栓3的底部端面能压紧在压板4的上表面，压紧螺栓3能够使压板4的上表面多点受力，避免了压板4中部上翘的问题，使薄板62和基座主体61的接触面能够受力更加均匀，且使用压紧螺栓3对压板4压紧时，使用定力扳手，使各个压紧螺栓3对压板4的压力均匀。而该工装采用多个横杆2支撑压紧螺栓3，而非整块板，使每个横杆2之间无直接连接，从而使每个横杆2上的压紧螺栓3起到单独压紧压板4的作用，避免了多个压紧螺栓3共同作用于压板4时，压紧螺栓3之间压力的略微差异导致部分压紧螺栓3无法起到压紧的作用的问题。

此外，静电卡盘基座6与压板4和底板1之间还设有石墨垫板5，石墨垫板5能够避免该工装使用时，薄板62容易被压坏的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种静电卡盘基座钎焊固定工装，其特征在于，包括固定架，所述固定架由底板和垂直设置于底板左右两端的两个连接板组成，连接板和底板为一体结构，所述底板的上表面为水平面，两个连接板对应设置，且两个连接板的顶部端面设有若干个对应设置的第一螺孔，两个连接板的顶部端面通过若干个并排设置的横杆连接，所述横杆的两端通过连接螺栓与连接板连接，其中连接螺栓穿过连接板安装于第一螺孔内；

静电卡盘基座设置于底板和横杆之间，横杆与静电卡盘基座之间还设有压板，所述压板上方的横杆上设有若干个第二螺孔，所述第二螺孔内安装有穿过横杆的压紧螺栓，所述压紧螺栓的底部端面能压紧在压板的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘基座钎焊固定工装，其特征在于：所述压板与静电卡盘基座之间还设有石墨垫板。

3.根据权利要求1或2所述的一种静电卡盘基座钎焊固定工装，其特征在于：所述底板与静电卡盘基座之间还设有石墨垫板。

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